JP2012049183A - 太陽電池及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 137
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 74
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 20
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 claims description 13
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 16
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 5
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 5
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 5
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L31/0224—Electrodes
- H01L31/022408—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/022425—Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
- H01L31/022441—Electrode arrangements specially adapted for back-contact solar cells
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- H01L31/0236—Special surface textures
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- H—ELECTRICITY
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- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
- H01L31/0682—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by potential barriers the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells back-junction, i.e. rearside emitter, solar cells, e.g. interdigitated base-emitter regions back-junction cells
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Sustainable Energy (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
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- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
【解決手段】太陽電池1は、太陽電池基板10と、p側電極17pと、n側電極17nとを備えている。太陽電池基板10は、半導体基板15を有する。太陽電池基板10では、第1の主面10aにおいてp型領域10apの表面及びn型領域10anの表面が露出している。p側電極17pは、p型領域10apの表面の上に形成されている。n側電極17nは、n型領域10anの表面の上に形成されている。半導体基板15は、第1の主面10a側の面に、第1の方向yに沿って延びる複数の線状溝16を有する。p側電極17p及びn側電極17nのそれぞれは、第1の方向yに沿って延びる線状部17p1,17n1を有する。
【選択図】図1
Description
図8は、第2の実施形態に係る太陽電池の略図的断面図である。
10…太陽電池基板
10a…裏面
10an…n型領域
10ap…p型領域
10b…受光面
14n…n型半導体層
14p…p型半導体層
15…半導体基板
16…線状溝
17n…n側電極
17p…p側電極
20…半導体インゴット
30…切断装置
32…ワイヤー
40…p型アモルファスシリコン層
41…エッチング剤
50…レジストマスク
60p、60n…拡散剤
Claims (16)
- 半導体基板を有し、第1の主面においてp型領域の表面及びn型領域の表面が露出している太陽電池基板と、
前記p型領域の表面の上に形成されているp側電極と、
前記n型領域の表面の上に形成されているn側電極と、
を備え、
前記半導体基板は、前記第1の主面側の面に、第1の方向に沿って延びる複数の線状溝を有し、
前記p側電極及び前記n側電極のそれぞれは、前記第1の方向に沿って延びる線状部を有する、太陽電池。 - 前記p側電極の線状部と前記n側電極の線状部とは、前記第1の方向に垂直な第2の方向に隣接している、請求項1に記載の太陽電池。
- 前記複数の線状溝は、ソーマークである、請求項1または2に記載の太陽電池。
- 前記p型領域の表面及び前記n型領域の表面のそれぞれは、前記第1の方向に沿って延びる線状部を有する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記p側電極の線状部及び前記n側電極の線状部のそれぞれは、導電性ペースト層からなる請求項1〜4のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記太陽電池基板は前記第1の主面に、前記複数の線状溝に対応する複数の線状溝を有する請求項1〜5のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記太陽電池基板は、前記半導体基板の表面の上に形成されており、前記p型領域を構成するp型半導体層と、前記半導体基板の表面の上に形成されており、前記n型領域を構成するn型半導体層とを有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 前記太陽電池基板は、前記半導体基板に前記p型領域を構成するp型ドーパント拡散領域と、前記n型領域を構成するn型ドーパント拡散領域とを含む、請求項1〜6のいずれか一項に記載の太陽電池。
- 第1の方向に沿って延びる複数の線状溝が形成されている主面を有する半導体基板を準備する工程と、
前記半導体基板を用いて前記主面側にp型領域の表面及びn型領域の表面が露出している太陽電池基板を作成する工程と、
前記p型領域の表面上にp側電極を形成し、前記n型領域の表面上にn側電極を形成する工程とを備え、
前記p側電極及び前記n側電極のそれぞれを、前記第1の方向に沿って延びる線状部を有する形状に形成する、太陽電池の製造方法。 - 前記線状部を、導電性ペーストにより形成する、請求項9に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記半導体基板の前記主面の一の領域の上に、前記p型領域及び前記n型領域のうちの一方を構成する一の導電型の第1の半導体層を形成すると共に、前記主面の他の領域の上に、前記p型領域及び前記n型領域のうちの他方を構成する他の導電型を有する第2の半導体層を形成することにより前記太陽電池基板を作製する、請求項9または10に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記半導体基板の表面の上に前記一の導電型を有する半導体層を形成し、当該半導体層の前記一の領域の上に位置する部分を除いた部分の上にエッチング剤を塗布してエッチングすることによって前記第1の半導体層を形成する、請求項11に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記半導体基板の表面の上に前記第1の導電型を有する半導体層を形成し、当該半導体層の表面の前記一の領域の上にマスク層を形成し、マスク層から露出する領域をエッチングすることにより前記第1の半導体層を形成する、請求項11に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記半導体基板の前記主面の一の領域にp型のドーパントを含む第1の拡散剤を塗布し、前記一の領域に前記p型のドーパントを拡散させることにより前記p型領域を形成し、前記半導体基板の前記主面の他の領域にn型のドーパントを含む第2の拡散剤を塗布し、前記他の領域に前記n型のドーパントを拡散させることにより前記n型領域を形成する、請求項9または10に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記半導体基板を、ワイヤーを用いて半導体インゴットを切断することにより形成する、請求項9〜14のいずれか一項に記載の太陽電池の製造方法。
- 前記ワイヤーには、砥粒が固定されている、請求項15に記載の太陽電池の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010187266A JP5927549B2 (ja) | 2010-08-24 | 2010-08-24 | 太陽電池及びその製造方法 |
PCT/JP2011/068909 WO2012026440A1 (ja) | 2010-08-24 | 2011-08-23 | 太陽電池及びその製造方法 |
US13/769,940 US20130153023A1 (en) | 2010-08-24 | 2013-02-19 | Solar cell and method of manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010187266A JP5927549B2 (ja) | 2010-08-24 | 2010-08-24 | 太陽電池及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012049183A true JP2012049183A (ja) | 2012-03-08 |
JP5927549B2 JP5927549B2 (ja) | 2016-06-01 |
Family
ID=45723439
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010187266A Expired - Fee Related JP5927549B2 (ja) | 2010-08-24 | 2010-08-24 | 太陽電池及びその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130153023A1 (ja) |
JP (1) | JP5927549B2 (ja) |
WO (1) | WO2012026440A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013183867A1 (en) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Hanwha Chemical Corporation | Emitter wrap-through solar cell and method of preparing the same |
WO2016051993A1 (ja) * | 2014-10-02 | 2016-04-07 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
WO2019069643A1 (ja) * | 2017-10-04 | 2019-04-11 | 株式会社カネカ | 太陽電池の製造方法、太陽電池および太陽電池モジュール |
US11799040B2 (en) | 2022-06-08 | 2023-10-24 | Zhejiang Jinko Solar Co., Ltd. | Solar cell and photovoltaic module |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5974300B2 (ja) * | 2010-08-24 | 2016-08-23 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 太陽電池及びその製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0886911A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Nippondenso Co Ltd | カラーフィルタ基板の保護膜の平坦化方法 |
JP2006202831A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Sharp Corp | 結晶シリコンウエハ、結晶シリコン太陽電池、結晶シリコンウエハの製造方法および結晶シリコン太陽電池の製造方法 |
JP2009200267A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03276682A (ja) * | 1990-03-26 | 1991-12-06 | Sharp Corp | 半導体装置 |
US5356488A (en) * | 1991-12-27 | 1994-10-18 | Rudolf Hezel | Solar cell and method for its manufacture |
JP3299889B2 (ja) * | 1996-07-31 | 2002-07-08 | シャープ株式会社 | 太陽電池用ウエハの製造方法 |
JP5226255B2 (ja) * | 2007-07-13 | 2013-07-03 | シャープ株式会社 | 太陽電池の製造方法 |
WO2009041266A1 (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Sharp Kabushiki Kaisha | 太陽電池用ウエハの製造方法 |
JP5329107B2 (ja) * | 2008-02-28 | 2013-10-30 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池及びその製造方法 |
JP5207852B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2013-06-12 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池及びその製造方法 |
CN102132422A (zh) * | 2008-08-27 | 2011-07-20 | 应用材料股份有限公司 | 利用印刷介电阻障的背接触太阳能电池 |
US8101856B2 (en) * | 2008-10-02 | 2012-01-24 | International Business Machines Corporation | Quantum well GaP/Si tandem photovoltaic cells |
JP5153571B2 (ja) * | 2008-10-28 | 2013-02-27 | 三洋電機株式会社 | 太陽電池及び太陽電池の製造方法 |
JP2012230929A (ja) * | 2009-08-28 | 2012-11-22 | Sumco Corp | 太陽電池用シリコンウェーハおよびその製造方法 |
JP2011159676A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池及びその太陽電池を用いた太陽電池モジュール |
-
2010
- 2010-08-24 JP JP2010187266A patent/JP5927549B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-08-23 WO PCT/JP2011/068909 patent/WO2012026440A1/ja active Application Filing
-
2013
- 2013-02-19 US US13/769,940 patent/US20130153023A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0886911A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Nippondenso Co Ltd | カラーフィルタ基板の保護膜の平坦化方法 |
JP2006202831A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Sharp Corp | 結晶シリコンウエハ、結晶シリコン太陽電池、結晶シリコンウエハの製造方法および結晶シリコン太陽電池の製造方法 |
JP2009200267A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Sanyo Electric Co Ltd | 太陽電池 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013183867A1 (en) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Hanwha Chemical Corporation | Emitter wrap-through solar cell and method of preparing the same |
US9666734B2 (en) | 2012-06-04 | 2017-05-30 | Hanwha Chemical Corporation | Emitter wrap-through solar cell and method of preparing the same |
WO2016051993A1 (ja) * | 2014-10-02 | 2016-04-07 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
JP2016076508A (ja) * | 2014-10-02 | 2016-05-12 | シャープ株式会社 | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 |
WO2019069643A1 (ja) * | 2017-10-04 | 2019-04-11 | 株式会社カネカ | 太陽電池の製造方法、太陽電池および太陽電池モジュール |
JPWO2019069643A1 (ja) * | 2017-10-04 | 2020-11-05 | 株式会社カネカ | 太陽電池の製造方法、太陽電池および太陽電池モジュール |
US11177407B2 (en) | 2017-10-04 | 2021-11-16 | Kaneka Corporation | Method for manufacturing solar cell, solar cell, and solar cell module |
JP7146786B2 (ja) | 2017-10-04 | 2022-10-04 | 株式会社カネカ | 太陽電池の製造方法、太陽電池および太陽電池モジュール |
US11799040B2 (en) | 2022-06-08 | 2023-10-24 | Zhejiang Jinko Solar Co., Ltd. | Solar cell and photovoltaic module |
JP2023180196A (ja) * | 2022-06-08 | 2023-12-20 | ジョジアン ジンコ ソーラー カンパニー リミテッド | 太陽光電池及び太陽光発電モジュール |
JP7444927B2 (ja) | 2022-06-08 | 2024-03-06 | ジョジアン ジンコ ソーラー カンパニー リミテッド | 太陽光電池及び太陽光発電モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130153023A1 (en) | 2013-06-20 |
JP5927549B2 (ja) | 2016-06-01 |
WO2012026440A1 (ja) | 2012-03-01 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
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A711 | Notification of change in applicant |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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