JP2004179302A - 半導体ウエーハの分割方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 146
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 25
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 7
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 5
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 claims description 4
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 102
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 229910009372 YVO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910020177 SiOF Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K2101/00—Articles made by soldering, welding or cutting
- B23K2101/36—Electric or electronic devices
- B23K2101/40—Semiconductor devices
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
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Abstract
【課題】半導体ウエーハの内部に集光点を合わせて赤外光レーザー光線を照射することにより、所定の内部に確実に変質層を形成することができる半導体ウエーハの分割方法を提供する。
【解決手段】半導体ウエーハの分割方法は、半導体ウエーハの加工面を鏡面加工する鏡面加工工程と、該鏡面加工された加工面を通して内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程とを含む。
【選択図】 図5
【解決手段】半導体ウエーハの分割方法は、半導体ウエーハの加工面を鏡面加工する鏡面加工工程と、該鏡面加工された加工面を通して内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程とを含む。
【選択図】 図5
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物の所定の領域にレーザービームを照射して所定の加工を施すレーザー加工方法に関する。
【0002】
当業者には周知の如く、半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリート(切断ライン)によって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等の回路を形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによって回路が形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。半導体ウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、被加工物である半導体ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された半導体ウエーハを切削するための切断手段と、チャックテーブルと切断手段とを相対的に移動せしめる移動手段とを具備している。切断手段は、高速回転せしめられる回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードを含んでいる。切削ブレードは円盤状の基台と該基台の側面外周部に装着された環状の切れ刃からなっており、切れ刃は例えば粒径3μm程度のダイヤモンド砥粒を電鋳によって基台に固定し厚さ20μm程度に形成されている。このような切削ブレードによって半導体ウエーハを切削すると、切断された半導体チップの切断面に欠けやクラックが発生するため、この欠けやクラックの影響を見込んでストリートの幅は50μm程度に形成されている。しかるに、半導体チップのサイズが小型化されると、半導体チップに占めるストリートの割合が大きくなり、生産性が低下する原因となる。また、切削ブレードによる切削においては、送り速度に限界があるとともに、切削屑の発生により半導体チップが汚染されるという問題がある。
【0003】
一方、近年被加工物を分割する方法として、分割すべき領域の内部に集光点を合わせて赤外光領域(例えば、1064nm)のレーザー光線を照射するレーザー加工方法も試みられている。このレーザー加工方法を用いた分割方法は、被加工物の内部に集光点を合わせて赤外光領域のレーザー光線を照射し、被加工物の内部にストリートに沿って変質層を連続的に形成することにより、被加工物を分割するものである。(例えば、特許文献1参照。)
【0004】
【特許文献1】
特開平2002−192367号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
而して、シリコン等で形成された半導体ウエーハにおいては、本発明者の実験によると、内部に集光点を合わせて赤外光レーザー光線を照射した場合、赤外光レーザー光線を照射する面の表面粗さが粗いと表面で乱反射して所定の集光点にレーザー光線が達せず、内部に所定の変質層を形成することができないことが判った。
また、近時においては、IC、LSI等の回路をより微細に形成するために、シリコンウエーハの如き半導体ウエーハ本体の表面にSiOF、BSG(SiOB)等の無機物系の膜やポリイミド系、パリレン系等のポリマー膜である有機物系の膜からなる低誘電率絶縁体(Low−k膜)を積層せしめた形態の半導体ウエーハや、テスト エレメント グループ(Teg)と称する金属パターンが施された半導体ウエーハが実用化されているが、これらの半導体ウエーハは内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射しただけでは分割することができない。
【0006】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、第1の技術的課題は、半導体ウエーハの内部に集光点を合わせて赤外光レーザー光線を照射することにより、所定の内部に確実に変質層を形成することができる半導体ウエーハの分割方法を提供することである。
また、第2の技術的課題は、表面に低誘電率絶縁体(Low−k膜)や金属パターンが施された半導体ウエーハであってもレーザー光線を照射することにより個々の半導体チップに分割することができる半導体ウエーハの分割方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの加工面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された加工面を通して内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法が提供される。
【0008】
また、本発明によれば、表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの裏面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された半導体ウエーハの裏面を通して内部に集光点を合わせ該ストリートに沿ってレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法が提供される。
【0009】
更に本発明においては、表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの裏面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された半導体ウエーハの裏面を通して内部に集光点を合わせ該ストリートに沿ってレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、
半導体ウエーハの表面に該ストリートに沿ってレーザー光線を照射してグルービングラインを形成するグルービングライン形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法が提供される。
【0010】
上記鏡面加工工程において鏡面加工される面は、JIS B0601 で規定する表面粗さ(Ra)が0.05μm以下、好ましくは0.02μm以下に設定される。
上記変質層形成工程において照射するレーザー光線は赤外レーザー光線に設定されており、上記グルービングライン形成工程において照射するレーザー光線は紫外レーザー光線に設定されている。また、上記変質層形成工程は、複数回実施し半導体ウエーハの厚さ方向に複数の変質層を形成する。
本発明の他の特徴については、以下の説明により明らかにされる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による半導体ウエーハの分割方法について添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【0012】
図1には、本発明による半導体ウエーハの分割方法において半導体ウエーハにレーザー光線を照射するレーザー加工装置の斜視図が示されている。図1に示されたレーザー加工装置は、静止基台2と、該静止基台2に矢印Xで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、静止基台2に上記矢印Xで示す方向と直角な矢印Yで示す方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット支持機構4と、該レーザー光線ユニット支持機構4に矢印Zで示す方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット5とを具備している。
【0013】
上記チャックテーブル機構3は、静止基台2上に矢印Xで示す方向に沿って平行に配設された一対の案内レール31、31と、該案内レール31、31上に矢印Xで示す方向に移動可能に配設された第一の滑動ブロック32と、該第1の滑動ブロック32上に矢印Yで示す方向に移動可能に配設された第2の滑動ブロック33と、該第2の滑動ブロック33上に円筒部材34によって支持された支持テーブル35と、被加工物保持手段としてのチャックテーブル36を具備している。このチャックテーブル36は多孔性材料から形成された吸着チャック361を具備しており、吸着チャック361上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。また、チャックテーブル36は、円筒部材34内に配設された図示しないパルスモータによって回転せしめられる。
【0014】
上記第1の滑動ブロック32は、その下面に上記一対の案内レール31、31と嵌合する一対の被案内溝321、321が設けられているとともに、その上面に矢印Yで示す方向に沿って平行に形成された一対の案内レール322、322が設けられている。このように構成された第1の滑動ブロック32は、被案内溝321、321が一対の案内レール31、31に嵌合することにより、一対の案内レール31、31に沿って矢印Xで示す方向に移動可能に構成される。図示の実施形態におけるチャックテーブル機構3は、第1の滑動ブロック32を一対の案内レール31、31に沿って矢印Xで示す方向に移動させるための移動手段37を具備している。移動手段37は、上記一対の案内レール31と31の間に平行に配設された雄ネジロッド371と、該雄ネジロッド371を回転駆動するためのパルスモータ372等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド371は、その一端が上記静止基台2に固定された軸受ブロック373に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ372の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド371は、第1の滑動ブロック32の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモータ372によって雄ネジロッド371を正転および逆転駆動することにより、第一の滑動ブロック32は案内レール31、31に沿って矢印Xで示す方向に移動せしめられる。
【0015】
上記第2の滑動ブロック33は、その下面に上記第1の滑動ブロック32の上面に設けられた一対の案内レール322、322と嵌合する一対の被案内溝331、331が設けられており、この被案内溝331、331を一対の案内レール322、322に嵌合することにより、矢印Yで示す方向に移動可能に構成される。図示の実施形態におけるチャックテーブル機構3は、第2の滑動ブロック33を第1の滑動ブロック32に設けられた一対の案内レール322、322に沿って矢印Yで示す方向に移動させるための移動手段38を具備している。移動手段38は、上記一対の案内レール322と322の間に平行に配設された雄ネジロッド381と、該雄ネジロッド381を回転駆動するためのパルスモータ382等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド381は、その一端が上記第1の滑動ブロック32の上面に固定された軸受ブロック383に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ382の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド381は、第2の滑動ブロック33の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモータ382によって雄ネジロッド381を正転および逆転駆動することにより、第2の滑動ブロック33は案内レール322、322に沿って矢印Xで示す方向に移動せしめられる。
【0016】
上記レーザー光線照射ユニット支持機構4は、静止基台2上に矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された一対の案内レール41、41と、該案内レール41、41上に矢印Yで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台42を具備している。この可動支持基台42は、案内レール41、41上に移動可能に配設された移動支持部421と、該移動支持部421に取り付けられた装着部422とからなっている。装着部422は、一側面に矢印Zで示す方向に延びる一対の案内レール423、423が平行に設けられている。図示の実施形態におけるレーザー光線照射ユニット支持機構4は、可動支持基台42を一対の案内レール41、41に沿って割り出し送り方向である矢印Yで示す方向に移動させるための移動手段43を具備している。移動手段43は、上記一対の案内レール41、41の間に平行に配設された雄ネジロッド431と、該雄ねじロッド431を回転駆動するためのパルスモータ432等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド431は、その一端が上記静止基台2に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ432の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド431は、可動支持基台42を構成する移動支持部421の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ432によって雄ネジロッド431を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台42は案内レール41、41に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。
【0017】
図示の実施形態のおけるレーザー光線照射ユニット5は、ユニットホルダ51と、該ユニットホルダ51に取り付けられたレーザー光線照射手段52を具備している。ユニットホルダ51は、上記装着部422に設けられた一対の案内レール423、423に摺動可能に嵌合する一対の被案内溝511、511が設けられており、この被案内溝511、511を上記案内レール423、423に嵌合することにより、矢印Zで示す方向に移動可能に支持される。
【0018】
図示のレーザー光線照射手段52は、上記ユニットホルダ51に固定され実質上水平に延出する円筒形状のケーシング521を含んでいる。ケーシング521内には図2に示すようにレーザー光線発振手段522とレーザー光線変調手段523とが配設されている。レーザー光線発振手段522としてはYAGレーザー発振器或いはYVO4レーザー発振器を用いることができる。レーザー光線変調手段523は繰り返し周波数設定手段523a、レーザー光線パルス幅設定手段523b、およびレーザー光線波長設定手段523cを含んでいる。レーザー光線変調手段523を構成する繰り返し周波数設定手段523a、レーザー光線パルス幅設定手段523bおよびレーザー光線波長設定手段523cは当業者には周知の形態のものでよく、それ故にこれらの構成についての詳細な説明は本明細書においては省略する。上記ケーシング521の先端には、それ自体は周知の形態でよい集光器524が装着されている。
【0019】
上記レーザー光線発振手段522が発振するレーザー光線はレーザー光線変調手段523を介して集光器524に到達する。レーザー光線変調手段523における繰り返し周波数設定手段523aはレーザー光線を所定繰り返し周波数のパルスレーザー光線にし、レーザー光線パルス幅設定手段523bはパルスレーザー光線のパルス幅を所定幅に設定し、そしてレーザー光線波長設定手段523cはパルスレーザー光線の波長を所定値に設定する。
【0020】
上記レーザー光線照射手段52を構成するケーシング521の前端部には、撮像手段6が配設されている。この撮像手段6は、図示の実施形態においては可視光線によって撮像する通常の撮像素子(CCD)の外に、被加工物に赤外線を照射する赤外線照明手段と、該赤外線照明手段によって照射された赤外線を捕らえる光学系と、該光学系によって捕らえられた赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子(赤外線CCD)等で構成されており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。
【0021】
図示の実施形態におけるレーザー光線照射ユニット5は、ユニットホルダ51を一対の案内レール423、423に沿って矢印Zで示す方向に移動させるための移動手段53を具備している。移動手段53は、上記各移動手段と同様に一対の案内レール423、423の間に配設された雄ネジロッド(図示せず)と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ532等の駆動源を含んでおり、パルスモータ532によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ51およびレーザビーム照射手段52を案内レール423、423に沿って矢印Zで示す方向に移動せしめる。
【0022】
次に、半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する分割方法の第1の実施形態について説明する。
半導体ウエーハ10は、図3に示すように表面10aに格子状に配列された複数のストリート(切断ライン)101によって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等の回路102が形成されている。このように構成された半導体ウエーハ10には、その表面10aに保護テープ11を貼着する。そして、図4に示すように保護テープ11側を研削装置12のチャックテーブル121上に保持し(従って、半導体ウエーハ10は裏面10bが上側となる)、研削砥石122(例えば、#2000のレジン砥石)を例えば6000rpmで回転せしめて半導体ウエーハ10は裏面10bを鏡面加工する(鏡面加工工程)。この鏡面加工工程において、加工面である半導体ウエーハ10の裏面10bは、JIS B0601 で規定する表面粗さ(Ra)を0.05μm以下(Ra≦0.05μm)、好ましくは0.02μm以下(Ra≦0.02μm)に鏡面加工される。
【0023】
上述したように半導体ウエーハ10の裏面10bが鏡面加工されたならば、半導体ウエーハ10は図1に示すレーザー加工装置のチャックテーブル機構3を構成するチャックテーブル36の吸着チャック361上に裏面10bを上側にして搬送され、該吸着チャック361に吸引保持される。このようにして半導体ウエーハ10を吸引保持したチャックテーブル36は、移動手段37の作動により案内レール31、31に沿って移動せしめられレーザー光線照射ユニット5に配設された撮像手段6の直下に位置付けられる。
【0024】
チャックテーブル36が撮像手段6の直下に位置付けられると、撮像手段6および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ10に形成されている第1の方向のストリート101と、ストリート101に沿ってレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理が実行され、レーザー光線照射位置のアライメントが遂行される。また、半導体ウエーハ10に形成されている第2の方向のストリート101に対しても、同様にレーザー光線照射位置のアライメントが遂行される。このとき、半導体ウエーハ10のストリート101が形成されている表面10aは下側に位置しているが、撮像手段6が上述したように赤外線照明手段と赤外線を捕らえる光学系および赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子(赤外線CCD)等で構成された撮像手段を備えているので、裏面から透かしてストリート101を撮像することができる。
【0025】
以上のようにしてチャックテーブル36上に保持されている半導体ウエーハ10に形成されているストリート101を検出し、レーザビーム照射位置のアライメントが行われたならば、チャックテーブル36をレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524が位置するレーザー光線照射領域に移動し、レーザー光線照射領域において半導体ウエーハ10のストリート101に沿ってレーザー光線照射ユニット5の集光器524からレーザー光線を照射する。このとき、レーザー光線は鏡面加工された半導体ウエーハ10の裏面10bを通して内部に集光点を合わせ照射し、半導体ウエーハ10の内部にストリート101に沿って変質層を形成する(変質層形成工程)。
【0026】
ここで、変質層形成工程について説明する。
変質層形成工程においては、レーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524から半導体ウエーハ10の所定のストリート101に向けてパルスレーザー光線を照射しながら、チャックテーブル36、従ってこれに保持されている半導体ウエーハ10を矢印Xで示す方向に所定の送り速度(例えば、100mm/秒)で移動せしめる。なお、変質層形成工程においては、レーザー光線として例えば以下に示すレーザー光線が照射される。
光源 ;YAGレーザーまたはYVO4レーザー
波長 ;1064nm(赤外レーザー光線)
出力 ;2W
繰り返し周波数:100kHz
パルス幅 ;20ns
集光スポット径;φ1μm
【0027】
上述した変質層形成工程において照射されるレーザー光線としては波長が長い赤外レーザー光線が用いられ、図5に示すように半導体ウエーハ10の裏面10bを通して内部に集光点を合わせて照射する。例えば、厚さが100μm程度の半導体ウエーハ10の場合、裏面10bから20μm程度内部に集光点Pを合わせて赤外レーザー光線を照射しつつ半導体ウエーハ10を矢印Xで示す方向に移動せしめることによって、半導体ウエーハ10の内部にストリートに沿って深さ50μm程度の変質領域10cが連続的に形成される。なお、半導体ウエーハ10の内部に集光点Pを合わせて赤外レーザー光線を照射する場合には、半導体ウエーハ10の裏面10bが鏡面加工されていることが重要である。半導体ウエーハ10の裏面10bが鏡面加工されていないと、即ち赤外レーザー光線を照射する面の表面粗さが粗いと表面で乱反射して所定の集光点にレーザー光線が達せず、内部に所定の変質層を形成することができない。本発明者の実験によれば、半導体ウエーハ10の裏面10bの表面粗さ(Ra)が0.1μmの場合には、所定の内部に所定深さの変質層を形成することができなかった。一方、半導体ウエーハ10の裏面10bの表面粗さ(Ra)を0.05μmに鏡面加工した場合には、所定の内部に略所定深さの変質層を形成することができた。特に、半導体ウエーハ10の裏面10bの表面粗さ(Ra)を0.02μm以下に鏡面加工した場合には、所定の内部に50μmの変質層が形成された。また、上述した変質層形成工程において半導体ウエーハ10の厚さが200μm以上の場合には、図6に示すように集光点Pを変えて複数回赤外レーザー光線を照射することにより、複数の変質層10c、10d、10e(図6に示す例においては3層)を形成することが望ましい。この変質層10c、10d、10eの形成は、10e、10d、10cの順番で行うことが好ましい。即ち、変質層10cを最初に形成すると、変質層10cが変質層10d、10eの形成を妨げるからである。なお、この変質層形成工程で赤外レーザー光線が用いるのは、波長が短い紫外レーザー光線では表面で反射して半導体ウエーハ10の内部に入らないからである。
【0028】
上述した変質層形成工程において内部にストリートに沿って変質層が形成された半導体ウエーハ10は、僅かな外力を加えることによってストリートに沿って個々の半導体チップに分割される。即ち、半導体ウエーハ10の内部にはストリートに沿って変質層が形成されているので、外力を加えることによって変質層を起点として割れるため、僅かな外力で容易に分割することができる。
【0029】
次に、本発明による半導体ウエーハの分割方法の第2実施形態について、説明する。
第2実施形態においても半導体ウエーハに対して、上記鏡面加工工程および変質層形成工程を上述したように実行する。
そして、上述した鏡面加工工程および変質層形成工程を実行することによって、半導体ウエーハ10の内部にストリートに沿って変質層を形成したならば、図7に示すように半導体ウエーハ10を反転して環状のフレーム13に装着された保護テープ14に半導体ウエーハ10を表面10aを上側にして貼着し、半導体ウエーハ10に貼着されている保護テープ11を剥離する(なお、保護テープ11が紫外線の照射によって粘着力が低下するUVテープである場合は、保護テープ11に紫外線を照射して剥離する。)。そして、環状のフレーム13に保護テープ14を介して装着された半導体ウエーハ10を図1に示すレーザー加工装置のチャックテーブル機構3を構成するチャックテーブル36の吸着チャック361上に搬送し、該吸着チャック361に吸引保持する。このようにして半導体ウエーハ10を吸引保持したチャックテーブル36は、移動手段37の作動により案内レール31、31に沿って移動せしめられレーザー光線照射ユニット5に配設された撮像手段6の直下に位置付けられる。チャックテーブル36が撮像手段6の直下に位置付けられると、撮像手段6および図示しない制御手段によって上述したように半導体ウエーハ10に形成されている第1の方向のストリート101および第2のストリート101に沿ってレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理が実行され、レーザー光線照射位置のアライメントが遂行される。なお、このアライメント時においては、第1の方向のストリート101および第2のストリート101を表面側から撮像するので、撮像手段6は可視光線によって撮像する通常の撮像素子(CCD)を用いて撮像する。
【0030】
次に、チャックテーブル36をレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524が位置するレーザー光線照射領域に移動し、レーザー光線照射領域において半導体ウエーハ10のストリート101に沿ってレーザー光線照射ユニット5の集光器524からレーザー光線を照射する。このとき、レーザー光線は半導体ウエーハ10の表面に集光点を合わせ照射し、ストリート101に沿ってグルービングラインを形成する(グルービングライン形成工程)。
【0031】
ここで、グルービングライン形成工程について説明する。
グルービングライン形成工程においては、レーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524から半導体ウエーハ10の所定のストリート101に向けてパルスレーザー光線を照射しながら、チャックテーブル36、従ってこれに保持されている半導体ウエーハ10を矢印Xで示す方向に所定の送り速度(例えば、150mm/秒)で移動せしめる。なお、グルービングライン形成工程においては、レーザー光線として例えば以下に示すレーザー光線が照射される。
光源 ;YAGレーザーまたはYVO4レーザー
波長 ;355nm(紫外レーザー光線)
出力 ;1W
繰り返し周波数:100kHz
パルス幅 ;0.1ns
集光スポット径;φ20μm
なお、この実施形態におけるレーザー光線としては、波長が短い紫外レーザー光線を用いているが、赤外レーザー光線を用いてもよい。そして、図8に示すように半導体ウエーハ10の表面10aに集光点Pを合わせて矢印Xで示す方向に移動せしめることにより、ストリートに沿って深さ10μm程度のグルービングライン10fを形成する。
【0032】
上述したようにグルービングライン形成工程を実行し、上記変質層形成工程により内部に変質層10cが形成された半導体ウエーハのストリートに沿ってグルービングライン10fを形成することにより、変質層10cとグルービングライン10fとの相乗効果によって、半導体ウエーハはストリートに沿って分割される。
【0033】
なお、分割すべき半導体ウエーハが表面に低誘電率絶縁体(Low−k膜)を積層せしめた形態の半導体ウエーハの場合には、上記グルービングライン形成工程において半導体ウエーハ10の表面10aに集光点を合わせてレーザー光線を照射することにより、グルービングライン10fが形成されるとともに、低誘電率絶縁体(Low−k膜)がストリートに沿って除去される。従って、第2の実施形態によれば表面に低誘電率絶縁体(Low−k膜)を積層せしめた形態の半導体ウエーハであっても確実に個々の半導体チップに分割することができる。
【0034】
また、表面にテスト エレメント グループ(Teg)と称する金属パターンが施された半導体ウエーハの分割も、上記グルービングライン形成工程において半導体ウエーハ10の表面10aに集光点を合わせてレーザー光線を照射することにより、グルービングライン10fが形成されるとともに金属体が除去され、確実に個々の半導体チップに分割することができる。
【0035】
【発明の効果】
本発明による半導体ウエーハの分割方法によれば、鏡面加工工程を実施して鏡面加工した半導体ウエーハの裏面から内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射するので、半導体ウエーハの所定の内部に所定の変質層を確実に形成することができる。
また、本発明による半導体ウエーハの分割方法においては、半導体ウエーハの内部にストリートに沿って変質層が形成された半導体ウエーハの表面に集光点を合わせてレーザー光線を照射し、ストリートに沿ってグルービングラインを形成するので、変質層とグルービングラインとの相乗効果によって、半導体ウエーハをストリートに沿って確実に分割することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体ウエーハの分割方法を実施するためのレーザー加工装置の斜視図。
【図2】図1に示すレーザー加工装置に装備されるレーザビーム加工手段の構成を簡略に示すブロック図。
【図3】本発明による分割方法によって分割加工される半導体ウエーハの斜視図。
【図4】本発明による分割方法における鏡面加工工程を示す説明図。
【図5】本発明による分割方法における変質層形成工程の一実施形態を示す説明図。
【図6】本発明による分割方法における変質層形成工程の他の実施形態を示す説明図。
【図7】本発明による分割方法におけるグルービングライン形成工程前の半導体ウエーハの状態を示す斜視図。
【図8】本発明による分割方法におけるグルービングライン形成工程を示す説明図。
【符号の説明】
2:静止基台
3:チャックテーブル機構
31:案内レール
32:第1の滑動ブロック
33:第2の滑動ブロック
36:チャックテーブル
37:移動手段
38:移動手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
41:案内レール
42:可動支持基台
43:移動手段
5:レーザー光線照射ユニット
51:ユニットホルダ
52:レーザビーム加工手段
522:レーザビーム発振手段
523:レーザビーム変調手段
524:集光器
53:移動手段
6:撮像手段
10:半導体ウエーハ
101:ストリート
102:回路
11:保護テープ
12:研削装置
13:環状のフレーム
14:保護テープ
【発明の属する技術分野】
本発明は、被加工物の所定の領域にレーザービームを照射して所定の加工を施すレーザー加工方法に関する。
【0002】
当業者には周知の如く、半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリート(切断ライン)によって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等の回路を形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによって回路が形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。半導体ウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと称されている切削装置によって行われている。この切削装置は、被加工物である半導体ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された半導体ウエーハを切削するための切断手段と、チャックテーブルと切断手段とを相対的に移動せしめる移動手段とを具備している。切断手段は、高速回転せしめられる回転スピンドルと該スピンドルに装着された切削ブレードを含んでいる。切削ブレードは円盤状の基台と該基台の側面外周部に装着された環状の切れ刃からなっており、切れ刃は例えば粒径3μm程度のダイヤモンド砥粒を電鋳によって基台に固定し厚さ20μm程度に形成されている。このような切削ブレードによって半導体ウエーハを切削すると、切断された半導体チップの切断面に欠けやクラックが発生するため、この欠けやクラックの影響を見込んでストリートの幅は50μm程度に形成されている。しかるに、半導体チップのサイズが小型化されると、半導体チップに占めるストリートの割合が大きくなり、生産性が低下する原因となる。また、切削ブレードによる切削においては、送り速度に限界があるとともに、切削屑の発生により半導体チップが汚染されるという問題がある。
【0003】
一方、近年被加工物を分割する方法として、分割すべき領域の内部に集光点を合わせて赤外光領域(例えば、1064nm)のレーザー光線を照射するレーザー加工方法も試みられている。このレーザー加工方法を用いた分割方法は、被加工物の内部に集光点を合わせて赤外光領域のレーザー光線を照射し、被加工物の内部にストリートに沿って変質層を連続的に形成することにより、被加工物を分割するものである。(例えば、特許文献1参照。)
【0004】
【特許文献1】
特開平2002−192367号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
而して、シリコン等で形成された半導体ウエーハにおいては、本発明者の実験によると、内部に集光点を合わせて赤外光レーザー光線を照射した場合、赤外光レーザー光線を照射する面の表面粗さが粗いと表面で乱反射して所定の集光点にレーザー光線が達せず、内部に所定の変質層を形成することができないことが判った。
また、近時においては、IC、LSI等の回路をより微細に形成するために、シリコンウエーハの如き半導体ウエーハ本体の表面にSiOF、BSG(SiOB)等の無機物系の膜やポリイミド系、パリレン系等のポリマー膜である有機物系の膜からなる低誘電率絶縁体(Low−k膜)を積層せしめた形態の半導体ウエーハや、テスト エレメント グループ(Teg)と称する金属パターンが施された半導体ウエーハが実用化されているが、これらの半導体ウエーハは内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射しただけでは分割することができない。
【0006】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、第1の技術的課題は、半導体ウエーハの内部に集光点を合わせて赤外光レーザー光線を照射することにより、所定の内部に確実に変質層を形成することができる半導体ウエーハの分割方法を提供することである。
また、第2の技術的課題は、表面に低誘電率絶縁体(Low−k膜)や金属パターンが施された半導体ウエーハであってもレーザー光線を照射することにより個々の半導体チップに分割することができる半導体ウエーハの分割方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの加工面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された加工面を通して内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法が提供される。
【0008】
また、本発明によれば、表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの裏面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された半導体ウエーハの裏面を通して内部に集光点を合わせ該ストリートに沿ってレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法が提供される。
【0009】
更に本発明においては、表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの裏面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された半導体ウエーハの裏面を通して内部に集光点を合わせ該ストリートに沿ってレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、
半導体ウエーハの表面に該ストリートに沿ってレーザー光線を照射してグルービングラインを形成するグルービングライン形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法が提供される。
【0010】
上記鏡面加工工程において鏡面加工される面は、JIS B0601 で規定する表面粗さ(Ra)が0.05μm以下、好ましくは0.02μm以下に設定される。
上記変質層形成工程において照射するレーザー光線は赤外レーザー光線に設定されており、上記グルービングライン形成工程において照射するレーザー光線は紫外レーザー光線に設定されている。また、上記変質層形成工程は、複数回実施し半導体ウエーハの厚さ方向に複数の変質層を形成する。
本発明の他の特徴については、以下の説明により明らかにされる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明による半導体ウエーハの分割方法について添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
【0012】
図1には、本発明による半導体ウエーハの分割方法において半導体ウエーハにレーザー光線を照射するレーザー加工装置の斜視図が示されている。図1に示されたレーザー加工装置は、静止基台2と、該静止基台2に矢印Xで示す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャックテーブル機構3と、静止基台2に上記矢印Xで示す方向と直角な矢印Yで示す方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット支持機構4と、該レーザー光線ユニット支持機構4に矢印Zで示す方向に移動可能に配設されたレーザー光線照射ユニット5とを具備している。
【0013】
上記チャックテーブル機構3は、静止基台2上に矢印Xで示す方向に沿って平行に配設された一対の案内レール31、31と、該案内レール31、31上に矢印Xで示す方向に移動可能に配設された第一の滑動ブロック32と、該第1の滑動ブロック32上に矢印Yで示す方向に移動可能に配設された第2の滑動ブロック33と、該第2の滑動ブロック33上に円筒部材34によって支持された支持テーブル35と、被加工物保持手段としてのチャックテーブル36を具備している。このチャックテーブル36は多孔性材料から形成された吸着チャック361を具備しており、吸着チャック361上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを図示しない吸引手段によって保持するようになっている。また、チャックテーブル36は、円筒部材34内に配設された図示しないパルスモータによって回転せしめられる。
【0014】
上記第1の滑動ブロック32は、その下面に上記一対の案内レール31、31と嵌合する一対の被案内溝321、321が設けられているとともに、その上面に矢印Yで示す方向に沿って平行に形成された一対の案内レール322、322が設けられている。このように構成された第1の滑動ブロック32は、被案内溝321、321が一対の案内レール31、31に嵌合することにより、一対の案内レール31、31に沿って矢印Xで示す方向に移動可能に構成される。図示の実施形態におけるチャックテーブル機構3は、第1の滑動ブロック32を一対の案内レール31、31に沿って矢印Xで示す方向に移動させるための移動手段37を具備している。移動手段37は、上記一対の案内レール31と31の間に平行に配設された雄ネジロッド371と、該雄ネジロッド371を回転駆動するためのパルスモータ372等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド371は、その一端が上記静止基台2に固定された軸受ブロック373に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ372の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド371は、第1の滑動ブロック32の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモータ372によって雄ネジロッド371を正転および逆転駆動することにより、第一の滑動ブロック32は案内レール31、31に沿って矢印Xで示す方向に移動せしめられる。
【0015】
上記第2の滑動ブロック33は、その下面に上記第1の滑動ブロック32の上面に設けられた一対の案内レール322、322と嵌合する一対の被案内溝331、331が設けられており、この被案内溝331、331を一対の案内レール322、322に嵌合することにより、矢印Yで示す方向に移動可能に構成される。図示の実施形態におけるチャックテーブル機構3は、第2の滑動ブロック33を第1の滑動ブロック32に設けられた一対の案内レール322、322に沿って矢印Yで示す方向に移動させるための移動手段38を具備している。移動手段38は、上記一対の案内レール322と322の間に平行に配設された雄ネジロッド381と、該雄ネジロッド381を回転駆動するためのパルスモータ382等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド381は、その一端が上記第1の滑動ブロック32の上面に固定された軸受ブロック383に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ382の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド381は、第2の滑動ブロック33の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモータ382によって雄ネジロッド381を正転および逆転駆動することにより、第2の滑動ブロック33は案内レール322、322に沿って矢印Xで示す方向に移動せしめられる。
【0016】
上記レーザー光線照射ユニット支持機構4は、静止基台2上に矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って平行に配設された一対の案内レール41、41と、該案内レール41、41上に矢印Yで示す方向に移動可能に配設された可動支持基台42を具備している。この可動支持基台42は、案内レール41、41上に移動可能に配設された移動支持部421と、該移動支持部421に取り付けられた装着部422とからなっている。装着部422は、一側面に矢印Zで示す方向に延びる一対の案内レール423、423が平行に設けられている。図示の実施形態におけるレーザー光線照射ユニット支持機構4は、可動支持基台42を一対の案内レール41、41に沿って割り出し送り方向である矢印Yで示す方向に移動させるための移動手段43を具備している。移動手段43は、上記一対の案内レール41、41の間に平行に配設された雄ネジロッド431と、該雄ねじロッド431を回転駆動するためのパルスモータ432等の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド431は、その一端が上記静止基台2に固定された図示しない軸受ブロックに回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモータ432の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連結されている。なお、雄ネジロッド431は、可動支持基台42を構成する移動支持部421の中央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成された雌ネジ穴に螺合されている。このため、パルスモータ432によって雄ネジロッド431を正転および逆転駆動することにより、可動支持基台42は案内レール41、41に沿って矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。
【0017】
図示の実施形態のおけるレーザー光線照射ユニット5は、ユニットホルダ51と、該ユニットホルダ51に取り付けられたレーザー光線照射手段52を具備している。ユニットホルダ51は、上記装着部422に設けられた一対の案内レール423、423に摺動可能に嵌合する一対の被案内溝511、511が設けられており、この被案内溝511、511を上記案内レール423、423に嵌合することにより、矢印Zで示す方向に移動可能に支持される。
【0018】
図示のレーザー光線照射手段52は、上記ユニットホルダ51に固定され実質上水平に延出する円筒形状のケーシング521を含んでいる。ケーシング521内には図2に示すようにレーザー光線発振手段522とレーザー光線変調手段523とが配設されている。レーザー光線発振手段522としてはYAGレーザー発振器或いはYVO4レーザー発振器を用いることができる。レーザー光線変調手段523は繰り返し周波数設定手段523a、レーザー光線パルス幅設定手段523b、およびレーザー光線波長設定手段523cを含んでいる。レーザー光線変調手段523を構成する繰り返し周波数設定手段523a、レーザー光線パルス幅設定手段523bおよびレーザー光線波長設定手段523cは当業者には周知の形態のものでよく、それ故にこれらの構成についての詳細な説明は本明細書においては省略する。上記ケーシング521の先端には、それ自体は周知の形態でよい集光器524が装着されている。
【0019】
上記レーザー光線発振手段522が発振するレーザー光線はレーザー光線変調手段523を介して集光器524に到達する。レーザー光線変調手段523における繰り返し周波数設定手段523aはレーザー光線を所定繰り返し周波数のパルスレーザー光線にし、レーザー光線パルス幅設定手段523bはパルスレーザー光線のパルス幅を所定幅に設定し、そしてレーザー光線波長設定手段523cはパルスレーザー光線の波長を所定値に設定する。
【0020】
上記レーザー光線照射手段52を構成するケーシング521の前端部には、撮像手段6が配設されている。この撮像手段6は、図示の実施形態においては可視光線によって撮像する通常の撮像素子(CCD)の外に、被加工物に赤外線を照射する赤外線照明手段と、該赤外線照明手段によって照射された赤外線を捕らえる光学系と、該光学系によって捕らえられた赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子(赤外線CCD)等で構成されており、撮像した画像信号を図示しない制御手段に送る。
【0021】
図示の実施形態におけるレーザー光線照射ユニット5は、ユニットホルダ51を一対の案内レール423、423に沿って矢印Zで示す方向に移動させるための移動手段53を具備している。移動手段53は、上記各移動手段と同様に一対の案内レール423、423の間に配設された雄ネジロッド(図示せず)と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモータ532等の駆動源を含んでおり、パルスモータ532によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆動することにより、ユニットホルダ51およびレーザビーム照射手段52を案内レール423、423に沿って矢印Zで示す方向に移動せしめる。
【0022】
次に、半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する分割方法の第1の実施形態について説明する。
半導体ウエーハ10は、図3に示すように表面10aに格子状に配列された複数のストリート(切断ライン)101によって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等の回路102が形成されている。このように構成された半導体ウエーハ10には、その表面10aに保護テープ11を貼着する。そして、図4に示すように保護テープ11側を研削装置12のチャックテーブル121上に保持し(従って、半導体ウエーハ10は裏面10bが上側となる)、研削砥石122(例えば、#2000のレジン砥石)を例えば6000rpmで回転せしめて半導体ウエーハ10は裏面10bを鏡面加工する(鏡面加工工程)。この鏡面加工工程において、加工面である半導体ウエーハ10の裏面10bは、JIS B0601 で規定する表面粗さ(Ra)を0.05μm以下(Ra≦0.05μm)、好ましくは0.02μm以下(Ra≦0.02μm)に鏡面加工される。
【0023】
上述したように半導体ウエーハ10の裏面10bが鏡面加工されたならば、半導体ウエーハ10は図1に示すレーザー加工装置のチャックテーブル機構3を構成するチャックテーブル36の吸着チャック361上に裏面10bを上側にして搬送され、該吸着チャック361に吸引保持される。このようにして半導体ウエーハ10を吸引保持したチャックテーブル36は、移動手段37の作動により案内レール31、31に沿って移動せしめられレーザー光線照射ユニット5に配設された撮像手段6の直下に位置付けられる。
【0024】
チャックテーブル36が撮像手段6の直下に位置付けられると、撮像手段6および図示しない制御手段によって半導体ウエーハ10に形成されている第1の方向のストリート101と、ストリート101に沿ってレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理が実行され、レーザー光線照射位置のアライメントが遂行される。また、半導体ウエーハ10に形成されている第2の方向のストリート101に対しても、同様にレーザー光線照射位置のアライメントが遂行される。このとき、半導体ウエーハ10のストリート101が形成されている表面10aは下側に位置しているが、撮像手段6が上述したように赤外線照明手段と赤外線を捕らえる光学系および赤外線に対応した電気信号を出力する撮像素子(赤外線CCD)等で構成された撮像手段を備えているので、裏面から透かしてストリート101を撮像することができる。
【0025】
以上のようにしてチャックテーブル36上に保持されている半導体ウエーハ10に形成されているストリート101を検出し、レーザビーム照射位置のアライメントが行われたならば、チャックテーブル36をレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524が位置するレーザー光線照射領域に移動し、レーザー光線照射領域において半導体ウエーハ10のストリート101に沿ってレーザー光線照射ユニット5の集光器524からレーザー光線を照射する。このとき、レーザー光線は鏡面加工された半導体ウエーハ10の裏面10bを通して内部に集光点を合わせ照射し、半導体ウエーハ10の内部にストリート101に沿って変質層を形成する(変質層形成工程)。
【0026】
ここで、変質層形成工程について説明する。
変質層形成工程においては、レーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524から半導体ウエーハ10の所定のストリート101に向けてパルスレーザー光線を照射しながら、チャックテーブル36、従ってこれに保持されている半導体ウエーハ10を矢印Xで示す方向に所定の送り速度(例えば、100mm/秒)で移動せしめる。なお、変質層形成工程においては、レーザー光線として例えば以下に示すレーザー光線が照射される。
光源 ;YAGレーザーまたはYVO4レーザー
波長 ;1064nm(赤外レーザー光線)
出力 ;2W
繰り返し周波数:100kHz
パルス幅 ;20ns
集光スポット径;φ1μm
【0027】
上述した変質層形成工程において照射されるレーザー光線としては波長が長い赤外レーザー光線が用いられ、図5に示すように半導体ウエーハ10の裏面10bを通して内部に集光点を合わせて照射する。例えば、厚さが100μm程度の半導体ウエーハ10の場合、裏面10bから20μm程度内部に集光点Pを合わせて赤外レーザー光線を照射しつつ半導体ウエーハ10を矢印Xで示す方向に移動せしめることによって、半導体ウエーハ10の内部にストリートに沿って深さ50μm程度の変質領域10cが連続的に形成される。なお、半導体ウエーハ10の内部に集光点Pを合わせて赤外レーザー光線を照射する場合には、半導体ウエーハ10の裏面10bが鏡面加工されていることが重要である。半導体ウエーハ10の裏面10bが鏡面加工されていないと、即ち赤外レーザー光線を照射する面の表面粗さが粗いと表面で乱反射して所定の集光点にレーザー光線が達せず、内部に所定の変質層を形成することができない。本発明者の実験によれば、半導体ウエーハ10の裏面10bの表面粗さ(Ra)が0.1μmの場合には、所定の内部に所定深さの変質層を形成することができなかった。一方、半導体ウエーハ10の裏面10bの表面粗さ(Ra)を0.05μmに鏡面加工した場合には、所定の内部に略所定深さの変質層を形成することができた。特に、半導体ウエーハ10の裏面10bの表面粗さ(Ra)を0.02μm以下に鏡面加工した場合には、所定の内部に50μmの変質層が形成された。また、上述した変質層形成工程において半導体ウエーハ10の厚さが200μm以上の場合には、図6に示すように集光点Pを変えて複数回赤外レーザー光線を照射することにより、複数の変質層10c、10d、10e(図6に示す例においては3層)を形成することが望ましい。この変質層10c、10d、10eの形成は、10e、10d、10cの順番で行うことが好ましい。即ち、変質層10cを最初に形成すると、変質層10cが変質層10d、10eの形成を妨げるからである。なお、この変質層形成工程で赤外レーザー光線が用いるのは、波長が短い紫外レーザー光線では表面で反射して半導体ウエーハ10の内部に入らないからである。
【0028】
上述した変質層形成工程において内部にストリートに沿って変質層が形成された半導体ウエーハ10は、僅かな外力を加えることによってストリートに沿って個々の半導体チップに分割される。即ち、半導体ウエーハ10の内部にはストリートに沿って変質層が形成されているので、外力を加えることによって変質層を起点として割れるため、僅かな外力で容易に分割することができる。
【0029】
次に、本発明による半導体ウエーハの分割方法の第2実施形態について、説明する。
第2実施形態においても半導体ウエーハに対して、上記鏡面加工工程および変質層形成工程を上述したように実行する。
そして、上述した鏡面加工工程および変質層形成工程を実行することによって、半導体ウエーハ10の内部にストリートに沿って変質層を形成したならば、図7に示すように半導体ウエーハ10を反転して環状のフレーム13に装着された保護テープ14に半導体ウエーハ10を表面10aを上側にして貼着し、半導体ウエーハ10に貼着されている保護テープ11を剥離する(なお、保護テープ11が紫外線の照射によって粘着力が低下するUVテープである場合は、保護テープ11に紫外線を照射して剥離する。)。そして、環状のフレーム13に保護テープ14を介して装着された半導体ウエーハ10を図1に示すレーザー加工装置のチャックテーブル機構3を構成するチャックテーブル36の吸着チャック361上に搬送し、該吸着チャック361に吸引保持する。このようにして半導体ウエーハ10を吸引保持したチャックテーブル36は、移動手段37の作動により案内レール31、31に沿って移動せしめられレーザー光線照射ユニット5に配設された撮像手段6の直下に位置付けられる。チャックテーブル36が撮像手段6の直下に位置付けられると、撮像手段6および図示しない制御手段によって上述したように半導体ウエーハ10に形成されている第1の方向のストリート101および第2のストリート101に沿ってレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524との位置合わせを行うためのパターンマッチング等の画像処理が実行され、レーザー光線照射位置のアライメントが遂行される。なお、このアライメント時においては、第1の方向のストリート101および第2のストリート101を表面側から撮像するので、撮像手段6は可視光線によって撮像する通常の撮像素子(CCD)を用いて撮像する。
【0030】
次に、チャックテーブル36をレーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524が位置するレーザー光線照射領域に移動し、レーザー光線照射領域において半導体ウエーハ10のストリート101に沿ってレーザー光線照射ユニット5の集光器524からレーザー光線を照射する。このとき、レーザー光線は半導体ウエーハ10の表面に集光点を合わせ照射し、ストリート101に沿ってグルービングラインを形成する(グルービングライン形成工程)。
【0031】
ここで、グルービングライン形成工程について説明する。
グルービングライン形成工程においては、レーザー光線を照射するレーザー光線照射ユニット5の集光器524から半導体ウエーハ10の所定のストリート101に向けてパルスレーザー光線を照射しながら、チャックテーブル36、従ってこれに保持されている半導体ウエーハ10を矢印Xで示す方向に所定の送り速度(例えば、150mm/秒)で移動せしめる。なお、グルービングライン形成工程においては、レーザー光線として例えば以下に示すレーザー光線が照射される。
光源 ;YAGレーザーまたはYVO4レーザー
波長 ;355nm(紫外レーザー光線)
出力 ;1W
繰り返し周波数:100kHz
パルス幅 ;0.1ns
集光スポット径;φ20μm
なお、この実施形態におけるレーザー光線としては、波長が短い紫外レーザー光線を用いているが、赤外レーザー光線を用いてもよい。そして、図8に示すように半導体ウエーハ10の表面10aに集光点Pを合わせて矢印Xで示す方向に移動せしめることにより、ストリートに沿って深さ10μm程度のグルービングライン10fを形成する。
【0032】
上述したようにグルービングライン形成工程を実行し、上記変質層形成工程により内部に変質層10cが形成された半導体ウエーハのストリートに沿ってグルービングライン10fを形成することにより、変質層10cとグルービングライン10fとの相乗効果によって、半導体ウエーハはストリートに沿って分割される。
【0033】
なお、分割すべき半導体ウエーハが表面に低誘電率絶縁体(Low−k膜)を積層せしめた形態の半導体ウエーハの場合には、上記グルービングライン形成工程において半導体ウエーハ10の表面10aに集光点を合わせてレーザー光線を照射することにより、グルービングライン10fが形成されるとともに、低誘電率絶縁体(Low−k膜)がストリートに沿って除去される。従って、第2の実施形態によれば表面に低誘電率絶縁体(Low−k膜)を積層せしめた形態の半導体ウエーハであっても確実に個々の半導体チップに分割することができる。
【0034】
また、表面にテスト エレメント グループ(Teg)と称する金属パターンが施された半導体ウエーハの分割も、上記グルービングライン形成工程において半導体ウエーハ10の表面10aに集光点を合わせてレーザー光線を照射することにより、グルービングライン10fが形成されるとともに金属体が除去され、確実に個々の半導体チップに分割することができる。
【0035】
【発明の効果】
本発明による半導体ウエーハの分割方法によれば、鏡面加工工程を実施して鏡面加工した半導体ウエーハの裏面から内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射するので、半導体ウエーハの所定の内部に所定の変質層を確実に形成することができる。
また、本発明による半導体ウエーハの分割方法においては、半導体ウエーハの内部にストリートに沿って変質層が形成された半導体ウエーハの表面に集光点を合わせてレーザー光線を照射し、ストリートに沿ってグルービングラインを形成するので、変質層とグルービングラインとの相乗効果によって、半導体ウエーハをストリートに沿って確実に分割することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体ウエーハの分割方法を実施するためのレーザー加工装置の斜視図。
【図2】図1に示すレーザー加工装置に装備されるレーザビーム加工手段の構成を簡略に示すブロック図。
【図3】本発明による分割方法によって分割加工される半導体ウエーハの斜視図。
【図4】本発明による分割方法における鏡面加工工程を示す説明図。
【図5】本発明による分割方法における変質層形成工程の一実施形態を示す説明図。
【図6】本発明による分割方法における変質層形成工程の他の実施形態を示す説明図。
【図7】本発明による分割方法におけるグルービングライン形成工程前の半導体ウエーハの状態を示す斜視図。
【図8】本発明による分割方法におけるグルービングライン形成工程を示す説明図。
【符号の説明】
2:静止基台
3:チャックテーブル機構
31:案内レール
32:第1の滑動ブロック
33:第2の滑動ブロック
36:チャックテーブル
37:移動手段
38:移動手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
41:案内レール
42:可動支持基台
43:移動手段
5:レーザー光線照射ユニット
51:ユニットホルダ
52:レーザビーム加工手段
522:レーザビーム発振手段
523:レーザビーム変調手段
524:集光器
53:移動手段
6:撮像手段
10:半導体ウエーハ
101:ストリート
102:回路
11:保護テープ
12:研削装置
13:環状のフレーム
14:保護テープ
Claims (9)
- 半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの加工面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された加工面を通して内部に集光点を合わせてレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法。 - 表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの裏面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された半導体ウエーハの裏面を通して内部に集光点を合わせ該ストリートに沿ってレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法。 - 表面に複数のストリートが格子状に形成されているとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域に回路が形成された半導体ウエーハを個々の半導体チップに分割する方法であって、
半導体ウエーハの裏面を鏡面加工する鏡面加工工程と、
該鏡面加工された半導体ウエーハの裏面を通して内部に集光点を合わせ該ストリートに沿ってレーザー光線を照射して半導体ウエーハの内部に変質層を形成する変質層形成工程と、
半導体ウエーハの表面に該ストリートに沿ってレーザー光線を照射してグルービングラインを形成するグルービングライン形成工程と、を含む、
ことを特徴とする半導体ウエーハの分割方法。 - 該鏡面加工工程において鏡面加工される面は、JIS B0601 で規定する表面粗さ(Ra)が0.05μm以下に設定されている、請求項1から3のいずれかに記載の半導体ウエーハの分割方法。
- 該鏡面加工工程において鏡面加工される面は、JIS B0601 で規定する表面粗さ(Ra)が0.02μm以下に設定されている、請求項4記載の半導体ウエーハの分割方法。
- 該変質層形成工程において照射するレーザー光線は赤外レーザー光線に設定されており、該グルービングライン形成工程において照射するレーザー光線は紫外レーザー光線に設定されている、請求項1から5のいずれかに記載の半導体ウエーハの分割方法。
- 該変質層形成工程は、複数回実施し半導体ウエーハの厚さ方向に複数の変質層を形成する、請求項1から6のいずれかに記載の半導体ウエーハの分割方法。
- 該半導体ウエーハは、表面に低誘電率絶縁体が積層されて形成されている、、請求項3から7のいずれかに記載の半導体ウエーハの分割方法。
- 該半導体ウエーハは、表面に金属パターンが施されている、請求項3から7のいずれかに記載の半導体ウエーハの分割方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002342229A JP2004179302A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 半導体ウエーハの分割方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002342229A JP2004179302A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 半導体ウエーハの分割方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004179302A true JP2004179302A (ja) | 2004-06-24 |
Family
ID=32704346
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002342229A Pending JP2004179302A (ja) | 2002-11-26 | 2002-11-26 | 半導体ウエーハの分割方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004179302A (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070514 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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