JP2011258829A - 抵抗変化型メモリデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メモリセルアレイ1において、ワード線WLが隣接して配置された2つのメモリセルでビット線コンタクトBLCが共有されてメモリセル対が構成されている。隣接する2つのビット線に接続された全てのメモリセル対が対応するソース線SLに個別のソース線コンタクトSLCを介して接続されている。そして、ソース線SLが、ビット線BLより大きなピッチでビット線BLより上層の配線層から形成されている。
【選択図】図12
Description
かかる読み出し方法が適用可能な不揮発性半導体メモリデバイスの代表的なものとして、(フラッシュ)EEPRPMが存在する。
RRAMのメモリセルは、ビット線とソース線(プレート線ともいう)との間に、アクセストランジスタと可変抵抗素子が直列接続されて各メモリセルが構成されている。
ところが、可変抵抗素子の第2電極はプレート線に接続され、プレート線は行方向と列方向の複数のメモリセルと共有している。そのためプレート線は負荷が大きく、高速な電圧変化ができない。
よって、ランダムアクセス動作に不向きである。
特に、ビット線を最小加工寸法Fで加工する必要があるが、更にソース線も同様にFで加工すると、インテグレーション難易度が高く歩留まりが低下する。抵抗変化型メモリデバイスにおいて、この歩留まり低下を防止することが可能な多層配線層の用い方ならびに配線を含むレイアウトは未だに提案されていない。
前記メモリセルアレイは、アクセストランジスタと可変抵抗素子が直列接続された電流経路を備える複数のメモリセルが2次元配置されている。
前記複数のビット線は、前記電流経路の一端を接続する。
前記複数のソース線は、前記電流経路の他端を接続する。
前記複数のワード線は、前記アクセストランジスタの導通と非導通を制御する。
隣接する2つの前記ビット線に接続された全ての前記メモリセル対が対応する前記ソース線に個別のソース線コンタクトを介して接続されている。
そして、前記ソース線が、前記ビット線より大きなピッチで前記ビット線より上層の配線層から形成されている。
あるいは好適に、前記メモリセルアレイは、奇数番目の前記ビット線に接続された前記メモリセル対と、偶数番目の前記ビット線に接続された前記メモリセル対とで、異なるワード線で選択されるメモリセル対の配置となっている。
また、他の好適な態様としては、前記隣接する2つのビット線の各々に対し全てのワード線で選択可能な数の前記メモリセル対が接続されている。
本発明では、ビット線コンタクトが2つのメモリセルで共有されているため、各ビット線によって電気的に接続すべきコンタクトの数が削減され、その分、ビット線の配線の自由度が高い。このビット線コンタクトの共有と、ビット線とソース線を異なる配線層で形成したことによって、メモリセルあたりの単位面積が小さい。
また、ビット線コンタクトを共有する2つのメモリセル(メモリセル対)が異なるワード線に接続されている。このため、好適な例のように、異なるワード線による選択と非選択の制御(アクセストランジスタの制御)が可能である。
さらに、ビット線に比べて上層のソース線の配線ピッチが緩和されているため、配線形成時の歩留まりが低下することを防止している。
1.第1の実施の形態:メモリセル対の行方向と列方向の互い違いの配置。
2.第2の実施の形態:メモリセル対の行列配置。
[メモリセル構成]
図1(A)と図1(B)に、本発明の実施の形態に共通なメモリセルの等価回路図を示す。なお、図1(A)は書き込み電流Iw、図1(B)は消去電流Ieについて、その向きを示すが、メモリセル構成自体は両図で共通する。
図1に図解するメモリセルMCは、“可変抵抗素子Rcell”としての1つの可変抵抗素子Rcellと、1つのアクセストランジスタATとを有する。
可変抵抗素子Rcellの一端がソース線SLに接続され、他端がアクセストランジスタATのソースに接続され、アクセストランジスタATのドレインがビット線BLに、ゲートがワード線WLに、それぞれ接続されている。
図2に図解されているメモリセルMCにおいて、そのアクセストランジスタATが半導体基板100に形成されている。
ドレイン(D)は2つのメモリセルで共有され、共有ビット線コンタクトBLC12を介して、第1配線層(1M)により形成されたビット線BLに接続されている。
なお、共有ビット線コンタクトBLC12は、図2の紙面奥側のアクセストランジスタAT1と、紙面手前側のアクセストランジスタAT2という、ビット線方向に隣接する2つのアクセストランジスタで共有されている。
絶縁体膜102の材料としては、例えば、SiN,SiO2,Gd2O3等が挙げられる。
導体膜103の材料としては、例えば、Cu,Ag,Zr、Alから選ばれる1つ以上の金属元素を含有する金属膜、合金膜(例えばCuTe合金膜)、金属化合物膜等が挙げられる。なお、イオン化しやすい性質を有するならば、Cu,Ag,Zr,Al以外の金属元素を用いてもよい。また、Cu,Ag,Zr,Alの少なくとも一つと組み合わされる元素は、S,Se,Teのうちの少なくとも一つの元素であることが望ましい。導体膜103は、“イオン供給層”として形成されている。
なお、本実施形態においてソース線SLは、ビット線BLより上層の配線層で形成されていればよい。ここでは、ビット線BLが第1層目の配線層(1M)で形成され、ソース線SLが4〜5層目の配線層で形成されている。ただし、ソース線SLは、本例では第2層目の配線層(2M)以上の配線層から形成されていればよい。
図3は、一例として、絶縁体膜102がSiO2から形成され、導体膜103がCuTe合金ベースの合金化合物(Cu−Te based)から形成されている場合を示している。
すると、導体膜103に含まれるCu,Ag,Zr,Alが、イオン化して負極側に引き寄せられる性質を持つようになる。これら金属の導電性イオンが絶縁体膜102に注入される。そのため、絶縁体膜102の絶縁性が低下し、その低下とともに導電性を持つようになる。その結果、図3(A)に示す向きの書き込み電流Iwが流れる。この動作を書き込み(動作)またはセット(動作)という。
すると、絶縁体膜102に注入されていた導電性イオンが導体膜103に戻され、書き込み前の抵抗値が高い状態にリセットされる。この動作を消去(動作)またはリセット(動作)という。リセットでは、図3(B)に示す向きの消去電流Ieが流れる。
これに対し、どの状態(セットまたはリセット)をデータの書き込み状態とし、消去状態とするかは、任意に定義される。
ここで、図1に示す可変抵抗素子Rcellの回路シンボルの矢印は、通常、セット時(ここでは書き込み時)の電流と同じ向きとなっている。
なお、セット時に実際には、絶縁体膜102中の金属イオンの量によって、絶縁体膜102の抵抗値が変化していることから、絶縁体膜102を、データが記憶され保持される“記憶層”とみなすことができる。
図4に、ICチップのブロック図を示す。
図解されている半導体メモリデバイスは、図1〜図3に示すメモリセルMCをマトリクス状に行(ロウ)方向に(M+1)個、列(カラム)方向に(N+1)個、配置しているメモリセルアレイ1を有する。半導体メモリデバイスは、メモリセルアレイ1と、その周辺回路を同一半導体チップに集積化したものである。ここで“N”と“M”は比較的大きな自然数であり、その具体的値は任意に設定される。
なお、センスアンプ等の読出し系の回路、書き込み禁止等を行うロジックブロック、電源電圧から各種電圧を発生する回路、クロック信号の発生制御回路等は、図4において図示を省略している。
プリデコーダ3内のXデコード部は、Xセレクタ(不図示)を基本単位として構成されている。Xデコード部は、プリデコーダ3から入力するXアドレス信号をデコードし、そのデコードの結果に基づいて、選択されたXセレクト信号X_SELをWLドライバ4に送る回路である。Xセレクタの詳細は後述する。
プリデコーダ3のYデコード部は、Yセレクタ(不図示)を基本単位として構成されている。Yデコード部は、入力するYアドレス信号をデコードし、そのデコードの結果に基づいて、選択されたYセレクト信号Y_SELをCSLドライバ6に送る回路である。Yセレクタの詳細は後述する。
以下、カラムスイッチ5を構成する各スイッチが、トランスファーゲートであるとする。
より詳細には、偶数アドレスのビット線BL<0>,BL<2>,…(以下、偶数ビット線と呼ぶ)は、対応するトランスファーゲートによって偶数グローバルビット線GBL_Evenとの接続が制御される。同様に、奇数アドレスのビット線BL<1>,BL<3>,…(以下、奇数ビット線と呼ぶ)は、対応するトランスファーゲートによって奇数グローバルビット線GBL_Oddとの接続が制御される。
SLドライバ12は、I/Oバッファ9に接続され、外部からのデータをI/Oバッファ9から入力し、入力データに応じてグローバルビット線(GBL_Even,GBL_Odd)を制御する。
BLドライバ10とSLドライバ12の制御時に、制御回路11からの各種イネーブル信号(EvenEn,OddEn,WEn)が用いられる。
制御回路11には、以下の5つの機能を備える。
(2)CSLドライバ6を、プリデコーダ3を経由して(または直接)制御し、これによりスイッチ51を個別に導通または非導通とする機能。
(3)書き込みまたは消去時に、BLドライバ10に、偶数列イネーブル信号(EvenEn)と奇数列イネーブル信号(OddEn)を与えて動作電圧の供給(大きさと向き)を制御する機能。
(4)不図示のセンスアンプ等の読出し系回路やインヒビットを制御する機能。
なお、制御回路11により出力される各種制御信号は、符号のみ図4に示し、レベル変化の詳細は後述する。
つぎに、プリデコーダ3のXデコード部の基本構成であるXセレクタと、プリデコーダ3のYダコード部の基本構成であるYセレクタとを説明する。続いて、WLドライバ4の基本構成であるWLドライバユニットを説明する。
図5に図解されているXセレクタ20は、初段の4つのインバータINV0〜INV3、中段の4つのナンド回路NAND0〜NAND3、後段に接続されている他の4つのインバータINV4〜INV7から構成されている。
Xセレクタ20は、XアドレスビットX0,X1を入力し、そのデコード結果に応じて、Xセレクト信号X_SEL0〜X_SEL3のいずれかを活性化する(たとえばハイレベルにする)回路である。
図5は2ビットデコードの例であるが、Xデコード部は、その入力されるXアドレス信号のビット数に応じて、図5の構成を拡張または多段展開することで、入力が2ビット以外でも対応可能に実現される。
図解されているYセレクタ30は、初段の4つのインバータINV8〜INV11、中段の4つのナンド回路NAND4〜NAND7、後段に接続されている他の4つのインバータINV12〜INV15から構成されている。
Yセレクタ30は、YアドレスビットY0,Y1を入力し、そのデコード結果に応じて、Yセレクト信号Y_SEL0〜Y_SEL3のいずれかを活性化する(たとえばハイレベルにする)回路である。
図6は2ビットデコードの例であるが、プリデコーダ3は、その入力されるYアドレス信号のビット数に応じて、図6の構成を拡張または多段展開することで、入力が2ビット以外でも対応可能に実現される。
図解されているWLドライバユニット4Aは、WLドライバ4内にカラム方向のセル数(N+1)だけ設けられている。
この(N+1)個のWLドライバユニット4Aは、図5に示すXセレクタ20等によって選択(活性化)された1つのXセレクト信号X_SEL0またはX_SEL1によって動作する。WLドライバユニット4Aは、Xセレクト信号X_SEL0またはX_SEL1に応じた1本のワード線WL<0>またはWL<1>を活性化する。
ナンド回路NAND8の一方入力にWL選択イネーブル信号WLENが入力され、他方入力にXセレクト信号X_SEL0またはX_SEL1が入力され、ナンド回路NAND8の出力がインバータINV16の入力に接続されている。インバータINV16の出力に接続されたワード線WL<0>またはWL<1>が活性化または非活性となる。
図解されているCSLドライバユニット6Aは、ナンド回路NAND12と、その出力に接続されているインバータINV21とからなる。
ナンド回路NAND12の一方入力にCSLイネーブル信号CSLENが入力され、他方入力に図6に示すYセレクタ30により選択(活性化)された1つのYセレクト信号Y_SEL0またはY_SEL1が入力される。このYセレクト信号Y_SEL0またはY_SEL1とCSLイネーブル信号CSLENがともに活性(ハイレベル)のときに、ナンド回路NAND12の出力がローレベルとなる。そのため、インバータINV21の出力に接続されたカラム選択線CSL<0>またはCSL<1>の電位が活性レベル(本例ではハイレベル)に遷移する。
カラム選択線CSL<0>またはCSL<1>の電位は、図4に示すように対応するスイッチ51(トランスファーゲートのNMOSトランジスタ)のゲートに入力されている。なお、カラム選択線CSL<0>またはCSL<1>の反転信号は、ナンド回路NAND12とインバータINV21との接続ノードから取り出され、トランスファーゲートのPMOSトランジスタのゲートに入力される。
図9に、第1の実施形態に関わるメモリセルアレイ1の等価回路図を示す。図9では、メモリセルアレイ1の一部のみ示す。
図9に図解するメモリセルアレイ1は、アクセストランジスタATと可変抵抗素子Rcellが直列接続された電流経路を備えるメモリセルMCが2次元配置されている。
より詳細には、隣接する2本のワード線WL<even>とWL<odd>とにそれぞれ接続され、同じメモリセル列に属する2つのメモリセルMCで共有ビット線コンタクトBLCが共有されて、メモリセル対が構成されている。
例えば、図9で破線で囲むA領域内のメモリセルに着目する。共有ビット線コンタクトBLC23_1を有するビット線対と、共有ビット線コンタクトBLC45_1を有するビット線対は、隣接するメモリセル列に配置されている。そのため、共有ビット線コンタクトBLC23_1を有するビット線対は奇数ビット線BL<odd1>に接続され、共有ビット線コンタクトBLC45_1を有するビット線対は偶数ビット線BL<even1>に接続されている。また、この2つのメモリセル対は、ワード線対(WL<2>,WL<3>)とワード線対(WL<4>,WL<5>)といった異なるワード線対で制御される。
このことは、A領域内の他の2つのメモリセル列でも同様である。また、A領域以外の行方向および列方向の他のメモリセル対(隣の2つのメモリセル列)でも同様である。
この斜視図からわかるように、可変抵抗素子Rcellは、ソース線コンタクトSLCの位置に配置されているとみなしてよい。
図10は、拡散層(ソースSやドレインD)から共有ビット線コンタクトBLCの形成までを示す平面図である。
図10に示すように、トランジスタ対ごとの活性領域ARが列方向に長い矩形状に形成されて行方向と列方向のそれぞれで互い違いに配置されている。行方向の1列おきに離間した複数の活性領域ARに対し、互いに離間したワード線対が交差(本例では直交)している。この関係は、A領域内の他の行、さらにはA領域以外の不図示のメモリセルアレイ領域でも同様である。
各活性領域ARの両端部付近にソース線コンタクトSLCが配置されている。異なるワード線対に含まれ互いに隣接する2本のワード線間(例えば、WL<3>とWL<4>、あるいはWL<5>とWL<6>との間)に延在した活性領域ARの部分に対し、BLCの2倍(単位面積あたり)のSLCが配置されている。
4本のビット線、すなわちBL<even1>、BL<odd1>、BL<even2>、BL<odd2>は、ソース線コンタクトSLCを避けて蛇行している。そして、各ビット線は、ソース線コンタクトSLCが設けられている活性領域部分の間を通って同一のメモリセル列内の共有ビット線コンタクトBLCを共通に接続している。
本実施形態におけるソース線SLは、2つのメモリセル列に対応した幅をもち、2つのメモリセル列内の全てのソース線コンタクトSLCの上面を覆うように列方向に延びて配線されている。
なお、ワード線WLやビット線BLを最小加工寸法Fで形成した場合、ソース線SLの幅(いわゆるライン)を2F、ソース線SL間の離間距離(いわゆるスペース)をFで形成される。この場合、最小加工寸法をFとすると、メモリセルあたりの単位面積は8F2となる。
図14に、ソース線SLの加工形状の変形例を示す。
図14に示すように、ソース線SLの加工形状を、ソース線コンタクトSLCの部分で広くし、その他の部分で細くしてもよい。この加工形状では、スペースの平均的な幅が広くなるため配線材料の抜け(エッチングされる部分の除去性)が向上し、その分、歩留まりがよいという利点がある。
これにより、ソース線は、行方向のライン幅が行方向のライン間距離の2倍より小さい配線とすることができる。
図15に、ソース線コンタクトSLCとソース線SLとの重ね幅の変形例を示す。
図15に示すように、ソース線コンタクトSLCの上面をソース線SLで完全に覆わなくても記憶特性に支障がない場合がある。図15では図示を省略した可変抵抗素子Rcellの構造にもよるが、ソース線コンタクトSLCの径より可変抵抗素子Rcellの経を小さくすることが可能である。
これにより、ソース線は、行方向のライン幅が行方向のライン間距離の2倍より小さい配線とすることができる。
図16に、メモリセルアレイ1に接続されたBLドライバ10およびSLドライバ12の要部回路を示す。
図16に図解する駆動回路(10,12)は、5つのナンド回路NAND9,10,18〜20と、1つのノア回路NORと、4つのインバータINV17〜20とを含む。
ナンド回路NAND9とNAND10の各出力から、ノア回路NORが中間データD<01>を発生する。ノア回路NORの出力はナンド回路NAND20の一方入力に接続されている。また、ノア回路NORの出力はインバータINV17を通してナンド回路NAND18とNAND19の第1入力に接続されている。ナンド回路NAND18の第2入力に偶数列イネーブル信号(EvenEn)が与えられ、ナンド回路NAND19の第2入力に奇数列イネーブル信号(OddEn)が与えられる。ナンド回路NAND18およびNAND19の第3入力、ならびにナンド回路NAND20の他方入力に書き込みイネーブル信号(WEn)が与えられる。
図16の駆動回路では、D<0>=Hの場合(図17(E))、セット動作がイネーブルとなり、D<1>=Lの場合(図18(E))、リセット動作がイネーブルとなる。更に偶数ビット線選択時に偶数列イネーブル信号(EvenEn)=Hとなり、奇数ビット線選択時は奇数列イネーブル信号(OddEn)=Hとなる。
一方、メモリセルMC2をセットする場合(図19)、偶数列イネーブル信号(EvenEn)=L、奇数列イネーブル信号(OddEn)=Hとして上記と同様な動作を実行する。
さらに、メモリセルMC2をリセットする場合(図20)、(EvenEn)=L、(OddEn)=Hとしたまま、D<0>=Lを入力する。
また、ソース線とビット線がともにライン加工されているため負荷が軽く高速動作に適している。
以上より、高速で高い歩留まりを有し、メモリセルあたりの単位面積が8F2程度にまで縮小した微細メモリセルを有する抵抗変化型メモリデバイスが実現できる。
なお、変形例1,2等を用いることにより、ライン&スペースが1:1に近づくようにソース線SLの幅をより小さくでき、これにより歩留まりのさらなる向上が達成できる。
図21に、第2の実施形態に関わるメモリセルアレイ1の等価回路図を示す。
図21に図解するメモリセルアレイ1は、図9と比較すると、共有ビット線コンタクトを有するメモリセル対が行列状に2倍の密度で敷き詰められている。
そして、このメモリセル対は、隣接するビット線の各々に対して全てのワード線で選択可能に接続されている。また、メモリセルアレイ1は、奇数番目のビット線BL<1>,BL<3>,…に接続されたメモリセル対と、偶数番目のビット線BL<0>,BL<2>,…に接続されたメモリセル対とで、同じワード線で選択されるメモリセル対の配置となっている。
図22は、拡散層(ソース(領域)Sやドレイン(領域)D)から共有ビット線コンタクトBLCの形成までを示す平面図である。
図22に示すように、トランジスタ対ごとの活性領域ARが列方向に長い矩形状に形成されて行列状に配置されている。行方向の複数の活性領域ARに対し、互いに離間したワード線対が交差(本例では直交)している。この関係は、B領域内の他の行、さらにはB領域以外の不図示のメモリセルアレイ領域でも同様である。
各活性領域ARの両端部付近にソース線コンタクトSLCが配置されている。このため、異なるワード線対に含まれ互いに隣接する2本のワード線間(例えば、WL<1>とWL<2>との間)に延在した活性領域ARの部分に対し、ビット線コンタクトBLCの2倍の数(単位面積あたり)のソース線コンタクトSLCが配置されている。
4本のビット線、すなわちBL<0>〜BL<3>は、ソース線コンタクトSLCを避けて蛇行している。そして、ソース線コンタクトSLCが設けられている活性領域部分の間を通って同一のメモリセル列内の共有ビット線コンタクトBLCを共通接続している。
本実施形態におけるソース線SLは、2つのメモリセル列に対応した幅をもち、2つのメモリセル列内の全てのソース線コンタクトSLCの上面を覆うように列方向に延びて配線されている。
なお、ワード線WLやビット線BLを最小加工寸法Fで形成した場合、ソース線SLの幅(いわゆるライン)を2F、ソース線SL間の離間距離(いわゆるスペース)をFで形成される。この場合、最小加工寸法をFとすると、メモリセルあたりの単位面積は4F2となる。
図25に、ソース線SLの加工形状の変形例を示す。
図25に示すように、ソース線SLの加工形状を、ソース線コンタクトSLCの部分で広くし、その他の部分で細くしてもよい。この加工形状では、スペースの平均的な幅が広くなるため配線材料の抜け(除去部分の除去性)が向上し、その分、歩留まりがよいという利点がある。
これにより、ソース線は、行方向のライン幅が行方向のライン間距離の2倍より小さい配線とすることができる。
図26に、メモリセルアレイ1に接続されたBLドライバ10およびSLドライバ12の要部回示路を示す。
図26に図解する駆動回路(10,12)は、図16の構成に、さらに、ナンド回路NAND21とNAND22を追加している。また、インバータINV18に代えてノア回路NOR1を設け、インバータINV19に代えてノア回路NOR2を設けている。
動作は、第1の実施形態と同じであるため、説明を省略する。
この回路部は、入力X0を2つのインバータINV30とINV31を通すことにより、インバータINV30の出力から奇数列イネーブル信号(OddEn)を、インバータINV31の出力から偶数列イネーブル信号(EvenEn)を得る。
Claims (13)
- アクセストランジスタと可変抵抗素子が直列接続された電流経路を備える複数のメモリセルが2次元配置されたメモリセルアレイと、
前記電流経路の一端を接続する複数のビット線と、
前記電流経路の他端を接続する複数のソース線と、
前記アクセストランジスタの導通と非導通を制御する複数のワード線と、
を備え、
前記ワード線が隣接して配置された2つのメモリセルでビット線コンタクトが共有されてメモリセル対が構成され、
隣接する2つの前記ビット線に接続された全ての前記メモリセル対が対応する前記ソース線に個別のソース線コンタクトを介して接続され、
前記ソース線が、前記ビット線より大きなピッチで前記ビット線より上層の配線層から形成されている
抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記隣接する2つのビット線に対し前記メモリセル対が列方向で交互に接続されている
請求項1に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記メモリセルアレイは、奇数番目の前記ビット線に接続された前記メモリセル対と、偶数番目の前記ビット線に接続された前記メモリセル対とで、異なるワード線で選択されるメモリセル対の配置となっている
請求項1または2に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記メモリセル対ごとの活性領域が列方向に長い矩形状に形成されて行方向と列方向のそれぞれで互い違いに配置され、
行方向の1列おきに離間した複数の前記活性領域に対し、互いに離間したワード線対が交差し、当該活性領域に対するワード線対の交差が列方向に繰り返され、
前記ワード線対を構成する2本のワード線の間に一列おきに位置する活性領域の中央部に共有された前記ビット線コンタクトが配置され、
異なる前記ワード線対に含まれ互いに隣接する2本のワード線間に延在した前記活性領域の部分に対し、前記ビット線コンタクトの2倍の数の前記ソース線コンタクトが配置され、
列ごとの前記ビット線コンタクトを共通接続する前記ビット線が、前記ソース線コンタクトが配置された前記活性領域の部分の間を通って蛇行して配線され、
前記ビット線より幅広で上層の配線層からなる前記ソース線は、2列のメモリセル配列における前記ソース線コンタクトの全てを共通に接続して列方向に配線されている
請求項1〜3に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記隣接する2つのビット線の各々に対し全てのワード線で選択可能な数の前記メモリセル対が接続されている
請求項1に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記メモリセルアレイは、奇数番目の前記ビット線に接続された前記メモリセル対と、偶数番目の前記ビット線に接続された前記メモリセル対とで、同じワード線で選択されるメモリセル対の配置となっている
請求項5に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記メモリセル対ごとの活性領域が列方向に長い矩形状に形成されて行列状に配置され、
行方向に離間した複数の前記活性領域に対し、互いに離間したワード線対が交差し、当該活性領域に対するワード線対の交差が列方向に繰り返され、
前記ワード線対を構成する2本のワード線の間に位置する活性領域の中央部に共有された前記ビット線コンタクトが配置され、
異なる前記ワード線対に含まれ互いに隣接する2本のワード線間に延在した前記活性領域の部分に対し、前記ビット線コンタクトの2倍の数の前記ソース線コンタクトが配置され、
列ごとの前記ビット線コンタクトを共通接続する前記ビット線が、前記ソース線コンタクトが配置された前記活性領域の部分の間を通って蛇行して配線され、
前記ビット線より幅広で上層の配線層からなる前記ソース線は、2列のメモリセル配列における前記ソース線コンタクトの全てを共通に接続して列方向に配線されている
請求項5または6に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記ソース線は、行方向のライン幅が行方向のライン間距離の2倍より小さい配線である
請求項1〜7の何れかに記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記ソース線コンタクトのコンタクトプラグとソース線との間に前記可変抵抗素子が配置されている
請求項1〜8の何れかに記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記ソース線は、前記可変抵抗素子の抵抗変化層の一部にエッジが重なるライン幅を有する
請求項9に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記ソース線は、前記2列のメモリセル配列において、前記ソース線コンタクトと接続する部分に比べ当該部分の以外で幅が狭くなっている
請求項4または7に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 奇数行の前記メモリセルと偶数行の前記メモリセルとを独立に制御可能な駆動回路を有する
請求項1〜11の何れかに記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記可変抵抗素子は、印加電圧の向きにより書き込み情報の論理が異なる抵抗変化型記憶素子である
請求項1〜12の何れかに記載の抵抗変化型メモリデバイス。
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