JP2011209280A - ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガスセンサ素子及びガスセンサ素子を囲む保持部を備えたガスセンサであって、ガスセンサ素子は測定ガスが導入される間隙を有する検出素子と、検出素子に積層され発熱部を有するヒータとを備え、間隙は第1固体電解質体及び第2固体電解質体の間に形成され、検出素子は、第1固体電解質体と1対の第1ポンプ電極とを有し間隙内の酸素の汲み出し汲み入れを行う第1酸素ポンプセルと、第2固体電解質体と検知電極と基準電極とを有し第1酸素ポンプセルを制御する酸素濃度検知セルと、を有し、検出素子の表面であって、且つ検出素子の積層方向に沿う側面のうち、検出素子の長手方向に沿って保持部の先端から検知電極の少なくとも一部に至る領域が、ガラス転移点が700℃を超えるガラス被膜で被覆されている。
【選択図】図2
Description
このような構成のガスセンサにおいては、検出素子の側面に固体電解質体が露出しており、排気ガスに含まれる煤等の導電性物質が露出した固体電解質体に付着することがある。この場合、煤が付着した固体電解質体のうち、煤が焼失する温度(600℃程度)より低く、固体電解質体の酸素イオン伝導性が発現する温度となる部分(例えば、200〜600℃)では、煤によるリーク電流が生じ、ガス濃度の検出性能が劣化する。
そこで、本発明は、固体電解質体の露出部のうち、煤が焼失する温度より低温となる部分をガラス被膜で絶縁し、ガス濃度の検出性能の低下を抑制したガスセンサを提供することを目的とする。
又、ガラス被膜を成膜するためのガラススラリーは、焼成された後の検出素子(ガスセンサ素子)に塗布され、その後検出素子(ガスセンサ素子)と共に焼成される。このガラススラリーは、焼成時であっても流動特性を示すため、レベリング性が良い。そのため、1回の塗布で開気孔(検出素子の側面に連通する孔)を無くすことができ、生産性が向上する。
さらに、同一温度で比較したときに、ガラス被膜はアルミナ被膜に比べて熱膨張係数が小さく、焼成時やガスセンサ使用時に、被覆対象である検出素子に歪を生じさせることが少ない。
また、ガラス皮膜のガラス転移点が700℃を超えていると、被測定ガスに含まれる煤等の導電性物質を焼失させることができる温度域である600℃以上に固体電解質体を加熱しても、ガラス皮膜が過冷却液体への転移による熱膨張増加を起こしてガラス皮膜に亀裂が生じたり、不純物(アルカリ金属元素,Pb,P,Zn等)との反応によるガラス溶融による崩壊が起きたりすることを防止できる。
また、検知電極が600℃以上かつガラス被膜のガラス転移点以下で制御されているので、固体電解質体の動作を安定させつつ、被測定ガスに含まれる煤等の導電性物質を焼失させることができる。さらに、ガラス被膜の転移点以下で制御されているため、ガラス被膜が本来の位置からずれる(ガラス被膜が軟化して流動する事により、本来形成されていた位置から移動する)ことを防止できる。
又、ガラス被膜を成膜するためのガラススラリーは、焼成された後のガスセンサ素子に塗布され、その後ガスセンサ素子と共に焼成される。このガラススラリーは、焼成時であっても流動特性を示すため、レベリング性が良い。そのため、1回の塗布で開気孔(検出素子の側面に連通する孔)を無くすことができ、生産性が向上する。
さらに、同一温度で比較したときに、ガラス被膜はアルミナ被膜に比べて熱膨張係数が小さく、焼成時やガスセンサ使用時に、被覆対象である検出素子に歪を生じさせることが少ない。
また、ガラス皮膜のガラス転移点が700℃を超えていると、被測定ガスに含まれる煤等の導電性物質を焼失させることができる温度域である600℃以上に固体電解質体を加熱しても、ガラス皮膜が過冷却液体への転移による熱膨張増加を起こしてガラス皮膜に亀裂が生じたり、不純物(アルカリ金属元素,Pb,P,Zn等)との反応によるガラス溶融による崩壊が起きたりすることを防止できる。
また、検知電極が600℃以上かつガラス被膜のガラス転移点以下で制御されている
ので、固体電解質体の動作を安定させつつ、被測定ガスに含まれる煤等の導電性物質を焼失させることができる。さらに、ガラス被膜の転移点以下で制御されているため、ガラス被膜が本来の位置からずれる(ガラス被膜が軟化して流動する事により、本来形成されていた位置から移動する)ことを防止できる。
このように第1酸素ポンプセル、酸素濃度検知セルに加え、第2酸素ポンプセルをも有するガスセンサ素子では、第2酸素ポンプセルの一対の第2ポンプ電極に流れる電流が微小になる傾向がある。そのため、検出素子(固体電解質体)の側面に煤等の導電性物質が付着してリーク電流が流れた場合に、一対の第2ポンプ電極に流れる電流が比較的大きな影響を受けることになる。そこで、本発明では、このような3つのセルを有する検出素子の側面に対して開気孔が存在しないガラス被膜を形成することで、煤等の導電性物質の付着を防げ、一対の第2ポンプ電極に流れる電流にリーク電流の影響が及ぶのを抑制することができる。
これらの元素の1つでも3000質量ppmを超えて含有されると、ガラス被膜の絶縁性及び耐熱性が低下する場合がある。これらの元素を全く含有しなければ、絶縁性及び耐熱性の低下が生じる可能性はより低下する。
このように、ガラス被膜の先端部を外側から絶縁性セラミックス膜で覆うことで、ガラス被膜の先端部からの剥離を防ぐ事が可能となる。
図1は本発明の第1の実施形態に係るガスセンサ(NOxセンサ)200の長手方向に沿う全体断面図、図2はNOxセンサ素子10の斜視図、図3は図2のA−A線に沿う(軸線方向に沿う)断面図であって、NOxセンサ素子10の先端部に係る断面図である。
図1において、NOxセンサ200は、排気管に固定されるためのねじ部139が外表面に形成された筒状の主体金具(特許請求の範囲の「ケーシング」に相当)138と、軸線方向(NOxセンサ200の長手方向:図中上下方向)に延びる板状形状をなすNOxセンサ素子(特許請求の範囲の「ガスセンサ素子」に相当)10と、NOxセンサ素子10の径方向周囲を取り囲むように配置される筒状のセラミックスリーブ106と、軸線方向に貫通するコンタクト挿通孔168の内壁面がNOxセンサ素子10の後端部の周囲を取り囲む状態で配置される絶縁コンタクト部材166と、NOxセンサ素子10と絶縁コンタクト部166との間に配置される6個の接続端子110(図1では、2個のみを図示)とを備えている。
また、セラミックスリーブ106と主体金具138の後端部140との間には、加締めパッキン157が配置されており、セラミックホルダ151と主体金具138の棚部152との間には、滑石リング153やセラミックホルダ151を保持するための金属ホルダ158が配置されている。なお、主体金具138の後端部140は、加締めパッキン157を介してセラミックスリーブ106を先端側に押し付けるように、加締められている。この構成をとることにより、NOxセンサ素子10が排気ガス等の被測定ガスに晒された時にも、NOxセンサ素子10の表面であって且つセラミックホルダ151の先端面151aよりも後端側には、煤等の導電性物質が付着することはほとんどない。
ここで、第1固体電解質層11aが特許請求の範囲の「第1固体電解質体」に相当し、第2固体電解質層12aが特許請求の範囲の「第2固体電解質体」に相当する。
従来のアルミナ被膜の熱膨張係数(図4の「従来側面コート」)は、冷却時の固体電解質体の熱膨張係数(図4の「固体電解質体」の下側の線)よりも大きい。このため、素子の冷却時にアルミナ被膜が素子側に引っ張られてクラックを生じやすく、アルミナ被膜は耐久性が低い。
一方、ガラス被膜の熱膨張係数(図4の「ガラス側面コート」)は、ガラス転移点以下の温度域では常に固体電解質体(図4の「固体電解質体」)の熱膨張係数よりも小さいため、検出素子の加熱及び冷却に伴う体積変化が起きても、ガラス被膜は常に圧縮される向きの力を受ける。ガラスやアルミナ等のセラミックは、引っ張り応力には弱いが圧縮応力には強い特性をもっているため、ガラス被膜は体積変化を生じても、クラックを生じにくく、耐久性が高くなる。
また、一時的に転移点以上の温度になったとしても、その温度域ではガラス粘度が下がって流動性を持つため、クラックを生じにくく、耐久性が高くなる。
又、検出素子20とヒータ50は一体に積層されているので、通常、検出素子20とヒータ50とを区別せずにNOxセンサ素子10の側面のうち領域Rにガラス被膜30を被覆してもよい。本実施形態では、図2に示すように、検出素子20とヒータ50を含めたNOxセンサ素子10の側面の領域Rにガラス被膜30を形成している。なお、「積層方向」とは、検出素子20の各層11a〜13aを貫く方向であり、図2の上下方向である。
ガラス被膜30の厚みは特に制限されないが、NOxセンサ素子10の積層方向の厚みの1/10〜1/500程度とすることができる。
又、後述するように、同一温度で比較したときに、ガラス被膜はアルミナ被膜に比べて熱膨張係数が小さく、焼成時やガスセンサ使用時に、被覆対象であるNOxセンサ素子10(検出素子20)に歪を生じさせることが少ない。
従って、検知電極12bより先端側へのガラス被膜30の被覆領域を、NOxセンサ200が使用されるガスの温度や、検知電極12bより先端側の到達温度に応じて、ガラス転移点との兼ね合いで調整することが好ましい。
開気孔の有無の測定方法:
(1)NOxセンサ素子10の側面にガラス被膜30を被覆した後、ヒータ50に通電し、第1固体電解質体12aの抵抗(インピーダンス)が100Ωとなるようにヒータ50の通電を制御する。そして、第1固体電解質体12aの抵抗が100Ωとなった時刻から600秒後に第2酸素ポンプセル13に流れる第2ポンプ電流Ip2(後述)を、オフセット値として測定する。
(2)次に、NOxセンサ素子10の側面(ガラス被膜30を含む)にカーボンを厚み1μm以上被覆(カーボンスプレー)する。このカーボン被膜は、粒径1μm以下のカーボン粒が10質量%以上存在することが必要である。
(3)カーボン被覆後のNOxセンサ素子10のオフセット値を(1)と同様にして測定し、カーボン被覆前後のオフセット値の差が0.03μA未満であれば、開気孔が存在しないと判定する。
ガラス被膜30は、Al2O3を1〜50質量%含むことが好ましい。Al2O3を1質量%以上含むと高温での絶縁性が向上し、Al2O3粒子のアンカー効果により、耐熱性も向上する。但し、Al2O3の含有量が50質量%を超えると、ガラスの流動性が低くなり、焼成時のレベリング性が低下してピンホールが生じる場合がある。
又、ガラス被膜30がPbを含まないと、耐熱性及び環境対策の点から好ましい。
核形成剤を含むガラスの組成としては、例えば、シリカ粉末:18質量%、アルカリ土類酸化物:23質量%、TiO2(核形成剤) :23質量%、希土類酸化物:17質量%、ZnO:16質量%、B2O3:3質量%が挙げられる。なお、希土類酸化物としては、La2O3,Y2O3,CeO2,Pr6O11,Nd2O3等が挙げられるが、好ましくはLa2O3がよい。
NOxセンサ素子10は、第1固体電解質層11a、絶縁層14a、第2固体電解質層12a、絶縁層14b、第3固体電解質層13a、及び絶縁層14c、14dをこの順に積層した構造を有する。間隔を開けて積層される第1固体電解質層11aと第2固体電解質層12aとの層間に検出室16が画成され、検出室16の左端(入口)に配置された第1拡散抵抗体15aを介して外部から被測定ガスGMが導入される。
検出室16のうち入口と反対端には第2拡散抵抗体15bが配置され、第2拡散抵抗体15bを介して検出室16の右側には、検出室16と連通する測定室18が画成されている。測定室18は、第2固体電解質層12aを貫通して第1固体電解質層11aと第3固体電解質層13aとの層間に形成されている。
ここで、検出室16が特許請求の範囲の「間隙」に相当する。
発熱部50aは絶縁層14c、14dで挟まれ、全体としてヒータ50を構成し、NOxセンサ200(NOxセンサ素子10)の長手方向(つまり、軸線方向O)において、発熱部50aは検知電極12bの対応する位置に少なくとも配置されている。ここで、「対応する位置」とは、NOxセンサ素子10の長手方向において、発熱部50aと検知電極12bの少なくとも一部が重なりを生じることをいう。つまり、発熱部50aと検知電極12bの少なくとも一部が重なりを生じていれば、ヒータ50により検知電極12bの温度を良好に制御出来るため、発熱部50aのその他の部分が検知電極12bの後端より後端側に位置したり、検知電極12bの先端より先端側に位置してもよい。検知電極12bの制御温度は、各固体電解質層11a〜13aの動作を安定させつつ、自身の表面に付着した煤を焼失させられるよう、例えば600〜700℃とするのが好ましい。なお、絶縁層14a〜14dはアルミナを主体とし、第1拡散抵抗体15a及び第2拡散抵抗体15bはアルミナ等の多孔質物質からなる。又、発熱部50aは白金等からなる。
なお、絶縁層14bは、第2固体電解質層12aに接する基準電極12cが内部に配置されるように切り抜かれ、その切り抜き部には多孔質体が充填されて基準酸素室17を形成している。そして、酸素濃度検出セル12に予め微弱な一定値の電流を流すことにより、酸素を検出室16から基準酸素室17内に送り込み、基準電極12cの周囲を基準となる酸素濃度雰囲気にする。
なお、対極第2ポンプ電極13cは、第3固体電解質層13a上における絶縁層14bの切り抜き部に配置され、基準電極12cに対向して基準酸素室17に面している。内側第2ポンプ電極13b及び対極第2ポンプ電極13cが、特許請求の範囲の「1対の第2ポンプ電極」に相当する。第3固体電解質層13aが特許請求の範囲の「第3固体電解質体」に相当する。
このとき、検出室16内の酸素濃度は、酸素濃度検出セル12の電極間にて生じる起電力(電極間電圧)Vsに対応したものとなるため、この電極間電圧Vsが一定電圧V1(例えば425mV)になるように第1酸素ポンプセル11に通電する第1ポンプ電流Ip1の流す方向及び電流の大きさを制御することにより、検出室16内の酸素濃度を所定の低酸素濃度に調整する。
NOxセンサ素子300においては、図6に示すように、検出素子20の表面であって、検出素子20の側面に加え、検出素子20の表裏面(上記側面と隣接する2面)にも領域Rを超えてガラス被膜32が被覆されている。
さらに、NOxセンサ素子300の先端側には、検出素子20(NOxセンサ素子300)表面とガラス被膜32の先端側表面とを外側から覆い、かつ検出素子20の先端を完全に覆うように多孔質状の絶縁性セラミックス膜42が形成されている。なお、ガラス被膜32は通気性が無いため、酸素ポンピングに影響しないよう電極11bを避けて形成されるが、絶縁性セラミックス膜42は多孔質(気孔率40%程度)で通気性があるため、電極11bを覆っても酸素ポンピングに影響を与えない。
このように、ガラス被膜32の先端部絶縁性セラミックス膜42で覆うことで、ガラス被膜32の先端部からの剥離を確実に防ぐ事が可能となるため、ガラス被膜32の耐久性が向上する。
NOxセンサ素子310においては、NOxセンサ素子300と同様、検出素子20の表面であって、検出素子20の側面に加え、検出素子20の表裏面(上記側面と隣接する2面)にも領域Rを超えてガラス被膜32が被覆されている。
さらに、NOxセンサ素子310の先端側には、検出素子20(NOxセンサ素子300)表面とガラス被膜32の先端部表面とを外側から覆うように多孔質状の絶縁性セラミックス膜44が形成されている。但し、絶縁性セラミックス膜44は、ガラス被膜32の先端部を覆っているものの、検出素子20(NOxセンサ素子310)の先端側は覆わず、電極11bの先端側を含む検出素子20の先端は露出している。
第3の実施形態においても、少なくともガラス被膜32の先端部が外側から絶縁性セラミックス膜44で覆われているため、ガラス被膜32の先端部からの剥離を防ぐ事が可能となり、ガラス被膜32の耐久性が向上する。
例えば、上記実施形態においては、図3に示すように、内側第1ポンプ電極11cが臨む検出室16に検知電極12bが配置されているが、その代わりに、検出室16と別の室に検知電極12bが配置されていてもよい。このようなNOxセンサ素子構造は、例えば特開2004−354400号公報(図3)に記載されており、このNOxセンサ素子は固体電解質層が2層である。つまり、このNOxセンサ素子構造では、第2固体電解質体12aと第3固体電解質体13aとが共通となる。
同様に、第1固体電解質体11aと第3固体電解質体13aとが共通となるようなNOxセンサ素子構造であってもよい。
又、ガスセンサとしては、NOxセンサの他、酸素センサが挙げられる。
ガラススラリーは、シリカ粉末:60質量%、アルミナ:20質量%、MgO:5質量%、CaO:15質量%からなるガラス粉末を湿式混合により分散して得た。なお、分散剤は、ブチルカルビトールを用いた。
比較として、アルミナ100質量%からなるスラリーを、上記と同様にしてアルミナシートに1回塗りした後、1500℃で焼成して成膜した。
開気孔の有無の測定方法:
(1)NOxセンサ素子の側面にガラス被膜を被覆した後、ヒータに通電し、第1固体電解質体の抵抗(インピーダンス)が100Ωとなるようにヒータの通電を制御する。そして、第1固体電解質体の抵抗が100Ωとなった時刻から600秒後の第2酸素ポンプセル13に流れる第2ポンプ電流Ip2の値を、オフセット値として測定する。
(2)次に、NOxセンサ素子の側面(ガラス被膜を含む)にカーボンを厚み1μm以上被覆(カーボンスプレー)する。このカーボン被膜は、粒径1μm以下のカーボン粒が10質量%以上存在することが必要である。
(3)カーボン被覆後のNOxセンサ素子のオフセット値を(1)と同様にして測定し、カーボン被覆前後のオフセット値の差が0.03μA未満であれば、開気孔が存在しないと判定した。
11 第1酸素ポンプセル
11a 第1固体電解質体
11b 第1ポンプ電極の他方
11c 第1ポンプ電極の一方
12 酸素濃度検知セル
12a 第2固体電解質体
12b 検知電極
12c 基準電極
13 第2酸素ポンプセル
13a 第3固体電解質体
13b 第2ポンプ電極の他方
13c 第2ポンプ電極の一方
16 間隙(検出室)
18 測定室
20 検出素子
30、32 ガラス被膜
42、44 絶縁性セラミックス膜
50 ヒータ
50a 発熱部
138 主体金具(ケーシング)
151 セラミックホルダ(内部部材)
200 ガスセンサ
Claims (5)
- 長手方向に延び、先端側が被測定ガスに晒されるガスセンサ素子と、前記ガスセンサ素子の径方向外側を取り囲むと共に、当該ガスセンサ素子の先端側を自身の先端から突出させてなる金属製のケーシングと、前記ケーシングの内側に収容されると共に、前記ガスセンサ素子の径方向外側を取り囲む絶縁性の内部部材とを備えるガスセンサであって、
前記ガスセンサ素子は、第1固体電解質体と、該第1固体電解質体に配置されると共に前記被測定ガスに晒される検知電極と、前記第1固体電解質体に配置され前記検知電極と対極となる基準電極と、からなる検出素子と、
前記検出素子に積層され、前記検出素子の長手方向において、少なくとも検知電極と対応する位置に発熱部を有するヒータと、を備えており、
前記検出素子の側面のうち、該検出素子の長手方向に沿って前記内部部材の先端から前記検知電極の少なくとも一部に至る領域が、ガラス転移点が700℃を超えるガラス被膜で被覆されており、前記検知電極が600℃以上かつ前記ガラス被膜のガラス転移点以下で制御されているガスセンサ。 - 長手方向に延び、先端側が被測定ガスに晒されるガスセンサ素子と、
前記ガスセンサ素子の径方向外側を取り囲むと共に、当該ガスセンサ素子の先端側を自身の先端から突出させてなる金属製のケーシングと、前記ケーシングの内側に収容されると共に、前記ガスセンサ素子の径方向外側を取り囲む絶縁性の内部部材と、を備えるガスセンサであって、
前記ガスセンサ素子は、前記ガスセンサ素子の外部と連通しつつ前記被測定ガスが導入される間隙を有する検出素子と、前記検出素子に積層され、前記検出素子の長手方向において、少なくとも検知電極と対応する位置に発熱部を有するヒータと、を備えており、
前記間隙は、間隔を開けて積層される第1固体電解質体及び第2固体電解質体の間に形成され、
前記検出素子は、
前記第1固体電解質体と、該第1固体電解質体に配置されると共に一方が前記間隙内に露出する1対の第1ポンプ電極とを有し、前記間隙内の酸素の汲み出し汲み入れを行う第1酸素ポンプセルと、
前記第2固体電解質体と、該第2固体電解質体に配置され前記間隙内に露出する検知電極と、該検知電極と対極となる基準電極とを有し、前記基準電極と前記検知電極との間で起電力が生ずる酸素濃度検知セルと、を有し、
前記検出素子の側面のうち、該検出素子の長手方向に沿って前記内部部材の先端から前記検知電極の少なくとも一部に至る領域が、ガラス転移点が700℃を超えるガラス被膜で被覆されており、前記検知電極が600℃以上かつ前記ガラス被膜のガラス転移点以下で制御されているガスセンサ。 - 前記検出素子は、前記間隙と連通されると共に、前記間隙において酸素の汲み出しまたは汲み入れが行われた前記被検出ガスが導入される測定室と、該測定室の一部に面する第3固体電解質体と、該第3固体電解質体上に配置された前記測定室内に一方が露出し、他方が前記測定室外に位置する一対の第2ポンプ電極とを備える第2酸素ポンプセルと、を有し、
前記ガラス被膜には、開気孔が存在しない請求項2記載のガスセンサ。 - 前記ガラス被膜は、Li,Na,K,Rb,Cs,及びPbをそれぞれ3000質量ppm以下の割合で含む請求項1〜3のいずれか記載のガスセンサ。
- 前記ガラス被膜の先端部には、前記ガスセンサ素子表面と前記ガラス被膜表面とを外側から覆うように絶縁性セラミックス膜が形成されている請求項1〜4のいずれか記載のガスセンサ。
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