JP5085398B2

JP5085398B2 - 温度センサ

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Publication number: JP5085398B2
Application number: JP2008103995A
Authority: JP
Inventors: 恒円堀; 阿部　　信男; 正利黒柳
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2007-04-16
Filing date: 2008-04-11
Publication date: 2012-11-28
Anticipated expiration: 2028-04-11
Also published as: JP2008286789A; US8425114B2; US20100183046A1; EP2141471B1; CN101657705A; EP2141471A4; WO2008133135A1; EP2141471A1; CN101657705B

Description

本発明は、内燃機関用の排気系等に配設される温度センサに関する。

従来より、自動車の排気ガス浄化装置の触媒コンバータ内部や、排気管内等といった流路を流れる排気ガスの温度を、感温素子であるサーミスタ素子によって検出する、いわゆる排気温センサが知られている。

温度によって電気的特性が変化するサーミスタ素子は、有底筒状の金属カバー内に収納される。そして、金属カバーに覆われたサーミスタ素子の感熱応答性を高めるために、金属カバー内周面とシースピンの端面とで形成される空間に熱伝導性の良好な絶縁部材が充填され、排気ガスの熱を金属カバーで受熱した後、充填された絶縁部材を介してサーミスタ素子へと熱が伝達される。温度によって電気的特性が変化する該サーミスタ素子が発する電気信号は、電極線を経て制御装置に伝えられ、温度が検出される。

このような温度センサは、例えば、特許文献１、２に開示されている。これら温度センサは、図９に示すように、感温素子であるサーミスタ素子５０１と、該サーミスタ素子５０１に接続された一対の電極線５０２に溶接された信号線５０３を内蔵するシースピン５０５と、サーミスタ素子５０１を覆うように先端部に配設された金属カバーである感温部カバー５０４と、前記シースピン５０５を外周から保持するリブ６０１とを有する。かかる温度センサを排気管８００に装着する場合、リブ６０１の外周に保持部材６０２、ニップル７０１を配置して、該ニップル７０１を排気管８００に取付けられたボス７０４に固定することで、排気管８００に固定される。

温度センサを装着した内燃機関は、運転時においては振動するため、この振動が排気管８００からボス７０４及びリブ６０１を介して、温度センサのシースピン５０５に伝わる。即ち、リブ６０１とシースピン５０５とは互いに直接溶接されているため、シースピン５０５は、リブ６０１からの振動を直接伝達される。

そのため、シースピン５０５の振動は、強い振動（高周波数、振幅大）となり、感温部が高い加速度にて振動するおそれがある。

その結果、シースピン５０５の先端部や、その先に設けられたサーミスタ素子５０１、或いはシースピン５０５とリブ６０１との接合部に、過大な応力が発生するおそれがある。

サーミスタ素子５０１への過大な応力により、サーミスタ素子５０１の破壊や、サーミスタ素子５０１の電極線５０２の断線が発生するおそれがある。また、シースピン５０５とリブ６０１との接合部における過大な応力により、固定部や、シースピン５０５の亀裂、破損が発生するおそれがある。

そこで、図９において温度センサの取着された排気管８００の内周面から温度センサの先端までの長さＬ３に対して、シースピン５０５がリブ６０１により保持された先端から温度センサの先端までの長さＬ４を十分に短くしている。これにより、温度センサ先端の共振周波数を温度センサを取付ける排気管の振動の共振周波数帯域から外すことで信号線５０２の断線等の問題を防止することが知られている。
特開２００２−３５０２３９号公報特開２００６−４７２７３号公報

特許文献１、２に開示された構造は、より共振周波数が高い排気系に用いられる場合や、温度センサの長尺化が要求される場合において、温度センサ先端の共振周波数を排気管振動の共振周波数帯域を外すことができず、サーミスタ素子５０１の破損や電極線５０２の断線が発生しやすいという問題があった。

また、リブ６０１を先端側に延長して設けることで、シースピン５０５における共振周波数（１次）を上昇させたために、共振時の共振倍率が５００倍程度となり、温度センサの先端側に位置する電極線５０２等に加わる応力が極めて大きくなる。その結果、電極線５０２の断線を防ぐことが困難となる。

本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、振動の伝達を抑制し、耐久性に優れた温度センサを提供しようとするものである。

本発明は、前記目的を達成するために、流体が流れる流路内に配置し、前記流路内の流体の温度によって電気的特性が変化する感温素子と、先端側が電極線を介して前記感温素子に接続され、基端側は外部回路接続用のリード線に接続される信号線と、前記信号線を内部に保持するシース部材と、前記シース部材の外周面を直接的または他部材を介して間接的に保持する保持部材と、を備えた温度センサであって、前記温度センサの軸における前記流路の内周面から前記温度センサの先端までの長さである突出し長さをＬ１、前記シース部材が保持部材により直接的または間接的に保持される保持部の先端から前記温度センサの先端までの長さである保持長さをＬ２としたとき、Ｌ１＜Ｌ２の関係を満たすとともに、前記突出し長さＬ１および保持長さＬ２を調整することにより、前記温度センサの径方向の加速度に対する前記温度センサの先端における共振周波数（１次）がレーザードップラー振動計による測定値で４８０Ｈｚ以下であることを特徴とする。

従来、温度センサの先端における共振周波数（１次）を上昇させる構造にすることで、外部からの振動による共振の発生を回避するという技術的思想であった。しかし、本発明では従来の技術的思想とは反対の技術的思想に基づいたものである。つまり、温度センサの先端における共振周波数（１次）を４８０Ｈｚ以下という低いレベルにまで低下させることで、温度センサ先端への振動伝達を抑制することが可能となり、温度センサに共振が発生したとしてもサーミスタ素子５０１の破損や電極線５０２の断線の発生を有効に防止することができる。

本発明は、前記シース部材の径方向の加速度に対して、前記シース部材先端における共振周波数（１次）が３８０Ｈｚ以下とすることを特徴とする。

これにより、さらに耐久性に優れより長期的に電極線の断線を防止することができる。

突出し長さＬ１は、目的、用途に応じて、頻繁に変更されるものである。例えば、同一の流路において、流路の中央部の温度を検出する場合と流路の内縁の温度を検出する場合とでは、突出し長さＬ１の長さは大きく異なる。よって、Ｌ１≧Ｌ２となる構造の場合には、温度センサの先端における共振周波数（１次）は、シース部材の径等の条件が同一であれば、突出し長さＬ１の長さで一義的に決まる。つまり、突出し長さＬ１が短い場合、必然的に保持長さＬ２が短くなってしまうため、温度センサの先端における共振周波数（１次）は、大きくなってしまう。

しかし、本発明では、シース部材の保持部分を、保持部材の基端側に設ける構造であるから、突出し長さＬ１が短い場合であっても、保持長さＬ２を十分に長くすることが可能となる。これにより、突出し長さＬ１の長さにかかわらず温度センサの先端における共振周波数（１次）を十分に小さくできるのである。

よって、温度センサの先端側に位置する電極線および感温素子が共振により、損傷することが防止される。

本発明は、前記突出し長さＬ１のうち前記感温素子を保持する部材の直径をセンサ外径Ｄとしたとき、Ｄは３．２ｍｍ以下、前記保持長さＬ２は７５ｍｍ以上であることを特徴とする。

これにより、センサ外径Ｄを小さく、且つ保持長さＬ２を長くすればするほど、温度センサの先端における共振周波数（１次）を４８０Ｈｚ以下に抑えることが可能となり、電極線の断線等を防止することができる。

本発明は、前記感温素子は、金属カバーの内部に配設されていることを特徴とする。

これにより、感温素子を排気ガス雰囲気から遮断することにより、感温素子の還元劣化を防止することができる。

本発明は、前記感温素子をサーミスタ素子とすることを特徴とする。

これにより、測定精度の高い温度センサが得られる。

本発明は、前記感温素子を、前記金属カバーの先端側内部に供給された固定部材中に埋設することを特徴とする。

これにより、外部の振動によって、温度センサが振動した際に、感温素子が金属カバーに衝突し、損傷することを防止できる。更には、固定部材によって感温素子が金属カバー内に固定された状態となるため、感温素子の共振による振動が抑制され、結果的に、感温素子の共振によって電極線に加わる応力が抑制される。

請求項８に記載の発明は、感温素子をガラス材によって封止することを特徴とする。

高温環境下においては、金属カバーが酸化し、金属カバー内の酸素濃度が低下するため、感温素子から酸素が離脱する還元劣化を防止することが必要となる。そこで、感温素子をガラス材によって封止することによって、感温素子の還元劣化を防止し、感温素子の安定した測定精度を確保することが可能となる。

以下、本発明の排気温センサ１（温度センサ）の実施形態について、図面に基づいて説明する。

この排気温センサ１は、車両用エンジンから排出される排気ガスの温度を検出するセンサとして適用したものであり、例えば、自動車の排気管に取付けられるものである。

図１に示すように、排気温センサ１は、主として、感温部１０、ケース部２０、前記感温部１０および前記ケース部２０の間に配置されたシースピン１０５にて構成される。

なお、本明細書においては、図１における下方を先端側、上方を基端側として、排気温センサ１の構造を説明する。

前記感温部１０は、排気ガスに曝されて排気温度を感知する。

図２は、図１の感温部１０部分を示す拡大断面図であり、Ｃｒ−Ｍｎを主成分とする半導体材料等よりなる焼結体からなり、排気温度を感知する感温素子であるサーミスタ素子１０１と、該サーミスタ素子１０１が発する電気信号を基端側に伝達するための一対の電極線１０２と、先端を前記電極線１０２の基端側でレーザ溶接、抵抗溶接等によって接合され、他端をリード線２０３に接続された一対の信号線１０３と、前記サーミスタ素子１０１を保護する金属カバーに相当する感温部カバー１０４と、を有する。前記電極線１０２は白金を用いており、前記信号線１０３はステンレス鋼を用いた。また、前記感温部カバー１０４は、インコネル材に深絞り加工を施すことによって、有底筒状を成す。

ここで、感温素子としては、サーミスタ素子１０１を用いることが好ましく、測定精度の高い排気温センサを容易に得ることができる。

また、前記サーミスタ素子１０１は感温部カバー１０４内部に配置されることが好ましく、サーミスタ素子１０１を排ガス雰囲気から遮断することができるため、サーミスタ素子１０１の劣化を防ぐことができる。

前記サーミスタ素子１０１と前記感温部カバー１０４との間には、固定部材が充填されていることが好ましく、排気温センサが振動したときに、サーミスタ素子１０１が振れて感温部カバー１０４に衝突することを防ぐことができる。これにより、サーミスタ素子１０１が損傷することを防ぐと共にサーミスタ素子１０１の電極線１０２の断線を防ぐことができる。

また、充填される固定部材としては、熱伝導性に優れた材料を用いることにより、感温部カバー１０４の外の熱を素早くサーミスタ素子１０１に伝えることができ、応答性に優れた排気温センサを得ることができる。

さらに、感温部カバー１０４は、インコネル材等の耐酸化性に優れた合金を用いることが好ましい。これにより感温部カバー１０４は、酸化を防ぐことができ、感温部カバー１０４の内部の酸素濃度を低下させることによるサーミスタ素子１０１の特性変化を防ぐことができる。感温部カバー１０４が酸化すると、カバー内部の酸素濃度が低下する。その後、これを補うべくサーミスタ素子１０１から酸素が離脱し還元されるおそれがある。これにより、サーミスタ素子１０１の特性が変化してしまうおそれがある。そこで、感温部カバー１０４を耐酸化性金属によって構成することにより、サーミスタ素子１０１の特性変化を防ぐことができる。

前記耐酸化性金属としては、例えば、ステンレス鋼、インコネル等がある。

このような構造の感温部１０には、シース部材に相当するシースピン１０５の一端が挿入固定されている。

シースピン１０５は、インコネル材よりなる円筒状を成し、加締め及びレーザ溶接等によって感温部カバー１０４に固定される。シースピン１０５は、感温部カバー１０４に圧入により固定しても良く、加えて抵抗溶接等を施してもよい。

前記感温素子は、ガラス材によって封止されていることが好ましい。この場合には、前記感温素子の劣化を抑制することができ、耐久性に優れた温度センサを得ることができる。

シースピン１０５は、内側に信号線１０３を収容し、絶縁、保護する。前記シースピン１０５は、ステンレス鋼からなる２本の信号線１０３と、該信号線１０３の周りに配置したマグネシア等の絶縁粉末からなる絶縁部と、該絶縁部の外周を覆うステンレス鋼からなる外管部とからなる。シースピン１０５は円柱形状を有し、外管部は円筒形状を有する。また、信号線１０３は、絶縁部及び外管部から先端側及び基端側に露出している。そして、信号線１０３の先端はサーミスタ素子１０１の電極線１０２と溶接され、信号線１０３の基端はリード線２０３に接続されている。

次いで、図１に示す前記ケース部２０について説明する。ケース部２０は、排気温センサ１を排気管に取付けるための作用を成し、前記感温部１０とシース部材に相当するシースピン１０５を介して接続されている。

ケース部２０は、前記シースピン１０５の外周に接続されたリブ２０１と、該リブ２０１の外周に溶接等により固定されたプロテクションチューブ２０２と、前記シースピン１０５の基端に電気的に接続されたリード線２０３と、を有する。

なお、図１においては、リブ２０１とプロテクションチューブ２０２とがレーザ溶接等によって固定されて略一体となった部材が保持部材に相当する。

流路に相当する排気管４００にはボス３０４が固定されており、このボス３０４の内周面には、雌ネジ部が設けられており、ニップル３０１を介してリブ２０１の基端側端面に係止させた状態で先端側へ押圧すると同時に、ニップル３０１の外周面に設けられた雄ネジ部とボス３０４の雌ネジ部とを螺合する。これにより、排気温センサ１が排気管４００に取付けられる。

このとき、リブ２０１の先端側端面が、ボス３０４の内周面に着座し、密接することにより、排気管４００内を流れる排気ガスを封止する。

このような構造を成す排気温センサ１は、サーミスタ素子１０１が発する排気温信号を、リード線２０３を介して、図示しない外部回路（例えば、ＥＣＵ）へ送出し、排気ガスの温度を検出する。

リブ２０１の外周面の一部は、プロテクションチューブ２０２の内周面と当接し、プロテクションチューブ２０２の外周面から溶接されることにより、両部材は固定される。

シースピン１０５はリブ２０１の中央の孔に嵌合しており、リブ２０１の内周面とシースピン１０５の外周面とが当接する部分にて、溶接等により固定される。

ここで、本発明における保持部材は、この実施形態では前記リブ２０１と前記プロテクションチューブ２０２とがレーザ溶接等によって固定されて略一体となった部材に相当し、シース部材の保持部分とは、前記シースピン１０５の外周に配置された前記リブ２０１との接点を指す。

以下、本発明の実施形態における排気温センサ１の特徴部分について詳述する。

図１に示すように、前記リブ２０１の外周面の一部は、プロテクションチューブ２０２の内周面と当接し、プロテクションチューブ２０２の外周面から溶接されることにより、両部材は固定される。

前記シースピン１０５は、リブ２０１の中央の孔に嵌合しており、リブ２０１の内周面とシースピン１０５の外周面とが当接する部分にて、溶接等により固定される。

外部から排気温センサ１に加わる振動は、リブ２０１、該リブ２０１の内周面とシースピン１０５の外周面との当接（保持）部分を伝って、シースピン１０５で当該部分を固定端とした振動および共振を発生させる。ここで、共振とは、例えば、シースピン１０５等のエネルギーを有する各部材が外部から与えられた振動により固有振動を起すことである。

本発明では、前記排気温センサ１の径方向の加速度に対して、前記排気温センサ１の先端における共振周波数（１次）が４８０Ｈｚ以下であることに特定される。

前記共振周波数（１次）を４８０Ｈｚ以下とすることで、排気温センサ１の先端への振動伝達を抑制することが可能となり、排気温センサ１に共振が発生したとしても、サーミスタ素子５０１の破損や電極線５０２の断線を抑制することが可能である。また、前記共振周波数を３８０Ｈｚ以下とすることがより好ましく、高い耐久性、耐振動性を有する排気温センサ１とすることができる。特に、振動が大きい排気系に用いられる場合、シースピン５０５の長尺化の要求がある場合においても耐振動性を備えることができる。

なお、前記排気温センサ１の先端における共振周波数（１次）は、レーザードップラー振動計によって測定することができる。

前記排気温センサ１の先端における共振周波数（１次）を所定値に調整するには、図１に示されるように、前記排気温センサ１の軸における前記排気管４００の内周面から前記排気温センサ１の先端までの長さである突出し長さをＬ１、前記シースピン１０５が保持部材であるリブ２０１により直接的または間接的に保持される保持部の先端から前記排気温センサ１の先端までの長さである保持長さＬ２としたとき、このＬ１とＬ２を調整することで前記共振周波数を調整することができる。

なお、前記排気温センサ１の軸における前記排気管４００の内周面とは、排気温センサ１の取付けられた排気管４００の端部を繋ぐ仮想線（図１の点線）と排気温センサ１の軸との交点ａであり、突出し長さＬ１とは、この交点ａから排気温センサ１の軸の先端との距離である。

また、前記保持部の先端とは、リブ２０１とシースピン１０５とが溶接等により固定された保持部のうち、リブ２０１とシースピン１０５とが連続して当接する部分のうち、排気温センサ１の先端側に位置する終点Ａを指す。また、本実施形態において、突出し長さＬ１は、リブ２０１のテーパ部の基端側終点から感温部１０の先端までの長さ（排気温センサ１の排気管４００への突出し長さ）でもある。

また、本発明は、図１に示されるように、前記突出し長さＬ１、前記保持長さＬ２としたとき、Ｌ１＜Ｌ２の関係を満たすことがこのましい。

ある特定の突出し長さＬ１に対して、保持長さＬ２が長ければ長いほど、排気温センサ１の先端における共振周波数を小さくすることができるため、電極線１０２等の断線を防止することができる。

本発明の排気温センサ１の共振周波数と前記突出し長さＬ１、前記保持長さＬ２との関係を図３に示す加熱共振耐久試験により確認した。

図３に示すように、加熱共振耐久試験は、排気温センサ１の先端部を電気炉３０３にて加熱した状態で、排気温センサ１の径方向に加速度を与えるものである。試験条件は、排気温センサ１の先端部の温度が８５０℃となるように電気炉３０３をセットし、排気温センサ１がニップル３０１により取付けられた取付け治具３０２に加速度２０Ｇを与えながら、各サンプル（排気温センサ先端）の共振周波数（１次）付近の周波数帯をスイープさせて電極線１０２の断線の有無を確認する。

試験では、前記突出し長さＬ１のうち前記サーミスタ素子１０１を保持する部材であるシースピン１０５の直径であるセンサ外径Ｄ、保持長さＬ２について表１に示す値に種々変更して実験を行った。その結果を表１および図４に示す。

また、共振周波数は上述のレーザードップラー振動計で測定した。なお、試験では、突出し長さＬ１は、保持長さＬ２より２０ｍｍ小さい寸法（Ｌ１＝Ｌ２−２０）としている。

図４から、センサ外径Ｄが小さく、且つ保持長さＬ２が長くなるにつれ、排気温センサ１の先端における共振周波数（１次）は低くなることが判る。

また、図４、表１より前記共振周波数を４８０Ｈｚ以下とした試料（Ｎｏ．３〜８、１３〜１６、２１〜２４）は、電極線１０２の断線は目標時間の１倍を超え２倍未満の時間まで耐久性が向上していることが判る。

特に、前記センサ外径Ｄは３．２ｍｍ以下、前記保持長さＬ２は７５ｍｍ以上とすることが好ましく、図４からも明らかなように、共振周波数（１次）を４８０Ｈｚ以下とすることができる。

一方、保持長さＬ２が７５ｍｍと十分に長くてもセンサ外径Ｄが３．２ｍｍを超える試料（Ｎｏ．２５、２６）は、共振周波数が４８０Ｈｚを超えてしまい、目標時間を満足できないことが分かる。

さらに、前記共振周波数を３８０Ｈｚ以下とした試料（Ｎｏ．５〜８、１４〜１６、２３、２４）は、電極線１０２の断線は目標時間の２倍以上の時間まで耐久性がさらに向上していることが判る。

前記センサ外径Ｄを３．２ｍｍ以下、前記保持長さＬ２を８５ｍｍ以上とすれば、共振周波数（１次）が３８０Ｈｚ以下とすることができる。

なお、前記実施形態では、リブ２０１とシースピン１０５とを直接接触させて、その接触部分に溶接を施して固定する構造であったが、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、リブ２０１とシースピン１０５とを他部材を介して固定する構造としてもよい。

例えば、感温部カバー１０４は、シースピン１０５先端側の外周面の一部を覆うようにして固定されていたが、図５（ａ）、（ｂ）に示すように、シースピン１０５を内包する長尺の感温部カバー１０４を使用してもよい。つまり、感温部カバー１０４の基端側とリブ２０１の基端側とを溶接により固定することにより、前記実施形態と同様の効果を奏する。このとき、感温部カバー１０４の内周面とシースピン１０５の外周面との間に、固定部材１０６が充填されていてもよい。

なお、図５に示す構成においては、感温部カバー１０４の相対的に小径な端部を除いた部分の外径をＤとし、リブ２０１の内周面と感温部カバー１０４の外周面との接触部分の先端から感温部１０の先端までの距離をＬ２とする。この場合においてもＬ１＜Ｌ２を満たすことが重要である。

また、図６に示すように、保護チューブ２０４をリブ２０１の内周面とシースピン１０５の外周面との間に介在させる構成としてもよい。加えて、図示しないが、保護チューブ２０４の先端を縮径すると、該縮径部がシースピン１０５に干渉するため、シースピン１０５の共振を抑制できる。このとき、保護チューブ２０４とシースピン１０５が当接しても良いが、この当接部分はあくまで振動抑制効果を奏するものであり、決してシースピン１０５振動の固定端とはならない。

さらに、図７に示すように、プロテクションチューブ２０２を外周から加締め等により縮径させ、内側にあるシースピン１０５と接触する部分を設け、該接触部分を溶接することにより、シースピン１０５を保持する構成をとってもよい。

また、図８に示すようにサーミスタ素子１０１を覆うようにして、耐熱性を有するガラス材１０７を設けることにより、サーミスタ素子１０１を感温部カバー１０４内の雰囲気からも遮断することが好ましい。これにより、感温部カバー１０４が酸化されることによるサーミスタ素子１０１の還元劣化も確実に防止される。

その他、本発明の範囲を逸脱しない範囲において構成を適宜変更することが可能である。

本発明の排気温センサ１を流路に取付けた際の状態を示す断面図である。図１中の感温部１０を示す拡大断面図である。排気温センサの加熱共振耐久試験を表す模式図である。本発明の排気温センサ１の加熱共振耐久試験結果のグラフである。図４中の感温部１０を示す拡大断面図である。本発明の排気温センサ１の他の実施形態を示す断面図である。本発明の排気温センサ１の他の実施形態を示す断面図である。本発明の排気温センサ１の感温部１０の他の実施形態を示す断面図である。従来の排気温センサ２を流路に取付けた際の状態を示す断面図である。

符号の説明

１…排気温センサ（温度センサ）
１０…感温部
２０…ケース部
１０１…サーミスタ素子（感温素子）
１０２…電極線
１０３…信号線（信号線）
１０４…感温部カバー（金属カバー）
１０５…シースピン（シース部材）
１０６…固定部材
１０７…ガラス材
２０１…リブ（保持部材）
２０２…プロテクションチューブ（保持部材）
２０３…リード線
２０４…保持チューブ
３０１…ニップル
３０２…取付け治具
３０３…電気炉
３０４…ボス
４００…排気管（流路）

Claims

流体が流れる流路内に配置し、前記流路内の流体の温度によって電気的特性が変化する感温素子と、先端側が電極線を介して前記感温素子に接続され、基端側は外部回路接続用のリード線に接続される信号線と、前記信号線を内部に保持するシース部材と、前記シース部材の外周面を直接的または他部材を介して間接的に保持する保持部材と、を備えた温度センサであって、
前記温度センサの軸における前記流路の内周面から前記温度センサの先端までの長さである突出し長さをＬ１、前記シース部材が保持部材により直接的または間接的に保持される保持部の先端から前記温度センサの先端までの長さである保持長さをＬ２としたとき、Ｌ１＜Ｌ２の関係を満たすとともに、前記突出し長さＬ１および保持長さＬ２を調整することにより、前記温度センサの径方向の加速度に対する前記温度センサの先端における共振周波数（１次）がレーザードップラー振動計による測定値で４８０Ｈｚ以下であることを特徴とする温度センサ。
前記共振周波数（１次）は、３８０Ｈｚ以下であることを特徴とする請求項１記載の温度センサ。
前記突出し長さＬ１、保持長さＬ２および前記感温素子を保持する部材の直径であるセンサ外径Ｄを調整することにより、前記共振周波数（１次）を調整することを特徴とする請求項１または２に記載の温度センサ。
前記センサ外径Ｄは３．２ｍｍ以下、前記保持長さＬ２は７５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１乃至３の何れかに記載の温度センサ。
前記突出し長さＬ１は、前記保持長さＬ２−２０ｍｍであることを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載の温度センサ。
前記感温素子は、金属カバーの内部に配設されていることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の温度センサ。
前記金属カバーは、ステンレス鋼またはインコネルにより構成されることを特徴とする請求項６に記載の温度センサ。
前記感温素子は、サーミスタ素子からなることを特徴とする請求項１乃至７の何れかに記載の温度センサ。
前記感温素子は、前記金属カバーの先端側内部に供給された固定部材中に埋設されることを特徴とする請求項１乃至８の何れかに記載の温度センサ。
前記感温素子は、ガラス材によって封止されていることを特徴とする請求項１乃至９の何れかに記載の温度センサ。