FR2640381A1 - Procede d'etalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur et capteur etalonnable pour effectuer cette mesure - Google Patents

Procede d'etalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur et capteur etalonnable pour effectuer cette mesure Download PDF

Info

Publication number
FR2640381A1
FR2640381A1 FR8914157A FR8914157A FR2640381A1 FR 2640381 A1 FR2640381 A1 FR 2640381A1 FR 8914157 A FR8914157 A FR 8914157A FR 8914157 A FR8914157 A FR 8914157A FR 2640381 A1 FR2640381 A1 FR 2640381A1
Authority
FR
France
Prior art keywords
sensor
gas
temperature
calibration
vapor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
FR8914157A
Other languages
English (en)
Other versions
FR2640381B1 (fr
Inventor
Pekka Belt
Lars Stormbom
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Vaisala Oy
Original Assignee
Vaisala Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaisala Oy filed Critical Vaisala Oy
Publication of FR2640381A1 publication Critical patent/FR2640381A1/fr
Application granted granted Critical
Publication of FR2640381B1 publication Critical patent/FR2640381B1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0006Calibrating gas analysers

Abstract

L'invention concerne un procédé d'étalonnage et un dispositif capteur compatible pour la détermination de la concentration relative de gaz ou de vapeur. La température du capteur 1 et la concentration relative du gaz ou de la vapeur désirées sont toutes deux mesurées sur le site réel de mesure, et on fait varier si rapidement la température du capteur 1 de la température ambiante qu'on peut supposer que la pression partielle du gaz ou de la vapeur mesurée reste au moins approximativement constante sur le site de mesure, de manière que les résultats des mesures effectuées à chaque niveau de variation de température puissent être utilisés pour calculer un facteur de correction pour l'étalonnage du capteur. Une précision de mesure accrue résulte de la simplicité de la routine d'étalonnage. Application à la mesure de la teneur de l'air en vapeur d'eau, en alcool ou en ammoniaque.

Description

La présente invention concerne un procédé d'étalonnage pour la mesure de
la concentration relative de gaz ou de vapeur suivant lequel: - un capteur est mis dans des conditions de référence, dans lesquelles on détermine au moins un point d'étalonnage; et - on calcule la réponse du capteur pour la concentration relative du gaz ou de la vapeur mesuré en
se servant du point d'étalonnage déterminé.
L'invention concerne aussi un dispositif cap-
teur pour la mise en oeuvre du procédé.
Dans ce contexte, on comprend que la concen-
tration relative de gaz ou de vapeur fait référence au rapport obtenu en divisant la concentration absolue du
gaz par la concentration du gaz à son niveau de satura-
tion. De façon classique on utilise la concentration relative, par exemple, pour déterminer la concentration
de vapeur d'eau (humidité relative).
Les principales caractéristiques du matériel de mesure sont définies en termes de fiabilité et de précision. Pour la vérification de celles-ci, on a
besoin de différents procédés d'étalonnage.
Une solution idéale pour l'étalonnage en
exploitation serait une forme d'auto-étalonnage automa-
tique. La réalisation de ce type d'auto-étalonnage
serait extrêmement difficile pour la plupart des para-
mètres. Actuellement, la plupart des instruments pour la mesure de la concentration relative de gaz et de
vapeurs sont étalonnés dans des conditions de labora-
toire maîtrisées.
Un inconvénient de la technique connue est que, par suite de la routine d'étalonnage peu commode,
on applique de longs intervalles entre les étalonnages.
En outre cela conduit à des mesures imprécises, parce
que les mesureurs de concentration relative sont in-
stables par nature.
La présente invention vise à surmonter les inconvénients faisant partie de la technique décrite précédemment et à réaliser un procédé d'étalonnage entièrement nouveau pour la mesure de la concentration
relative de gaz-ou de vapeur.
L'invention est basée sur la mesure de la tem-
pêrature de l'élément capteur détectant la concentration relative de gaz ou de vapeur, tandis qu'on fait varier la température de l'élément capteur par rapport à la température ambiante de façon à établir des points d'étalonnage sans ambiguïté. Cette solution offre des conditions d'étalonnage définies pour le paramètre
mesuré et/ou fait varier ces conditions de façon à obter-
nir de l'information supplémentaire sur le paramètre mesuré. Plus spécifiquement, le procédé d'étalonnage selon l'invention est caractérisé en ce que, sur le site réel de mesure: - on effectue des mesures répétitives et au moins approximativement simultanées, à la fois de la température du capteur et de la concentration relative du gaz ou de la vapeur; et - on fait varier si rapidement la température du capteur par rapport à la température ambiante qu'on peut supposer que la pression partielle du gaz ou de la vapeur mesuréereste au moins approximativement constante sur le site de mesure, de sorte que les résultats de la
mesure effectuée pour chaque niveau de variation de tem-
pérature peuvent être utilisés pour calculer un facteur
de correction pour l'étalonnage du capteur.
En outre, le dispositif capteur selon l'invention est caractérisé par
- un capteur de température, placé au voisi-
nage immédiat du capteur de gaz pour la mesure de la température du capteur de gaz; et - un dispositif de commande de température, placé au voisinage du capteur de gaz pour la commande de
la température du capteur de gaz.
L'invention produit des résultats exception-
nels. L'invention facilite l'étalonnage automatique
lors de la mesure de concentration de gaz qui se conden-
sent (vapeur d'eau, par exemple). Le procédé offre aussi la possibilité d'effectuer un étalonnage précis et rapide dans des conditions d'exploitation sans enlever le capteur de gaz de l'espace mesuré. Les intervalles d'étalonnage raccourcis contribuent sensiblement & la précision de mesure des capteurs relativement instables, utilisés pour la mesure de l'humidité relative par exemple. Un avantage supplémentaire est l'allongement
appréciable des intervalles de service requis.
D'autres particularités et avantages de
l'invention résulteront encore de la description qui va
suivre. Aux dessins annexes, donnés & titre d'exemples non limitatifs:
La figure 1 montre dans un diagramme la pres-
sion partielle de vapeur d'eau saturée en fonction de la température.
La figure 2 montre un dispositif capteur met-
tant en oeuvre le procédé d'étalonnage selon l'invention. L'invention utilise le fait que la température est un paramètre facile & mesurer et & ajuster même dans des conditions d'exploitation et en outre le fait que la concentration relative d'un gaz qui se condense change avec la température si la pression partielle du gaz est
maintenue constante.
Un capteur sensible à un gaz qui se condense répond à la concentration relative du gaz mesuré plutôt
qu'à la concentration absolue. Dans ce cas la concentra-
tion relative du gaz mesuré peut être définie comme suit: u = Pgaz/P(T) (1) o Pgaz = pression partielle du gaz mesuré PS(T) = pression partielle du gaz mesuré à saturation (fonction de la température) Si la fonction de réponse du capteur est du type: V = f(u) (2) alors, la variation de la température du capteur (en chauffant ou en refroidissant) peut être utilisée pour effectuer un changement dans la concentration relative du gaz détecté par le capteur. Par exemple, le capteur
peut d'abord être refroidi à la température de condensa-
tion du gaz (faisant que l'activité a = 1), et ensuite chauffé suffisamment pour réaliser une activité très faible (faisant que a est presque égal à 0). Ces deux points d'étalonnage peuvent alors être utilisés pour effectuer un étalonnage à deux points du capteur. Quand cela est nécessaire, on peut utiliser plusieurs niveaux de température pour l'étalonnage de manière à mesurer
aussi la linéarité du capteur.
La figure 1 montre la pression partielle de la
vapeur d'eau saturée en fonction de la température.
Comme cela est évident à partir du diagramme,
la pression partielle du gaz saturé dépend exponentiel-
lement de la température, de façon très approchée.
Dans la situation décrite à titre d'exemple, on suppose que la température ambiante est de 20C pour une humidité relative de 50% (égale à une activité relative de 0,5). Pour ces valeurs, la pression partielle réelle de la vapeur d'eau est approximativement de 11,7 hPa. Si, par exemple, on suppose une erreur de mesure du type & décalage de 5%, la lecture de l'équipement de mesure serait une
humidité relative de 55 % (HR 55 %).
Alors, une pression partielle de vapeur d'eau calculée a partir de la lecture et de la pression ambiante apparaît être approximativement 12,9 hPa. Ensuite, le capteur de l'équipement de mesure est chauffé par exemple & une température de 100'C faisant que l'humidité relative réelle imposée au capteur tombe & 1,2%. Avec l'hypothèse de l'erreur de décalage du capteur, la lecture est alors de 6,2%. Le calcul de l'humidité relative pour la même
situation sur la base de la première lecture (HR, 55 %.
'C, pression partielle calculée 12,9 hPa) conduit pour la température de 100'C à une HR de 1,3 %. Sur la base de ces deux mesures l'appareil à autoétalonnage est capable d'effectuer une correction unitaire de 4,9 % vers le bas 2O de son indication. Le cas o l'on chauffe par exemple le capteur & une température de 100' C ne doit être considéré que comme une solution possible. Un point essentiel est de chauffer suffisamment le capteur d'au moins, par exemple, 60 K au-dessus de la température
ambiante.
Dans ce qui suit est décrit un algorithme
d'étalonnage pour un capteur d'humidité relative.
L'hypothèse faite est: La réponse du capteur peut être décrite par les équations: u = (C - CO)/a (3) u = PW/Ps(T) o Pw - pression partielle de vapeur d'eau Ps(T) = pression partielle de vapeur d'eau saturée à la température T 1. La réponse du capteur est d'abord mesurée à la température ambiante T1: C1 = Co + a*Pw/Ps(T1) 2. Le capteur est alors refroidi suffisamment bas pour atteindre le point de rosée de façon déterminée et la réponse est mesurée: C2 = CO + a 3. Le capteur est chauffé à une température T2 au-dessus de la température ambiante et la réponse est mesurée: C3 CO + a*Pw/Ps (T2)
4. La pression partielle de vapeur d'eau pré-
valante peut alors être résolue:
(C1 - C3)*PS(T1)
Pw =(4) C2 - C3 - Ps(T1)/Ps(T2)*(C2 - C1) 5. La composante CO peut alors être résolue à
l'aide de la pression partielle de vapeur d'eau préva-
lante: C3 - C2*Pw/ps(T2)
CO = (5)
1 - PW/Ps(T2) 6. La sensibilité a du capteur est résolue: a = C2 - CO (6) D'une manière similaire le comportement du capteur peut être régi en utilisant un autre modèle par
exemple une fonction logarithmique ou une fonction poly-
nomiale d'ordre supérieur, offrant une meilleure adapta-
tion avec la réponse du capteur.
Si l'on utilise une solution plus générale en décrivant la réponse du capteur comme: n u(C) = Z ai * Ci i=o (7) & partir de laquelle un ensemble de n + 1 mesures à différents niveaux de température conduira à l'ensemble de n + i équations: n P,(T.) (Y a, * C:) - P. - 0 (8) i=0 n E a, * c 1 (9) i=-O Cet ensemble d'équations peut être résolu & la
fois pour les coefficients a et pour la pression par-
tielle prévalante Pw.
La figure 2 montre une réalisation possible du
dispositif capteur que l'on peut chauffer/refroidir.
La figure représente un capteur de gaz i et un capteur de température 3 qui sont tous deux fixés par exemple en les collant à la surface plane d'un élément Peltier 2 composé d'éléments en forme de barres aux contours alternés. Les capteurs i et 3 sont en outre
reliés par des conducteurs 4 à l'électronique des cir-
cuits de mesure. L'élément Peltier est également ali-
menté via des conducteurs 5. Une particularité essen-
tielle est que le capteur de gaz 1 est placé près du capteur de température 3 de façon à obtenir la plus
grande précision possible de l'information de tempéra-
ture détectée. Le capteur de gaz i peut être d'un type, par exemple, appelé le capteur Humicapt, lequel est
décrit dans les demandes de brevets FI 824393 et 824392.
Egalement, le capteur de température 3 peut être un type quelconque de capteur de température existant, par exemple un capteur à semi-conducteur à l'état solide ou
un capteur résistant. Typiquement le capteur de tempéra-
ture utilisé est un capteur résistant en platine. La liaison de courant à l'élément Peltier 2 entraîne
l'élévation ou l'abaissement de la température des cap-
teurs selon le sens du courant choisi.
Le procédé d'étalonnage est aussi applicable à la mesure par exemple d'alcools ou d'ammoniaque si, en première approximation, la réponse du matériau actif du
capteur dépend de la concentration relative du gaz plu-
tôt que de sa concentration absolue.

Claims (6)

REVENDICATIONS
1. Procédé d'étalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur, suivant lequel: - un capteur (1) est mis dans des conditions de référence, dans lesquelles on détermine au moins un point d'étalonnage; et - on calcule la réponse du capteur (1) pour la concentration relative du gaz ou de la vapeur mesurée en se servant du point d'étalonnage déterminé, caractérisé en ce que - sur le site réel de mesure, on effectue des
mesures répétitives et au moins approximativement simul-
tanées, à la fois de la température du capteur (1) et de la concentration relative du gaz ou de la vapeur; et - on fait varier si rapidement la température du capteur (1) par rapport à la température ambiante qu'on peut supposer que la pression partielle du gaz ou de la vapeur mesurée reste au moins approximativement
constante sur le site de mesure, de sorte que les résul-
tats de la mesure effectuée pour chaque niveau de varia-
tion de température peuvent être utilisés pour calculer
un facteur de correction pour l'étalonnage du capteur.
2. Procédé d'étalonnage selon la revendication 1, caractérisé en ce que, pour déterminer le point correspondant à une concentration relative de 100%, on refroidit le capteur (1) à une température suffisamment
basse pour que le gaz ou la vapeur se condense.
3. Procédé d'étalonnage selon la revendication 1, caractérisé en ce que, pour établir un point d'étalonnage de faible concentration relative, on chauffe le capteur (1) de façon appréciable, par exemple
de 60 K au-dessus de la température ambiante.
4. Procédé d'étalonnage selon l'une quelconque
des revendications précédentes, caractérisé en ce que
l'on réalise la variation de température du capteur en
utilisant un élément Peltier.
5. Dispositif capteur étalonnable pour la mesure de concentration relative de gaz ou de vapeur, comprenant un capteur de gaz (1), caractérisé par
- un capteur de température (3), placé au voi-
sinage immédiat du capteur de gaz (1) pour la mesure de la température du capteur de gaz (1); et - un dispositif de commande de température (2), placé au voisinage du capteur de gaz (1) pour la
commande de la température du capteur de gaz (1).
6. Capteur selon la revendication 5, caracté-
risé en ce que le dispositif de commande de température
(2) est un élément Peltier.
FR8914157A 1988-11-02 1989-10-27 Procede d'etalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur et capteur etalonnable pour effectuer cette mesure Expired - Lifetime FR2640381B1 (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI885062A FI82554C (fi) 1988-11-02 1988-11-02 Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
FR2640381A1 true FR2640381A1 (fr) 1990-06-15
FR2640381B1 FR2640381B1 (fr) 1993-12-24

Family

ID=8527299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FR8914157A Expired - Lifetime FR2640381B1 (fr) 1988-11-02 1989-10-27 Procede d'etalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur et capteur etalonnable pour effectuer cette mesure

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5033284A (fr)
JP (1) JP2758458B2 (fr)
DE (1) DE3936138C2 (fr)
FI (1) FI82554C (fr)
FR (1) FR2640381B1 (fr)
GB (1) GB2224578B (fr)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4014930A1 (de) * 1990-05-10 1991-11-14 Draegerwerk Ag Verfahren fuer den betrieb einer messanordnung zum nachweis des anteils von brennbaren gasen
DE4030516A1 (de) * 1990-09-27 1992-04-02 Draegerwerk Ag Verfahren zur konzentrationsueberwachung eines gasfoermigen bestandteils in einem abgeschlossenen raum
DE4302367A1 (de) * 1993-01-28 1994-08-04 Rwe Energie Ag System zur indirekten Ermittlung kritischer Zustände von zustandsabhängig Gase entwickelnden Stoffen, Anlagenteilen ect.
FR2716975A1 (fr) * 1994-03-04 1995-09-08 Coreci Procédé et dispositif pour l'autocalibration d'appareils de mesure d'humidité.
US5394934A (en) * 1994-04-15 1995-03-07 American Standard Inc. Indoor air quality sensor and method
JPH08313468A (ja) * 1995-05-24 1996-11-29 Taiyo Toyo Sanso Co Ltd 過酸化水素蒸気の濃度検出方法及びその装置
US5792938A (en) * 1996-12-13 1998-08-11 Panametrics, Inc. Humidity sensor with differential thermal detection and method of sensing
US6230543B1 (en) * 1999-10-21 2001-05-15 Johnson Controls Technology Co. Humidity detector calibration method
FI107840B (fi) * 1999-12-09 2001-10-15 Vaisala Oyj Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten
DE10203484A1 (de) * 2001-06-08 2002-12-12 Continental Teves Ag & Co Ohg Drucksensoranordnung für Kraftfahrzeugbremssysteme und Verfahren zur Kalibrierung eines Drucksensors
DE10141408B4 (de) * 2001-08-23 2005-03-24 Knick Elektronische Meßgeräte GmbH & Co. Verfahren zur Bestimmung der Kalibrier-Intervallzeit von elektrochemischen Messsensoren
DE10203637B4 (de) * 2002-01-30 2004-09-16 Testo Ag Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Feuchtesensors
DE102004005353B4 (de) 2004-02-03 2016-08-11 CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH Verfahren zur Bestimmung der Parameter von Gasen
DE102004007526A1 (de) * 2004-02-17 2005-09-01 Oetjen, Georg-Wilhelm, Dr. Verfahren und Einrichtung zur Gefriertrocknung von Produkten
US7152458B2 (en) * 2004-11-30 2006-12-26 Honeywell International Inc. Nano-crystalline and/or metastable metal hydrides as hydrogen source for sensor calibration and self-testing
FI20050530A (fi) * 2005-05-18 2006-11-19 Vaisala Oyj Menetelmä ja laitteisto suhteellisen pitoisuuden mittauksen kalibroimiseksi
TWI314989B (en) * 2006-06-23 2009-09-21 Fego Prec Ind Co Ltd Humidity sensor having temperature compensation self-comparing and manufacturing method therefore
DE102007005544B4 (de) * 2007-02-06 2008-10-02 Behr-Hella Thermocontrol Gmbh Messung der relativen Luftfeuchtigkeit im Innenraum eines Fahrzeuges und Kalibrierung eines Feuchtesensors
SE535032C2 (sv) * 2010-03-23 2012-03-20 Rikard Bergsten System och förfarande för att nedbringa mätfel hos en fuktsensor vid luftväxling eller luftcirkulering av ett utrymme
DE102010030338A1 (de) * 2010-06-22 2011-12-22 Robert Bosch Gmbh Sensormodul und Betriebsverfahren hierfür
DE102010063066B4 (de) * 2010-12-14 2016-06-02 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen eines Druckmessaufnehmers in Prozessanlagen
WO2015196475A1 (fr) * 2014-06-27 2015-12-30 深圳华盛昌机械实业有限公司 Procédé et dispositif pour compensation de valeur de capteur d'humidité et détecteur de qualité de l'air
DE102015001500A1 (de) 2015-02-05 2016-08-11 Hella Kgaa Hueck & Co. Verfahren zur Kalibration mindestens eines Sensors, insbesondere eines Drucksensors, mit mindestens einer signalleitenden Verbindung zu mindestens einem Signalwandler
US10718682B2 (en) 2015-02-05 2020-07-21 Hella Kgak Hueck & Co. Method for calibrating at least one sensor, in particular a pressure sensor, having at least one signal-conducting connection to at least one signal converter
CN105424767B (zh) * 2015-10-29 2018-02-16 上海申矽凌微电子科技有限公司 湿度传感器芯片大批量生产的测试装置及测试方法
DE102018201946A1 (de) * 2018-02-08 2019-08-08 Audi Ag Verfahren und Vorrichtung zur Plausibilisierung der Messwerte eines Feuchtesensors
CN110426495A (zh) * 2019-09-29 2019-11-08 江西珉轩智能科技有限公司 一种基于大数据的环境监测校验方法
CN112484916B (zh) * 2020-11-27 2022-04-19 北京航天计量测试技术研究所 一种贴片式压力传感器温度响应特性校准方法
CN112946201A (zh) * 2021-03-09 2021-06-11 深圳市英乐斐科技有限公司 一种校准过氧化氢浓度传感器的方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58158552A (ja) * 1982-03-15 1983-09-20 Yamatake Honeywell Co Ltd ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法
US4572900A (en) * 1984-04-25 1986-02-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Organic semiconductor vapor sensing method
DE3437445A1 (de) * 1984-10-12 1986-05-07 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren und einrichtung zur kompensation der temperaturabhaengigkeit einer elektrochemischen messzelle
DE3546409A1 (de) * 1985-12-31 1987-07-02 Conducta Mess & Regeltech Verfahren und vorrichtung zur selbsttaetigen kalibrierung von chemischen sensoren
JPS6363936A (ja) * 1986-09-04 1988-03-22 Ngk Insulators Ltd 工業用ガス濃度測定装置

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1758494A (en) * 1926-03-04 1930-05-13 Leeds & Northrup Co Relative-humidity recorder
US3416356A (en) * 1965-12-17 1968-12-17 Vapor Corp Dew point hygrometer
FI65674A (fr) * 1974-03-06 1975-09-07 Kajaani Oy
US3973848A (en) * 1974-12-19 1976-08-10 United Technologies Corporation Automatic gas analysis and purging system
GB1511467A (en) * 1975-04-22 1978-05-17 Nissan Motor Closed-loop mixture control system for internal combustion engine using errorcorrected exhaust gas sensors
FI58402C (fi) * 1977-12-02 1981-01-12 Vaisala Oy Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare
JPS5552938A (en) * 1978-10-16 1980-04-17 Nissan Motor Co Ltd Drunken drive preventing device
SU928291A2 (ru) * 1980-06-04 1982-05-15 Предприятие П/Я М-5534 Солевой генератор влажного воздуха
FR2486656A1 (fr) * 1980-07-09 1982-01-15 Commissariat Energie Atomique Hygrometre capacitif
US4468948A (en) * 1981-03-11 1984-09-04 Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Method and apparatus for measuring the concentration of a gaseous or volatile substance in a liquid
JPS57200850A (en) * 1981-06-04 1982-12-09 Ngk Insulators Ltd Detector for oxygen concentration
JPS5830650A (ja) * 1981-08-18 1983-02-23 Nippon Soken Inc ガス成分検出器
DE3140875A1 (de) * 1981-10-14 1983-04-28 Hellige Gmbh, 7800 Freiburg Verfahren und vorrichtung zur automatischen kalibrierung von mess- und anzeigegeraeten zur bestimmung des sauerstoffpartialdrucks
DE3231995C2 (de) * 1982-08-27 1985-06-27 Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg Verfahren und Anordnung zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven Taupunktsensors
FI65674C (fi) * 1982-12-21 1984-06-11 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav
JPS59212761A (ja) * 1983-05-19 1984-12-01 Fuigaro Giken Kk 気体成分検出装置
DE3409401A1 (de) * 1984-03-14 1985-09-19 Winfried Dr.-Ing. 7500 Karlsruhe Lück Wasserdampfdruckkompensierende feuchtemesseinrichtung
JPS61124859A (ja) * 1984-11-22 1986-06-12 Yamatake Honeywell Co Ltd 湿度検出用素子
JPS62291557A (ja) * 1986-06-11 1987-12-18 Hitachi Ltd ガス検知装置
DE3708697A1 (de) * 1987-03-18 1988-09-29 Draegerwerk Ag Verfahren und anordnung zur messung des taupunktes
US4847783A (en) * 1987-05-27 1989-07-11 Richard Grace Gas sensing instrument

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58158552A (ja) * 1982-03-15 1983-09-20 Yamatake Honeywell Co Ltd ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法
US4572900A (en) * 1984-04-25 1986-02-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Organic semiconductor vapor sensing method
DE3437445A1 (de) * 1984-10-12 1986-05-07 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren und einrichtung zur kompensation der temperaturabhaengigkeit einer elektrochemischen messzelle
DE3546409A1 (de) * 1985-12-31 1987-07-02 Conducta Mess & Regeltech Verfahren und vorrichtung zur selbsttaetigen kalibrierung von chemischen sensoren
JPS6363936A (ja) * 1986-09-04 1988-03-22 Ngk Insulators Ltd 工業用ガス濃度測定装置

Also Published As

Publication number Publication date
US5033284A (en) 1991-07-23
GB2224578A (en) 1990-05-09
JPH02171647A (ja) 1990-07-03
DE3936138C2 (de) 1998-09-10
FI885062A (fi) 1990-05-03
GB2224578B (en) 1993-01-06
DE3936138A1 (de) 1990-05-03
JP2758458B2 (ja) 1998-05-28
FI82554C (fi) 1991-03-11
FR2640381B1 (fr) 1993-12-24
FI885062A0 (fi) 1988-11-02
GB8924700D0 (en) 1989-12-20
FI82554B (fi) 1990-11-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2640381A1 (fr) Procede d'etalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur et capteur etalonnable pour effectuer cette mesure
US5460049A (en) Digitally-temperature-compensated strain-gauge pressure measuring apparatus
US6662121B1 (en) Thermal fluid sensor, fluid discriminating apparatus and method, flow sensor, and flow rate measuring apparatus and method
US4399684A (en) Gas measurement method
Becker Limitations of a compensation heat pulse velocity system at low sap flow: implications for measurements at night and in shaded trees
US11474056B2 (en) Sensor for determining the thermal capacity of natural gas
EP2887057A1 (fr) Dispositif et procédé de surveillance de la concentration de gaz compensé en humidité par la mesure de la conductivité thermique
EP1882180A1 (fr) Procede et appareil d'etalonnage d'un capteur d'humidite relative
JP2022553534A (ja) ガスセンサを動作させ、較正する方法、及び関連するガスセンサ
US7127366B2 (en) Automatic thermal conductivity compensation for fluid flow sensing using chemometrics
CN113484376B (zh) 一种高精度微水传感器零点漂移校正方法及存储设备
FR2622287A1 (fr) Procede et appareil de calcul de la fraction seche de vapeur d'eau
RU2341790C1 (ru) Способ градуировки сенсора газа
JPH07151572A (ja) 計測装置および計測方法
JP3645529B2 (ja) 膜の透湿特性検査用水容器
US20160003757A1 (en) Gas measurement device and measurement method thereof
CN106442680A (zh) 一种便携式电化学法溶解氧测定仪检定方法
US20190242841A1 (en) Hydrophobic and oleophobic cover for gas sensing module
FR2716975A1 (fr) Procédé et dispositif pour l'autocalibration d'appareils de mesure d'humidité.
Schneider et al. Novel evaporation experiment to determine soil hydraulic properties
JP4810264B2 (ja) 濃度測定装置
US20080208503A1 (en) Method and device for compensating temperature dependencies
JPH08504270A (ja) 湿度測定器具
CN109073578B (zh) Cmos兼容的露点传感器装置和确定露点的方法
US11927514B2 (en) Method and device for calibrating a fluid detector having a preconcentrator