FI84862C - Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav. - Google Patents

Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav. Download PDF

Info

Publication number
FI84862C
FI84862C FI893797A FI893797A FI84862C FI 84862 C FI84862 C FI 84862C FI 893797 A FI893797 A FI 893797A FI 893797 A FI893797 A FI 893797A FI 84862 C FI84862 C FI 84862C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
insulating layer
conductive
layer
electrode
humidity sensor
Prior art date
Application number
FI893797A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI84862B (fi
FI893797A (fi
FI893797A0 (fi
Inventor
Lars Stormbom
Original Assignee
Vaisala Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaisala Oy filed Critical Vaisala Oy
Priority to FI893797A priority Critical patent/FI84862C/fi
Publication of FI893797A0 publication Critical patent/FI893797A0/fi
Priority to US07/553,596 priority patent/US5075816A/en
Priority to DE4023778A priority patent/DE4023778C2/de
Priority to GB9017034A priority patent/GB2234820B/en
Priority to FR909010121A priority patent/FR2650892B1/fr
Priority to JP2213587A priority patent/JP2938531B2/ja
Publication of FI893797A publication Critical patent/FI893797A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI84862B publication Critical patent/FI84862B/fi
Publication of FI84862C publication Critical patent/FI84862C/fi

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
    • G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/43—Electric condenser making
    • Y10T29/435—Solid dielectric type

Description

84862
Kapasitiivinen kosteusanturirakenne ja menetelmä sen valmistamiseksi Tämän keksinnön kohteena on patenttivaatimuksen 1 mukainen kapasitiivinen kosteusanturirakenne.
Keksinnön kohteena on myös menetelmä kosteusanturin valmistamiseksi .
Keksinnön tarkoituksena on saada aikaan sellainen kapasitiivinen kosteusanturi, jolla on lyhyt vaste, hyvä korroosionkestävyys sekä hyvät hystereesi-ominaisuudet.
Kuulutusjulkaisusta 71998 tunnetaan kondensaattoriratkaisu, jossa sekä toisessa johtavassa pinnassa että eristeaineessa on uria, jolloin eristeaine on suorassa yhteydessä ympäröivään ilmaan. Nämä urat saadaan aikaan valmistamalla johtava pinta höyrystämällä aineesta, johon muodostuu niin voimakkaat sisäiset jännitykset, että se muodostaa urat myös viereiseen eristekerrokseen.
Eristeeseen ulottuessaan nämä urat kuitenkin huonontavat anturin hystereesi- ja stabiilisuusominaisuuksia. On hyvin tunnettua, että pienissä raoissa tai kapillaareissa tapahtuu n.s. kapillaarikondensaatiota huomattavasti alhaisemmissa kosteuksissa kuin tasaisella pinnalla, ja että kapillaari-kondesaatiolle on tyypillistä hystereesi (t.s. kondenssi tapahtuu korkeammassa kosteudessa kuin haihtuminen). Esimerkin vuoksi voidaan mainita, että sylinterimäisessä toisesta päästään avoimessa kapillaarissa kondenssi tapahtuu, jos kapillaarin säde on pienempi kuin r^, joka saadaan kaavasta rfc = (2γΜ)/(rRT ln(Ps/P)), missä (1) y = veden pintajännitys (72.75 dyn/cm 20°C:n lämpötilassa) 2 84862 M = veden molekyylipaino (18.02 g/mol) r = veden ominaispaino (1.00 g/cm3) R = kaasuvakio (8.31 J/(mol K)) T = absoluuttinen lämpötila ps = veden saturaatio-osapaine
Jos suhteellinen kosteus on esim. 90 % (eli Ps/P=l,1111), tapahtuu kondenssi kaikissa kapillaareissa, joissa on alle 0,01 mikrometrin säde.
Lisäksi eristekerroksen urat fokusoivat mahdolliset sisäiset jännitykset tiettyihin pisteisiin, mikä vaikuttaa huononta-vasti pitkän ajan stabiilisuuteen.
Uriin kerääntyvä lika saattaa myös vaikuttaa mittaustulokseen.
Näistä syistä on anturin ominaisuuksille edullista mikäli elektrodin urat eivät kuulutusjulkaisun 71998 mukaisesti ulotu eristekerrokseen asti, tai vaihtoehtoisesti eristekerroksen urat on täytetty esim. ohuella muovikerroksella, jolloin sopivalla materiaalinvalinnalla voidaan saavuttaa lähes yhtä nopea vaste. Tunnetun tekniikan mukaisesti urien syntymistä eristekerrokseen ei kuitenkaan ole voitu välttää.
Niinpä tämän keksinnön tarkoituksena on poistaa edellä kuvatussa tekniikassa esiintyvät haitat ja saada aikaan aivan uudentyyppinen kapasitiivinen kosteusanturi ja menetelmä sen valmistamiseksi.
Keksintö perustuu siihen, että ainakin yksi anturin johtavista pinnoista sisältää sattumanvaraisia uria, mutta vierekkäisessä eristekerroksessa ei ole uria.
Täsmällisemmin sanottuna keksinnön mukaiselle kapasitiivi-selle kosteusanturille on tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen l tunnusmerkkiosassa.
I; 3 84862
Keksinnön kohteena on myös kondensaattorirakenne, jossa sattumanvaraisia uria sisältävä johtava pinta ja nämä urat on peitetty ohuella toisella eristekerroksella.
Keksinnön mukaiselle valmistusmenetelmälle on tunnusomaista se, että sähköä johtavia uria muodostava pinta muodostetaan suuren sisäisen jännityksen omaavasta aineesta tyhjöhöyrys-tyksellä hitaasti haihtuvan pehmitinaineen pehmentämän eris-tekerroksen päälle, jolloin johtavaan pintaan muodostuvat urat eivät jatku eristekerrokseen.
Täsmällisemmin sanottuna keksinnön mukaiselle menetelmälle puolestaan on tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen 4 tunnusmerkkiosassa.
Keksinnön avulla saavutetaan huomattavia etuja.
Keksinnön mukaisella anturilla kapillaari-ilmiötä ja samalla hystereesiä pystytään vähentämään ja eräissä suoritusmuodoissa kokonaan poistamaan. Eristekerroksen urien puuttuminen parantaa myös pitkän ajan stabiilisuutta. Lisäksi urien puuttuminen eristekerroksesta vähentää lian aiheuttamaa virhettä.
Jos johtava pinta peitetään toisella eristyskerroksella, vältetään täysin kapillaarien muodostuminen. Valitsemalla aine, jolla on suuri veden permeabiliteetti saadaan erittäin nopea vasteaika.
Jos toisella eristekalvolla lisäksi on hyvä adheesio allao-leviin kerroksiin, niin estyy myös korroosio erittäin tehokkaasti.
Keksintöä ryhdytään seuraavassa lähemmin tarkastelemaan oheisten piirustusten mukaisten sovellusesimerkkien avulla.
4 84862
Kuvio 1 esittää halkileikattuna yläkuvantona yhtä keksinnön mukaista kosteusanturia.
Kuvio 2 esittää poikkileikattuna (leikkaus A-A) sivukuvanto-na kuvion 1 mukaista kapasitiivista kosteusanturia.
Kuvio 3 esittää poikkileikattuna sivukuvantona kuvion l mukaista kapasitiivista kosteusanturia varustettuna johtavaa kerrosta peittävällä eristekerroksella.
Kuvioiden 1 ja 2 mukaisesti anturi 6 on muodostettu esimerkiksi lasialustan 4 päälle siten, että alustaa 4 lähinnä on ensimmäinen johtava elektrodi 1, joka on esimerkiksi anodi-sesti hapetettu tantalikerros. Ensimmäisen johtavan elektrodin 1 päälle on kerrostettu eristekerros 3, joka on tyypillisesti sopivaa polymeeriä, esimerkiksi selluloosa-asetaat-ti-butyraattia. Eristekerroksen 3 päälle muodostetaan toinen johtava elektrodi 2 esimerkiksi kromista tai muusta kulutus-kestävästä materiaalista. Toisen johtavan elektrodin 2 tulee olla sellaista materiaalia, että se supistuu ohuena kerroksena jännityksen vaikutuksesta. Näin toiseen elektrodiin 2 muodostuu lukuisia halkeamia 7. Ei-esitetyt kontaktit di-elektrisyysvakion mittauslaitteeseen kytketään molempiin elektrodeihin 1 ja 2 kontaktialueilla 8.
Kuvion 3 mukaisesti voidaan anturin toinen johtava elektrodi 2 päällystää toisella eristekerroksella 5, jonka läpi vesihöyry voi diffusoitua ensimmäiseen eristekerrokseen 3. Sopivia toisen eristekerroksen materiaaleja ovat esimerkiksi selluloosa-asetaatti ja ristisilloitettu polyvinyylipyrroli-doni.
Edullisesti toinen eristekerros 5 on lujasti kiinnittynyt sekä uria 7 sisältävään johtavaan elektrodiin 2 että ensimmäiseen eristekerrokseen 3.
I; 5 84862
Keksinnön mukaisesti anturi voidaan valmistaa esimerkiksi seuraavasti:
Ensimmäinen elektrodi 1 valmistetaan lasilevyn 4 päälle normaalilla ohutkalvotekniikalla, esimerkiksi anodisesti hapettamalla. Ensimmäisen elektrodin 1 päälle valmistetaan poly-meerikerros 3 esimerkiksi nostamalla lasilevy 4 hitaasti po-lymeeriliuoksesta, jolloin lasilevyn 4 päälle muodostuu ohut liuotin/muovikalvo.
Eristekerroksen liuotinaineena käytetään esimerkiksi NMP(N-metyylipyrrolidoni)/alkoholiseosta, jossa NMP on hitaasti haihtuva komponentti ja polymeerinä on selluloosa-asetaattibutyraatti. Muovi esikuivatetaan n. 10 minuuttia l50°C:en lämpötilassa. Tällöin alkoholi haihtuu, mutta muovi jää elastiseksi NMP:n vaikutuksesta. Tämän jälkeen höyryste-tään esimerkiksi kromista pintaelektrodi 2 elastisen muovin päälle. Elektrodi 2 höyrystetään n. 0,1...1 pm:n paksuiseksi. Anturia jälkipaistetaan n. 3 vrk 150®C:een lämpötilassa, jolloin NMP haihtuu ja eristekerros kovettuu lopullisesti.
vaihtoehtoisesti hitaasti haihtuvan liuottimen sijasta voidaan eristekerros säilyttää elastisena korkean lämpötilan avulla, jolloin anturi pidetään esimerkiksi 180 C°:een lämpötilassa pintaelektrodin 2 höyrystyksen ajan. Oleellista on, että lämpötila on lasisiirtymälämpötilaa Tg tai sulamis-lämpötilaa korkeampi.
Kuvion 3 mukainen toinen eristekerros 5 puolestaan valmistetaan muoviliuokseen kastamalla kuten kerros 3. Olennaista on, että liuottimena käytetään sellaista ainetta, joka ei liuota kerrosta 3. Vaihtoehtoisesti voidaan kerros valmistaa plasmapolymerisoimalla sopivasta monomeerista (esim. styreenstä), jolloin saavutetaan hyvä adheesio.

Claims (8)

1. Dielektrisyysvakion mittauslaitteeseen liitettävissä oleva kapasitiivinen kosteusanturi (6), joka käsittää - eristekerroksen (3), jonka dielektrisyysvakio muuttuu absorboituneen veden määrän mukaan, ja - vähintään kaksi toisistaan galvaanisesti erotettua, eristekerrosta (3) ympäröivää johtavaa pintaa (2,1), jolloin yksi kondensaattorin johtavista pinnoista (2) sisältää sattumanvaraisia halkeamia (7), jotka saattavat eristeen (3) suoraan kosketukseen sitä ympäröivän ilman kanssa, tunnettu siitä, että - eristekerros (3) on yhtenäinen vailla johtavaa kerrosta (2) vastaavia uria (7).
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kosteusanturi, tunnettu siitä, että uria sisältävä johtava pinta (2) on päällystetty toisella eristekerroksella (5), jonka läpi vesihöyry voi diffusoitua ensimmäiseen eristekerrokseen (3).
3. Patenttivaatimuksen 2 mukainen kosteusanturi, tunnettu siitä, että toinen eristekerros (5) on lujasti kiinnittynyt sekä uria sisältävään johtavaan elektrodiin (2) että ensimmäiseen eristyskerrokseen (3).
4. Menetelmä kapasitiivisen kosteusanturin (6) valmistamiseksi, jossa menetelmässä - eristealustan (4) päälle muodostetaan ensimmäinen johtava elektrodi (1), ii 7 84862 - ensimmäisen johtavan elektrodin (l) päälle muodostetaan eristekerros (3), - eristekerroksen (3) päälle muodostetaan toinen johtava elektrodi (2) sellaisesta kulutuskestäväs-tä materiaalista, joka ohuena kerroksena supistuu jännityksen vuoksi ja muodostaa toiseen johtavaan kerrokseen (2) halkeamia (7), tunnettu siitä, että - toinen johtava elektrodi (2) muodostetaan eristekerroksen (3) päälle, kun eristekerros (3) on vielä elastisessa tilassa, jolloin toiseen johtavaan elektrodiin (2) muodostuvat halkeamat (7) eivät jatku eristekerrokseen (3).
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että halkeamia (7) sisältävä toinen elektrodi (2) muodostetaan tyhjöhöyrystyksellä elastisen eristekerroksen (3) päälle.
6. Jonkin edellisen menetelmävaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että eristekerros (3) valmistetaan muovista.
6 84862
7. Patenttivaatimuksen 4 tai 5 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että eristekerros säilytetään elastisena hitaasti haihtuvan liuotinaineen, esimerkiksi NMP:n avulla.
8. Jonkin edellisen menetelmävaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että eristekerros (3) säilytetään elastisena korkean lämpötilan avulla, jolloin anturia (6) pidetään lasisiirtymälämpötilaa Tg:tä tai sulamislämpötilaa korkeammassa lämpötilassa, esimerkiksi 180 Ce:een lämpötilassa toisen johtavan elektrodin (2) muodostuksen ajan. s 84862
FI893797A 1989-08-11 1989-08-11 Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav. FI84862C (fi)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI893797A FI84862C (fi) 1989-08-11 1989-08-11 Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav.
US07/553,596 US5075816A (en) 1989-08-11 1990-07-18 Capacitive humidity sensor construction and method for manufacturing the sensor
DE4023778A DE4023778C2 (de) 1989-08-11 1990-07-26 Kapazitiver Feuchtigkeitssensor und Verfahren zur Herstellung des Sensors
GB9017034A GB2234820B (en) 1989-08-11 1990-08-03 Capacitive humidity sensor and method for its manufacture
FR909010121A FR2650892B1 (fr) 1989-08-11 1990-08-08 Capteur d'humidite capacitif et procede de fabrication d'un tel capteur
JP2213587A JP2938531B2 (ja) 1989-08-11 1990-08-09 容量性湿度センサの製造方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI893797 1989-08-11
FI893797A FI84862C (fi) 1989-08-11 1989-08-11 Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav.

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI893797A0 FI893797A0 (fi) 1989-08-11
FI893797A FI893797A (fi) 1991-02-12
FI84862B FI84862B (fi) 1991-10-15
FI84862C true FI84862C (fi) 1992-01-27

Family

ID=8528837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI893797A FI84862C (fi) 1989-08-11 1989-08-11 Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5075816A (fi)
JP (1) JP2938531B2 (fi)
DE (1) DE4023778C2 (fi)
FI (1) FI84862C (fi)
FR (1) FR2650892B1 (fi)
GB (1) GB2234820B (fi)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI98567C (fi) * 1993-09-29 1997-07-10 Vaisala Oy Impedanssianturi, etenkin radiosondikäyttöön, sekä menetelmä anturin valmistamiseksi
FI92439C (fi) * 1993-09-29 1994-11-10 Vaisala Oy Sähköisesti ilmaistu impedanssianturi fysikaalisten suureiden, etenkin lämpötilan tai kosteuden, mittaamiseksi sekä menetelmä kyseisten anturien valmistamiseksi
US6452776B1 (en) * 2000-04-06 2002-09-17 Intel Corporation Capacitor with defect isolation and bypass
JP4501320B2 (ja) * 2001-07-16 2010-07-14 株式会社デンソー 容量式湿度センサ
US6724612B2 (en) 2002-07-09 2004-04-20 Honeywell International Inc. Relative humidity sensor with integrated signal conditioning
WO2004063806A1 (de) * 2003-01-09 2004-07-29 Polyic Gmbh & Co. Kg Platine oder substrat für ein organisches elektronikgerät, sowie verwendung dazu
DE10338277A1 (de) * 2003-08-20 2005-03-17 Siemens Ag Organischer Kondensator mit spannungsgesteuerter Kapazität
DE10339036A1 (de) 2003-08-25 2005-03-31 Siemens Ag Organisches elektronisches Bauteil mit hochaufgelöster Strukturierung und Herstellungsverfahren dazu
DE10340644B4 (de) * 2003-09-03 2010-10-07 Polyic Gmbh & Co. Kg Mechanische Steuerelemente für organische Polymerelektronik
DE10340643B4 (de) * 2003-09-03 2009-04-16 Polyic Gmbh & Co. Kg Druckverfahren zur Herstellung einer Doppelschicht für Polymerelektronik-Schaltungen, sowie dadurch hergestelltes elektronisches Bauelement mit Doppelschicht
DE102004002024A1 (de) * 2004-01-14 2005-08-11 Siemens Ag Organischer Transistor mit selbstjustierender Gate-Elektrode und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102004040831A1 (de) 2004-08-23 2006-03-09 Polyic Gmbh & Co. Kg Funketikettfähige Umverpackung
DE102004059465A1 (de) 2004-12-10 2006-06-14 Polyic Gmbh & Co. Kg Erkennungssystem
DE102004063435A1 (de) 2004-12-23 2006-07-27 Polyic Gmbh & Co. Kg Organischer Gleichrichter
KR20060084160A (ko) * 2005-01-19 2006-07-24 레시너코리아 주식회사 정전용량형 누수 감지센서
DE102005009819A1 (de) 2005-03-01 2006-09-07 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronikbaugruppe
DE102005009820A1 (de) 2005-03-01 2006-09-07 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronikbaugruppe mit organischen Logik-Schaltelementen
DE102005017655B4 (de) 2005-04-15 2008-12-11 Polyic Gmbh & Co. Kg Mehrschichtiger Verbundkörper mit elektronischer Funktion
JP4860793B2 (ja) * 2005-05-19 2012-01-25 株式会社日本自動車部品総合研究所 湿度センサの製造方法
DE102005031448A1 (de) 2005-07-04 2007-01-11 Polyic Gmbh & Co. Kg Aktivierbare optische Schicht
DE102005035589A1 (de) 2005-07-29 2007-02-01 Polyic Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements
DE102005044306A1 (de) 2005-09-16 2007-03-22 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronische Schaltung und Verfahren zur Herstellung einer solchen
US20120228109A1 (en) * 2011-03-08 2012-09-13 Ibiden Co., Ltd. Sensor, keyboard and method for manufacturing sensor
DE102011086479A1 (de) * 2011-11-16 2013-05-16 Robert Bosch Gmbh Integrierter Feuchtesensor und Verfahren zu dessen Herstellung
AU2013204540A1 (en) * 2013-03-12 2014-10-02 Warner, Shane Charles MR Detecting moisture and/or termites.
CN105502282B (zh) * 2015-11-30 2017-05-31 上海集成电路研发中心有限公司 一种mems湿度传感器的制造方法
EP3502680A4 (en) * 2016-09-30 2019-09-11 Minebea Mitsumi Inc. MOISTURE SENSOR
JP6770238B2 (ja) * 2017-03-31 2020-10-14 ミツミ電機株式会社 湿度センサ
JP2020047776A (ja) * 2018-09-19 2020-03-26 国立研究開発法人産業技術総合研究所 気体透過型コンデンサ素子、センサ素子、及び、それらを用いた計測方法。

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1264142A (fr) * 1959-06-23 1961-06-19 élément sensible à l'humidité, utilisable dans un hygromètre
US3574681A (en) * 1966-03-31 1971-04-13 Texas Instruments Inc Aluminum oxide humidity sensor
DE1764548C3 (de) * 1968-06-25 1978-12-14 Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Schichtkondensators
FR2142573B1 (fi) * 1971-06-21 1973-05-25 Commissariat Energie Atomique
US4164868A (en) * 1972-10-12 1979-08-21 Vaisala Oy Capacitive humidity transducer
US4156268A (en) * 1977-08-29 1979-05-22 Longwood Machine Works, Inc. Humidity sensing element and method of manufacture thereof
DE2848034A1 (de) * 1978-11-06 1980-05-14 Siemens Ag Kapazitiver feuchtefuehler
FR2486656A1 (fr) * 1980-07-09 1982-01-15 Commissariat Energie Atomique Hygrometre capacitif
FR2498329A1 (fr) * 1981-01-19 1982-07-23 Commissariat Energie Atomique Hygrometre capacitif a dielectrique mince et son procede de fabrication
FI65674C (fi) * 1982-12-21 1984-06-11 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav
US4761710A (en) * 1987-06-23 1988-08-02 Industrial Technology Research Institute Polyimide capacitive humidity sensing element
NL8803223A (nl) * 1988-12-30 1990-07-16 Flucon Bv Capacitieve vochtsensor.

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0387642A (ja) 1991-04-12
DE4023778A1 (de) 1991-02-14
FR2650892B1 (fr) 1992-12-11
FI84862B (fi) 1991-10-15
GB9017034D0 (en) 1990-09-19
FR2650892A1 (fr) 1991-02-15
DE4023778C2 (de) 2003-08-21
FI893797A (fi) 1991-02-12
JP2938531B2 (ja) 1999-08-23
GB2234820A (en) 1991-02-13
FI893797A0 (fi) 1989-08-11
GB2234820B (en) 1994-06-22
US5075816A (en) 1991-12-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI84862C (fi) Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och foerfarande foer framstaellning daerav.
FI71998B (fi) Kapacitiv hygrometer daeri anvaend kondensator och foerfarandefoer framstaellning av kondensatorn
Liang et al. Highly sensitive, flexible MEMS based pressure sensor with photoresist insulation layer
WO1989008249A1 (en) Electrochemical gas sensor
CN101324539B (zh) 具有纳米纤维结构的高分子复合电阻型湿敏元件及其制作方法
EP0395349B1 (en) Moisture sensitive element
CN107290241B (zh) 一种qcm湿度传感器及其制备方法
JP2007240189A (ja) 湿度センサ
EP1318395A2 (en) Humidity sensor
JPH0151771B2 (fi)
KR101807749B1 (ko) 습도 센서
FI111034B (fi) Kosteusherkkä elementti ja menetelmä sen valmistamiseksi
Kuroiwa et al. A thin-film polysulfone-based capacitive-type relative-humidity sensor
KR20040024134A (ko) 고정밀 정전용량형 습도센서 및 제조방법
JP4057036B2 (ja) 湿度センサ用感湿素子の製造方法
JP2003232765A (ja) 湿度センサ用感湿素子
KR101882401B1 (ko) 이산화티탄 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도 저 히스테리시스 다공성 mim 타입 용량성 습도 센서 제조 방법
DE19917717C2 (de) Kapazitiver Feuchtesensor
JP2007278867A (ja) 湿度感知部品の電極構造
JPS6358249A (ja) 湿度検知素子
JP6450506B2 (ja) 容量型ガスセンサ
KR100727674B1 (ko) 고정밀 정전용량형 습도센서 제조방법
KR102280947B1 (ko) 다공성 부재를 포함하는 정전 용량식 센서
KR102280952B1 (ko) 다공성 부재를 포함하는 유연한 정전 용량식 센서
JP2810779B2 (ja) 容量式薄膜湿度センサおよびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Owner name: VAISALA OY