JPH08220058A - 酸素センサプローブ及びその製造方法 - Google Patents
酸素センサプローブ及びその製造方法Info
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- JPH08220058A JPH08220058A JP7029673A JP2967395A JPH08220058A JP H08220058 A JPH08220058 A JP H08220058A JP 7029673 A JP7029673 A JP 7029673A JP 2967395 A JP2967395 A JP 2967395A JP H08220058 A JPH08220058 A JP H08220058A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 センサ構造が簡単で、小型化が可能でしかも
高安定及び高精度に酸素濃度を測定ができる酸素センサ
プローブ及びその製造方法を提供する。 【構成】 酸素センサプローブは、酸素イオン導電性を
示す固体電解質２と、固体電解質２の内部に埋め込まれ
た基準極１と、固体電解質２の外面に形成された測定極
３と、基準極１と測定極３との間に電圧を印加して固体
電解質２を構成する酸化物を分解還元して形成した固体
基準物質４を有する。
高安定及び高精度に酸素濃度を測定ができる酸素センサ
プローブ及びその製造方法を提供する。 【構成】 酸素センサプローブは、酸素イオン導電性を
示す固体電解質２と、固体電解質２の内部に埋め込まれ
た基準極１と、固体電解質２の外面に形成された測定極
３と、基準極１と測定極３との間に電圧を印加して固体
電解質２を構成する酸化物を分解還元して形成した固体
基準物質４を有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス中の酸素濃度及び
溶融金属中の溶解酸素濃度を測定する酸素センサプロー
ブに関する。
溶融金属中の溶解酸素濃度を測定する酸素センサプロー
ブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガス中の酸素及び溶融金属中の溶
解酸素濃度を測定するための酸素センサとしては、安定
化ジルコニア等の酸素イオン導電性を有する酸化物固体
電解質を使用した酸素濃淡電池式のガルバニ電池式セン
サ、電解質に電圧を印加して電解質に流れる電流値から
濃度を求める限界電流式酸素センサ及び直流分極式酸素
センサが公知である。
解酸素濃度を測定するための酸素センサとしては、安定
化ジルコニア等の酸素イオン導電性を有する酸化物固体
電解質を使用した酸素濃淡電池式のガルバニ電池式セン
サ、電解質に電圧を印加して電解質に流れる電流値から
濃度を求める限界電流式酸素センサ及び直流分極式酸素
センサが公知である。
【０００３】例えば、濃淡電池式酸素センサにおいて
は、酸素イオンの導電性セラミックスからなるセンサ素
子を一端閉塞型に形成し、その内表面及び外表面に夫々
多孔質の基準極及び測定極を被着して構成されている。
そして、このセンサ素子内にガルバニ起電力の基準とな
る基準ガス、即ち濃度既知の酸素含有ガスを供給するよ
うになっている。
は、酸素イオンの導電性セラミックスからなるセンサ素
子を一端閉塞型に形成し、その内表面及び外表面に夫々
多孔質の基準極及び測定極を被着して構成されている。
そして、このセンサ素子内にガルバニ起電力の基準とな
る基準ガス、即ち濃度既知の酸素含有ガスを供給するよ
うになっている。
【０００４】このガルバニ電池式酸素センサを被測定ガ
ス中において前記測定極に非測定ガスを接触させると、
基準ガスと被測定ガスとの間の酸素分圧の差により、基
準極と測定極との間に起電力が発生する。そして、この
起電力を検出することにより、被測定ガス中の酸素分圧
を知ることができる。なお、前記基準ガスを供給する替
わりに、基準極に接触するようにして所定濃度の酸素を
含有する固体基準物質を配設した酸素センサもある。
ス中において前記測定極に非測定ガスを接触させると、
基準ガスと被測定ガスとの間の酸素分圧の差により、基
準極と測定極との間に起電力が発生する。そして、この
起電力を検出することにより、被測定ガス中の酸素分圧
を知ることができる。なお、前記基準ガスを供給する替
わりに、基準極に接触するようにして所定濃度の酸素を
含有する固体基準物質を配設した酸素センサもある。
【０００５】また、限界電流式酸素センサは、基準ガス
及び固体基準物質を使用しないセンサであり、１枚の板
状の固体電解質の両側に多孔質電極が取り付けられ、こ
の多孔質電極の一方側にガスの拡散を規制する細孔が設
けられた板又はキャップが配設されている。この限界電
流式酸素センサにおいては、前記多孔質電極間に所定の
電圧を印加すると、前記固体電解質を介して前記一方の
多孔質電極側から他方の多孔質電極側に酸素が移動する
ことにより電流が流れる。この電流値に基づいて酸素分
圧を求めることができる。
及び固体基準物質を使用しないセンサであり、１枚の板
状の固体電解質の両側に多孔質電極が取り付けられ、こ
の多孔質電極の一方側にガスの拡散を規制する細孔が設
けられた板又はキャップが配設されている。この限界電
流式酸素センサにおいては、前記多孔質電極間に所定の
電圧を印加すると、前記固体電解質を介して前記一方の
多孔質電極側から他方の多孔質電極側に酸素が移動する
ことにより電流が流れる。この電流値に基づいて酸素分
圧を求めることができる。
【０００６】更に、直流分極式の酸素センサは、１枚の
固体電解質の一方の側に多孔質電極を配置し、他方にガ
ス電極反応が生じないブロッキング電極を配置して構成
されている。この直流分極式酸素センサにおいては、前
記ブロッキング電極側から前記多孔質電極側に酸素が移
動するように、前記ブロッキング電極と前記多孔質電極
の間に所定の電圧を印加する。そして、このとき試料に
流れる電子電流を測定し、この測定値に基づいて酸素分
圧を求める。
固体電解質の一方の側に多孔質電極を配置し、他方にガ
ス電極反応が生じないブロッキング電極を配置して構成
されている。この直流分極式酸素センサにおいては、前
記ブロッキング電極側から前記多孔質電極側に酸素が移
動するように、前記ブロッキング電極と前記多孔質電極
の間に所定の電圧を印加する。そして、このとき試料に
流れる電子電流を測定し、この測定値に基づいて酸素分
圧を求める。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た酸素センサには以下に示す欠点がある。先ず、濃淡電
池を応用したガルバニ電池式センサにおいては、上述の
ように基準極側と測定極側とにの２室を設ける必要があ
る。このため、酸素センサの構造が複雑となり、センサ
プローブの小型化が難しい。
た酸素センサには以下に示す欠点がある。先ず、濃淡電
池を応用したガルバニ電池式センサにおいては、上述の
ように基準極側と測定極側とにの２室を設ける必要があ
る。このため、酸素センサの構造が複雑となり、センサ
プローブの小型化が難しい。
【０００８】特に、基準物質として固体基準物質を使用
する場合には、この固体基準物質が高温に曝されること
により焼結することがある。これにより、固体電解質と
固体基準物質との界面の接触性が悪くなり、起電力がば
らつき、長時間使用できなくなる。
する場合には、この固体基準物質が高温に曝されること
により焼結することがある。これにより、固体電解質と
固体基準物質との界面の接触性が悪くなり、起電力がば
らつき、長時間使用できなくなる。
【０００９】次に、限界電流式及び直流分極式の酸素セ
ンサにおいては、センサに電圧を印加する電源並びに拡
散律速層及び酸素ブロッキング層を設ける必要がある。
このため、センサの構造が複雑になる。
ンサにおいては、センサに電圧を印加する電源並びに拡
散律速層及び酸素ブロッキング層を設ける必要がある。
このため、センサの構造が複雑になる。
【００１０】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、センサ構造が簡素であると共に、小型化が
可能で、しかも高安定及び高精度に酸素濃度を測定する
ことができるセンサプローブ及びその製造方法を提供す
ること目的とする。
のであって、センサ構造が簡素であると共に、小型化が
可能で、しかも高安定及び高精度に酸素濃度を測定する
ことができるセンサプローブ及びその製造方法を提供す
ること目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明に係る酸素センサ
プローブは、酸素イオン導電性を有する酸化物固体電解
質と、前記固体電解質の内部に埋め込まれた基準極と、
前記固体電解質表面に形成された測定極と、前記基準極
と前記測定極との間に電圧を印加することにより前記固
体電解質から析出させた金属を含む固体基準物質と、を
有することを特徴とする。
プローブは、酸素イオン導電性を有する酸化物固体電解
質と、前記固体電解質の内部に埋め込まれた基準極と、
前記固体電解質表面に形成された測定極と、前記基準極
と前記測定極との間に電圧を印加することにより前記固
体電解質から析出させた金属を含む固体基準物質と、を
有することを特徴とする。
【００１２】本発明に係る酸素センサプローブの製造方
法は、酸素イオン導電性を有する酸化物固体電解質の内
部に基準極を埋め込む工程と、前記固体電解質の外面に
多孔質材料からなる測定極を形成する工程と、前記基準
極と前記測定極との間に電圧を印加して前記固体電解質
から金属を析出させる工程と、を有することを特徴とす
る。
法は、酸素イオン導電性を有する酸化物固体電解質の内
部に基準極を埋め込む工程と、前記固体電解質の外面に
多孔質材料からなる測定極を形成する工程と、前記基準
極と前記測定極との間に電圧を印加して前記固体電解質
から金属を析出させる工程と、を有することを特徴とす
る。
【００１３】
【作用】本発明においては、固体電解質の内部に基準極
に埋め込んだ後、測定極と基準極との間に直流電圧を印
加し、基準極近傍の酸化物固体電解質を電気化学的に分
解還元し、金属を析出させることにより固体基準物質を
形成する。このため、基準ガスを供給したり、又は固体
基準物質を充填するための部屋を設ける必要がない。従
って、本発明は従来のセンサに比べ構造を簡素化し、セ
ンサ素子を小型化することができる。
に埋め込んだ後、測定極と基準極との間に直流電圧を印
加し、基準極近傍の酸化物固体電解質を電気化学的に分
解還元し、金属を析出させることにより固体基準物質を
形成する。このため、基準ガスを供給したり、又は固体
基準物質を充填するための部屋を設ける必要がない。従
って、本発明は従来のセンサに比べ構造を簡素化し、セ
ンサ素子を小型化することができる。
【００１４】そして、本発明においては、センサ素子を
加熱し、ある一定の温度になったときに、基準極側の固
体基準物質の平衡酸素分圧とセンサ素子の周囲の雰囲気
中の酸素分圧との差に基づいてセンサ素子に生じるガル
バニ起電力を検出することにより、センサ素子の周囲の
雰囲気中の酸素濃度を測定することができる。
加熱し、ある一定の温度になったときに、基準極側の固
体基準物質の平衡酸素分圧とセンサ素子の周囲の雰囲気
中の酸素分圧との差に基づいてセンサ素子に生じるガル
バニ起電力を検出することにより、センサ素子の周囲の
雰囲気中の酸素濃度を測定することができる。
【００１５】なお、本発明において使用することができ
る酸素イオン導電性を有する酸化物固体電解質として
は、Ｃｅ、Ｂｉ、Ｚｒ及びＨｆからなる群から選択され
た少なくとも１種の元素の酸化物を主成分とし、Ｙ、Ｙ
ｂ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、Ｇｄ，Ｌａ、Ｄｙ、Ｓ
ｍ、Ｍｇ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｎｄ、Ｈｏ及びＴａからなる群
から選択された少なくとも１種の元素を１乃至４０モル
％固溶させた酸化物がある。但し、固体電解質の特性に
大きく影響を及ぼさない範囲でその他の物質を添加して
もよい。このような酸素イオン導電性を有する酸化物固
体電解質の例として、（Ｂｉ2Ｏ3）0.73（Ｙ
2Ｏ3）0.27、（ＺｒＯ2）0.92（Ｙ2Ｏ3）0.08及び（Ｂ
ｉ2Ｏ3）0.72（Ｙ2Ｏ3）0.28等がある。
る酸素イオン導電性を有する酸化物固体電解質として
は、Ｃｅ、Ｂｉ、Ｚｒ及びＨｆからなる群から選択され
た少なくとも１種の元素の酸化物を主成分とし、Ｙ、Ｙ
ｂ、Ｃａ、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎｂ、Ｇｄ，Ｌａ、Ｄｙ、Ｓ
ｍ、Ｍｇ、Ｅｕ、Ｓｃ、Ｎｄ、Ｈｏ及びＴａからなる群
から選択された少なくとも１種の元素を１乃至４０モル
％固溶させた酸化物がある。但し、固体電解質の特性に
大きく影響を及ぼさない範囲でその他の物質を添加して
もよい。このような酸素イオン導電性を有する酸化物固
体電解質の例として、（Ｂｉ2Ｏ3）0.73（Ｙ
2Ｏ3）0.27、（ＺｒＯ2）0.92（Ｙ2Ｏ3）0.08及び（Ｂ
ｉ2Ｏ3）0.72（Ｙ2Ｏ3）0.28等がある。
【００１６】
【実施例】次に、本発明の実施例について添付の図面を
参照して説明する。図１は本発明の実施例に係る酸素セ
ンサプローブを示す断面図である。固体電解質２の内部
にＰｔ線等の基準極１が埋め込まれ、その先端が固体電
解質２の中心部に位置している。また、この基準極１は
固体電解質２の一方の側から外部に導出されており、こ
の基準極１が導出された側の固体電解質２の略半分の部
分はガラスコーティング層６により被覆されている。ま
た、このガラスコーティング層６は更にセラミックスコ
ーティング層５により被覆されている。これにより、固
体電解質２が空気と接触しないようにしている。また、
固体電解質２における反対側の部分にはＰｔの多孔質材
料からなる測定極３が固体電解質２の表面に覆うように
して設けられている。更にまた、基準極１及び測定極３
には夫々基準極側リード線７及び測定極側リード線８が
接続されており、この基準極側リード線７と測定極側リ
ード線８とを介してガルバニ起電力を測定するための電
位差計９が基準極１と測定極３との間に接続されてい
る。
参照して説明する。図１は本発明の実施例に係る酸素セ
ンサプローブを示す断面図である。固体電解質２の内部
にＰｔ線等の基準極１が埋め込まれ、その先端が固体電
解質２の中心部に位置している。また、この基準極１は
固体電解質２の一方の側から外部に導出されており、こ
の基準極１が導出された側の固体電解質２の略半分の部
分はガラスコーティング層６により被覆されている。ま
た、このガラスコーティング層６は更にセラミックスコ
ーティング層５により被覆されている。これにより、固
体電解質２が空気と接触しないようにしている。また、
固体電解質２における反対側の部分にはＰｔの多孔質材
料からなる測定極３が固体電解質２の表面に覆うように
して設けられている。更にまた、基準極１及び測定極３
には夫々基準極側リード線７及び測定極側リード線８が
接続されており、この基準極側リード線７と測定極側リ
ード線８とを介してガルバニ起電力を測定するための電
位差計９が基準極１と測定極３との間に接続されてい
る。
【００１７】そして、本実施例においては、基準極１と
測定極３との間に、基準極１が負極となる直流電圧を印
加し、これにより固体電解質２の内部の基準極１の近傍
にて固体電解質２を構成する酸化物を電気化学的に分解
還元して金属を析出させる。これにより、この基準極１
を中心とする部分に金属と酸化物との混合した酸素濃度
一定の固体基準物質４が形成される。
測定極３との間に、基準極１が負極となる直流電圧を印
加し、これにより固体電解質２の内部の基準極１の近傍
にて固体電解質２を構成する酸化物を電気化学的に分解
還元して金属を析出させる。これにより、この基準極１
を中心とする部分に金属と酸化物との混合した酸素濃度
一定の固体基準物質４が形成される。
【００１８】このように構成された酸素センサプローブ
においては、固体電解質２の内部に、固体電解質２自体
の分解還元により析出させた金属と金属酸化物との混合
物を固体基準物質４として使用するので、固体基準物質
４の充填及び基準極室内への基準ガスの供給が不要であ
る。このため、構造が簡素であるとと共に、固体基準物
質４が固体電解質２の内部に埋め込まれているため、安
定して酸素濃度を高精度で測定することができる。更
に、本実施例の方法によれば、上述の構造の酸素センサ
プローブを容易に製造することができる。
においては、固体電解質２の内部に、固体電解質２自体
の分解還元により析出させた金属と金属酸化物との混合
物を固体基準物質４として使用するので、固体基準物質
４の充填及び基準極室内への基準ガスの供給が不要であ
る。このため、構造が簡素であるとと共に、固体基準物
質４が固体電解質２の内部に埋め込まれているため、安
定して酸素濃度を高精度で測定することができる。更
に、本実施例の方法によれば、上述の構造の酸素センサ
プローブを容易に製造することができる。
【００１９】次に、本実施例のセンサプローブを実際に
製作し、そのセンシング特性を調べた結果について説明
する。
製作し、そのセンシング特性を調べた結果について説明
する。
【００２０】先ず、（Ｂｉ2Ｏ3）0.73（Ｙ2Ｏ3）0.27の
酸化物の微粉末をゴム型内に充填した後に、その充填さ
れた微粉末の中に直径０．５ｍｍ、長さ４０ｍｍのＰｔ
線の電極リードからなる基準極１の一端部を埋め込み、
２トン／ｃｍ2 の条件で静水圧で印加して成形体を得
た。次に、この成形体を空気中で９００℃の温度に５時
間焼成した。次に、得られた焼結体の基準極１が導出さ
れている部分の固体電解質２にガラスコートティング層
６設け、更に、そのガラスコーティング層６を被うよう
にセラミックスコーティング層５を設けた。これらのコ
ーティングにより、基準極１が導出されている部分の固
体電解質２が空気と接触しないようにした。また、その
反対側の固体電解質２の表面に多孔質のＰｔの測定極を
焼き付けた。次に、基準極１及び測定極３に夫々Ｐｔ線
からなる基準極側リード７及び測定極側リード８を接続
してセンサ素子とした。
酸化物の微粉末をゴム型内に充填した後に、その充填さ
れた微粉末の中に直径０．５ｍｍ、長さ４０ｍｍのＰｔ
線の電極リードからなる基準極１の一端部を埋め込み、
２トン／ｃｍ2 の条件で静水圧で印加して成形体を得
た。次に、この成形体を空気中で９００℃の温度に５時
間焼成した。次に、得られた焼結体の基準極１が導出さ
れている部分の固体電解質２にガラスコートティング層
６設け、更に、そのガラスコーティング層６を被うよう
にセラミックスコーティング層５を設けた。これらのコ
ーティングにより、基準極１が導出されている部分の固
体電解質２が空気と接触しないようにした。また、その
反対側の固体電解質２の表面に多孔質のＰｔの測定極を
焼き付けた。次に、基準極１及び測定極３に夫々Ｐｔ線
からなる基準極側リード７及び測定極側リード８を接続
してセンサ素子とした。
【００２１】次に、このセンサ素子をアルゴンガス雰囲
気中で、６００℃に加熱保持した後に、基準極側リード
線７と測定極側リード線８との間にに測定極側を正極と
して２Ｖの直流電圧を印加した。これにより、基準極１
の周辺部の固体電解質を構成する酸化物Ｂｉ2Ｏ3 が電
気化学的に還元されて金属Ｂｉが析出した。これによ
り、金属Ｂｉと酸化物Ｂｉ2Ｏ3 との混合物からなるガ
ルバニ電池の固体基準物質４が形成された。最後に、基
準極側リード７と測定極側リード８との間に電位差計９
を取り付け、本発明に係るセンサープローブが完成し
た。
気中で、６００℃に加熱保持した後に、基準極側リード
線７と測定極側リード線８との間にに測定極側を正極と
して２Ｖの直流電圧を印加した。これにより、基準極１
の周辺部の固体電解質を構成する酸化物Ｂｉ2Ｏ3 が電
気化学的に還元されて金属Ｂｉが析出した。これによ
り、金属Ｂｉと酸化物Ｂｉ2Ｏ3 との混合物からなるガ
ルバニ電池の固体基準物質４が形成された。最後に、基
準極側リード７と測定極側リード８との間に電位差計９
を取り付け、本発明に係るセンサープローブが完成し
た。
【００２２】このようにして製造された酸素プローブに
おいて、金属Ｂｉと酸化物Ｂｉ2Ｏ3との混合物からなる
固体基準物質４は、ある一定の温度下では、下記数式１
の平衡関係が得られる。
おいて、金属Ｂｉと酸化物Ｂｉ2Ｏ3との混合物からなる
固体基準物質４は、ある一定の温度下では、下記数式１
の平衡関係が得られる。
【００２３】
【数１】２Ｂｉ＋（３／２）Ｏ2 ＝Ｂｉ2Ｏ3 この数式１の平衡関係から基準極の平衡酸素分圧が決定
される。そして、酸素濃淡電池式の酸素センサにおいて
は、下記数式２で与えられる起電力が生成する。
される。そして、酸素濃淡電池式の酸素センサにおいて
は、下記数式２で与えられる起電力が生成する。
【００２４】
【数２】 Ｅ＝（ＲＴ／４Ｆ）Ｉｎ［ＰO2（１）／ＰO2（２）］ 但し、Ｅは起電力（Ｖ）、Ｒは気体定数、ＦはFaraday
（ファラデー）定数、Ｔは絶対温度、ＰO2（１）、ＰO2
（２）は夫々測定極雰囲気中の酸素分圧及び基準極側の
酸素分圧である。これにより、基準極の酸素分圧を知
り、と起電力を測定することにより、測定雰囲気中の酸
素分圧を求めることができる。
（ファラデー）定数、Ｔは絶対温度、ＰO2（１）、ＰO2
（２）は夫々測定極雰囲気中の酸素分圧及び基準極側の
酸素分圧である。これにより、基準極の酸素分圧を知
り、と起電力を測定することにより、測定雰囲気中の酸
素分圧を求めることができる。
【００２５】次に、本実施例のセンサプローブのセンシ
ング特性を調べた結果について説明する。
ング特性を調べた結果について説明する。
【００２６】図２は横軸に酸素分圧をとり、縦軸に起電
力をとって、６００℃で作動させたときの酸素分圧とセ
ンサ起電力との関係を示したグラフ図である。図中の測
定点はこのセンサの実測結果であり、実線はガルバニ電
池式酸素センサの６００℃における理論起電力値と酸素
分圧の関係を示したものである。酸素分圧が１０-5気圧
以上の測定環境においては、実測起電力と理論起電力は
良い一致を示した。
力をとって、６００℃で作動させたときの酸素分圧とセ
ンサ起電力との関係を示したグラフ図である。図中の測
定点はこのセンサの実測結果であり、実線はガルバニ電
池式酸素センサの６００℃における理論起電力値と酸素
分圧の関係を示したものである。酸素分圧が１０-5気圧
以上の測定環境においては、実測起電力と理論起電力は
良い一致を示した。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、酸素イオン導電性を有
する固体電解質の内部に、基準極と測定極との間に電圧
を印加して前記固体電解質から析出させた金属を含む固
体基準物質が形成されるため、基準極室を設け、基準極
室に固体基準物質を充填したり、基準ガスを流したりす
る必要がない。また、この基準極室がないためセンサ構
造が簡素になり、センサプローブの小型化が可能であ
る。更に、本発明により、安定して酸素濃度を高精度で
測定できる。このため、従来小型化が困難であった濃淡
電池式酸素センサの小型化が可能である。
する固体電解質の内部に、基準極と測定極との間に電圧
を印加して前記固体電解質から析出させた金属を含む固
体基準物質が形成されるため、基準極室を設け、基準極
室に固体基準物質を充填したり、基準ガスを流したりす
る必要がない。また、この基準極室がないためセンサ構
造が簡素になり、センサプローブの小型化が可能であ
る。更に、本発明により、安定して酸素濃度を高精度で
測定できる。このため、従来小型化が困難であった濃淡
電池式酸素センサの小型化が可能である。
【００２８】また、本発明方法によれば、基準極と測定
極との間に電圧を印加することによって析出した金属と
酸化物との混合物を固体基準物質とするので、構造が簡
素であると共に、小型でしかも高安定及び高精度で酸素
濃度を測定できるセンサプローブを低コストで製造する
ことができる。
極との間に電圧を印加することによって析出した金属と
酸化物との混合物を固体基準物質とするので、構造が簡
素であると共に、小型でしかも高安定及び高精度で酸素
濃度を測定できるセンサプローブを低コストで製造する
ことができる。
【図１】本発明の実施例に係る酸素センサプローブを示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】本発明の実施例に係る酸素センサにおける起電
力と酸素分圧との関係を示すグラフである。
力と酸素分圧との関係を示すグラフである。
１；基準極 ２；固体電解質 ３；測定極 ４；固体基準物質 ５；セラミックスコーティング層 ６；ガラスコーティング層 ７；基準極側リード線 ８；測定極側リード線 ９；電位差計
Claims (2)
- 【請求項１】 酸素イオン導電性を有する酸化物固体電
解質と、前記固体電解質の内部に埋め込まれた基準極
と、前記固体電解質表面に形成された測定極と、前記基
準極と前記測定極との間に電圧を印加することにより前
記固体電解質から析出させた金属を含む固体基準物質
と、を有することを特徴とする酸素センサプローブ。 - 【請求項２】 酸素イオン導電性を有する酸化物固体電
解質の内部に基準極を埋め込む工程と、前記固体電解質
の外面に多孔質電材料からなる測定極を形成する工程
と、前記基準極と前記測定極との間に電圧を印加して前
記固体電解質から金属を析出させる工程と、を有するこ
とを特徴とする酸素センサプローブの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7029673A JPH08220058A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 酸素センサプローブ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7029673A JPH08220058A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 酸素センサプローブ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08220058A true JPH08220058A (ja) | 1996-08-30 |
Family
ID=12282640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7029673A Pending JPH08220058A (ja) | 1995-02-17 | 1995-02-17 | 酸素センサプローブ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08220058A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6007688A (en) * | 1996-11-29 | 1999-12-28 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Wide range air/fuel ratio sensor having one electrochemical cell |
| JP2011209280A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-10-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
-
1995
- 1995-02-17 JP JP7029673A patent/JPH08220058A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6007688A (en) * | 1996-11-29 | 1999-12-28 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Wide range air/fuel ratio sensor having one electrochemical cell |
| JP2011209280A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-10-20 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ |
| US8747634B2 (en) | 2010-03-11 | 2014-06-10 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas-sensor |
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