FI65674C - Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav - Google Patents

Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav Download PDF

Info

Publication number
FI65674C
FI65674C FI824392A FI824392A FI65674C FI 65674 C FI65674 C FI 65674C FI 824392 A FI824392 A FI 824392A FI 824392 A FI824392 A FI 824392A FI 65674 C FI65674 C FI 65674C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
humidity sensor
capacitive humidity
structures
sensor according
framstaellningdaerav
Prior art date
Application number
FI824392A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI824392A0 (fi
FI65674B (fi
Inventor
Heikki Tapani Kuisma
Ari Lehto
Jouko Samuel Jalava
Original Assignee
Vaisala Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaisala Oy filed Critical Vaisala Oy
Publication of FI824392A0 publication Critical patent/FI824392A0/fi
Priority to FI824392A priority Critical patent/FI65674C/fi
Priority to FR8320170A priority patent/FR2538115A1/fr
Priority to CA000443470A priority patent/CA1202196A/en
Priority to GB08333758A priority patent/GB2133161B/en
Priority to US06/562,746 priority patent/US4500940A/en
Priority to JP58239002A priority patent/JPS59120950A/ja
Priority to BR8307004A priority patent/BR8307004A/pt
Priority to IT12700/83A priority patent/IT1172658B/it
Priority to DE19833346181 priority patent/DE3346181A1/de
Application granted granted Critical
Publication of FI65674B publication Critical patent/FI65674B/fi
Publication of FI65674C publication Critical patent/FI65674C/fi

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
    • G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials

Claims (6)

1. Kapacitiv fuktighetsgivare, omfattande ett stödunderlag (1, 1*0 framställt t.ex. av glas , 5 - ätminstone en första (t.ex. 16, 19) och en andra baselektrod (17, 18) , vilka anordnats närä varandra pä stödunderlaget (1, 11), ett aktivt skikt (7, 2k) , som uppfyller ut-ryramet mellan den första (16 , 19) och den 10 andra baselektroden (17 , 18) pä stödunder- laget ( 1 , 11+) och sora sträcker sig ovanom den andra elektrodens (17, 18) Övre yta, kännetecknad av vid den första elektrodens (16, 19) övre yta fästade, bredvid varandra belägna balk-15 liknande konstruktioner (6, 12) av ledande material, vilkas tvärsnitt utvidgar sig uppät och som mellan sig frän tvä sidor avgränsar delar av det aktiva skiktet (7, 2h) och mellan vilkas Övre ytor det finns en smal slits (26).
2. Kapacitiv fuktighetsgivare enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att de balkliknande konstruk-tionerna (6, 12) tili sitt tvärsnitt har formen av ett trapets.
3. Kapacitiv fuktighetsgivare enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att de balkliknande konstruk-25 tionerna (6, 12) tili sitt tvärsnitt har formen av ett T. U. Kapacitiv fuktighetsgivare enligt patentkravet 1 kännetecknad därav, att de balkliknande konstruk-tionerna (6, 12) är framställda av kisel.
5. Kapacitiv fuktighetsgivare enligt patentkravet 1, 30 kännetecknad därav, att de balkliknande konstruk- tionerna (6, 12) är framställda av nägon metall.
6. Förfarande för framställning av en kapacitiv fuktighetsgivare enligt patentkravet 1, kännetecknat därav, att 35. pä en kiselskiva (9) eller liknande avsätts ett epitaktiskt skikt (10), i vilket bor är svagt inblandat ,
FI824392A 1982-12-21 1982-12-21 Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav FI65674C (fi)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI824392A FI65674C (fi) 1982-12-21 1982-12-21 Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav
FR8320170A FR2538115A1 (fr) 1982-12-21 1983-12-16 Detecteur d'humidite capacite et procede de fabrication
CA000443470A CA1202196A (en) 1982-12-21 1983-12-16 Capacitive humidity sensor and method for the manufacture of same
US06/562,746 US4500940A (en) 1982-12-21 1983-12-19 Capacitive humidity sensor and method for the manufacture of same
GB08333758A GB2133161B (en) 1982-12-21 1983-12-19 Capacitive humidity sensor
JP58239002A JPS59120950A (ja) 1982-12-21 1983-12-20 容量性湿度センサ及びその製造方法
BR8307004A BR8307004A (pt) 1982-12-21 1983-12-20 Sensor de umidade capacitivo e processo para a fabricacao de um sensor de umidade capacitivo
IT12700/83A IT1172658B (it) 1982-12-21 1983-12-20 Sensore capacitivo di umidita e metodo per fabbricarlo
DE19833346181 DE3346181A1 (de) 1982-12-21 1983-12-21 Kapazitiver feuchtigkeitssensor und verfahren zu dessen herstellung

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI824392A FI65674C (fi) 1982-12-21 1982-12-21 Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav
FI824392 1982-12-21

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI824392A0 FI824392A0 (fi) 1982-12-21
FI65674B FI65674B (fi) 1984-02-29
FI65674C true FI65674C (fi) 1984-06-11

Family

ID=8516491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI824392A FI65674C (fi) 1982-12-21 1982-12-21 Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4500940A (sv)
JP (1) JPS59120950A (sv)
BR (1) BR8307004A (sv)
CA (1) CA1202196A (sv)
DE (1) DE3346181A1 (sv)
FI (1) FI65674C (sv)
FR (1) FR2538115A1 (sv)
GB (1) GB2133161B (sv)
IT (1) IT1172658B (sv)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3241544A1 (de) * 1982-11-10 1984-05-10 Glatt GmbH, 7851 Binzen Verfahren zum ueberwachen und/oder steuern bei trocknungs-, granulier-, instantisier-, dragier- und filmcoating-prozessen sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE3339276A1 (de) * 1983-10-28 1985-05-09 Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg Kapazitiver feuchtefuehler und verfahren zu seiner herstellung
US4975249A (en) * 1987-07-27 1990-12-04 Elliott Stanley B Optical and capacitance type, phase transition, humidity-responsive devices
JPS6486053A (en) * 1987-09-29 1989-03-30 Toshiba Corp Sensitive element
CH674085A5 (sv) * 1988-03-03 1990-04-30 Martin Ineichen
FI82554C (sv) * 1988-11-02 1991-03-11 Vaisala Oy Kalibreringsförfarande för mätning av den relativa halten av gas eller ånga
US4897597A (en) * 1988-12-08 1990-01-30 Surface Systems, Inc. Apparatus and methods for detecting wet and icy conditions
FI84862C (sv) * 1989-08-11 1992-01-27 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivarkonstruktion och förfarande för framställning därav
US4965698A (en) * 1989-09-27 1990-10-23 Johnson Service Company Capacitance humidity sensor
DE4438892C2 (de) * 1994-10-31 1997-09-04 Testo Gmbh & Co Abgleichbarer kapazitiver Sensor und Verfahren zum Abgleichen eines solchen Sensors
US7073246B2 (en) * 1999-10-04 2006-07-11 Roche Diagnostics Operations, Inc. Method of making a biosensor
US6695469B2 (en) 2001-11-19 2004-02-24 Energy Absorption Systems, Inc. Roadway freezing point monitoring system and method
DE10203816C1 (de) * 2002-01-31 2003-08-07 Siemens Ag Sensorfeld zur Feuchtemessung
US6724612B2 (en) 2002-07-09 2004-04-20 Honeywell International Inc. Relative humidity sensor with integrated signal conditioning
EP1482306B1 (en) * 2003-05-30 2014-09-24 Ngk Spark Plug Co., Ltd Humidity sensor and method of using the humidity sensor
CA2529657C (en) 2003-06-20 2011-04-12 F. Hoffmann-La Roche Ag Test strip with slot vent opening
FR2856897B1 (fr) * 2003-07-04 2007-01-26 Oreal Kit, notamment a usage cosmetique, comportant un indicateur ou capteur d'humidite ambiante
US20090038376A1 (en) * 2007-08-06 2009-02-12 Dimitry Petrosyan Gas analyzer with a trace moisture sensor
DE102009004393A1 (de) * 2009-01-08 2010-11-11 Eads Deutschland Gmbh Akkumulierender Feuchtesensor
US20120167392A1 (en) 2010-12-30 2012-07-05 Stmicroelectronics Pte. Ltd. Razor with chemical and biological sensor
US9019688B2 (en) 2011-12-02 2015-04-28 Stmicroelectronics Pte Ltd. Capacitance trimming with an integrated heater
US9027400B2 (en) * 2011-12-02 2015-05-12 Stmicroelectronics Pte Ltd. Tunable humidity sensor with integrated heater
JP5849836B2 (ja) * 2012-04-10 2016-02-03 株式会社デンソー 湿度センサ
JP6235415B2 (ja) * 2014-06-10 2017-11-22 アルプス電気株式会社 湿度検知装置
CN105486728B (zh) * 2015-11-27 2018-05-25 深圳市美思先端电子有限公司 电容式湿度传感器及其制造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1138401A (en) * 1965-05-06 1969-01-01 Mallory & Co Inc P R Bonding
FI48229C (sv) * 1972-10-12 1974-07-10 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivare och framställningsförfarande för densamma.
GB1464605A (en) * 1973-08-14 1977-02-16 Nippon Sheet Glass Co Ltd Humidity-sensitive sensor
JPS5412893A (en) * 1977-06-30 1979-01-30 Sony Corp Dew-sensitive element material
DE3151630C2 (de) * 1981-12-28 1986-07-03 Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg Feuchtigkeitsfühler und Verfahren zu seiner Herstellung
DE3339276A1 (de) * 1983-10-28 1985-05-09 Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg Kapazitiver feuchtefuehler und verfahren zu seiner herstellung

Also Published As

Publication number Publication date
IT1172658B (it) 1987-06-18
GB8333758D0 (en) 1984-01-25
US4500940A (en) 1985-02-19
FI824392A0 (fi) 1982-12-21
GB2133161A (en) 1984-07-18
DE3346181A1 (de) 1984-06-28
CA1202196A (en) 1986-03-25
IT8312700A0 (it) 1983-12-20
BR8307004A (pt) 1984-07-31
FR2538115A1 (fr) 1984-06-22
FI65674B (fi) 1984-02-29
GB2133161B (en) 1986-06-04
IT8312700A1 (it) 1985-06-20
JPS59120950A (ja) 1984-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI65674C (fi) Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav
CN101339202B (zh) 半导体器件及其制造方法
KR100501750B1 (ko) 센서및센서제조방법
US5313836A (en) Semiconductor sensor for accelerometer
US5723353A (en) Process for manufacturing a sensor
DE102009018266B4 (de) Sensor zur Erfassung einer physikalischen Grösse und Verfahren zu dessen Fertigung
KR101012248B1 (ko) 정전용량식 센서
KR19980018478A (ko) 레이트 센서 제조 방법
JP2011022137A (ja) Ｍｅｍｓ装置及びその製造方法
EP3507598A2 (en) An electrochemical sensor, and a method of forming an electrochemical sensor
KR100264292B1 (ko) 구조체와 그 제조방법
CA2340059C (en) Micromechanical sensor and method for producing same
JP2003014778A (ja) 垂直変位測定及び駆動構造体とその製造方法
JP5849398B2 (ja) Ｍｅｍｓデバイスの製造方法およびｍｅｍｓデバイス
KR20000028948A (ko) 각속도 센서 제조방법
JPH10111203A (ja) 静電容量式半導体センサ及びその製造方法
JP4032476B2 (ja) 微小装置の製造方法
US20040121619A1 (en) Multipoint minute electrode, device for measuring a living organism voltage, method for fabricating the multipoint minute electrode, and method for fabricating the living organism voltage-measuring device
CN113226977A (zh) 具有膜片的mems传感器以及用于制造mems传感器的方法
JPH07504066A (ja) 半導体構造体の製法及び該製法により製造された半導体構造体
US5431052A (en) Capacitive sensor
CA2230545A1 (en) Thermoelectric sensor
WO2003015183A1 (fr) Procede de fabrication d'une structure a couches minces
JP2894478B2 (ja) 静電容量型圧力センサとその製造方法
JP4569167B2 (ja) 外力検知センサの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed

Owner name: VAISALA OY