JP2008290102A - レーザー加工方法、および、それを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のレーザー加工方法では、保護基材装着工程において、レーザー光線3のエネルギーに対して耐加工性を有する保護基材5を、レーザー光線3のエネルギーに対して耐加工性のない粘着剤4を介して被加工物1の加工面1aに装着し、レーザー光線照射工程において、加工面1aにレーザー光線3を照射して被加工物1を加工するときに、粘着剤4に、被加工物1から発生するレーザー反応物質7を捕らえるための空隙100を、レーザー光線3のエネルギーによって形成する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明に係るレーザー加工方法によって被加工物が加工される場合の各工程の様子を示す図である。以下では、図1を参照して、本発明に係るレーザー加工方法について詳細に説明する。
以下では、図2、および、図3を参照して、図1に示すレーザー加工方法を用いた半導体装置の製造方法について説明する。
被加工物にレーザー光線を照射する手段に対して、被加工物の加工面に粘着剤を介してレーザー光線のエネルギーに対して、耐加工性を有する保護基材を具備し、上記保護テープと被加工物をレーザー光線に対して相対的に移動して、被加工物の加工面にレーザー光線のエネルギーによって、レーザー加工物を形成するレーザー照射工程と、レーザー照射工程終了後、上記保護テープを剥離する保護テープ剥離工程を含むことを特徴とするレーザー加工方法。
半導体ウェハの回路形成面に、粘着剤を介して保護基材を具備した保護テープ貼付工程と、半導体ウェハの回路形成面とは反対の面を研削または研磨する研磨工程と、上記工程で形成された研削面に接着剤を介して基材を具備するマウント工程と、半導体ウェハの回路形成面をレーザー光線に対して相対的に移動して、半導体ウェハの回路形成面にレーザー光線のエネルギーによって、レーザー加工物を形成するレーザー照射工程と、上記レーザー光線に対して耐加工性を有する上記保護基材であって、レーザー照射工程終了後、上記保護テープを剥離する保護テープ剥離工程と、保護テープ貼付工程からレーザー照射工程終了後まで、一貫して上記保護テープを具備していることを特徴とする半導体装置の製造方法。
レーザー光線は、波長355nmである第1の構成、または、第2の構成に記載の加工方法。
保護基材は、樹脂であり、レーザー光線に対して、耐加工性または透過を有する第1の構成、または、第2の構成に記載の加工方法。
保護基材は、ポリオレフィン系、または、ポリエチレンテレフタレート系、または、ポリエステル系である第4の構成に記載の加工方法。
保護基材は、ガラスであり、レーザー光線に対して、耐加工性または透過を有する第1の構成、または、第2の構成に記載の加工方法。
粘着剤は、樹脂である第1の構成、または、第2の構成に記載の加工方法。
粘着剤は、アクリル系樹脂、または、紫外線硬化型樹脂、または、熱硬化型樹脂である第7の構成に記載の加工方法。
1a 上面
2 集積回路
3 レーザー光線
4 粘着剤
5 保護基材
6 ストリート
7 レーザー反応物質
8 集光器
8a 対物集光レンズ
9 保護テープ
10 半導体ウェハ
10a 上面
10b 裏面
10c 研削面
11 砥石
12 ダイシングテープ
13 環状フレーム
14 ブレード
100 空隙
Claims (10)
- レーザー光線のエネルギーに対して耐加工性を有する保護基材を、上記レーザー光線のエネルギーに対して耐加工性のない粘着剤を介して被加工物の加工面に装着する保護基材装着工程と、
上記保護基材装着工程によって上記保護基材が装着された状態において、上記加工面に上記レーザー光線を照射して上記被加工物を加工するレーザー光線照射工程とを含んでいることを特徴とするレーザー加工方法。 - 上記保護基材は、上記レーザー光線のエネルギーに対して耐加工性を有する樹脂であることを特徴とする請求項1に記載のレーザー加工方法。
- 上記樹脂は、ポリオレフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレート系樹脂、または、ポリエステル系樹脂であることを特徴とする請求項2に記載のレーザー加工方法。
- 上記保護基材は、上記レーザー光線のエネルギーに対して耐加工性を有するガラスであることを特徴とする請求項1に記載のレーザー加工方法。
- 上記粘着剤は、上記レーザー光線のエネルギーに対して耐加工性のない樹脂であることを特徴とする請求項1に記載のレーザー加工方法。
- 上記樹脂は、アクリル系樹脂、紫外線硬化型樹脂、または、熱硬化型樹脂であることを特徴とする請求項5に記載のレーザー加工方法。
- 上記レーザー光線の波長は、280nm〜400nmであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のレーザー加工方法。
- 上記レーザー光線は、YVO4レーザーであることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のレーザー加工方法。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載のレーザー加工方法を用いて上記被加工物としての半導体ウェハを加工することによって、当該半導体ウェハから半導体装置を製造する製造工程を含んでいることを特徴とする、半導体装置の製造方法。
- 上記半導体ウェハの回路形成面とは反対の面を研削、または、研磨する研削研磨工程と、
上記研削研磨工程の前に、上記回路形成面に、上記粘着剤を介して上記保護基材を装着する保護基材装着工程とをさらに含んでいることを特徴とする請求項9に記載の半導体装置の製造方法。
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