JP7481099B2 - 光走査システムの製造方法、光走査装置の製造方法及びデータ取得方法 - Google Patents
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Description
[光走査システムの構成]
[光走査装置の構成]
[第1電流信号及び第2電流信号の生成方法]
[光走査システム及び光走査装置の作用及び効果]
[光走査システムの製造方法等]
[光走査システムの製造方法等の作用及び効果]
[変形例]
Claims (13)
- ミラー及び第1駆動用コイルが設けられた第1可動部、第2駆動用コイルが設けられ、X軸に沿った第1軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第1可動部を支持する第2可動部、並びに、前記X軸と交差するY軸に沿った第2軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第2可動部を支持する支持部を有するミラーデバイスと、
前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルに作用する磁場を発生させる磁石と、
前記ミラーデバイス及び前記磁石の使用温度を測定する温度センサと、
前記X軸を中心軸として第1目的振れ角及び第1目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第1電流信号を前記第1駆動用コイルに入力し、前記Y軸を中心軸として第2目的振れ角及び第2目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第2電流信号を前記第2駆動用コイルに入力する演算部と、
データを記憶する記憶部と、を備える光走査システムの製造方法であって、
前記ミラーデバイスと、前記磁石と、をそれぞれが備える複数の装置構造を組み立てる工程と、
前記複数の装置構造のそれぞれについて、前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルのそれぞれに入力される電流信号の周波数の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第1データ、並びに、前記第2駆動用コイルに電流信号を入力せずに前記第1駆動用コイルに電流信号を入力した場合に前記第1軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記Y軸からのずれ及び前記第1駆動用コイルに電流信号を入力せずに前記第2駆動用コイルに電流信号を入力した場合に前記第2軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記X軸からのずれの少なくとも一方を補正するための第2データを取得する工程と、
前記複数の装置構造のうちの少なくとも1つの装置構造について、前記使用温度の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第3データを取得する工程と、
前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第1データ及び前記第2データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第1データ及び前記第2データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存し、前記少なくとも1つの装置構造について取得された前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存する工程と、を備える、光走査システムの製造方法。 - 前記第3データを取得する前記工程においては、前記複数の装置構造のうちの代表の装置構造について前記第3データを取得し、
前記第1データ、前記第2データ及び前記第3データを保存する前記工程においては、前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第1データ及び前記第2データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第1データ及び前記第2データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存し、前記代表の装置構造について取得された前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存する、請求項1に記載の光走査システムの製造方法。 - 前記第3データを取得する前記工程においては、前記複数の装置構造のそれぞれについて前記第3データを取得し、
前記第1データ、前記第2データ及び前記第3データを保存する前記工程においては、前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第1データ、前記第2データ及び前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第1データ、前記第2データ及び前記第3データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存する、請求項1に記載の光走査システムの製造方法。 - 前記第1目的振れ角及び前記第1目的周波数、前記第2目的振れ角及び前記第2目的周波数、前記使用温度、並びに、前記記憶部によって記憶されている前記第1データ、前記第2データ及び前記第3データに基づいて、前記第1電流信号及び前記第2電流信号を生成するように、前記演算部を構成する工程を更に備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の光走査システムの製造方法。
- ミラー及び第1駆動用コイルが設けられた第1可動部、第2駆動用コイルが設けられ、X軸に沿った第1軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第1可動部を支持する第2可動部、並びに、前記X軸と交差するY軸に沿った第2軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第2可動部を支持する支持部を有するミラーデバイスと、
前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルに作用する磁場を発生させる磁石と、
前記X軸を中心軸として第1目的振れ角及び第1目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第1電流信号を前記第1駆動用コイルに入力し、前記Y軸を中心軸として第2目的振れ角及び第2目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第2電流信号を前記第2駆動用コイルに入力する演算装置と、
データを記憶する記憶装置と、を備える光走査装置の製造方法であって、
前記ミラーデバイスと、前記磁石と、をそれぞれが備える複数の装置構造を組み立てる工程と、
前記複数の装置構造のそれぞれについて、前記第2駆動用コイルに電流信号を入力せずに前記第1駆動用コイルに電流信号を入力した場合に前記第1軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記Y軸からのずれ及び前記第1駆動用コイルに電流信号を入力せずに前記第2駆動用コイルに電流信号を入力した場合に前記第2軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記X軸からのずれの少なくとも一方を補正するための第2データを取得する工程と、
前記複数の装置構造のうちの少なくとも1つの装置構造について、前記ミラーデバイス及び前記磁石の使用温度の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第3データを取得する工程と、
前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第2データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第2データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存し、前記少なくとも1つの装置構造について取得された前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存する工程と、を備える、光走査装置の製造方法。 - 前記第3データを取得する前記工程においては、前記複数の装置構造のうちの代表の装置構造について前記第3データを取得し、
前記第2データ及び前記第3データを保存する前記工程においては、前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第2データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第2データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存し、前記代表の装置構造について取得された前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存する、請求項5に記載の光走査装置の製造方法。 - 前記第3データを取得する前記工程においては、前記複数の装置構造のそれぞれについて前記第3データを取得し、
前記第2データ及び前記第3データを保存する前記工程においては、前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第2データ及び前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第2データ及び前記第3データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存する、請求項5に記載の光走査装置の製造方法。 - 前記複数の装置構造のそれぞれについて、前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルのそれぞれに入力される電流信号の周波数の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第1データを取得する工程と、
前記第1目的振れ角及び前記第1目的周波数と、前記第2目的振れ角及び前記第2目的周波数と、前記第1データと、に基づくデータを取得し、取得した前記データ及び前記使用温度、並びに、前記記憶装置によって記憶されている前記第2データ及び前記第3データに基づいて、前記第1電流信号及び前記第2電流信号を生成するように、前記演算装置を構成する工程と、を更に備える、請求項5~7のいずれか一項に記載の光走査装置の製造方法。 - 前記光走査装置は、前記使用温度を測定する温度センサを更に備える、請求項5~8のいずれか一項に記載の光走査装置の製造方法。
- ミラー及び第1駆動用コイルが設けられた第1可動部、第2駆動用コイルが設けられ、X軸に沿った第1軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第1可動部を支持する第2可動部、並びに、前記X軸と交差するY軸に沿った第2軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第2可動部を支持する支持部を有するミラーデバイスと、
前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルに作用する磁場を発生させる磁石と、
前記X軸を中心軸として第1目的振れ角及び第1目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第1電流信号を前記第1駆動用コイルに入力し、前記Y軸を中心軸として第2目的振れ角及び第2目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第2電流信号を前記第2駆動用コイルに入力する演算部と、を備える光走査システムにおいて、前記演算部が前記第1電流信号及び前記第2電流信号の生成に用いるデータを予め取得するためのデータ取得方法であって、
前記磁石に対する前記ミラーデバイスの位置を固定する工程と、
前記磁石に対する前記ミラーデバイスの位置が固定された状態で、前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルのそれぞれに入力される電流信号の周波数の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第1データ、並びに、前記第2駆動用コイルに電流信号を入力せずに前記第1駆動用コイルに電流信号を入力した場合に前記第1軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記Y軸からのずれ及び前記第1駆動用コイルに電流信号を入力せずに前記第2駆動用コイルに電流信号を入力した場合に前記第2軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記X軸からのずれの少なくとも一方を補正するための第2データを取得する工程と、を備える、データ取得方法。 - 前記磁石に対する前記ミラーデバイスの位置が固定された状態で、前記ミラーデバイス及び前記磁石の使用温度の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第3データを取得する工程を更に備える、請求項10に記載のデータ取得方法。
- ミラー及び第1駆動用コイルが設けられた第1可動部、第2駆動用コイルが設けられ、X軸に沿った第1軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第1可動部を支持する第2可動部、並びに、前記X軸と交差するY軸に沿った第2軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第2可動部を支持する支持部を有するミラーデバイスと、
前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルに作用する磁場を発生させる磁石と、
前記ミラーデバイス及び前記磁石の使用温度を測定する温度センサと、
前記X軸を中心軸として第1目的振れ角及び第1目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第1電流信号を前記第1駆動用コイルに入力し、前記Y軸を中心軸として第2目的振れ角及び第2目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第2電流信号を前記第2駆動用コイルに入力する演算部と、
データを記憶する記憶部と、を備える光走査システムの製造方法であって、
前記ミラーデバイスと、前記磁石と、をそれぞれが備える複数の装置構造を組み立てる工程と、
前記複数の装置構造のそれぞれについて、前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルのそれぞれに入力される電流信号の周波数の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第1データ、並びに、前記第1軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記Y軸からのずれ及び前記第2軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記X軸からのずれの少なくとも一方を補正するための第2データを取得する工程と、
前記複数の装置構造のうちの少なくとも1つの装置構造について、前記使用温度の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第3データを取得する工程と、
前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第1データ及び前記第2データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第1データ及び前記第2データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存し、前記少なくとも1つの装置構造について取得された前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存する工程と、を備え、
前記第3データを取得する前記工程においては、前記複数の装置構造のうちの代表の装置構造について前記第3データを取得し、
前記第1データ、前記第2データ及び前記第3データを保存する前記工程においては、前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第1データ及び前記第2データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第1データ及び前記第2データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存し、前記代表の装置構造について取得された前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査システムを構成する前記記憶部に保存する、光走査システムの製造方法。 - ミラー及び第1駆動用コイルが設けられた第1可動部、第2駆動用コイルが設けられ、X軸に沿った第1軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第1可動部を支持する第2可動部、並びに、前記X軸と交差するY軸に沿った第2軸を中心軸として前記ミラーが揺動可能となるように前記第2可動部を支持する支持部を有するミラーデバイスと、
前記第1駆動用コイル及び前記第2駆動用コイルに作用する磁場を発生させる磁石と、
前記X軸を中心軸として第1目的振れ角及び第1目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第1電流信号を前記第1駆動用コイルに入力し、前記Y軸を中心軸として第2目的振れ角及び第2目的周波数で前記ミラーを揺動させるための第2電流信号を前記第2駆動用コイルに入力する演算装置と、
データを記憶する記憶装置と、を備える光走査装置の製造方法であって、
前記ミラーデバイスと、前記磁石と、をそれぞれが備える複数の装置構造を組み立てる工程と、
前記複数の装置構造のそれぞれについて、前記第1軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記Y軸からのずれ及び前記第2軸を中心軸として揺動する前記ミラーの前記X軸からのずれの少なくとも一方を補正するための第2データを取得する工程と、
前記複数の装置構造のうちの少なくとも1つの装置構造について、前記ミラーデバイス及び前記磁石の使用温度の変化に対する前記ミラーの振れ角の変化を補正するための第3データを取得する工程と、
前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第2データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第2データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存し、前記少なくとも1つの装置構造について取得された前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存する工程と、を備え、
前記第3データを取得する前記工程においては、前記複数の装置構造のうちの代表の装置構造について前記第3データを取得し、
前記第2データ及び前記第3データを保存する前記工程においては、前記複数の装置構造のそれぞれについて取得された前記第2データを、前記複数の装置構造のそれぞれと前記第2データとの対応関係が保持された状態で、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存し、前記代表の装置構造について取得された前記第3データを、前記複数の装置構造のそれぞれと共に前記光走査装置を構成する前記記憶装置に保存する、光走査装置の製造方法。
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