JP3860590B2 - ガスセンサ及び窒素酸化物センサ - Google Patents
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なお、Fはファラデー定数(=96500A/sec)、Rは気体定数(=82.05cm3・atm/mol・K)、Tは絶対温度(K)、Dは拡散係数(cm2/sec)、Sは拡散律速手段の断面積(cm2)、Lは拡散律速手段の通路長(cm)、POeは拡散律速手段の外側における酸素分圧(atm)、POdは拡散律速手段の内側における酸素分圧(atm)を示す。
なお、Fはファラデー定数(=96500A/sec)、Rは気体定数(=82.05cm3・atm/mol・K)、Tは絶対温度(K)、Dは拡散係数(cm2/sec)、Sは第1の拡散律速部26(スリット30又は32)の断面積(cm2)、Lは第1の拡散律速部26(スリット30又は32)の通路長(cm)、POeは外部空間の酸素分圧(atm)、POdは第1室18の酸素分圧(atm)を示す。
14…センサ素子 18…第1室
20…第2室 22…ガス導入口
26…第1の拡散律速部 28…第2の拡散律速部
30、32、34、36A…スリット 44…主ポンプセル
64…測定用ポンプセル 72…補助ポンプセル
100、110、112…スリット 114、116…くさび形スリット
118a〜118c、120…スリット 122…空間部
124…緩衝空間 126…第4の拡散律速部
128、130、132、134…スリット
136、138…くさび形スリット 140…砂時計形のスリット
142、144、146a〜146e、148、150…スリット
160…測定用酸素分圧検出セル
Claims (10)
- 外部空間における被測定ガス中の被測定ガス成分の量を測定するガスセンサであって、少なくとも、
前記外部空間に接する固体電解質と、
前記固体電解質内部に形成された内部空所と、
前記外部空間からガス導入口を介して所定の拡散抵抗の下に前記被測定ガスを導入するための拡散律速手段と、
前記内部空所の内外に形成された内側ポンプ電極と外側ポンプ電極を有し、かつ、前記外部空間から導入された前記被測定ガスに含まれる酸素を前記電極間に印加される制御電圧に基づいてポンピング処理するポンプ手段とを具備したガスセンサにおいて、
前記拡散律速手段は、前記ガス導入口から前記内部空所に連通し、且つ、上下に並んだ2つのスリットを有し、
前記2つのスリットの各断面形状を形成するそれぞれ1因子の寸法が、10μm以下であることを特徴とするガスセンサ。 - 請求項1記載のガスセンサにおいて、
前記2つのスリットは、各断面形状がそれぞれ横型のスリットで形成され、前記1因子は、前記2つのスリットにおけるそれぞれの縦方向の長さであることを特徴とするガスセンサ。 - 請求項1記載のガスセンサにおいて、
前記2つのスリットは、各断面形状がそれぞれ縦型のスリットで形成され、前記1因子は、前記2つのスリットにおけるそれぞれの横方向の長さであることを特徴とするガスセンサ。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のガスセンサにおいて、
前記ガス導入口と前記拡散律速手段との間に緩衝空間が設けられていることを特徴とするガスセンサ。 - 請求項4記載のガスセンサにおいて、
前記ガス導入口と前記内部空所との間に目詰まり防止部と緩衝空間とがシリーズに設けられ、
前記目詰まり防止部の前面開口で前記ガス導入口を構成し、
前記目詰まり防止部と前記緩衝空間の間に、前記被測定ガスに対して所定の拡散抵抗を付与する拡散律速部が設けられていることを特徴とするガスセンサ。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載のガスセンサにおいて、
前記ポンプ手段は、前記内部空所に導入された前記外部空間からの被測定ガスに含まれる酸素をポンピング処理して、前記内部空所における酸素分圧を前記被測定ガス中の所定ガス成分が分解され得ない所定の値に制御することを特徴とするガスセンサ。 - 請求項6記載のガスセンサにおいて、
前記ポンプ手段にてポンピング処理された後の被測定ガス中に含まれる所定ガス成分を触媒作用及び/又は電気分解により分解させ、該分解によって発生した酸素をポンピング処理する測定用ポンプ手段とを具備し、
前記測定用ポンプ手段のポンピング処理によって該測定用ポンプ手段に流れるポンプ電流に基づいて前記被測定ガス中の前記所定ガス成分を測定することを特徴とするガスセンサ。 - 請求項6記載のガスセンサにおいて、
前記ポンプ手段にてポンピング処理された後の被測定ガス中に含まれる所定ガス成分を触媒作用により分解させ、該分解によって発生した酸素の量と基準ガスに含まれる酸素の量との差に応じた起電力を発生する酸素分圧検出手段とを具備し、
前記酸素分圧検出手段にて検出された起電力に基づいて前記被測定ガス中の前記所定ガス成分を測定することを特徴とするガスセンサ。 - 外部空間における被測定ガス中の窒素酸化物成分の量を測定する窒素酸化物センサであって、少なくとも、
前記外部空間に接する酸素イオン伝導性固体電解質からなる基体と、
前記固体電解質内に形成され、前記外部空間と連通した第1の内部空所と、
前記外部空間からガス導入口を介して所定の拡散抵抗の下に前記被測定ガスを前記第1の内部空所へ導入するための第1の拡散律速手段と、
前記第1の内部空所内外に形成された第1の内側ポンプ電極と第1の外側ポンプ電極を有し、かつ、前記外部空間から導入された前記被測定ガスに含まれる酸素を前記電極間に印加される制御電圧に基づいてポンピング処理して、前記第1の内部空所内の酸素分圧を実質的にNOが分解され得ない所定の値に制御する主ポンプ手段と、
前記第1の内部空所と連通した第2の内部空所と、
所定の拡散抵抗の下に前記第1の内部空所内でポンピング処理された雰囲気を前記第2の内部空所へ導入するためのスリットで形成された第2の拡散律速手段と、
前記第2の内部空所内外に形成された第2の内側ポンプ電極と第2の外側ポンプ電極を有し、かつ、前記第1の内部空所から導入された前記雰囲気中に含まれるNOを触媒作用及び/又は電気分解により分解させ、該分解によって発生した酸素をポンピング処理する測定用ポンプ手段とを具備し、
前記測定用ポンプ手段のポンピング処理によって該測定用ポンプ手段に流れるポンプ電流に基づいて前記被測定ガス中の窒素酸化物の量を測定する窒素酸化物センサにおいて、
前記第1の拡散律速手段は、前記ガス導入口から前記内部空所に連通し、且つ、上下に並んだ2つのスリットを有し、
前記2つのスリットの各断面形状を形成するそれぞれ1因子の寸法が、10μm以下であることを特徴とする窒素酸化物センサ。 - 外部空間における被測定ガス中の窒素酸化物成分の量を測定する窒素酸化物センサであって、少なくとも、
前記外部空間に接する酸素イオン伝導性固体電解質からなる基体と、
前記固体電解質内に形成され、前記外部空間と連通した第1の内部空所と、
前記外部空間からガス導入口を介して所定の拡散抵抗の下に前記被測定ガスを前記第1の内部空所へ導入するための第1の拡散律速手段と、
前記第1の内部空所内外に形成された第1の内側ポンプ電極と第1の外側ポンプ電極を有し、かつ、前記外部空間から導入された前記被測定ガスに含まれる酸素を前記電極間に印加される制御電圧に基づいてポンピング処理して、前記第1の内部空所内の酸素分圧を実質的にNOが分解され得ない所定の値に制御する主ポンプ手段と、
前記第1の内部空所と連通した第2の内部空所と、
所定の拡散抵抗の下に前記第1の内部空所内でポンピング処理された雰囲気を前記第2の内部空所へ導入するためのスリットで形成された第2の拡散律速手段と、
前記第2の内部空所内外に形成された第2の内側測定電極と第2の外側測定電極を有し、かつ、前記第1の内部空所から導入された前記雰囲気中に含まれるNOを触媒作用により分解させ、該分解によって発生した酸素の量と基準ガスに含まれる酸素の量との差に応じた起電力を発生する酸素分圧検出手段とを具備し、
前記酸素分圧検出手段にて検出された起電力に基づいて前記被測定ガス中の窒素酸化物の量を測定する窒素酸化物センサにおいて、
前記第1の拡散律速手段は、前記ガス導入口から前記内部空所に連通し、且つ、上下に並んだ2つのスリットを有し、
前記2つのスリットの各断面形状を形成するそれぞれ1因子の寸法が、10μm以下であることを特徴とする窒素酸化物センサ。
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