JP2012182435A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012182435A5 JP2012182435A5 JP2012000680A JP2012000680A JP2012182435A5 JP 2012182435 A5 JP2012182435 A5 JP 2012182435A5 JP 2012000680 A JP2012000680 A JP 2012000680A JP 2012000680 A JP2012000680 A JP 2012000680A JP 2012182435 A5 JP2012182435 A5 JP 2012182435A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plane
- photoelectric conversion
- insulating layer
- optical path
- conversion element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 46
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 20
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N Silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 4
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 claims 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012000680A JP5888985B2 (ja) | 2011-02-09 | 2012-01-05 | 光電変換素子、およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
EP20120152231 EP2487717B1 (fr) | 2011-02-09 | 2012-01-24 | ÉLÉMENT DE CONVERSION PHOTOÉLECTRIQUE, appareil de conversion photoélectrique et système de détection d'image |
US13/363,930 US8773558B2 (en) | 2011-02-09 | 2012-02-01 | Photoelectric conversion element, and photoelectric conversion apparatus and image sensing system |
BR102012002806A BR102012002806B1 (pt) | 2011-02-09 | 2012-02-07 | elemento de conversão fotoelétrica, aparelho de conversão fotoelétrica, e, sistema sensor de imagem |
RU2012104520/28A RU2497234C2 (ru) | 2011-02-09 | 2012-02-08 | Фотоэлектрический преобразующий элемент, фотоэлектрическое преобразующее устройство и система для считывания изображений |
KR20120012763A KR101407909B1 (ko) | 2011-02-09 | 2012-02-08 | 광전 변환 소자, 광전 변환 장치 및 촬상 시스템 |
CN201210028220.6A CN102637710B (zh) | 2011-02-09 | 2012-02-09 | 光电转换元件、光电转换装置和图像感测系统 |
US14/274,529 US9140603B2 (en) | 2011-02-09 | 2014-05-09 | Photoelectric conversion element, and photoelectric conversion apparatus and image sensing system |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011026344 | 2011-02-09 | ||
JP2011026344 | 2011-02-09 | ||
JP2012000680A JP5888985B2 (ja) | 2011-02-09 | 2012-01-05 | 光電変換素子、およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012182435A JP2012182435A (ja) | 2012-09-20 |
JP2012182435A5 true JP2012182435A5 (fr) | 2015-02-26 |
JP5888985B2 JP5888985B2 (ja) | 2016-03-22 |
Family
ID=47013343
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012000681A Active JP5274678B2 (ja) | 2011-02-09 | 2012-01-05 | 光電変換素子、およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
JP2012000680A Active JP5888985B2 (ja) | 2011-02-09 | 2012-01-05 | 光電変換素子、およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
JP2013104178A Active JP5968261B2 (ja) | 2011-02-09 | 2013-05-16 | 光電変換素子、およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012000681A Active JP5274678B2 (ja) | 2011-02-09 | 2012-01-05 | 光電変換素子、およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013104178A Active JP5968261B2 (ja) | 2011-02-09 | 2013-05-16 | 光電変換素子、およびこれを用いた光電変換装置、撮像システム |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP5274678B2 (fr) |
BR (1) | BR102012002806B1 (fr) |
RU (1) | RU2497234C2 (fr) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6120094B2 (ja) | 2013-07-05 | 2017-04-26 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
JP6444066B2 (ja) * | 2014-06-02 | 2018-12-26 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置および撮像システム |
JP6425427B2 (ja) * | 2014-06-16 | 2018-11-21 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置およびその製造方法、撮像システム |
KR102356695B1 (ko) * | 2014-08-18 | 2022-01-26 | 삼성전자주식회사 | 광 유도 부재를 가지는 이미지 센서 |
KR20160088821A (ko) * | 2015-01-16 | 2016-07-26 | 퍼스널 제노믹스 타이완, 아이엔씨. | 광-가이딩 피쳐를 갖는 광학 센서 그 제조 방법 |
JP2017069553A (ja) | 2015-09-30 | 2017-04-06 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置、その製造方法及びカメラ |
JP6711692B2 (ja) * | 2016-05-24 | 2020-06-17 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び画像読み取り装置 |
JP6895724B2 (ja) * | 2016-09-06 | 2021-06-30 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
JP6929057B2 (ja) | 2016-12-27 | 2021-09-01 | キヤノン株式会社 | 光電変換素子、撮像システム |
JP6905191B2 (ja) * | 2017-09-14 | 2021-07-21 | 日本電信電話株式会社 | レンズ及び複眼レンズ |
RU2688863C1 (ru) * | 2018-07-11 | 2019-05-22 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова" (КБГУ) | Способ изготовления полупроводникового прибора |
RU2694160C1 (ru) * | 2018-11-29 | 2019-07-09 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Чеченский государственный университет" | Способ изготовления полупроводникового прибора |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2833941B2 (ja) * | 1992-10-09 | 1998-12-09 | 三菱電機株式会社 | 固体撮像装置とその製造方法 |
JP3620237B2 (ja) * | 1997-09-29 | 2005-02-16 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子 |
JP3672085B2 (ja) * | 2000-10-11 | 2005-07-13 | シャープ株式会社 | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2004133446A (ja) * | 2002-09-20 | 2004-04-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光モジュール及び製造方法 |
JP4427949B2 (ja) * | 2002-12-13 | 2010-03-10 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2004221487A (ja) * | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Sharp Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
KR100689885B1 (ko) * | 2004-05-17 | 2007-03-09 | 삼성전자주식회사 | 광감도 및 주변광량비 개선을 위한 cmos 이미지 센서및 그 제조방법 |
JP2006191000A (ja) * | 2004-12-08 | 2006-07-20 | Canon Inc | 光電変換装置 |
US8013409B2 (en) * | 2005-09-27 | 2011-09-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Photoelectric conversion device and fabrication method therefor |
JP2007305690A (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置用素子及びその製造方法 |
JP2008103633A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子 |
JP2008166677A (ja) * | 2006-12-08 | 2008-07-17 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法並びにカメラ |
JP5065691B2 (ja) * | 2007-01-16 | 2012-11-07 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像装置 |
JP2008192951A (ja) * | 2007-02-07 | 2008-08-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP4705067B2 (ja) * | 2007-04-10 | 2011-06-22 | 日本電信電話株式会社 | 三次元交差導波路 |
JP5055033B2 (ja) * | 2007-06-14 | 2012-10-24 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子 |
JP2010123745A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Sony Corp | 固体撮像装置、カメラ |
JP4730429B2 (ja) * | 2008-12-03 | 2011-07-20 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、および、その製造方法、カメラ |
JP2010182765A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Sony Corp | 固体撮像装置および電子機器 |
JP5504695B2 (ja) * | 2009-05-29 | 2014-05-28 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法および電子機器 |
JP2010287636A (ja) * | 2009-06-09 | 2010-12-24 | Panasonic Corp | 固体撮像素子及びその製造方法 |
JP2011023409A (ja) * | 2009-07-13 | 2011-02-03 | Panasonic Corp | 固体撮像装置 |
JP2011023481A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Panasonic Corp | 固体撮像装置及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-01-05 JP JP2012000681A patent/JP5274678B2/ja active Active
- 2012-01-05 JP JP2012000680A patent/JP5888985B2/ja active Active
- 2012-02-07 BR BR102012002806A patent/BR102012002806B1/pt active IP Right Grant
- 2012-02-08 RU RU2012104520/28A patent/RU2497234C2/ru active
-
2013
- 2013-05-16 JP JP2013104178A patent/JP5968261B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012182435A5 (fr) | ||
JP2013165297A5 (fr) | ||
JP6173259B2 (ja) | 光電変換装置および撮像システム | |
JP5651746B2 (ja) | イメージセンシング装置 | |
JP2013089880A5 (fr) | ||
JP5372102B2 (ja) | 光電変換装置および撮像システム | |
JP2011233862A5 (fr) | ||
KR102276434B1 (ko) | 색분리 소자를 포함하는 이미지 센서 및 상기 이미지 센서를 포함하는 촬상 장치 | |
US20140339615A1 (en) | Bsi cmos image sensor | |
JP6196911B2 (ja) | 固体撮像装置および撮像装置 | |
JP2013175494A5 (fr) | ||
RU2011113183A (ru) | Твердотельный датчик изображения и система формирования изображения | |
JP2010009025A5 (fr) | ||
RU2012104520A (ru) | Фотоэлектрический преобразующий элемент, фотоэлектрическое преобразующее устройство и система для считывания изображений | |
JP2014022561A5 (fr) | ||
JP2012182430A5 (fr) | ||
JP2013065831A5 (fr) | ||
JP2006229206A5 (fr) | ||
JP2012114882A5 (ja) | 固体撮像素子及びカメラ | |
JP2007219515A5 (fr) | ||
JP2012182432A5 (fr) | ||
JP2013247246A5 (fr) | ||
US20170221956A1 (en) | Solid-state imaging device and imaging apparatus | |
JP6600246B2 (ja) | 撮像装置及びカメラ | |
JP6425427B2 (ja) | 光電変換装置およびその製造方法、撮像システム |