JP2012079800A - 分割方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の分割方法は、表面に発光層412が積層されたサファイアウェーハWの裏面Wbに分割予定ラインに沿う切削溝401を形成する切削溝形成工程と、サファイアウェーハWの内部に分割予定ラインに沿う改質層402を形成する改質層形成工程と、改質層402を起点としてサファイアウェーハWを個々の発光デバイス411に分割し、各発光デバイス411の裏面側の角部を切削溝形成工程で形成された切削溝401によって面取りされた状態とする分割工程とを有する構成とした。
【選択図】図5
Description
(位置情報)
サファイアウェーハの厚みa:100[μm]
サファイアウェーハの裏面からの切り込み量b:10[μm]
切削溝の平坦面から改質層までの間隔c:5〜10[μm]
改質層の寸法d:20〜25[μm]
サファイアウェーハの裏面からの集光位置e:40[μm]
(切削加工条件)
ブレードの種類:ダイヤモンド砥粒を使用したニッケルメッキブレード
砥粒の粒径:2000番
ブレード回転数:20000[rpm]
加工送り速度:100[mm/s]
(レーザー加工条件)
波長:1064波長[nm]
繰り返し周波数:100[kHz]
出力:0.3[W]
加工送り速度:400[mm/s]
103 チャックテーブル
111 切削ブレード
131 環状フレーム
132 ダイシングテープ
201 レーザー加工装置
206 レーザー加工ユニット
208 チャックテーブル
301 テープ拡張装置
311 環状テーブル
321 拡張ドラム
401 切削溝
401a 平坦面
401b 曲面
402 改質層
403 予備溝
411 発光デバイス
412 発光層
413 サファイア層
Wa 表面
Wb 裏面
W サファイアウェーハ
Claims (3)
- 分割予定ラインによって区画された領域の表面側に発光層が形成されたサファイアウェーハを前記分割予定ラインに沿って分割する分割方法であって、
前記サファイアウェーハの裏面側から前記分割予定ラインに沿ってサファイアを透過する波長のレーザービームを照射することによって前記分割予定ラインに沿って改質層を形成する改質層形成工程と、
前記サファイアウェーハの裏面側から切削ブレードによって切削することによって前記分割予定ラインに沿って切削溝を形成して面取り加工を施す切削溝形成工程と、
前記改質層形成工程及び前記切削溝形成工程の後に前記改質層及び前記切削溝の頂点を起点として前記分割予定ラインに沿って前記サファイアウェーハを分割する分割工程と、を含むことを特徴とする分割方法。 - 前記切削溝形成工程の前に、
レーザービームを照射してアブレーション加工を施すことによって前記サファイアウェーハの裏面側から前記分割予定ラインに沿って予備溝を形成する予備溝形成工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の分割方法。 - 前記切削溝形成工程によって前記切削溝を形成した後に、
前記改質層形成工程によって前記改質層を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の分割方法。
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