FI65674C - Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav - Google Patents
Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav Download PDFInfo
- Publication number
- FI65674C FI65674C FI824392A FI824392A FI65674C FI 65674 C FI65674 C FI 65674C FI 824392 A FI824392 A FI 824392A FI 824392 A FI824392 A FI 824392A FI 65674 C FI65674 C FI 65674C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- humidity sensor
- capacitive humidity
- structures
- sensor according
- framstaellningdaerav
- Prior art date
Links
- 239000000446 fuel Substances 0.000 title 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012774 insulation material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-NJFSPNSNSA-N silicon-30 atom Chemical compound [30Si] XUIMIQQOPSSXEZ-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
- G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
1 65674
Kapasitiivinen kosteusanturi ja menetelmä sen valmistamiseksi Tämän keksinnön kohteena on patenttivaatimuksen 1 joh~ 5 dannon mukainen kapasitiivinen kosteusanturi.
Keksinnön kohteena on myös menetelmä tällaisen kosteus-anturin valmistamiseksi.
Kuvioissa 1 ja 2 on esitetty kahden tunnettua tyyppiä olevan kapasitiivisen kosteusanturin poikkileikkaukset. Ku-10 vion 1 mukaisessa rakenteessa substraatin 1 ja eristekerrok- sen 15 välissä on kaksi pöhjaelektrodia 2. Kuvion 2 mukaisessa rakenteessa on edellisen rakenteen osien lisäksi vielä eristekerroksen 15 päällä oleva pintaelektrodi 3·
Kapasitiivisen kosteusanturin elektrodirakenteen on 15 yleensä täytettävä mm. seuraavat vaatimukset: a) kosteuden on voitava esteettä tunkeutua eristemateriaaliin , b) elektrodien on oltava hyvin sähköä johtavia ja mekaanisesti kestäviä ja 20 c) elektrodien välinen sähkökenttä ei saa tukeutua an turin pinnalle, jossa voi olla sähköä johtavia epäpuhtauksia
Kuvion 1 mukainen rakenne täyttää vaatimukset a ja b, mutta ei vaatimusta c. Kuvio 2 mukainen rakenne täyttää puo-25 lestaan vaatimuksen c, mutta vaatimukset a ja b ovat lähes toisensa poissulkevia.
Tekniikan tason osalta viitattakoon erityisesti seuraa-viin julkaisuihin: [1] K.E. Bean: Anisotropic Etching of Silicon 30 IEEE Transactions on Electron Devices UED-25 (1978) No. 10 pp. 1185-93 l2] US-patenttijulkaisu 3,397,278 (Pomerantz) [3] FI-patentt i julkaisu 1+8229 (Suntola).
Tämän keksinnön tarkoituksena on saada aikaan kapasitiivinen 35 kosteusanturi, joka täyttää kaikki edellä mainitut vaatimuk set a, b·ja c, sekä menetelmä tällaisen anturin valmistamiseksi .
2 65674
Keksintö perustuu siihen ajatukseen, että ensimmäinen pöhjaelektrodi on tukialustasta ulospäin laajenevilla johtavilla rakenteeilla yhdistetty anturin pintaan niin, että näiden rakenteiden yläreunojen väliin jää vain pienet raot 5 ja että aktiivinen kerros jää vierekkäisten rakenteiden muo dostamaan ontelotilaan.
Täsmällisemmin sanottuna keksinnön mukaisella kapasitii-viselle kosteusanturille on tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen 1 tunnusmerkkiosassa.
10 Kosteusanturin valmistusmenetelmälle on puolestaan tun nusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen 6 tunnusmerkkiosassa .
Keksinnön avulla saavutetaan huomattavia etuja. Niinpä keksinnön mukainen anturi toteuttaa kaikki edellä mainitut 15 vaatimukset a, b ja c. Se ei myöskään ole herkkä kosketuksel le. Lisäksi sen käsittely on helppoa.
Keksintöä ryhdytään seuraavassa lähemmin tarkastelemaan oheisten piirustuskuvioiden 3-13 mukaisten suoritusesimerk-kien avulla.
20 Kuvio 3 esittää poikkileikkauksena yhtä keksinnön mu kaista anturia.
Kuvio 1+ esittää kuvion 3 mukaista anturia päältä katsottuna.
Kuvio 5 esittää poikkileikkauksena toista keksinnön rau-25 kaista anturia.
Kuviot 6-12 esittävät suoritusvaiheittain kuvioiden 3 ja k tyyppisen anturin valmistusta.
Kuvio 13 esittää aksonometrisesti yhtä valmista keksinnön mukaista anturia.
30 Kuvioiden 3 j a 1* mukaisessa kapasitiivisessa kosteus- ’ anturissa on lasialustalla elektrodikuviot k ja 5· Ne ovat kemiallisesti kestävää metallia (esim. Pt, Pd, Ta, Au), ja ne on suojattu ohuella eristekalvolla 25 (esim. Ta^O^. , Si^N^, SiO^ tms.). Metallikuvio 5 tekee sähköisen kontaktin palkkei-35 hin 6, jotka ovat poikkileikkaukseltaan puolisuunnikkaan muo toiset. Ne on valmistettu piistä, metallista tai muusta johta- 3 65674 vasta aineesta ja ovat kiinnitetyt lasiin 1. Palkkien 6 yläosien väliin jää kapea (esim. noin 1pm) rako 26. Palkkien 6 välissä on kosteudelle herkkä eristeaine, esim. sopivasti valittu polymeeri 7· Kosteudelle herkkä kapasitanssi muodostuu me-5 tallialueiden U ja palkkien 6 sivuseinien 8 välille;
Kuvattu rakenne voidaan valmistaa esim. seuraavasti (kuviot 6 - 12): 20 *3
Voimakkaasti boorilla seostetulle (N yli '10 1/cm ) (100)-suuntaiselle piikiekolle 9 kasvatetaan heikosti hooril-^ la seostettu (N alle 10 1/cnr ) epitaktinen kerros 10. Ker roksen 10 pinta seostetaan voimakkaasti boorilla (N yli 20 3 10 1/cm ). Seostetun pintakerroksen 10b paksuus on noin 1pm. Kerrokseen 10b kuvioidaan fotolitograafisesti alueet 11, joissa pintakerros on jäljellä (muilta alueilta se syövytetään ^5 pois syövytteellä, joka on selektiivinen voimakkaasti seoste tulle piille). Kun kerros 10 syövytetään sopivassa syövyttees-sä 1 (esim. Κ0Η), saadaan alueiden 11 kohdalle kerroksen 10 paksuiset viistoreunaiset palkit 12. Palkkien 12 sivut 13 ovat (111 )-kidetason suuntaisia ja muodostavat 5^,7^°:n kulman kie-kon pinnan kanssa.
Lasilevylle 1U on tunnetuilla menetelmillä päällystetty ohut metall ikal vo, joka on fotolitograafisesti kuvioitu alueiksi 16 ja 17. Alueiden 16 ja 17 pinnalle on voitu muodostaa eristekalvo 18 esim. anodisesti oksidoimalla metalliksivoa sekä toista metallia olevat kontaktialueet 19 ja 20, jotka voidaan jättää pois, mikäli metallikalvon juotettavuus on hyvä ja se tekee hyvän kontaktin p+-Si:n (boorilla voimakkaasti seostetun piin) kanssa.
Lasilevy 11+ ja piikiekko 9 asetetaan vastakkain niin, 30 että metallialueen 16 sormet 21 (kuviot 9 ja 10) tulevat pii- kiekon palkkien 12 kanssa kosketukseen ja alueen 17 sormet 22 tulevat palkkien 12 väleihin koskematta niitä. Tässä asennossa lasilevy 1 k ja piikiekko 9 liitetään toisiinsa viitejulkai-sussa 2 kuvatulla menetelmällä. Palkkien 12 pinnat muodos-35 tavat kemiallisen sidoksen lasilevyn 1L kanssa. Tämän jälkeen piikiekko 9 syövytetään pois syövytteellä, joka syövyttää voimakkaasti seostetun alueen muttei heikosti seostettuja p ai kk e-· ja 12.
11 65674
Kuvioiden 11 ja 12 mukainen rakenne, jossa palkit 12 ovat vahvasti kiinni lasissa 1 h ja tekevät sähköisen kontaktin metallialueen 16 sormien 21 kanssa, upotetaan kosteudelle herkän polymeerin liuokseen. Liuos tunkeutuu palkkien 12 väliseen tilaan 2k. Rakenne nostetaan pois liuoksesta ja anne-5 taan polymeerin liuottimen haihtua, jolloin tilaan 2k jää kiin teä polymeeri.
Keksinnön puitteissa voidaan ajatella edellä kuvatusta suoritusesimerkistä poikkeaviakin ratkaisuja. Niinpä palkkirakenteet 6 voivat olla poikkileikkaukseltaan myös esim. kuvi-10 on U esittämällä tavalla T:n muotoiset. Olennaista on, että vierekkäisten palkkirakenteiden 6 yläpintojen väliin jää kapea rako .
Claims (6)
- 65674 Patenttivaatimukset :
- 1. Kapasitiivinen kosteusanturi , joka käsittää tukialustan ( 1 ,1 U) , joka on valmistettu esim. la-5 s i sta , ainakin yhden ensimmäisen (esim. 16,19) ja yhden toisen pöhjaelektrodin (17,18), jotka on sovitettu lähekkäin tukialustalle (1,1*0, aktiivisen kerroksen (7,2*0, joka täyttää ensim- 10 mäisen (16,19) ja toisen pöhjaelektrodin (17,18) välisen alueen tukialustalla ( 1 ,1b ) ja ulottuu toisen elektrodin (17,18) yläpinnan yläpuolelle, t u n e t t u ensimmäisen elektrodin ( 16,19) yläpintaan yhdistetyistä, johtavaa materiaalia olevista, poikkileikkauksel- 15 taan ylöspäin laajenevista vierekkäisistä palkkimaisista ra kenteista (6,12), jotka välissään kahdelta puolelta rajaavat aktiivisen kerroksen osia (7,2*0 ja joiden yläpintojen välissä on kapea rako 26.
- 2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kosteusanturi, 20 tunnettu siitä, että palkkimaiset rakenteet (6,12) ovat poikkileikkaukseltaan ainakin likimain puolisuunnikkaan muotoiset.
- 3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kosteusanturi , tunnettu siitä, että palkkimaiset rakenteet (6,12) 25 ovat poikkileikkaukseltaan ainakin likimain T:n muotoiset. U. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kosteusanturi , tunnettu siitä, että palkkimaiset rakenteet (6,12) on valmistettu piistä.
- 5. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kosteusanturi, 30 tunnettu siitä, että palkkimaiset rakenteet (6,12) on valmistettu jostakin metallista.
- 6. Menetelmä patenttivaatimuksen 1 mukaisen kapasitii-visen kosteusanturin valmistamiseksi, tunnettu siitä, että 35. piikiekolle (9) tai sentapaiselle kasvatetaan heikos ti boorilla seostettu epitaktinen kerros (10), 6 65674 tämän kerroksen (10) pinta seostetaan voimakkaasti boorilla pintakerroksen (10b) muodostamiseksi, tähän pintakerrokseen (10b) kuvioidaan esim. foto-litograofisesti sellaiset pitkänomaiset alueet (il), 5 jotka halutaan säilyttää, sopivalla syövytteellä, esim. KOH:lla, syövytetään haluttujen alueiden (11) väliset alueet pois niin, että syntyy piikiekosta (9) ulospäin työntyviä vierekkäisiä harjanteita (12) , 10. tukialustalle (ih), esim. lasisub straatille , päällys tetään ohuena metallikalvona ainakin yksi ensimmäinen (16,19) ja yksi toinen elektrodikerros (1T,18), sovitetaan tukialusta (ih) ja piikiekko (9) vastakkain siten, että harjanteet (12) ja ensimmäinen 15 elektrodi ( 1 6 , 1 9 ) koskettavat toisiaan ja liitetään yhteen sinänsä tunnetulla tavalla, syövytetään piikiekko (9) pois syövytteellä, joka syövyttää voimakkaasti seostetun piiaineksen, jolloin ainoastaan harjanteet jäävät palkkimaisina ra-20 kenteina (12) jäljelle, upotetaan näin saatu rakenne kosteudelle herkän aktiivisen eristysaineen, esim. polymeerin, liuokseen ja annetaan tämän tunkeutua palkkien (12) väliseen tilaan , ja 25. nostetaan rakenne pois liuoksesta ja annetaan liuot timen haihtua, jolloin tilaan (2h) jää kiinteä aktiivinen eristysaine. τ 65674 Pat entkrav:
Priority Applications (9)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI824392A FI65674C (fi) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav |
| FR8320170A FR2538115A1 (fr) | 1982-12-21 | 1983-12-16 | Detecteur d'humidite capacite et procede de fabrication |
| CA000443470A CA1202196A (en) | 1982-12-21 | 1983-12-16 | Capacitive humidity sensor and method for the manufacture of same |
| GB08333758A GB2133161B (en) | 1982-12-21 | 1983-12-19 | Capacitive humidity sensor |
| US06/562,746 US4500940A (en) | 1982-12-21 | 1983-12-19 | Capacitive humidity sensor and method for the manufacture of same |
| IT12700/83A IT1172658B (it) | 1982-12-21 | 1983-12-20 | Sensore capacitivo di umidita e metodo per fabbricarlo |
| BR8307004A BR8307004A (pt) | 1982-12-21 | 1983-12-20 | Sensor de umidade capacitivo e processo para a fabricacao de um sensor de umidade capacitivo |
| JP58239002A JPS59120950A (ja) | 1982-12-21 | 1983-12-20 | 容量性湿度センサ及びその製造方法 |
| DE19833346181 DE3346181A1 (de) | 1982-12-21 | 1983-12-21 | Kapazitiver feuchtigkeitssensor und verfahren zu dessen herstellung |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI824392 | 1982-12-21 | ||
| FI824392A FI65674C (fi) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI824392A0 FI824392A0 (fi) | 1982-12-21 |
| FI65674B FI65674B (fi) | 1984-02-29 |
| FI65674C true FI65674C (fi) | 1984-06-11 |
Family
ID=8516491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI824392A FI65674C (fi) | 1982-12-21 | 1982-12-21 | Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4500940A (fi) |
| JP (1) | JPS59120950A (fi) |
| BR (1) | BR8307004A (fi) |
| CA (1) | CA1202196A (fi) |
| DE (1) | DE3346181A1 (fi) |
| FI (1) | FI65674C (fi) |
| FR (1) | FR2538115A1 (fi) |
| GB (1) | GB2133161B (fi) |
| IT (1) | IT1172658B (fi) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3241544A1 (de) * | 1982-11-10 | 1984-05-10 | Glatt GmbH, 7851 Binzen | Verfahren zum ueberwachen und/oder steuern bei trocknungs-, granulier-, instantisier-, dragier- und filmcoating-prozessen sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE3339276A1 (de) * | 1983-10-28 | 1985-05-09 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg | Kapazitiver feuchtefuehler und verfahren zu seiner herstellung |
| US4975249A (en) * | 1987-07-27 | 1990-12-04 | Elliott Stanley B | Optical and capacitance type, phase transition, humidity-responsive devices |
| JPS6486053A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-30 | Toshiba Corp | Sensitive element |
| CH674085A5 (fi) * | 1988-03-03 | 1990-04-30 | Martin Ineichen | |
| FI82554C (fi) * | 1988-11-02 | 1991-03-11 | Vaisala Oy | Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. |
| US4897597A (en) * | 1988-12-08 | 1990-01-30 | Surface Systems, Inc. | Apparatus and methods for detecting wet and icy conditions |
| FI84862C (fi) * | 1989-08-11 | 1992-01-27 | Vaisala Oy | Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav. |
| US4965698A (en) * | 1989-09-27 | 1990-10-23 | Johnson Service Company | Capacitance humidity sensor |
| DE4438892C2 (de) * | 1994-10-31 | 1997-09-04 | Testo Gmbh & Co | Abgleichbarer kapazitiver Sensor und Verfahren zum Abgleichen eines solchen Sensors |
| US7073246B2 (en) * | 1999-10-04 | 2006-07-11 | Roche Diagnostics Operations, Inc. | Method of making a biosensor |
| US6695469B2 (en) * | 2001-11-19 | 2004-02-24 | Energy Absorption Systems, Inc. | Roadway freezing point monitoring system and method |
| DE10203816C1 (de) * | 2002-01-31 | 2003-08-07 | Siemens Ag | Sensorfeld zur Feuchtemessung |
| US6724612B2 (en) | 2002-07-09 | 2004-04-20 | Honeywell International Inc. | Relative humidity sensor with integrated signal conditioning |
| US7210333B2 (en) * | 2003-05-30 | 2007-05-01 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Humidity sensor and method of using the humidity sensor |
| JP4447009B2 (ja) | 2003-06-20 | 2010-04-07 | エフ ホフマン−ラ ロッシュ アクチェン ゲゼルシャフト | スロットベント開口を有するテストストリップ |
| FR2856897B1 (fr) * | 2003-07-04 | 2007-01-26 | Oreal | Kit, notamment a usage cosmetique, comportant un indicateur ou capteur d'humidite ambiante |
| US20090038376A1 (en) * | 2007-08-06 | 2009-02-12 | Dimitry Petrosyan | Gas analyzer with a trace moisture sensor |
| DE102009004393A1 (de) * | 2009-01-08 | 2010-11-11 | Eads Deutschland Gmbh | Akkumulierender Feuchtesensor |
| US20120167392A1 (en) | 2010-12-30 | 2012-07-05 | Stmicroelectronics Pte. Ltd. | Razor with chemical and biological sensor |
| US9027400B2 (en) * | 2011-12-02 | 2015-05-12 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Tunable humidity sensor with integrated heater |
| US9019688B2 (en) | 2011-12-02 | 2015-04-28 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Capacitance trimming with an integrated heater |
| JP5849836B2 (ja) * | 2012-04-10 | 2016-02-03 | 株式会社デンソー | 湿度センサ |
| JP6235415B2 (ja) * | 2014-06-10 | 2017-11-22 | アルプス電気株式会社 | 湿度検知装置 |
| CN105486728B (zh) * | 2015-11-27 | 2018-05-25 | 深圳市美思先端电子有限公司 | 电容式湿度传感器及其制造方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1138401A (en) * | 1965-05-06 | 1969-01-01 | Mallory & Co Inc P R | Bonding |
| FI48229C (fi) * | 1972-10-12 | 1974-07-10 | Vaisala Oy | Kapasitiivinen kosteusanturi ja sen valmistumenetelmä. |
| GB1464605A (en) * | 1973-08-14 | 1977-02-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Humidity-sensitive sensor |
| JPS5412893A (en) * | 1977-06-30 | 1979-01-30 | Sony Corp | Dew-sensitive element material |
| DE3151630C2 (de) * | 1981-12-28 | 1986-07-03 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg | Feuchtigkeitsfühler und Verfahren zu seiner Herstellung |
| DE3339276A1 (de) * | 1983-10-28 | 1985-05-09 | Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg | Kapazitiver feuchtefuehler und verfahren zu seiner herstellung |
-
1982
- 1982-12-21 FI FI824392A patent/FI65674C/fi not_active IP Right Cessation
-
1983
- 1983-12-16 CA CA000443470A patent/CA1202196A/en not_active Expired
- 1983-12-16 FR FR8320170A patent/FR2538115A1/fr active Pending
- 1983-12-19 GB GB08333758A patent/GB2133161B/en not_active Expired
- 1983-12-19 US US06/562,746 patent/US4500940A/en not_active Expired - Fee Related
- 1983-12-20 IT IT12700/83A patent/IT1172658B/it active
- 1983-12-20 JP JP58239002A patent/JPS59120950A/ja active Pending
- 1983-12-20 BR BR8307004A patent/BR8307004A/pt unknown
- 1983-12-21 DE DE19833346181 patent/DE3346181A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT1172658B (it) | 1987-06-18 |
| FR2538115A1 (fr) | 1984-06-22 |
| GB2133161B (en) | 1986-06-04 |
| US4500940A (en) | 1985-02-19 |
| FI65674B (fi) | 1984-02-29 |
| JPS59120950A (ja) | 1984-07-12 |
| FI824392A0 (fi) | 1982-12-21 |
| GB8333758D0 (en) | 1984-01-25 |
| DE3346181A1 (de) | 1984-06-28 |
| CA1202196A (en) | 1986-03-25 |
| IT8312700A1 (it) | 1985-06-20 |
| GB2133161A (en) | 1984-07-18 |
| BR8307004A (pt) | 1984-07-31 |
| IT8312700A0 (it) | 1983-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI65674C (fi) | Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav | |
| US5756901A (en) | Sensor and method for manufacturing a sensor | |
| DE102009018266B4 (de) | Sensor zur Erfassung einer physikalischen Grösse und Verfahren zu dessen Fertigung | |
| KR101012248B1 (ko) | 정전용량식 센서 | |
| KR19980018478A (ko) | 레이트 센서 제조 방법 | |
| KR100264292B1 (ko) | 구조체와 그 제조방법 | |
| JP2011022137A (ja) | Ｍｅｍｓ装置及びその製造方法 | |
| JP7314001B2 (ja) | コンデンサ | |
| CA2340059C (en) | Micromechanical sensor and method for producing same | |
| JP2003014778A (ja) | 垂直変位測定及び駆動構造体とその製造方法 | |
| CN113226977B (zh) | 具有膜片的mems传感器以及用于制造mems传感器的方法 | |
| JP5849398B2 (ja) | Ｍｅｍｓデバイスの製造方法およびｍｅｍｓデバイス | |
| JP4032476B2 (ja) | 微小装置の製造方法 | |
| JPH10111203A (ja) | 静電容量式半導体センサ及びその製造方法 | |
| US20040121619A1 (en) | Multipoint minute electrode, device for measuring a living organism voltage, method for fabricating the multipoint minute electrode, and method for fabricating the living organism voltage-measuring device | |
| CA2230545A1 (en) | Thermoelectric sensor | |
| WO2003015183A1 (en) | Method for manufacturing thin-film structure | |
| EP4474341A1 (en) | Mems device with a cap layer having gaps and method of manufacturing a mems device | |
| US20250314676A1 (en) | Physical Quantity Sensor And Method For Producing Physical Quantity Sensor | |
| CN116997244B (zh) | 磁通聚集器及制造方法、磁传感芯片 | |
| JP3506795B2 (ja) | 静電容量式加速度センサの製造方法 | |
| JPH05340959A (ja) | 半導体加速度センサの製造方法 | |
| JPWO2003010828A1 (ja) | 薄膜構造体の製造方法 | |
| JP2004028912A (ja) | 静電容量型加速度センサおよびその製造方法 | |
| JPH0868710A (ja) | 静電容量型圧力センサとその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Patent lapsed |
Owner name: VAISALA OY |