JP2012243359A - 抵抗変化型メモリデバイスおよびその動作方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】印加電圧に応じて抵抗値が変化する可変抵抗素子Reの低抵抗化動作を、電圧ドライバ51が第2共通線(BLとSLの一方)の電位を変化させて開始し、低抵抗化動作中は可変抵抗素子Reに流れる素子電流を電流制御部52が第1共通線(BLとSLの他方)の側で制御する。低抵抗状態に遷移可能な期間の経過後に第1,第2共通線を、例えば短絡スイッチ54によって電位的にイコライズさせる。
【選択図】図8
Description
記憶素子は、2つの電極間に上記導電性イオンの供給層と絶縁膜で形成した積層構造を有する。メモリセルは、記憶素子とアクセストランジスタとをアクティブマトリクス駆動可能にビット線とプレート間に直列接続させて構成されている。
このようなメモリセルは、1つのトランジスタ(T)と1つの(可変)抵抗(R)を持つことから1T1R型の電流駆動方式メモリの一種である。この導電性イオンを用いたメモリは、絶縁層の酸化、還元を用いたメモリと共に、一般に、ReRAMと広く呼ばれている。
図1の横軸は、低抵抗状態(LRS)の抵抗値RLRSの逆数(コンダクタンス)を表している。また、図1の縦軸は、低抵抗化動作(ここではセット動作と呼ぶ)におけるSet電流(Iset)の値を表している。
しかし、その一方で、ReRAMは、電流制御の精度が低いと、所望の狭い分布の抵抗値が得にくい。また、ReRAMは、電流制御の精度が低いと、特に過剰な電流印加によって、高抵抗化(リセット)動作がしにくくなり、あるいは、繰り返し特性が低下するというオーバーセットに伴う不利益も併せて有している。
このうち、ワード線はゲートメタルで形成され、大きなゲート容量を多数、寄生容量として含むことから配線容量が大きく制御しにくい。その一方、ビット線は上層配線層で形成されるため、単位長あたりの配線容量を低減でき、駆動力が小さい回路での制御が可能である。
セット動作の開始時には、例えば、ビット線に対しソース線を高電位にして、ソース線からビット線に素子電流を流す。そして、記憶素子が十分に低抵抗状態に変化可能な期間の経過後に、ソース線の電位を動作前の低電位に戻すことでセット動作を終了させる。
このディスターブの発生は、ビット線の電流制御における記憶素子の抵抗値の精密な制御性を毀損するものである。
前記記憶素子は、前記第1共通線と前記第2共通線との間に接続され、印加電圧に応じて抵抗値が変化する。
前記駆動制御回路は、前記記憶素子を高抵抗状態から低抵抗状態に遷移させる低抵抗化動作を、前記第2共通線の電位を変化させて開始し、低抵抗化動作中は前記記憶素子に流れる素子電流を前記第1共通線の側で制御し、前記記憶素子が低抵抗状態に遷移可能な期間の経過後に前記第1共通線と前記第2共通線とを電位的にイコライズすることによって、前記低抵抗化動作を終了させる。
以下、次の順で説明を行う。
1.第1の実施の形態:「第1共通線」をビット線、「第2共通線」をソース線とする例。
2.第2の実施の形態:「第1共通線」をソース線、「第2共通線」をビット線とする例。
3.第3の実施の形態:アクセストランジスタをP型とする例。
4.第4の実施の形態:短絡スイッチを単一のN型トランジスタとする例。
5.第5の実施の形態:短絡スイッチを単一のP型トランジスタとする例。
[メモリセル構成]
図2(A)と図2(B)に、本実施形態に共通なメモリセルの等価回路図を示す。なお、図2(A)は書き込み電流、図2(B)は消去電流について、その向きを示すが、メモリセル構成自体は両図で共通する。
図1に図解するメモリセルMCは、「記憶素子」としての1つの可変抵抗素子Reと、1つのアクセストランジスタATとを有する。
可変抵抗素子Reの一端がソース線SLに接続され、他端がアクセストランジスタATのソースに接続され、アクセストランジスタATのドレインがビット線BLに、ゲートがワード線WLに、それぞれ接続されている。ここで、ビット線BLが「第1共通線」の例であり、ソース線SLが「第2共通線」の例である。
本実施形態では、このようにメモリセルがビット線BL(第1共通線)と、ソース線SL(第2共通線)と、ワード線WLとの3つの線に接続された3線方式を前提とする。ここでワード線WLは、アクセストランジスタATを制御するが、制御対象はトランジスタに限らずメモリセルを選択する手段であれば他の素子でもよい。
図3に図解されているメモリセルMCにおいて、そのアクセストランジスタATが半導体基板100に形成されている。
ドレイン(D)はビット線コンタクトを介して、第1配線層(1M)により形成されたビット線BLに接続されている。なお、図3に現れていないが、ビット線BLは、実際には、列方向(図3の横方向)に長く配線される。
可変抵抗素子Reを多層配線構造の何層目に形成するかは任意であるが、ここではおおよそ4〜5層目に可変抵抗素子Reが形成されている。
絶縁体膜102の材料としては、例えば、SiN,SiO2,Gd2O3等が挙げられる。
導体膜103の材料としては、例えば、Cu,Ag,Zr、Alから選ばれる1つ以上の金属元素を含有する金属膜、合金膜(例えばCuTe合金膜)、金属化合物膜等が挙げられる。なお、イオン化しやすい性質を有するならば、Cu,Ag,Zr,Al以外の金属元素を用いてもよい。また、Cu,Ag,Zr,Alの少なくとも一つと組み合わされる元素は、S,Se,Teのうちの少なくとも一つの元素であることが望ましい。導体膜103は、「導電性イオンの供給層」として形成されている。
なお、本実施形態においてソース線SLは、ビット線BLより上層の配線層で形成されている。ここでは、ビット線BLが第1層目の配線層(1M)で形成され、ソース線SLが4〜5層目の配線層で形成されている。ただし、ビット線BLとソース線SLが利用する配線層の上限関係は逆でもよいし、それぞれが何層目であるかも任意である。
図4は、一例として、窒化膜(SiN膜)104の開口部で下部電極101との接触面積が規制された絶縁体膜102がSiO2から形成され、導体膜103がCuTe合金ベースの合金化合物(Cu−Te based)から形成されている場合を示している。
すると、導体膜103に含まれるCu,Ag,Zr,Alが、イオン化して負極側に引き寄せられる性質を持つようになる。これら金属の導電性イオンが絶縁体膜102に注入される。そのため、絶縁体膜102の絶縁性が低下し、その低下とともに導電性を持つようになる。その結果、図4(A)に示す向きの書き込み電流Iwが流れる。この動作を書き込み(動作)またはセット(動作)という。
すると、絶縁体膜102に注入されていた導電性イオンが導体膜103に戻され、書き込み前の抵抗値が高い状態にリセットされる。この動作を消去(動作)またはリセット(動作)という。リセットでは、図4(B)に示す向きの消去電流Ieが流れる。
これに対し、どの状態(セットまたはリセット)をデータの書き込み状態とし、消去状態とするかは、任意に定義される。
また、別の定義では、可変抵抗素子Reを高抵抗状態HRSから低抵抗状態LRSに遷移させることをセット、その逆をリセットと呼ぶ。
ここで、図2に示す可変抵抗素子Reの回路シンボルの矢印は、通常、セット時(ここでは書き込み時)の電流と同じ向きとなっている。
但し、2値メモリ以外の3値以上の多値メモリに本開示技術を適用しても構わない。
なお、セット時に実際には、絶縁体膜102中の金属イオンの量によって、絶縁体膜102の抵抗値が変化していることから、絶縁体膜102を、データが記憶され保持される「記憶層」とみなすことができる。
次に、基本的なカラム回路構成と動作を、図5と図6を用いて説明する。
図5において、列方向に隣接する2つのメモリセルMC1,MC2を示す。メモリセルMC1,MC2の各々は、図2と同様に、ソース線(第2共通線)に接続された可変抵抗素子Reと、可変抵抗素子Reとビット線BLとの間に接続されたアクセストランジスタATとを有する。
メモリセルMC1は、そのワード線WLにワード線駆動パルス(同一符号のWLで示す)が印加されて選択される。一方、メモリセルMC2のワード線は非選択ワード線(Unsel WL)であり、この場合、接地されている。
本カラム回路構成は、電圧ドライバ51(電圧駆動部)と、ビット線の電流制御部52を有するセットドライバ5(駆動制御回路)を、複数の共通線対で共有する構造を開示する。
そのために、共有された共通線対の何れか1対を選択して、駆動制御回路に接続させる構成が必要となる。
図5に示す選択トランジスタ対(61,62)は、2つのNMOSトランジスタからなり、その対を選択するときに、各ゲートに正の選択信号YSWが印加される。
一方、非選択の他の選択トランジスタ対(61,62)は、各ゲートが接地される。
なお、リセット部53の「リセット」は、前述した消去あるいは高抵抗化動作ではなく、単に、非動作状態(いわゆるスタンバイ)の意味である。以後、「リセット」という言葉は、スタンバイの意味で用いることがある。
PMOSトランジスタP2とNMOSトランジスタN1の共通ドレインが共通ソース線CSLに接続されている。PMOSトランジスタP2のソースと、正のセット電圧Vsetの供給線との間に、PMOSトランジスタP1が接続されている。NMOSトランジスタN1のソースと接地電位の供給線との間に、NMOSトランジスタN2が接続されている。
PMOSトランジスタP1とNMOSトランジスタN2の各ゲートに、セットパルスイネーブルの反転信号(/SetPlsEn)が印加される。
NMOSトランジスタN3のゲートに電流制御のためのセットゲート電圧Vgsetが供給される。NMOSトランジスタN3のゲートは、上記セットイネーブル信号SetEnにより制御される。
セット動作(低抵抗化動作)は、ビット線BLとソース線SLを接地したスタンバイ状態から、ソース線SLに正のセット電圧Vsetを印加することで開始する。この時、ワード線WLに電源電圧Vddが印加されている。このため、図7(A)に示す矢印の向きに素子電流(ここでは書き込み電流Iw)が流れる。なお、以下、書き込み電流Iwを「セット(Set)電流」とも言う。
図7(A)に示すように、可変抵抗素子ReとアクセストランジスタATの間のノードを記憶ノードSNとする。図7(B)の横軸は、接地状態のビット線電位を基準とするSN電圧(アクセストランジスタATのドレイン電圧)を表す。また、図7(B)の縦軸は、Set電流(アクセストランジスタATのドレイン電流)を表す。
これに対し、ビット線の電流駆動方式では、NMOSトランジスタN3が、ビット線に流す電流(つまり、書き込み電流IWまたはSet電流)を一定とするように、そのドレイン電位(ビット線電位)を変動させる。このため、素子特性のばらつきがあっても、飽和領域でSet電流が一定となる。
LRS反転後は、ソース線SLの電位を元の接地電位に戻して、当該セット動作が終了する。
図6に示す時間t0まではスタンバイ状態であり、このとき図6(A)〜図6(E)に示すように、図5で用いられた各種の(パルス)信号が、それぞれハイ(H)またはロー(L)の決められた値をとる。
図6(G)および図6(H)のように、スタンバイ時には、共通ビット線CBLおよび共通ソース線CSL等の電位が接地電位(GND)をとり、素子電流は流れていない。
これによりスタンバイ状態が解除されて共通ビット線CBLと共通ソース線CSLが接地電位(GND)に対し非接続となる。
カラムスイッチが導通してビット線BLが共通ビット線CBLと、ソース線SLが共通ソース線CSLと、それぞれ接続される。
アクセストランジスタATが導通可能となる。
また、電圧ドライバ51において、NMOSトランジスタN1とPMOSトランジスタP2がオン可能となる。但し、図6(E)に示すようにSetPlsEn=Lが維持されているため、電圧ドライバ51によるソース線の電圧駆動はまだ行われない。
さらに、電流制御部52においては、NMOSトランジスタN4がオンするため、NMOSトランジスタN3によりビット線電流制御が可能な有効(valid)期間になる。
以上のように、時間t0における信号反転によって、セット動作の事前準備が整う。
したがって、多数のメモリセルにおいて狭いLRS抵抗分布の実現が可能であり、また、2ビットより多いビットの多値化メモリの実現が容易となる。
図5の構成を用いた図6の動作シーケンスでは、その後の時間t4で、セットパルスイネーブル信号SetPlsEnがLに戻される。そのためソース線SLとビット線BLが初期値のGNDに戻され、これによりセット動作(低抵抗化動作)が終了する。
但し、リセット部53を利用することで、このリセット方向の電流発生を防止し、あるいは、発生しても電流値を小さくすることができる。この場合、図5(A)においては時間t6でHレベルに戻すリセット信号BLRESを、時間t4と同時か、それより前でLRS反転後の電流制御が済んだ後にHにする。これにより、BL電位の残存電荷がメモリセルとは別の経路で放電されるため、リセット方向の電流が流れないか、流れても低減される。
このようなリセット信号BLRESのタイミング変更を行うと、リセット部53(イコライズ部)によるイコライズによって、セット動作の終了タイミングが決められる。この場合、リセット部53が本開示技術の「イコライズ部」を兼用する。
次に、図5の基本構成に回路要素を追加したカラム回路構成を、図8に示す。
図8においては、共通ビット線CBLと共通ソース線CSL間に接続された「イコライズ部」としての短絡スイッチ54を、図5の構成図に追加している。それ以外の構成は、図8は図5と共通し、その共通な構成の動作も同じである。したがって、短絡スイッチ54以外の構成と動作に関する上記の説明は、図8の回路構成でもそのまま適用される。
短絡スイッチ54において、NMOSトランジスタのゲートにイコライズ信号BLEQが供給され、PMOSトランジスタのゲートにイコライズの反転信号(/BLEQ)が供給される。なお、イコライズの反転信号(/BLEQ)は、イコライズ信号BLEQをセットドライバ5内部のインバータ(不図示)で反転して生成してもよい。
図9が図6と異なる点は、図9(E1)としてイコライズ信号BLEQのパルス波形図を追加したことである。
イコライズ信号BLEQは、図6でセット動作の終了を規定する時間t4の前の時間t3でLからHに立ち上がる。そして、時間t4より後の時間t5でLに戻される。
その後、時間t6で全ての信号を初期状態(スタンバイ状態)に戻す。
図10に、抵抗変化型メモリデバイスの全体のブロック構成を例示する。図10は、1T−1R型のメモリセルMCを行列状に多数配置したメモリセルアレイ1と、その周辺回路の要部を示す回路ブロック図である。
また、メモリセルアレイ1に(N+1)本設けられたワード線WL<0>〜WL<N>の何れかを選択して、例えば電源電圧Vddに駆動するWLドライバ4が設けられている。
各セットドライバ5は、図5または図8に示す回路構成となっており、必要な4種類の信号が、メモリ内のセット制御回路11から与えられる。4種類の信号とは、セットパルスイネーブル信号SetPlsEn、セットイネーブル信号SetEn、イコライズ信号BLEQ、リセット信号BLRESであるが、前から3つの信号の反転信号を含めると、合計7種類の信号がセット制御回路11で生成される。
また、電源回路8は、統括制御回路(不図示)またはセット制御回路11の制御を受けて、セットゲート電圧Vgsetの値を可変制御する。これにより、所望のLSR抵抗値が得られるようにSet電流が変更可能なメモリが実現されている。
第2の実施形態に関わるカラム回路構成図を図11に、動作波形図(タイミングチャート)を図12に、それぞれ示す。
前記した第1の実施形態では、ビット線BLを「第1共通線」、ソース線SLを「第2共通線」とした。これに対し、本第2の実施形態では、ビット線BLを「第2共通線」、ソース線SLを「第1共通線」とする。
ここで「第2共通線」は、低抵抗化動作の開始時に電位変化される配線であり、「第1共通線」は素子電流制御を行う側の配線である。
電圧ドライバ51に入力される信号が、セットパルスイネーブル信号SetPlsEnから、その反転信号(/SetPlsEn)に変更されている。また、電流制御部52は、共通ソース線CSLとセット電圧Vsetの供給線との間に直列接続された、2つのPMOSトランジスタP3,P4に変更されている。
さらに、スタンバイ時の電位変更に起因して、リセット部53を、セット電圧Vsetを供給するPMOSトランジスタP5,P6に変更されている。よって、PMOSトランジスタP5,P6の制御信号も、第1の実施形態から反転されている。
それ以外で図12が図9と異なるのは、図12(G)の電圧波形図である。本例では、BL電位(第2共通線の電位)の変化(この場合、引き落とし)によりセット動作が開始される。また、イコライズ(時間t4)後のスタンバイ状態に戻す動作は電位の上昇によって行う。
図13に、第3の実施形態に関わるカラム回路構成を示す。
図13に示す構成においては、各メモリセルMCのアクセストランジスタATが、第1,第2の実施形態のNMOSトランジスタから、PMOSトランジスタに変更されている。これに伴い、ワード線WLの制御信号の活性論理を、図6,図9,図12の各図(A)の場合と反転する必要がある。図10のブロック図はそのまま適用される。
その他の回路構成と動作波形図は、第1,第2の実施形態と共通する。
図14に、第4の実施形態に関わるカラム回路構成を示す。
図14に示す構成においては、短絡スイッチ54が単一のNMOSトランジスタで構成されている。そのため、イコライズ信号BLEQのみで短絡スイッチ54を制御する。動作波形図は、図6,図9,図12と共通する。また、図10のブロック図はそのまま適用される。
その他の回路構成と動作は、第1〜第3の実施形態と共通する。
図15に、第5の実施形態に関わるカラム回路構成を示す。
図15に示す構成においては、短絡スイッチ54が単一のPMOSトランジスタで構成されている。そのため、イコライズの反転信号(/BLEQ)のみで短絡スイッチ54を制御する。動作波形図は、図6,図9,図12と共通する。また、図10のブロック図はそのまま適用される。
その他の回路構成と動作は、第1〜第3の実施形態と共通する。
これとは逆に、第2の実施形態のように、set動作の開始時に、第2共通線の電位をハイレベル(例えばVset)からローレベル(例えばGND)に引き落とし、イコライズ後に第2共通線(SL)の電位をハイレベルに戻すようにしてもよい。
Claims (9)
- 第1共通線と、
第2共通線と、
前記第1共通線と前記第2共通線との間に接続され、印加電圧に応じて抵抗値が変化する記憶素子と、
前記記憶素子を高抵抗状態から低抵抗状態に遷移させる低抵抗化動作を、前記第2共通線の電位を変化させて開始し、低抵抗化動作中は前記記憶素子に流れる素子電流を前記第1共通線の側で制御し、前記記憶素子が低抵抗状態に遷移可能な期間の経過後に前記第1共通線と前記第2共通線とを電位的にイコライズすることによって、前記低抵抗化動作を終了させる駆動制御回路と、
を有する抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記駆動制御回路は、
前記低抵抗化動作の開始時に前記第2共通線の電位を変化させ、前記第1共通線と前記第2共通線との電位差によって前記記憶素子に電圧を印加する電圧駆動部と、
前記記憶素子に流れる素子電流を前記第1共通線の側で制御する電流制御部と、
前記記憶素子が低抵抗状態に遷移可能な期間の経過後、前記電圧駆動部が前記第2共通線の電位を反転する以前または当該反転の直後に、前記第1共通線と前記第2共通線とを電位的にイコライズするイコライズ部と、
を有する請求項1に記載の抵抗変化型メモリバイス。 - 前記イコライズ部は、前記第1共通線と前記第2共通線との間に接続され、前記第1共通線と前記第2共通線とを短絡する短絡スイッチを含む
請求項2に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記イコライズ部は、前記第2共通線の電位が反転するタイミングを含む所定の期間だけ前記短絡スイッチを導通する
請求項3に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記短絡スイッチは、P型MOSトランジスタ、N型MOSトランジスタ、又は、ソース同士、ドレイン同士が共通化されて互いに逆位相で駆動されるP型とN型の2つのトランジスタである
請求項3または4に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記第2共通線の電位を基準電位から電源電位に変化させて前記低抵抗化動作を開始し、当該低抵抗化動作の終了後に前記第2共通線の電位を電源電位から基準電位に戻す前記電圧駆動部が、前記第2共通線に接続され、
前記記憶素子は、前記低抵抗化動作の期間中はゲートに一定電圧が印加されて導通状態に保持されるアクセストランジスタを介して前記第1共通線に接続され、
前記電流制御部は、
制御回路と、
前記第1共通線と基準電位の供給線との間に接続され、前記制御回路により制御されたゲート電位の値に応じて前記素子電流の値を制御する電流制御トランジスタと
を含む請求項2から5の何れか一項に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記第2共通線の電位を電源電位から基準電位に変化させて前記低抵抗化動作を開始し、当該低抵抗化動作の終了後に前記第2共通線の電位を基準電位から電源電位に戻す前記電圧駆動部が、前記第2共通線に接続され、
前記記憶素子は、前記低抵抗化動作の期間中はゲートに一定電圧が印加されて導通状態に保持されるアクセストランジスタを介して前記第2共通線に接続され、
前記電流制御部は、
制御回路と、
前記第1共通線と電源電位の供給線との間に接続され、前記制御回路により制御されたゲート電位の値に応じて前記素子電流の値を制御する電流制御トランジスタと
を含む請求項2から5の何れか一項に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 前記記憶素子は、2つの電極間に、
導電性イオンの供給層と、
当該導電性イオンの供給層に接し、前記2つの電極間の印加電圧の向きに応じて、前記導電性イオンの供給層から前記導電性イオンが注入され、あるいは、注入された導電性イオンが前記供給層へ戻される抵抗変化層と
を有する請求項6または7に記載の抵抗変化型メモリデバイス。 - 第1共通線と、第2共通線と、前記第1共通線と前記第2共通線との間に接続され、印加電圧に応じて抵抗値が変化する記憶素子とを有する抵抗変化型メモリデバイスに対し、前記記憶素子を高抵抗状態から低抵抗状態に遷移させる低抵抗化動作を、前記第2共通線の電位を変化させて開始し、
低抵抗化動作中は前記記憶素子に流れる素子電流を前記第1共通線の側で制御し、
前記記憶素子が低抵抗状態に遷移可能な期間の経過後に前記第1共通線と前記第2共通線とを電位的にイコライズすることによって、前記低抵抗化動作を終了させる
抵抗変化型メモリデバイスの動作方法。
Priority Applications (3)
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