JPS6363936A

JPS6363936A - 工業用ガス濃度測定装置

Info

Publication number: JPS6363936A
Application number: JP61206685A
Authority: JP
Inventors: Toru Kodachi; 小太刀　徹; Jun Usami; 宇佐美　諄
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 1986-09-04
Filing date: 1986-09-04
Publication date: 1988-03-22

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、工業用ガス濃度測定装置に関し、特に雰囲気
ガス中のガス成分濃度測定、工業炉あるいは各種燃焼炉
の炉内または煙道内に挿入して燃焼排ガス中のガス成分
濃度の測定等に用いて好適な工業用ガス濃度測定装置に
関するものである。

〔従来の技術〕

この種の従来装置において、被測定ガスを採取するプロ
ーブに取り付けられる測定小室等の構造は、第１２図に
示される。次に、この構造を同図を参照しつつ説明する
。

有底円筒形状の固体電解質７０には、その内外面に夫々
内面電極７１と外面電極７２とが塗布後焼付されている
。なお、この内面電極７１は、固体電解質７０の開口端
で折返してその固体電解質７０の開口端外面に露出して
塗布後焼付されている。これら内面電極７１と外面電極
７２とが塗布後焼付された固体電解質７０は、金属性の
円筒管７３内に収納されているとともに、この円筒管７
３との隙間にアルミナ。

シリカなどの金属酸化物の繊維より成るセラミック繊維
７４が緻密に充填されることにより支持されている。な
お、７５は、内面電極７１および外面電極７２からのリ
ード線を挿通させて保護するリード線保護管である。

前記固体型Ｎ質７０の有底円筒内部には、大気などの基
準空気を導入するための基準空気導入管７６が設けられ
ているとともに、この基準空気導入管７６は、固定金具
７７に支持されている。この基準空気導入管７６内には
、固体電解￥ｔ７０の温度を測定する例えば白金−白金
ロジウム熱電対のような測温素子７８が挿設されている
。

前記円筒管７３の先端開口部には、被測定ガスが拡散に
より通過するセラミックフィルタ７９が嵌着されている
。なお、８０　、８１夫々は、前記固体電解質７１の外
面電極７２に校正ガスを噴出して接触させるための校正
ガス導入管と、被測定ガスおよび／または基準空気を排
出するための排出口とである。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、このものにおいては、検出部を校正する
有底円筒形状の固体電解質７０における閉塞端部の酸素
検知部分りが、その形状のために大きくて高張るもので
あった。したがって、この酸素検知部分りを収納する、
前記円筒管７３およびセラミック繊維７４より形成され
て入口部にフィルタ７９を有する測定小室Ａを、ある一
定収上に小さくすることは不可能であった。

このために、装置の検出出力の校正を行う際には、多量
に校正ガスを測定小室Ａに供給しなければならないとと
もに、校正ガスの供給に時間がかかることによって校正
時間が長くなり、測定中に簡単に校正を行なうことがで
きないという問題点があった。

本発明は、この問題点を解決する目的でなされたもので
ある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の工業用ガス）濃度測定装置は、前記目的を達成
するために、センシングセルと、加熱体および／または
温度検知体とを板状に積層一体に成形した検出部の少な
くともガス成分検知部分を収納し、かつ入口部にフィル
タを有する測定小室を設け、この測定小室に校正ガスを
供給する校正ガス導入管を設けるとともに、この測定小
室を被測定ガスを採取するプローブに直接的あるいは間
接的に取り付けることを特徴とするものである。

〔作　用〕

検出部を、センシングセルと、加熱体および／または温
度検知体とを板状に積層一体に成形したことより、ガス
成分検知部分はもとより検出部の全体が軽量になるとと
もに非常に小型化されたために、測定小室は極めて小さ
くなる。

（実施例）次に、本発明による工業用ガス濃度測定装置の具体的一
実施例として、工業用酸素濃度測定装置に通用した場合
につき、図面を参照しつつ説明する。

第１図において、被測定ガスである燃焼排ガスを採取す
るプローブ１は、例えば燃焼炉の煙道の炉壁２に形成さ
れる開口３に挿通位置されて設けられているとともに、
取付はフランジ４を介して炉壁２に取り付けられている
。また、このプローブ１の基部５には、ガス検出具６が
設けられている。

前記プローブ１は、両端が閉塞された外管７と、両端が
開口された内管８との内外２重管構造によって構成され
ている。この外管７の先端部側壁には、煙道内に流動す
る燃焼排ガスに面する位置にガス採取孔９が穿設されて
いるとともに、このガス採取孔９に先端側開口１０を臨
ませて、前記内管８が外管７内に設けられている。この
内管８は、その内部空間が、前記先端側開口１０を介し
て外管７と内管８とで形成される空間との間での導通を
遮ぎるために、支持板を兼ねる隔壁１１によって、外管
７の軸心部分に支持されている。この隔壁１１より基部
側の外管７の側壁において、煙道に流動する燃焼排ガス
に対して負圧となる位置に、ガス排出孔１２が穿設され
ている。したがって、ガス採取孔９から採取された煙道
からの被測定ガスである燃焼排ガス（以下「被測定ガス
」と称す）は、矢印で図示されるように、まず内管８の
内部空間を通り、次に外管７と内管８との間に形成され
る空間を通って、ガス排出孔１２を介して煙道に排出さ
れる。

前記ガス検出具６は、酸素検出センサー１３と、測定小
室Ａを形成する筒状管１４と、この筒状管１４の測定小
室Ａの入口部である先端部に嵌着されるセラミックフィ
ルタ１５とから構成されている。この酸素検出センサー
１３は、筒状管１４の基端側からねじ込みにより、酸素
検出センサー１３を構成する検出部である酸素センサー
素子Ｓの酸素検知部分りが前記測定小室Ａに収納される
ようにして固着されている。また、ガス検出具６は、前
記外管７の基壁１６の開口１７と筒状管１４の先端外周
とを螺合させることにより外管７、すなわちプローブ１
に固着されている。なお、１８は、装置の検出出力の校
正を行う校正ガスを測定小室Ａに供給する校正ガス導入
管である。また、前記フィルタ１５は、被測定ガスを前
記測定小室Ａに拡散によってプローブｌ、詳しくは外管
７から侵入させるとともに、この測定小室Ａに校正ガス
が供給された場合に、その測定小室Ａの圧力が高くなる
ような通気抵抗を有している。

次に、前記酸素検出センサー１３の構造について、第２
図を参照しつつ説明する。

ジルコニアを主成分とする狭巾な長手形状の固体電解質
より構成される酸素センサ素子Ｓ（寸法；約５ｍ＋／ｓ
（巾）　Ｘｌ、５ｍ／＋ｍ　（厚み）×３０〜６抛／ｌ
１１（長さ））には、その先端部に酸素検知部分りが形
成されている。この酸素センサ素子Ｓは、その中央部が
両スペーサ部材１９．’１９間に圧入された粉体シール
材３０によって支持された状態で、円筒状の金属製保護
管２１内に、前記酸素検知部分りを残して収納されてい
る。なお、保護管２１の右端部に形成される空間２２に
は、酸素センサ素子Ｓ内に形成された後述する空気通路
５１の出口が位置されている。また、この空間２２には
、酸素センサ素子Ｓの同様に後述する電気接触端子Ｍが
印刷された基端部を挿入することにより、電気的接続が
行われるコネクタ２３が設けられている。このコネクタ
２３からのリード線２４は、前記保護管２１の右端に嵌
入されて固定されるゴム栓２５を貫いて外部に引き出さ
れている。なお、２６は、前記空気通路５１の出口に基
準空気を供給するための孔である。

前記保護管２１の左端側の外周面には、酸素検出センサ
ー１３を前記筒状管１４にねじ込みにより固着するため
のハウジング２７が、外挿により装着されている。した
がって、酸素センサ素子Ｓの酸素検知部分りを筒状管１
４内の測定小室Ａに挿入位置させた状態で、保護管２１
を筒状管１４に気密に接続し得るようになっている。な
お、２８　、２９夫々は、保護管２１とハウジング２７
との間を気密に保つための金属性メタルリング、および
筒状管１４とハウジング２７との間を気密に保つための
環状のメタルパツキンである。

次に、前記酸素センサ素子Ｓの構造について、第３図（
Ａ）　、　（Ｂ）および第４図を参照しつつ説明する。

まず、上部には、固体電解質体４０と、この固体電解質
体４０の上下両側に配される上側ポンプ電極４１および
下側ポンプ電極４２とから成る酸素ポンプ部Ｐが設けら
れている。なお、この酸素ポンプ部Ｐの上面側には、前
記上側ポンプ電極４１を囲むようにして上部加熱部Ｈ１
が設けられている。

次に、前記酸素ポンプ部Ｐと同様に、固体電解質体４３
と、この固体電解質体４３の上下両側に配される測定電
極４４および基準電極４５とから成る酸素濃淡電池部Ｂ
が設けられている。

なお、これら酸素ポンプ部Ｐと酸素濃淡電池部Ｂとの間
には、所定の拡散抵抗のもとに被測定ガスを導く細隙平
坦空間の拡散室４６が形成されるように、絶縁体から成
る所定厚さのスペース部材４７（４７ａ　、　４７ｂ）
が介在されている。また、前記酸素ポンプ部Ｐにおける
拡散室４６の中央部に相当する位置には、この拡散室４
６を外部の被測定ガスの存在空間と連通させるガス導入
孔４８（４８ａ　、　４８ｂ　。

４８ｃ　、　４８ｄ）が形成されている。したがって、
このガス導入孔４Ｂ（４８ａ　、　４８ｂ　、　４．８
ｃ　、　４８ｄ）により被測定ガスは導かれて、拡散室
４６内において所定の拡散抵抗のもとに拡散されて、酸
素ポンプ部Ｂの下側ポンプ電極４２に接触する。また、
酸素濃淡電池部Ｂの測定電極４４にも、前記下側ポンプ
電極４２の付近で被測定ガスに接触する。

次に、酸素濃淡電池部Ｂの下側には、順次に固体電解質
体から成るスペース部材４９、および固体電解質体５０
が設けられている。これにより、前記基準電極４５が露
呈される空気通路５１が形成されている。この空気通路
５１は、酸素センサ素子Ｓの基部において大気に連通し
ている。この空気通路５１を通じて大気である前記基準
空気が導かれて、基準電極４５に接触するようになって
いる。

なお、空気通路５１内には、固体電解質体４３の下面で
基準電極４５の両側部に近接した位置に、温度検知部Ｔ
が設けられている。

更に、下側には、下部加熱部Ｈ２が設けられている。し
たがって、この加熱部Ｈ２と前記上部加熱部Ｉｌｌとが
、酸素ポンプ部Ｐおよび酸素濃淡電池部Ｂの両側におい
て、これら酸素ポンプ部Ｐおよび酸素濃淡電池部Ｂを挟
むようにして、両側から所定温度（例えば６００℃以上
）に加熱できるようになっている。

前記固体電解質体４０　、４３　、５０およびスペース
部材４９は、高温において酸素イオン導電性を示す安定
化または部分安定化ジルコニア磁器から構成さている。

この安定化または部分安定化ジルコニア磁器は、良く知
られているように、酸化ジルコニウムに酸化イツトリウ
ムあるいは酸化カルシウム等を固溶させることによって
得られる。また、電極４１　、４２　、４４　、４５夫
々は、多孔質白金等から構成されている。これら電極４
１　、４２　、４４　、４５のうち、被測定ガスに接触
する上側ポンプ電極４１、下側ポンプ電極４２および測
定電極４４夫々には、アルミナ等から成るポーラスセラ
ミック層５２．５３　。

５４が積層された状態で設けられている。したがって、
これらポーラスセラミックＪ１５２　、５３　、５４を
通じて被測定ガスが、電極４１．４２．４４夫々に接触
されるようになる。

一方、前記加熱部旧、　８２は、ヒータ素子であるヒー
タエレメント５５　、５６の周りを、電気絶縁性を有す
るアルミナ等から成る多孔質層５７（５７ａ　。

５７ｂ）　、　５Ｂ（５８ａ　、　５８ｂ）によって覆
われた状Ｇにおいて設けられている。これら多孔質層５
７　（５７ａ　。

５７ｂ）　、　５８（５８ａ　、　５８ｂ）上には、更
にジル：１ニー’７等の固体電解質から成る気密層５９
　、６０が設けられている。これにより、ヒータエレメ
ント５５　、５６夫々を外部の被測定ガスから遮断もし
くは隔離し得るようになっている。なお、ヒータエレメ
ント５５　、５６は、例えばアルミナ粉末と、白金粉と
を主成分とするサーメット状にしたフィルムを配置する
か、またはサーメット状にしたフィルムを配置する等の
手法によって形成される。

また、前記温度検知部Ｔは、温度変化によって電気抵抗
が大きく変化して正または負の温度係数をもつ抵抗体等
から成る構成を有している。温度検知素子６１は、電気
絶縁性を有するアルミナ等から成る多孔質層６２内に埋
設されて構成され、周囲の固体電解質体４３およびスペ
ース部材４９から電気的に絶縁されるようになっている
。なお、抵抗体の温度検知素子６１は、ジルコニア、ア
ルミナ等のセラミック粉末と白金粉末とを主成分とした
ペーストまたはサーメット、ジルコニア、アルミナ等の
セラミック粉末と白金粉末とを主成分とするものに０．
１〜０．５％程度の二酸化チタンを添加したペーストま
たはサーメット、あるいはジルコニア。

アルミナ等のセラミック粉末を主成分とするものにマン
ガン、コバルト、ニッケルの酸化物等を添加したペース
トまたはサーメット等のように、積極的に抵抗の温度係
数を高めたペーストを印刷積層すること、またはサーメ
ット状のフィルムを配置すること等の手法を用いること
により形成されたものである。また、抵抗体の温度検知
素子６１として、ジルコニア磁器、白金線あるいは白金
薄膜等を用いてもよい、なお、これら白金線あるいは白
金薄膜の印刷積層には、ＣｖＤ、真空蒸着またはスパッ
タリング等の手法を用いることができる。

さらに、抵抗体の温度検知素子６１にかえて、夫々異な
った金属（例えば、白金、金）あるいはこれらの異なっ
た金属を含んだペーストまたはサーメットを組み合わせ
て熱電対として印刷積層することにより熱電対の温度検
知素子６１を構成してもよい。

以上のような酸素ポンプ部Ｐ、酸素濃淡電池部Ｂ、加熱
部Ｈ１、Ｉ２　、温度検知部Ｔおよびスペース部材４７
が図示されるように積層され、一体内な挟巾な板状の長
手形状の積層構造体にして、これを焼結することにより
一体的な構造に成形されている。なお、Ｍは、ポンプ電
極４１　、４２　、測定電極４４、基準電極４５、ヒー
タエレメント５５　、５６および温度検知素子６１の印
刷された電気接触端子である。

本実施例の場合には、酸素ポンプ部Ｐと酸素濃淡電池部
Ｂとが本発明におけるセンシングセルを構成している。

ところで、酸素濃度測定に際しては、温度検出部Ｔの温
度検知素子６１によって検出される温度により、酸素セ
ンサ素子Ｓ、具体的には酸素ポンプ部Ｐおよび酸素濃淡
電池部Ｂが所定の温度に保たれるように、ヒータ電流゛
が加熱部８１　、　Ｉ２のヒータエレメント５５　、５
６に通電される。そして、酸素ポンプ部Ｐおよび酸素濃
淡電池部Ｂが所定温度に保持された状態で、あるいは保
持された時点で測定が始まる。なお、前記酸素センサ素
子Ｓが通電開始から所定温度に保持されるまでには、約
３分程度要する。また、電力消費量は、約８Ｗ程度であ
る。

次に、前記センサ素子Ｓによる酸素濃度測定の原理につ
いて、第５図のブロック図を参照しつつ説明する。

酸素濃淡電池部Ｂによって、拡散室４６に酸素ポンプ部
Ｐのガス導入孔４８を通じて拡散により侵入した被測定
ガスと、基準空気の大気との比較から、測定電極４４と
基準電極４５との間に、両者の酸素分圧比に応じた発生
起電力Ｅが生じる。この発生起電力Ｅは、比較電圧Ｖｆ
　（空気比ｍ＃ｌ相当の発生起電力）と比較される。こ
れら両者の差電圧（Ｅ−Ｖｆ）が、酸素ポンプ電流（Ｉ
Ｐ）制御器６３に供給される。

このポンプ電流（■、）制御器６３は、差電圧（Ｅ−Ｖ
ｆ）に応じて、ｉ）Ｅ＜Ｖｆの場合には、酸素ポンプ部Ｐによって、第５図に実線の矢印で示され
るように、拡散室４６内の酸素を外側に汲み出すように
、１ｉ）Ｅ＞Ｖｆの場合には、酸素ポンプ部Ｐによって、被測定ガス中の二酸化炭素Ｃ
Ｏ□、水Ｈ，０を電気分解して、第５図に点線の矢印で
示されるように、拡散室４６内に酸素を汲み入れるよう
に（拡散室４６内では、Ｈ，＋　’ＡＯｔ＝Ｈ２０＋　
ＣＯ＋　！’Ｓｏ□−ＣＯｔと反応する。）酸素ポンプ
電流（ｂ　’）を制御している。これにより、拡散室４
６内の酸素濃度を所定値にする。

この所定値の設定方法は、拡散室４６内の酸素濃度を、
空気比ｍ＃ｌに相当する酸素濃度、具体的には酸素濃度
を０％に設定する。

なお、被測定ガス中の酸素分子、−酸化炭素および水素
分子夫々は、窒素ガスに対して異った拡散常数を有する
ために、酸素ポンプ電流（■、）は、次式で表わされる
。

１１　＝　Ｋｌ・Ｐｏｔ　−Ｋｔ・ＰＣｏ　−Ｋ：＋・
Ｐｎｚただし、Ｋｌ：酸素分子の拡散に比例した係数Ｋ
ｔコニ−化炭素の拡散に比例した係数に、：水素分子の
拡散に比例した係数Ｐ：酸素分子、−酸化炭素、水素分子の各分圧である。

したがって、被測定ガスが酸化領域のときには、−酸化
炭素および水素分子の濃度は０％であることから、１、　＝　Ｋ、−Ｐｏ。

となる。

また、被測定ガスが還元領域のときには、酸素分子濃度
は、０％であることから、Ｉｐ　＊　−（Ｋｇ・Ｐｃｏ＋に３・Ｐ１４２〕となる
。

以上の酸素濃度測定の原理を要約すれば、拡散室４６内
の酸素分子濃度が０％〔空気比ｍ＝１）になるように酸
素ポンプ電流（Ｉ２）を制御して、酸素ポンプ電流（Ｉ
Ｆ　）を基準抵抗（ｒ、）を介して測定すること等によ
り、酸素濃度を測定することである。

これにより、酸化領域における酸素過剰濃度と、還元領
域における酸素不足濃度とが１つの信号によって出力す
ることが可能となり、酸化・還元両頭域にまたがって操
炉する酸化・還元両頭域の工業炉の雰囲気側ｆ１１の制
御システムの構築の場合には、大いに役立て得ることに
なる。

次に、酸素センサ素子Ｓの変形例について説明するが、
前記実施例との同一符号は同一内容を示し、重複する説
明は省略する。

（第１変形例−第６図）前記実施例から上部加熱部旧と、温度検出部Ｔとが無く
なったものである。この場合には、下部加熱部Ｈ２のヒ
ータエレメント５６の抵抗値が温度によって変化するこ
とにより酸素センサ素子Ｓの温度を検出して、温度制御
を行っている。他は、前記実施例と同様である。

（第２変形例−第７図）センシングセルが酸素濃淡電池部Ｂのみによって構成さ
れるものであって、温度検出部Ｔが固体電解質体４３の
上面に設けられている。この場合には、酸素濃淡電池機
構により、測定電極４４と基準電極４５との間の電位差
によって被測定ガス中の酸素濃度を測定する。したがっ
て、基本的には、酸素領域における酸素過剰濃度と、還
元領域における酸素不足濃度とを一つの信号で出力する
ことはできない。

なお、この酸素センサ素子Ｓは、素子Ｓ自身が高温被測
定ガスにより高温化され、温度検出部Ｔで所定温度以上
になることを検出した後に、測定を始めるようになって
いる。したがって、高温被測定ガスを測定する場合に好
適である。

（第３変形例−第８図）前記第２変形例に、更に下部加熱部Ｈ２を設けたもので
ある。この酸素センサ素子Ｓは、前記実施例と同様に、
温度検出部Ｔに検出される温度によって、ヒータ電流が
加熱部Ｈ２に通電され、素子が所定温度に保たれるもの
である。したがって、低温被測定ガスを測定する場合に
好適である。他は、第２変形例と同様である。

（第４変形例−第９図）センシングセルが酸素ポンプ部Ｐのみによって構成され
るものであって、温度検出部Ｔが固体電解質体４０の上
面に設けられている。また、この固体電解質体４０の両
側夫々には、拡散抵抗手段としてアルミナ等から成る上
部および下部のポーラスセラミック層６４　、６５が、
図示されるように積層状に設けられている０両ポーラス
セラミック層６４゜６５には、被測定ガスが拡散するよ
うになっている。この場合には、酸素ポンプ機構によっ
て、酸素ポンプ電流を測定することにより酸素濃度が測
定される。基本的には、酸化領域における酸素過剰濃度
、あるいは還元領域における酸素不足濃度が測定できる
。温度検出部Ｔのみを有することで、第２変形例と同様
に、高温被測定ガスを測定する場合に好適である。

（第５変形例−第１０図）前記第４変形例と同様に、センシングセルが酸素ポンプ
部Ｐのみによって構成されている。この酸素ポンプ部Ｐ
と下部加熱部Ｈ２との間には、拡散抵抗手段としてアル
ミナ等から成るスペース部材６６が介在されている。そ
して、下部加熱部Ｈ２の上面には、温度検出部Ｔが設け
られている。被測定ガスは、ポーラス状のスペース部材
６６を介して酸素ポンプ部Ｐの下面側にも供給される。

したがって、酸素ポンプ部Ｐの両面側に供給される。な
お、本変形例では、温度検出部Ｔおよび下部加熱部１１
２を有することで、第３変形例と同様に低温被測定ガス
を測定する場合に好適である。他は、第４変形例と同様
である。

本実施例によれば、前記測定小室Ａの大きさは、検出部
である酸素センサ素子Ｓが前述のように非常に小さいこ
とから、約０．３ｃｍ”である。なお、本実施例におい
ては、酸素センサ素子Ｓの酸素検知部分りに保護キャッ
プが被せられてはいないが被せるようにしてもよい、ま
た、被測定ガスを測定小室Ａに侵入させるに際して拡散
の手段を用いたが、エジェクタ装置等により強制的に侵
入させる手段を用いてもよい。さらに、前記ガス検出具
６を第１１図に示されるように、間接的にプローブ１か
らポンプによって導出される被測定ガスの導出管６７に
設けてもよい。

〔発明の効果〕

測定小室が極めて小さくなることから、供給する校正ガ
ス量は極めて少なくて済む。また、測定小室が小さいこ
とにより、直ぐに校正ガスを測定小室に充満できて測定
中でも簡単に校正ができるとともに、校正ガスの供給に
よって測定小室の室圧を直ぐに上昇させ得るために、校
正ガスによってフィルタのブローバンクパージが簡単に
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第５図は、本発明による工業用ガス濃度測定
装置の具体的一実施例を説明するための図面であって、第１図は全体図、第２図は酸素検出センサーの断面図、第３図は（Ａ）　、　（Ｂ）夫々は酸素センサ素子の分
解斜視図および全体図、第４図は第３図（Ａ）におけるＩＶ−Ｉ’／横断面図、
第５図はブロック図である。また第６図乃至第１０図は、酸素センサ素子の変形例を
説明するための第４図に相当する図面であるとともに、
第１１図は別の実施例を説明するための図面である。さらに、第１２図は、従来例を説明するための図面であ
る。１・・・プローブ　　　　　１５・・・フィルタ１８・
・・校正ガス導入管　　Ａ・・・測定小室Ｂ・・・酸素
濃淡電池部　　Ｄ・・・Ｓの酸素検知部分Ｈ１，＋１２
・・・上部および下部加熱部Ｐ・・・酸素ポンプ部Ｓ・・・酸素センサ素子（検出部）Ｔ・・・温度検知部第３図（Ｂ）第７図第８図第９図第１０図

Claims

【特許請求の範囲】１、センシングセルと、加熱体および／または温度検知
体とを板状に積層一体に成形した検出部の少なくともガ
ス成分検知部分を収納し、かつ入口部にフィルタを有す
る測定小室を設け、この測定小室に校正ガスを供給する
校正ガス導入管を設けるとともに、この測定小室を被測
定ガスを採取するプローブに直接的あるいは間接的に取
り付けることを特徴とする工業用ガス濃度測定装置。２、前記フィルタは、被測定ガスを前記測定小室に拡散
によって侵入させることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の工業用ガス濃度測定装置。３、前記フィルタは、前記測定小室に校正ガスを供給し
た場合に、この測定小室の圧力が高くなるような通気抵
抗を有することを特徴とする特許請求の範囲第１項また
は第２項記載の工業用ガス濃度測定装置。