FI107840B - Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten - Google Patents
Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten Download PDFInfo
- Publication number
- FI107840B FI107840B FI992651A FI19992651A FI107840B FI 107840 B FI107840 B FI 107840B FI 992651 A FI992651 A FI 992651A FI 19992651 A FI19992651 A FI 19992651A FI 107840 B FI107840 B FI 107840B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- sensor
- measurement
- temperature
- measured
- heating
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/122—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits
- G01N27/123—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits for controlling the temperature
- G01N27/124—Circuits particularly adapted therefor, e.g. linearising circuits for controlling the temperature varying the temperature, e.g. in a cyclic manner
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
107840
Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten
Keksinnön kohteena on patenttivaatimuksen 1 johdannon mukainen mittausmenetelmä kosteus- tai kaasuanturia varten.
5
Keksinnön kohteena on myös jäqestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten.
US-patentista 5 033 284 tunnetaan kalibrointimenetelmä, jossa kosteus- tai kaasuanturin lämpötilaa muuttamalla voidaan laskea koqaus laitteen näyttämään. Menetelmä 10 soveltuu ajoittaiseen mittalaitteen automaattiseen itsetarkistukseen. Menetelmässä oletetaan niitattavan kaasun osapaineen säilyvän vakiona lämpötilanmuutoksen aikana.
Menetelmälle on ominaista, että laitteen normaalitoiminnassa näyttämää voidaan päivittää suhteellisen usein mittauskohinan asettamien rajoitusten puitteissa. Koska 15 itse-kalibrointitoimenpide kestää suhteellisen kauan eikä laitteen näyttämää sen kestäessä voida päivittää suoritetaan itsekalibrointi varsin harvoin. Jos oletus että mitattavan kaasun osapaine säilyy vakiona itsekalibroinnin aikana ei päde, aiheutuu tästä virheellinen koqaus laitteen näyttämään, jonka vaikutus poistuu vasta seuraavan itsekalibroinnin yhteydessä. Itsekalibroinnin aikana voidaan mittauskohinaa suodattaa 20 erittäin tehokkaasti esim. käyttämällä useita mittauspisteitä lämpötilamuutoksen aikana • · · • · · "V ja käyttämällä pienimmän neliösumman keinoa suoran tai polynomin sovittamiseen • · · • · · ***. mittausdataan.
* * · • · · • · • · · • · · • · · US-patentista 5792938 (Gokhfeld) tunnetaan kosteusanturin mittausmenetelmä jossa • · « 25 mitataan anturin vaste kahdessa lämpötilassa ja vasteen erotus tai kulmakerroin . *: ·. käytetään suoraan laitteen lähtöviestinä.
• · · • · · • · · • · · .* . Tällä menetelmällä ei aiheudu ongelmaa, jos vesihöyryn osapaine muuttuu « · · [ j mittaussyklin aikana. Sen sijaan mittauskohina aiheuttaa suuremman virheen * · · 30 lähtöviestiin vain kahta mittauspistettä käytettäessä. Lisäksi menetelmä aiheuttaa pitkän • · · *L#* lähtöviestin päivitysvälin myös normaalitoiminnassa eikä ainoastaan itsekalibroinnin • · * · "* aikana niin kuin US-patentissa 5 033 284 kuvatussa menetelmässä.
2 107840
Molemmilla menetelmillä voidaan poistaa mittalaitteessa esiintyvää kalibroinnista tai epästabiilisuudesta johtuvaa offset-tyyppistä virhettä.
Keksinnön tarkoituksena on aikaansaada aivan uudentyyppinen menetelmä, jonka 5 avulla edellä kuvatut tunnetun tekniikan ongelmat on mahdollista ratkaista.
Keksintö perustuu siihen, että menetelmässä muutetaan syklisesti kosteus- tai kaasuanturin lämpötilaa sekä mitataan muutoksesta aiheutunut vaste anturin mittasuureessa. Lämpötilasyklillä on tällöin olemassa tietty ominaistaajuus cos.
10 Lämpötilasyklin aikana mitataan anturin vaste (tyypillisesti kapasitanssi tai vastus) lämpötilanmuutokseen, siis mitataan anturin reaktio (kapasitanssin tai vastuksen muutos) toistuvasti lämpötilamuutoksen funktiona. Tämän jälkeen suoritetaan anturiin vasteelle tai vasteesta lasketulle suureelle (kuten suhteellinen kosteus) taajuusanalyysi ja suodatetaan pois lämpötilasyklin perustaajuudesta poikkeavat taajuudet. Tyypillinen 15 kosteusanturi on sellainen, että sen kapasitanssi on likimain sama lämpötilasta riippumatta, jos suhteellinen kosteus (RH) on vakiosuuruinen. Mutta jos oletamme että veden höyrynpaine on vakio, niin RH muuttuu myös syklin aikana: RH=Pw/Pws(T)* 100.
·:··: 20 • · |#| { Keksinnön tarkoituksena on, että lämmityssyklin perustaajuus olisi niin hidas että kosteusanturi ehtii mukaan. Toisin sanoen anturin taajusvaste on korkeampi kuin • · •. * ·: lämmityssyklin perustaajuus.
··· ♦ · · • · · *·* *.* * 25 Jos lämmityksessä on huomattavasti anturin taajuusvastetta korkeampi komponentti (mikä nykyisillä antureilla on vaikea jäq estää) nähdään pelkän anturin • · · • · · ’·[* lämpötilariippuvuus.
• · · • · · • ♦
Anturin taajuusvaste näkyy vaihe-erossa lämmityssignaaliin verrattuna. Jos anturin • · 30 vaste on nopea, lisävaihe-eroa ei ole. Anturin hidastuessa tai lämpösyklin :T: perustaajuuden noustessa anturi myöhästyy yhä enemmän. Kun lämpötilasyklin : **: perustaajuus on sama kuin anturin taajuusvaste tulee lisä-vaihesiirtymää 45°. Samalla anturi-signaali vaimenee. Vaihe-eroa voidaan periaatteessa käyttää hyväksi ideaalisen 107840 3 nopean anturin vasteen laskemiseen. Käytännössä sillä voisi ehkä indikoida milloin anturi esim. likaantumisen takia on hidastunut niin paljon että huoltoa tarvitaan.
Taajuusanalyysin tuloksena saatu suure on mittalaitteen perussuure, jota 5 hyväksikäyttäen muodostetaan kaasu- tai kosteuspitoisuuden ilmoittava lähtöviesti.
Taajuusanalyysi voidaan suorittaa joko sähköisesti analogiatekniikalla esim. kaistanpäästösuodattimella tai digitaalisesti fourier-muunnoksella (esim. FFT-algoritmilla).
10
Menetelmää voidaan käyttää myös itsekalibrointimenetelmänä, jolloin syklin tulosta hyväksi käyttäen lasketaan korjaus mittalaitteen lähtösignaaliin.
Täsmällisemmin sanottuna keksinnön mukaiselle menetelmälle on tunnusomaista se, 15 mikä on esitetty patenttivaatimuksen 1 tunnusmerkkiosassa.
Keksinnön mukaiselle järjestelmälle puolestaan on tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen 9 tunnusmerkkiosassa.
•:··; 20 Keksinnön avulla saavutetaan huomattavia etuja.
• · • · · • · · ··· ·
Keksinnön kohteena oleva menetelmä yhdistää molempien tunnettujen menetelmien • · :/·· edut ja tällä keksinnön mukaisella menetelmällä voidaan jatkuvalla mittauksella saada • · · ; tunnettua tekniikka tarkempi ja stabiilimpi mittaustulos ilman erillisiä • · · ·.· · 25 kalibrointivaiheita. Lisäksi keksinnön avulla voidaan saada lisätietoa anturin pitkäaikaisen stabiilisuuden parantamiseksi. Anturin lämpötilaherkkyyttä voidaan ·«· *·* * tarkkailla tosiaikaisesti ja suorittaa tarvittavat koijaukset, mikäli lämpötilaherkkyys ··» • · · , *·* muuttuu oletusarvosta.
• · • · · * * · • · *·“· 30 Keksintöä tarkastellaan seuraavassa esimerkkien avulla ja oheisiin piirustuksiin viitaten.
• · · • · · • · · : [ ’ ‘: Kuvio 1 esittää lohkokaaviona yhtä keksinnön mukaista jäijestelmää.
4 107840
Kuvio 2 esittää graafisesti yhtä keksinnön mukaista mittaustapahtumaa.
Kuvion 1 mukaisesti keksinnön mukainen järjestelmä käsittää kaasuanturin 1, joka voi olla esimerkiksi ilman suhteellista kosteutta mittaava kapasitiivinen anturi tai vaikkapa 5 resistiivinen kaasuanturi. Anturiin on kytketty lämmitys ja/tai jäähdytyselementti 2, jonka lämmitys/jäähdytystehoa ohjataan ohjaimella 3. Elementti 2 voi olla joko tavallinen sähkövastus tai jäähdyttämäänkin kykenevä Peltier-elementti. Anturin mitattavalle suureelle herkkä parametri (kapasitanssi tai vastus) mitataan elementillä 4, ja mittaus on edullisesti synkronoitu lämmityksenohjauselementin 3 kanssa. Suureesta 10 (kapasitanssi tai vastus) muodostetaan varsinainen mittaussignaali, joka on tyypillisesti suoraan tai ainakin lineaarisesti verrannollinen kaasupitoisuudelle tai sen suhteelliselle pitoisuudelle. Tyypillinen kaasupitoisuusmittaus on suhteellisen kosteuden mittaus, jossa kaasu jonka pitoisuutta mitataan on vesihöyry. Mitattavalle suureelle tehdään taajuusanalyysi elementissä 5 joko ohjelmallisesti (Fourier-analyysi) tai elektronisilla 15 suodattimilla. Keksinnön mukaisesti ohjain 3 kykenee ohjaamaan lämmityselementtiä ennalta määrätyn aikajakson välein toistuvilla lämmityspulsseilla, joiden aaltomuotoa, esimerkiksi pulssinleveyttä, korkeutta ja muotoa voidaan hallita. Myös lämmityspulssien väliä, siis lämmitystaajuutta voidaan keksinnön puitteissa muuttaa.
Yhden keksinnön edullisen suoritusmuodon mukaisesti tavoitellaan anturin 1 lämpötilan ·:··· 20 sinimuotoista muutosta, joka voidaan toteuttaa hyvin puoliaaltotasasuunnatulla j j*: sinimuotoisella tehonsyötöllä. Maksimilämmitystaajuuden määräävät pääasiassa anturin ::/ 1 termiset ominaisuudet. Mitä suurempi lämpöä säteilevä ja/tai johtava pinta J#*·· massayksikköä kohti anturissa 1 on, sitä suurempaa lämmitystaajuutta voidaan käyttää.
• · · V : Luonnollisesti elementillä 2 tulee olla riittävä teho lämpötilan nostamiseksi puolijakson • « · *.· · 25 aikana. Myös anturin kaasunilmaisuaikavakion tulee olla riittävän pieni lämmityssykliin nähden turhien viiveiden välttämiseksi. Käytännössä anturin vasteajan tulisi olla • · · '.* * korkeintaan 14-1/3 lämmityssyklin puolijaksoon verrattuna, muuten joudutaan M· • · · * käyttämään erityistoimenpiteitä mittaustuloksen saamiseksi, esimerkiksi aiemmin • · ϊ. *·{ kuvatun vaihetiedon hyväksikäyttöä.
·:··: 3o :*·*: Keksinnön edullisin toteutustapa on, että lämpötilasyklin aikana mitataan olennaisesti :***: samanaikaisesti sekä anturin 1 vaste lämpötilan funktiona että anturin 1 lämpötila.
««· Tällöin voidaan suorittaa samanlainen taajuusanalyysi sekä anturin vasteelle että anturin 107840 5 lämpötilalle. Olkoon lämpötilan taajuuskomponentti syklin perustaajuudella t(cos) ja anturin signaalin taajuuskomponentti syklin perustaajuudella s(cos). Tällöin voidaan muodostaa suhde s(cös)/ t(cos), joka säilyy ainakin likimain vakiosuuruisena, jos lämpötilan muutos syklin aikana jostakin syystä (esim. anturin likaantumisen tai 5 lämmitystehon muutoksen takia) muuttuu.
Yleensä tarvitaan myös lämpötilan keskiarvo syklin aikana mittalaitteen lähtöviestin muodostamiseen.
10 Taajuusanalyysi voidaan suorittaa uudelleen jokaisen mittaustoimenpiteen jälkeen, jolloin mittalaitteen lähtöviestiä voidaan päivittää lämpötilasyklin perustaajuutta tiheämmin.
Taajuusanalyysi voi olla yksinkertaisimmillaan elementtien 3 ja 5 avulla toteutettu, 15 lämmityssykliin vaihelukittu mittaus, jolloin taajuusanalyysin lopputuloksena saadaan signaali, joka on riippuvainen anturin lämpötilaherkkyydestä mitattavalle suureelle.
Kuviossa 2 on esitetty kaavion muodossa kapasitiivisen kosteusanturin lämpötilan ja kapasitanssin vaihtelu n. kahden mittaussyklin aikana. Kuviosta näkyy, että *·1·: 20 kapasitiivisen kosteusanturin kapasitanssin lämpötilavasteen ja lämpötilan ajallisen ·,{ I muutoksen välillä on n. 180°:n vaihe-ero. Keksinnön puitteissa voidaan myös tästä vaihe-erosta saada lisäinformaatiota esimerkiksi hitauden tai huoltotarpeen • · ilmaisemiseksi. Keksinnön yhteydessä tarkoitetaan lämmitystaajuudella kuvion • # 1 V 1 lämpötilakäyrän kahden maksimin välisen ajan käänteisarvoa, joka kuvion tapauksessa *·· V : 25 on n. 0,15 Hz.
··« * · 1 *♦1 1 Erityisen edullisesti keksinnön mukainen menetelmä ja järjestelmä soveltuu antureille, * » · - 1 joiden vaste Iämpötilanmuutoksille on normaalitilassa ainakin likimain lineaarinen tai mahdollisesti merkityksetön. Tämäntyyppisiä antureita ovat esimerkiksi ♦ **** 30 polymeeridielektrillä varustetut kapasitiiviset kosteusanturit, joita markkinoidaan :T: esimerkiksi tavaramerkillä Humicap®.
• M
• t • · 6 107840
Yhden keksinnön edullisen suoritusmuodon mukaisesti lämmitysyksiköllä muodostetaan ainakin yksi erityinen kalibrointijakso, jonka lämmitys/jäähdytysteho on normaalimittausjaksoa suurempi. Tällöin voidaan kosteusanturitapauksessa päästä joko täysin kuivaan 0%:n pisteeseen tai kastepisteeseen (100%) tai mahdollisesti molempiin.
5
Yhden keksinnön edullisen suoritusmuodon mukaan lämpötilasignaalin taajuusanalyysistä etsitään voimakkain taajuuskomponentti ja käytetään samaa taajuuskomponenttia anturin vasteen taajuusanalyysistä mitattavan suureen määrän mittaukseen tai mittalaitteen näyttämän koodaukseen käytettävän termin laskentaan.
• · • · i « i • · · • · · · • · · • · · • · · • · • · · • · · • · • · · • · · • · · «»· t « « « · · • · · • · · • · · • · · • · · • · · « • » • · · « · · • · · M» • · · • · · 1 · · • · • · • · ·
Claims (15)
1. Mittausmenetelmä kaasuanturia (1), esimerkiksi suhteellista kosteutta mittaavaa kapasitiivista anturia (1) varten, jossa menetelmässä 5. mitataan anturin (1) mitattavalle kaasulle tai sen pitoisuudelle herkkää suuretta kuten vastusta tai kapasitanssia, - anturin (1) lämpötilaa muutetaan j aksollisesti, j a - muodostetaan mitatusta suureesta varsinainen mittaussignaali, joka on verrannollinen kaasupitoisuudelle kuten esimerkiksi suhteelliselle kosteudelle, 10 tunnettu siitä,että - mitataan anturin (1) mitattavaa suuretta ainakin likimain jatkuvasti, kuitenkin vähintään 2 kertaa lämmitysjakson aikana, 15. suodatetaan mitatusta suureesta edelleen käytettäväksi lämmitystaajuuteen liittyvä signaali, ja - käytetään suodatettua signaalia anturin varsinaisena signaalina tai sen korjaukseen ja/tai kalibrointiin. • · : 20
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mitatusta • · · • · · · . suureesta suodatetaan edelleen käytettäväksi ainakin olennaisesti lämmitystaajuinen • · · * * * .’. j signaali, joka edullisesti on verrannollinen mitattavan kaasun määrään.
» · • · · • · · *·' 3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että mitataan • · · • · · *·* * samanaikaisesti anturin (1) lämpötilaa, ja lämpötilan mittausarvolle suoritetaan ... 25 lämmitystaajuuteen liittyvä suodatustoimenpide. • · · i · · ΓΓ:
4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että lämpötilasignaalista suodatetaan edelleen käytettäväksi ainakin olennaisesti « · lämmitystaajuinen signaali.
♦ · · · 5. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että • · · ·’...· 30 suodatus toteutetaan analogiatekniikalla, esimerkiksi kaistanpäästösuodattimella. 8 107840
6. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että suodatus toteutetaan digitaalitekniikalla, esimerkiksi Fourier-muunnoksella.
7. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että muodostetaan lämpötilan ja anturin (1) mittausarvon tai anturin vasteesta lasketun 5 suureen suodatettujen mittausarvojen suhde.
8. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että käytetään lämmitysjakson aikaista keskimääräistä lämpötilaa hyväksi mitattaviin suureen määrän mittaukseen tai mittalaitteen näyttämän korjaukseen käytettävän termin laskentaan.
9. Mittausjärjestelmä kaasuanturia, kuten suhteellisen kosteuden anturia varten, joka 10 j ärj estelmä käsittää - sellaisen kaasuanturin (1), jonka tietty suure kuten kapasitanssi tai resistanssi on mitattavalle kaasulle tai sen pitoisuudelle herkkä, - kaasuanturiin (1) termisesti kytketyt lämmitys- ja/tai jäähdytys välineet (2), - mittalaitteen (4) anturin mitattavalle kaasulle tai sen pitoisuudelle herkän suureen 15 kuten resistanssin tai kapasitanssin mittaamiseksi, ja - välineet (3) anturin (1) lämmittämiseksi syklisesti, • · • · : tunnettu siitä, että • · · • · · • · · - järjestelmä käsittää välineet (5) lämmitystaajuudella tapahtuvien signaalien • · :*·*: ilmaisemiseksi. • · · • · · • · · * 20
10. Patenttivaatimuksen 9 mukainen järjestelmä, tunnettu siitä, että järjestelmä ... käsittää välineet mitatun suuren suodattamiseksi edelleen käytettäväksi siten, että • · · • · · jäljelle jää ainakin olennaisesti lämmitystaaj uinen signaali, joka edullisesti on • · · verrannollinen anturin lämpötilaherkkyyteen. * I
· • · · • · ·;·*: 11. Patenttivaatimuksen 9 tai 10 mukainen järjestelemä, tunnettu siitä, että ,···. 25 järjestelmä käsittää välineet anturin (1) lämpötilan ja mitattavan suureen mittaamiseksi • « · .···. ainakin olennaisesti samanaikaisesti ja välineet lämpötilan mittausarvojen * · • · · suodattamiseksi olennaisesti lämmitystaajuudella. 107840 9
12. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen järjestelmä, tunnettu siitä, että suodatusvälineet on toteutettu analogiatekniikalla, esimerkiksi kaistanpäästösuodattimella.
13. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen jäijestelmä, tunnettu siitä, että 5 suodatusvälineet on toteutettu digitaalitekniikalla, esimerkiksi Fourier-muunnoksella.
14. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen jäijestelmä, tunnettu siitä, että järjestelmä käsittää välineet lämpötilan ja anturin (1) mittausarvon tai anturin vasteesta lasketun suureen suodatettujen mittausarvojen suhteen muodostamiseksi.
15. Patenttivaatimuksen 1 mukainen jäijestelmä, tunnettu siitä, että jäijestelmä 10 käsittää välineet lämmitysjakson aikaisen keskimääräisen lämpötilan käyttämiseksi hyväksi mitattavan suureen määrän mittaukseen tai mittalaitteen näyttämän korjaukseen käytettävän termin laskentaan. 15 • · ♦ · • · · ♦ · · ·«· m • · · ♦ · · ♦ ·· ♦ · • · · • ·« • · ··· « · · ♦ · · ··· • · · • · · ··· • · · • · · ♦ • · · • · · • · · * · • · • · · • · · • · • · «·· » · « • · · ♦ ·· • · • · ··· 10 107840
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI992651A FI107840B (fi) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten |
| EP00660221A EP1109012A3 (en) | 1999-12-09 | 2000-12-05 | Measurement method and system for a humidity of gas concentration sensor |
| US09/731,735 US6564633B2 (en) | 1999-12-09 | 2000-12-08 | Measurement method and system for a humidity or gas concentration sensor |
| JP2000375900A JP2001201478A (ja) | 1999-12-09 | 2000-12-11 | 湿度センサ又はガス濃度センサ用の測定方法及び測定システム |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI992651A FI107840B (fi) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten |
| FI992651 | 1999-12-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI19992651A FI19992651A (fi) | 2001-06-10 |
| FI107840B true FI107840B (fi) | 2001-10-15 |
Family
ID=8555728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI992651A FI107840B (fi) | 1999-12-09 | 1999-12-09 | Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6564633B2 (fi) |
| EP (1) | EP1109012A3 (fi) |
| JP (1) | JP2001201478A (fi) |
| FI (1) | FI107840B (fi) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4352315B2 (ja) * | 2002-10-31 | 2009-10-28 | 日本光電工業株式会社 | 信号処理方法／装置及びそれを用いたパルスフォトメータ |
| US6865940B2 (en) * | 2003-06-25 | 2005-03-15 | General Electric Company | Aluminum oxide moisture sensor and related method |
| WO2006057550A1 (en) * | 2004-11-25 | 2006-06-01 | Texas Instruments Holland B.V. | Sensing module, method for detecting pollutants in air and vehicle ventilation system |
| US7152458B2 (en) * | 2004-11-30 | 2006-12-26 | Honeywell International Inc. | Nano-crystalline and/or metastable metal hydrides as hydrogen source for sensor calibration and self-testing |
| JP2010008323A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Yamatake Corp | 湿度計測装置 |
| EP2763468B1 (en) * | 2013-01-31 | 2017-08-30 | Sensirion AG | Portable sensor device with a gas sensor and method for operating the same |
| EP2763032B1 (en) * | 2013-01-31 | 2016-12-28 | Sensirion AG | Portable electronic device with integrated chemical sensor and method of operating thereof |
| US20140238100A1 (en) * | 2013-02-27 | 2014-08-28 | Qualcomm Incorporated | Method for calibration of sensors embedded or wirelessly connected to a mobile device |
| US10197519B2 (en) | 2013-03-15 | 2019-02-05 | H2Scan Corporation | Gas sensing systems and methods |
| DE102014210122A1 (de) * | 2014-05-27 | 2015-12-03 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids, Verfahren zum Betreiben einer Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids sowie Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung zum Bestimmen eines Werts einer zu messenden Eigenschaft eines Fluids |
| US9759699B1 (en) * | 2015-05-22 | 2017-09-12 | Council On Postsecondary Education | Systems and methods for the detection of compounds |
| US9696272B2 (en) * | 2015-08-07 | 2017-07-04 | Silicon Laboratories Inc. | Systems and methods for humidity measurement using dielectric material-based relative humidity sensors |
| CN109641173B (zh) * | 2016-05-20 | 2022-04-15 | 环球源公司 | 用于水提取控制的系统和方法 |
| US10816498B2 (en) * | 2017-05-30 | 2020-10-27 | Raymond Hoheisel | Humidity sensor and related methods |
| US11703471B1 (en) | 2018-12-20 | 2023-07-18 | University Of Rhode Island Board Of Trustees | Trace detection of chemical compounds via catalytic decomposition and redox reactions |
| WO2022150229A2 (en) | 2020-11-06 | 2022-07-14 | Pgr Holdings, Llc | Decoupled thermodynamic sensing system |
| EP4012393A1 (en) * | 2020-12-09 | 2022-06-15 | Vaisala Oyj | Fast humidity sensor and a method for calibrating the fast humidity sensor |
| US11340183B1 (en) | 2021-06-23 | 2022-05-24 | Pgr Holdings, Llc | Ultrasensitive, ultrathin vapor sensors and arrays |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3825756A (en) * | 1973-05-03 | 1974-07-23 | Barnes Eng Co | Calibration device for a gas analyzer |
| CH668648A5 (de) * | 1984-04-04 | 1989-01-13 | Cerberus Ag | Verfahren und vorrichtung zum nachweis von reduzierenden gasen in einem gasgemisch. |
| US4759210A (en) * | 1986-06-06 | 1988-07-26 | Microsensor Systems, Inc. | Apparatus for gas-monitoring and method of conducting same |
| FI82554C (fi) * | 1988-11-02 | 1991-03-11 | Vaisala Oy | Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. |
| US5307668A (en) * | 1992-10-05 | 1994-05-03 | Badger Meter, Inc. | Gas density meter and method |
| FI96640C (fi) * | 1993-08-23 | 1996-07-25 | Vaisala Oy | Menetelmä suhteellisen kosteuden mittaamiseksi, etenkin radiosondeissa |
| US5816705A (en) * | 1996-07-12 | 1998-10-06 | Badger Meter, Inc. | Measuring heating value of a gas using flameless combustion |
| US5792938A (en) * | 1996-12-13 | 1998-08-11 | Panametrics, Inc. | Humidity sensor with differential thermal detection and method of sensing |
| DE19811069C2 (de) * | 1998-03-13 | 2000-03-09 | Siemens Ag | Meßschaltung zur Ermittlung der Konzentration eines oder mehrerer Gase in einem Gasgemisch |
-
1999
- 1999-12-09 FI FI992651A patent/FI107840B/fi not_active IP Right Cessation
-
2000
- 2000-12-05 EP EP00660221A patent/EP1109012A3/en not_active Withdrawn
- 2000-12-08 US US09/731,735 patent/US6564633B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-12-11 JP JP2000375900A patent/JP2001201478A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FI19992651A (fi) | 2001-06-10 |
| US20010003249A1 (en) | 2001-06-14 |
| EP1109012A3 (en) | 2002-02-20 |
| JP2001201478A (ja) | 2001-07-27 |
| EP1109012A2 (en) | 2001-06-20 |
| US6564633B2 (en) | 2003-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI107840B (fi) | Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten | |
| JP4050857B2 (ja) | 流体判別装置及び流量計測装置 | |
| FI82554B (fi) | Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. | |
| US8590360B2 (en) | Flowmeters and methods for diagnosis of sensor units | |
| EP3004856B1 (en) | Hydrogen sulfide gas detector with humidity and temperature compensation | |
| US20030034443A1 (en) | Absolute humidity sensor to control drying equipment | |
| JP4355792B2 (ja) | 熱式流量計 | |
| US6132083A (en) | Real-time measuring method | |
| US10451575B2 (en) | Gas measurement device and measurement method thereof | |
| US20180252598A1 (en) | Method for calibrating a temperature sensor located in a process of automation technology | |
| JP5111180B2 (ja) | 熱式流量計 | |
| JPH1114580A (ja) | 多レベル感度回路を有するガス・センサ | |
| CN117043555A (zh) | 热式传感器和用于操作热式传感器的方法 | |
| JPH10104183A (ja) | 湿度検出装置及びそれを用いた空気流量測定装置 | |
| JP2008046143A (ja) | 熱式流体センサ及びフローセンサ | |
| JPS6345508A (ja) | エンジンの吸入空気量測定装置 | |
| JPH04186190A (ja) | 湿度測定装置 | |
| JPS6255519A (ja) | 内燃機関の制御に用いられる空気流量検出装置 | |
| JPH0627511B2 (ja) | 内燃機関の制御装置 | |
| JPH10267881A (ja) | ガス分析装置 | |
| JPH0668450B2 (ja) | 内燃機関の制御に用いられる空気流量検出装置 | |
| JPH0646165B2 (ja) | エンジン制御装置に用いられる空気流量検出装置 | |
| JPS63228028A (ja) | 内燃機関の吸入空気量測定装置 | |
| JPH03199971A (ja) | フィルタ目詰まり検出センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Patent lapsed |