FI84862C - Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav - Google Patents

Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav Download PDF

Info

Publication number
FI84862C
FI84862C FI893797A FI893797A FI84862C FI 84862 C FI84862 C FI 84862C FI 893797 A FI893797 A FI 893797A FI 893797 A FI893797 A FI 893797A FI 84862 C FI84862 C FI 84862C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
insulating layer
conductive
layer
electrode
humidity sensor
Prior art date
Application number
FI893797A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI893797A0 (fi
FI84862B (fi
FI893797A (fi
Inventor
Lars Stormbom
Original Assignee
Vaisala Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaisala Oy filed Critical Vaisala Oy
Priority to FI893797A priority Critical patent/FI84862C/sv
Publication of FI893797A0 publication Critical patent/FI893797A0/fi
Priority to US07/553,596 priority patent/US5075816A/en
Priority to DE4023778A priority patent/DE4023778C2/de
Priority to GB9017034A priority patent/GB2234820B/en
Priority to FR909010121A priority patent/FR2650892B1/fr
Priority to JP2213587A priority patent/JP2938531B2/ja
Publication of FI893797A publication Critical patent/FI893797A/fi
Publication of FI84862B publication Critical patent/FI84862B/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI84862C publication Critical patent/FI84862C/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
    • G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/43—Electric condenser making
    • Y10T29/435—Solid dielectric type

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Claims (8)

1. Kapacitiv fuktighetsgivare (6), som kan kopplas till en anordning för mätning av dielektricitetskonstanten, omfat-tande - ett isolationsskikt (3), vars dielektricitets-konstant ändras beroende pk mängden absorberat vatten, - ätminstone tvä frän varandra galvaniskt ätskilda ledande ytor (2,1), som omger isolationsskiktet (3), varvid en av kondensatorns ledande ytor (2) innehäller slumpvisa sprickor (7), som ställer isolatorn (3) i direkt kontakt med den omgivande luften, kännetecknad av att - isolationsskiktet (3) är enhetligt och saknar spär (7) som motsvarar det ledande skiktet (2).
2. Fuktighetsgivare enligt patentkrav l, kännetecknad av att den spärförsedda ledande ytan (2) är belagd med ett annat isolationsskikt (5), som är genomträng-lig för vattenänga vid diffusion till det första isolationsskiktet (3).
3. Fuktighetsgivare enligt patentkrav 2, kännetecknad av att det andra isolatiosskiktet sitter härt fast bäde i den spärförsedda ledande elektroden (2) och i det första isolationsskiktet (3).
4. Förfarande för tillverkning av en kapacitiv fuktighetsgivare (6), varvid - en första ledande elektrod (1) bildas pä ett isolationssubstrat (4), - ovanpä den första ledande elektroden (1) bildas ett isolationsskikt (3), I: 9 84862 - pä isolationsskiktet (3) bildas en andra ledande elektrod (2) av ett sädant slitstarkt material, som krymper under inverkan av spänningar och bil-dar sprickor (7) i det andra ledande skiktet (2), kännetecknat av att - den andra ledande elektroden (2) bildas pä isolationsskiktet (3) när isolationsskiktet (3) ännu Sr i elastiskt tillständ, varvid sprickorna (7) som bildas i det andra isolationsskiktet inte fortsät-ter tili isolationsskiktet (3).
5. Förfarande enligt patentkrav 4, kännetecknat av att den sprickor (7) omfattande andra elektroden (2) bildas ρέ det elastiska isolationsskiktet (3) medelst vakuum-förängning.
6. Förfarande enligt nSgot av föregäende förfarandekrav, kännetecknat av att isolationsskiktet (3) tili-verkas av plast.
7. Förfarande enligt patentkrav 4 eller 5, kännetecknat av att isolationsskiktet hälls elastiskt medelst ett lcingsamt avdunstande lösningsmedel, t.ex, NMP.
8. Förfarande enligt nägot av de föregäende förfarandekraven, kännetecknat av att isoletionsskiktet (3) hälls elastiskt medelst hög temperatur, varvid givaren (6) hälls vid en temperatur, som är högre än glasomvandlingstempera-turen Tg eller smälttemperaturen, tili exempel vid en temperatur av 180eC, när den andra ledande elektroden (2) bildas.
FI893797A 1989-08-11 1989-08-11 Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav FI84862C (sv)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI893797A FI84862C (sv) 1989-08-11 1989-08-11 Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav
US07/553,596 US5075816A (en) 1989-08-11 1990-07-18 Capacitive humidity sensor construction and method for manufacturing the sensor
DE4023778A DE4023778C2 (de) 1989-08-11 1990-07-26 Kapazitiver Feuchtigkeitssensor und Verfahren zur Herstellung des Sensors
GB9017034A GB2234820B (en) 1989-08-11 1990-08-03 Capacitive humidity sensor and method for its manufacture
FR909010121A FR2650892B1 (fr) 1989-08-11 1990-08-08 Capteur d'humidite capacitif et procede de fabrication d'un tel capteur
JP2213587A JP2938531B2 (ja) 1989-08-11 1990-08-09 容量性湿度センサの製造方法

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI893797 1989-08-11
FI893797A FI84862C (sv) 1989-08-11 1989-08-11 Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI893797A0 FI893797A0 (fi) 1989-08-11
FI893797A FI893797A (fi) 1991-02-12
FI84862B FI84862B (fi) 1991-10-15
FI84862C true FI84862C (sv) 1992-01-27

Family

ID=8528837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI893797A FI84862C (sv) 1989-08-11 1989-08-11 Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5075816A (sv)
JP (1) JP2938531B2 (sv)
DE (1) DE4023778C2 (sv)
FI (1) FI84862C (sv)
FR (1) FR2650892B1 (sv)
GB (1) GB2234820B (sv)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FI98567C (sv) * 1993-09-29 1997-07-10 Vaisala Oy Impedansgivare, speciellt för radiosondbruk, samt förfarande för framställning av en givare
FI92439C (sv) * 1993-09-29 1994-11-10 Vaisala Oy Elektrisk impedansgivare för mätning av fysikaliska storheter, speciellt temperatur eller fuktighet samt förfarande för framställning av ifrågavrande givare
US6452776B1 (en) * 2000-04-06 2002-09-17 Intel Corporation Capacitor with defect isolation and bypass
JP4501320B2 (ja) * 2001-07-16 2010-07-14 株式会社デンソー 容量式湿度センサ
US6724612B2 (en) 2002-07-09 2004-04-20 Honeywell International Inc. Relative humidity sensor with integrated signal conditioning
US20060125061A1 (en) * 2003-01-09 2006-06-15 Wolfgang Clemens Board or substrate for an organic electronic device and use thereof
DE10338277A1 (de) * 2003-08-20 2005-03-17 Siemens Ag Organischer Kondensator mit spannungsgesteuerter Kapazität
DE10339036A1 (de) 2003-08-25 2005-03-31 Siemens Ag Organisches elektronisches Bauteil mit hochaufgelöster Strukturierung und Herstellungsverfahren dazu
DE10340643B4 (de) * 2003-09-03 2009-04-16 Polyic Gmbh & Co. Kg Druckverfahren zur Herstellung einer Doppelschicht für Polymerelektronik-Schaltungen, sowie dadurch hergestelltes elektronisches Bauelement mit Doppelschicht
DE10340644B4 (de) * 2003-09-03 2010-10-07 Polyic Gmbh & Co. Kg Mechanische Steuerelemente für organische Polymerelektronik
DE102004002024A1 (de) * 2004-01-14 2005-08-11 Siemens Ag Organischer Transistor mit selbstjustierender Gate-Elektrode und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102004040831A1 (de) 2004-08-23 2006-03-09 Polyic Gmbh & Co. Kg Funketikettfähige Umverpackung
DE102004059465A1 (de) 2004-12-10 2006-06-14 Polyic Gmbh & Co. Kg Erkennungssystem
DE102004063435A1 (de) 2004-12-23 2006-07-27 Polyic Gmbh & Co. Kg Organischer Gleichrichter
KR20060084160A (ko) * 2005-01-19 2006-07-24 레시너코리아 주식회사 정전용량형 누수 감지센서
DE102005009819A1 (de) 2005-03-01 2006-09-07 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronikbaugruppe
DE102005009820A1 (de) 2005-03-01 2006-09-07 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronikbaugruppe mit organischen Logik-Schaltelementen
DE102005017655B4 (de) 2005-04-15 2008-12-11 Polyic Gmbh & Co. Kg Mehrschichtiger Verbundkörper mit elektronischer Funktion
JP4860793B2 (ja) * 2005-05-19 2012-01-25 株式会社日本自動車部品総合研究所 湿度センサの製造方法
DE102005031448A1 (de) 2005-07-04 2007-01-11 Polyic Gmbh & Co. Kg Aktivierbare optische Schicht
DE102005035589A1 (de) 2005-07-29 2007-02-01 Polyic Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements
DE102005044306A1 (de) 2005-09-16 2007-03-22 Polyic Gmbh & Co. Kg Elektronische Schaltung und Verfahren zur Herstellung einer solchen
US20120228109A1 (en) * 2011-03-08 2012-09-13 Ibiden Co., Ltd. Sensor, keyboard and method for manufacturing sensor
DE102011086479A1 (de) * 2011-11-16 2013-05-16 Robert Bosch Gmbh Integrierter Feuchtesensor und Verfahren zu dessen Herstellung
AU2013204540A1 (en) * 2013-03-12 2014-10-02 Warner, Shane Charles MR Detecting moisture and/or termites.
CN105502282B (zh) * 2015-11-30 2017-05-31 上海集成电路研发中心有限公司 一种mems湿度传感器的制造方法
EP3502680A4 (en) * 2016-09-30 2019-09-11 Minebea Mitsumi Inc. MOISTURE SENSOR
JP6770238B2 (ja) * 2017-03-31 2020-10-14 ミツミ電機株式会社 湿度センサ
JP2020047776A (ja) * 2018-09-19 2020-03-26 国立研究開発法人産業技術総合研究所 気体透過型コンデンサ素子、センサ素子、及び、それらを用いた計測方法。

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1264142A (fr) * 1959-06-23 1961-06-19 élément sensible à l'humidité, utilisable dans un hygromètre
US3574681A (en) * 1966-03-31 1971-04-13 Texas Instruments Inc Aluminum oxide humidity sensor
DE1764548C3 (de) * 1968-06-25 1978-12-14 Siemens Ag, 1000 Berlin U. 8000 Muenchen Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Schichtkondensators
FR2142573B1 (sv) * 1971-06-21 1973-05-25 Commissariat Energie Atomique
US4164868A (en) * 1972-10-12 1979-08-21 Vaisala Oy Capacitive humidity transducer
US4156268A (en) * 1977-08-29 1979-05-22 Longwood Machine Works, Inc. Humidity sensing element and method of manufacture thereof
DE2848034A1 (de) * 1978-11-06 1980-05-14 Siemens Ag Kapazitiver feuchtefuehler
FR2486656A1 (fr) * 1980-07-09 1982-01-15 Commissariat Energie Atomique Hygrometre capacitif
FR2498329A1 (fr) * 1981-01-19 1982-07-23 Commissariat Energie Atomique Hygrometre capacitif a dielectrique mince et son procede de fabrication
FI65674C (fi) * 1982-12-21 1984-06-11 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav
US4761710A (en) * 1987-06-23 1988-08-02 Industrial Technology Research Institute Polyimide capacitive humidity sensing element
NL8803223A (nl) * 1988-12-30 1990-07-16 Flucon Bv Capacitieve vochtsensor.

Also Published As

Publication number Publication date
FR2650892B1 (fr) 1992-12-11
DE4023778A1 (de) 1991-02-14
FR2650892A1 (fr) 1991-02-15
GB2234820A (en) 1991-02-13
FI893797A0 (fi) 1989-08-11
FI84862B (fi) 1991-10-15
JPH0387642A (ja) 1991-04-12
GB9017034D0 (en) 1990-09-19
DE4023778C2 (de) 2003-08-21
JP2938531B2 (ja) 1999-08-23
US5075816A (en) 1991-12-24
FI893797A (fi) 1991-02-12
GB2234820B (en) 1994-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI84862C (sv) Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav
FI71998C (sv) Kapacitiv hygrometer, där i använd kondensator och förfarande för fram ställning av kondensatorn.
Liang et al. Highly sensitive, flexible MEMS based pressure sensor with photoresist insulation layer
CN101324539B (zh) 具有纳米纤维结构的高分子复合电阻型湿敏元件及其制作方法
WO1989008249A1 (en) Electrochemical gas sensor
CN107290241B (zh) 一种qcm湿度传感器及其制备方法
WO2007102262A1 (ja) 湿度センサ
EP0395349B1 (en) Moisture sensitive element
US20150185176A1 (en) Humidity sensor and manufacturing method thereof
KR101807749B1 (ko) 습도 센서
JPH0151771B2 (sv)
Matsuguchi et al. Effect of Sorbed Water on the Dielectric Properties of Acetylene‐Terminated Polyimide Resins and Their Application to a Humidity Sensor
Kuroiwa et al. A thin-film polysulfone-based capacitive-type relative-humidity sensor
US9976975B2 (en) Method of making thin film humidity sensors
KR20040024134A (ko) 고정밀 정전용량형 습도센서 및 제조방법
Ahmad et al. Electro-sprayed PVA coating with texture-enriched surface morphology for augmented humidity sensing
JP6450506B2 (ja) 容量型ガスセンサ
Saadeh et al. Revealing the flexoelectric‐like response of poly (3, 4‐ethylenedioxythiophene): poly (styrenesulfonate) thin films
DE19917717C2 (de) Kapazitiver Feuchtesensor
JP4057036B2 (ja) 湿度センサ用感湿素子の製造方法
KR101876942B1 (ko) 이산화티탄 미립자가 혼합된 기능성 폴리머를 이용한 고감도 저 히스테리시스 다공성 ｍｉｍ 타입 용량성 습도 센서
JP2007278867A (ja) 湿度感知部品の電極構造
JPS6358249A (ja) 湿度検知素子
WO2002088693A1 (fr) Capteur capacitif
KR100727674B1 (ko) 고정밀 정전용량형 습도센서 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Owner name: VAISALA OY