JP2014153387A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6107292B2 (ja) 2013-03-25 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 光スキャナーの製造方法、光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6565455B2 (ja) * 2015-08-05 2019-08-28 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP6565459B2 (ja) * 2015-08-06 2019-08-28 セイコーエプソン株式会社 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2017049436A (ja) * 2015-09-02 2017-03-09 セイコーエプソン株式会社 電子装置、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
EP3531336A4 (en) * 2017-12-05 2020-02-26 Shenzhen Weitongbo Technology Co., Ltd. OPTICAL PATH MODULATOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, FINGERPRINT RECOGNITION DEVICE, AND TERMINAL DEVICE
JP7481099B2 (ja) * 2019-09-11 2024-05-10 浜松ホトニクス株式会社 光走査システムの製造方法、光走査装置の製造方法及びデータ取得方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4927226A (en) * 1989-03-27 1990-05-22 General Electric Company Multiplexer for high power CW lasers
JPH05196530A (ja) * 1992-01-06 1993-08-06 Yamatake Honeywell Co Ltd 差圧・圧力発信器および封入液封入方法
JPH1078554A (ja) * 1996-09-05 1998-03-24 Asahi Optical Co Ltd カスケード走査光学系の調整機構
JP2002244059A (ja) * 2001-02-21 2002-08-28 Sumitomo Heavy Ind Ltd レーザビーム走査装置
JP3710754B2 (ja) * 2002-03-01 2005-10-26 株式会社東芝 表示装置
JP2005345719A (ja) * 2004-06-02 2005-12-15 Canon Inc 光走査装置及びそれを用いた画像形成装置
JP2007010804A (ja) * 2005-06-28 2007-01-18 Nidec Sankyo Corp 光ビーム走査装置
CN101375474A (zh) * 2005-07-12 2009-02-25 杰斯集团公司 用于大功率激光处理的系统和方法
US7672343B2 (en) * 2005-07-12 2010-03-02 Gsi Group Corporation System and method for high power laser processing
JP5073256B2 (ja) * 2006-09-22 2012-11-14 株式会社トプコン 位置測定装置及び位置測定方法及び位置測定プログラム
JP4935607B2 (ja) * 2007-09-28 2012-05-23 ブラザー工業株式会社 画像表示装置
JP5652124B2 (ja) 2009-12-28 2015-01-14 株式会社リコー 走査型画像表示装置、携帯電話、携帯型情報処理装置、携帯型撮影装置
WO2011152215A1 (ja) * 2010-06-02 2011-12-08 日本電気株式会社 光走査素子およびそれを用いた画像表示装置

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