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Families Citing this family (75)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5293668B2 (ja) * 2010-03-30 2013-09-18 パナソニック株式会社 光学反射素子
WO2011161943A1 (ja) * 2010-06-24 2011-12-29 パナソニック株式会社 光学反射素子
WO2013111265A1 (ja) * 2012-01-24 2013-08-01 パイオニア株式会社 アクチュエータ
JP6051412B2 (ja) * 2012-01-31 2016-12-27 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 圧電アクチュエータデバイスとその製造方法
US9778549B2 (en) * 2012-05-07 2017-10-03 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Optical element
WO2015136830A1 (ja) 2014-03-13 2015-09-17 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 光学デバイスおよびその製造方法
JP6049364B2 (ja) * 2012-09-11 2016-12-21 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP5934615B2 (ja) * 2012-09-11 2016-06-15 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP6052100B2 (ja) * 2012-09-27 2016-12-27 ミツミ電機株式会社 圧電アクチュエータ及び光走査装置
JP2014126725A (ja) * 2012-12-27 2014-07-07 Funai Electric Co Ltd 走査ミラー装置
US9876418B2 (en) 2013-02-08 2018-01-23 Pioneer Corporation Actuator
JP5873836B2 (ja) 2013-05-31 2016-03-01 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 光偏向器、その製造方法及び光走査装置
WO2015004710A1 (ja) * 2013-07-08 2015-01-15 パイオニア株式会社 アクチュエータ
JP6261923B2 (ja) * 2013-09-17 2018-01-17 スタンレー電気株式会社 光偏向ミラー及びこれを用いた光偏向器
JP6289957B2 (ja) * 2014-03-25 2018-03-07 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP6451078B2 (ja) * 2014-05-13 2019-01-16 株式会社デンソー 光走査装置
JP6287584B2 (ja) * 2014-05-27 2018-03-07 株式会社Ｊｖｃケンウッド Ｍｅｍｓ光スキャナ
JP6424477B2 (ja) * 2014-06-05 2018-11-21 株式会社豊田中央研究所 Ｍｅｍｓ装置
JP6459422B2 (ja) 2014-11-17 2019-01-30 株式会社リコー 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ及びレーザレーダ
JP6516516B2 (ja) * 2015-03-16 2019-05-22 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP6390508B2 (ja) * 2015-05-07 2018-09-19 株式会社デンソー 光走査装置
DE102015209030B4 (de) * 2015-05-18 2023-06-07 Robert Bosch Gmbh Mikromechanische Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen einer mikromechanischen Vorrichtung
US20180210190A1 (en) * 2015-07-27 2018-07-26 Kyocera Corporation Mirror device
DE102015216811B4 (de) * 2015-09-02 2023-06-29 Robert Bosch Gmbh Schwenkvorrichtung für einen Mikrospiegel
JP2017116842A (ja) * 2015-12-25 2017-06-29 株式会社リコー 光偏向器及び画像投影装置
ITUA20162170A1 (it) * 2016-03-31 2017-10-01 St Microelectronics Srl Dispositivo mems oscillante intorno a due assi e dotato di un sistema di rilevamento di posizione, in particolare di tipo piezoresistivo
TWI638419B (zh) * 2016-04-18 2018-10-11 村田製作所股份有限公司 一種掃描鏡設備與其製造方法
JP2016186660A (ja) * 2016-07-19 2016-10-27 パイオニア株式会社 アクチュエータ
JP6880385B2 (ja) * 2016-09-28 2021-06-02 ミツミ電機株式会社 光走査装置
JP6788186B2 (ja) * 2016-09-29 2020-11-25 ミツミ電機株式会社 光走査装置及び光走査装置の製造方法
JP6814076B2 (ja) * 2017-03-14 2021-01-13 浜松ホトニクス株式会社 光モジュール
JP6974696B2 (ja) * 2017-04-28 2021-12-01 ミツミ電機株式会社 光走査装置
TWI869723B (zh) 2017-07-06 2025-01-11 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司 光學裝置
US11733509B2 (en) 2017-07-06 2023-08-22 Hamamatsu Photonics K.K. Optical device
CN110799882A (zh) 2017-07-06 2020-02-14 浜松光子学株式会社 光学器件
TWI822686B (zh) 2017-07-06 2023-11-21 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司 光學裝置
JP7112876B2 (ja) 2017-07-06 2022-08-04 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス
JP6514804B1 (ja) 2017-07-06 2019-05-15 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス
WO2019009393A1 (ja) 2017-07-06 2019-01-10 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス及びその製造方法
WO2019031420A1 (ja) * 2017-08-10 2019-02-14 浜松ホトニクス株式会社 ミラー装置
CN111344622A (zh) * 2017-11-15 2020-06-26 浜松光子学株式会社 光学器件的制造方法
JP6753449B2 (ja) * 2017-11-24 2020-09-09 株式会社村田製作所 走査反射器システム
JP6585147B2 (ja) 2017-12-01 2019-10-02 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータ装置
KR20200095458A (ko) * 2017-12-01 2020-08-10 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 액추에이터 장치
JP6959525B2 (ja) * 2017-12-21 2021-11-02 ミツミ電機株式会社 光走査装置
US11635615B2 (en) * 2017-12-21 2023-04-25 Mitsumi Electric Co., Ltd. Actuator, optical scanning device, and manufacturing methods
JP7053296B2 (ja) * 2018-02-09 2022-04-12 スタンレー電気株式会社 ２次元光偏向器
JP7132481B2 (ja) * 2018-02-23 2022-09-07 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及び光走査装置
JP7089157B2 (ja) * 2018-03-02 2022-06-22 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及び光走査装置
JP7121258B2 (ja) * 2018-03-14 2022-08-18 ミツミ電機株式会社 光走査装置
JP7181448B2 (ja) * 2018-03-30 2022-12-01 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及び光走査装置
JP7021435B2 (ja) * 2018-04-18 2022-02-17 ミツミ電機株式会社 ミラー駆動装置、光走査制御装置及びミラー駆動方法
JP6591135B1 (ja) 2018-05-11 2019-10-16 浜松ホトニクス株式会社 光学デバイス
EP3792678B1 (en) * 2018-05-11 2024-07-17 Hamamatsu Photonics K.K. Optical device
CN112204450B (zh) 2018-06-12 2022-03-29 奥林巴斯株式会社 光偏转器
JP6652163B2 (ja) * 2018-08-09 2020-02-19 株式会社リコー Ｍｅｍｓミラー、ｍｅｍｓスキャナ、ヘッドアップディスプレイ、及び車両
US10858243B2 (en) 2018-08-13 2020-12-08 Microsoft Technology Licensing, Llc Backside reinforcement structure design for mirror flatness
WO2020045152A1 (ja) * 2018-08-31 2020-03-05 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 光学反射素子
JP7193719B2 (ja) * 2018-12-21 2022-12-21 ミツミ電機株式会社 光走査装置
JP7227464B2 (ja) * 2018-12-27 2023-02-22 ミツミ電機株式会社 光走査装置
US11204493B2 (en) 2019-03-07 2021-12-21 Microsoft Technology Licensing, Llc Display device having scanning mirror system
US11175491B2 (en) * 2019-04-25 2021-11-16 Microsoft Technology Licensing, Llc Non-resonant microelectromechanical systems scanner with piezoelectric actuators
JP7363177B2 (ja) * 2019-08-07 2023-10-18 株式会社リコー 光偏向器、光走査システム、画像投影装置、画像形成装置、レーザレーダ
JP7563091B2 (ja) * 2019-11-27 2024-10-08 株式会社リコー 光偏向器、偏向装置、物体認識装置、画像投影装置、及び移動体
JP2021189366A (ja) * 2020-06-03 2021-12-13 船井電機株式会社 振動素子
JP7455976B2 (ja) 2020-07-16 2024-03-26 富士フイルム株式会社 光走査装置、及びマイクロミラーデバイスの駆動方法
US11747611B2 (en) 2020-12-16 2023-09-05 Stmicroelectronics (Research & Development) Limited Compact line scan mems time of flight system with actuated lens
US12164103B2 (en) 2020-12-16 2024-12-10 STMicroelectronics (Research &Develoment) Limited Compact line scan MEMS time of flight system with actuated lens
JP7587994B2 (ja) * 2021-01-28 2024-11-21 浜松ホトニクス株式会社 アクチュエータデバイスの製造方法
CN112698506B (zh) * 2021-03-22 2021-06-29 深圳市火乐科技发展有限公司 振镜及投影仪
CN115469447B (zh) * 2021-06-10 2025-05-30 西安知微传感技术有限公司 多折扭转梁及包括该多折扭转梁的非线性减弱的mems扭转镜
JPWO2023105892A1 (cg-RX-API-DMAC7.html) * 2021-12-08 2023-06-15
WO2023190068A1 (ja) * 2022-03-29 2023-10-05 京セラ株式会社 電磁波偏向装置及び電磁波走査装置
US20230384581A1 (en) * 2022-05-26 2023-11-30 Microsoft Technology Licensing, Llc Piezoelectrically-actuated resonant scanning mirror
JP2024060686A (ja) * 2022-10-20 2024-05-07 スタンレー電気株式会社 光偏向器

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001249300A (ja) * 2000-03-06 2001-09-14 Anritsu Corp 光スキャナ
JP2001264672A (ja) 2000-03-15 2001-09-26 Olympus Optical Co Ltd 光偏光素子および光偏光素子の製造方法
KR100486716B1 (ko) * 2002-10-18 2005-05-03 삼성전자주식회사 2-ｄ 액튜에이터 및 그 제조방법
JP2004325578A (ja) * 2003-04-22 2004-11-18 Fujitsu Ltd 偏向ミラー
CN2639915Y (zh) * 2003-09-12 2004-09-08 清华大学 一种mems扫描微镜
JP4416117B2 (ja) * 2004-04-19 2010-02-17 株式会社リコー 偏向ミラー、光走査装置及び画像形成装置
CN100367070C (zh) * 2004-08-24 2008-02-06 先进纽微系统公司 具有分散铰链和多个支撑附件的微机电系统扫描镜
CN100451725C (zh) * 2005-01-05 2009-01-14 日本电信电话株式会社 反射镜器件、反射镜阵列、光开关及其制造方法
CA2536722A1 (en) * 2005-02-16 2006-08-16 Jds Uniphase Inc. Articulated mems structures
KR100813257B1 (ko) * 2006-07-04 2008-03-13 삼성전자주식회사 스캔 장치 및 그 방법
JP5098254B2 (ja) * 2006-08-29 2012-12-12 富士通株式会社 マイクロ揺動素子
JP5252687B2 (ja) * 2008-01-18 2013-07-31 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP5168659B2 (ja) * 2008-11-27 2013-03-21 株式会社リコー 可動板構造体及び光走査装置
JP5444968B2 (ja) * 2009-05-11 2014-03-19 ミツミ電機株式会社 アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置

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