FI82554B - Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. - Google Patents

Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. Download PDF

Info

Publication number
FI82554B
FI82554B FI885062A FI885062A FI82554B FI 82554 B FI82554 B FI 82554B FI 885062 A FI885062 A FI 885062A FI 885062 A FI885062 A FI 885062A FI 82554 B FI82554 B FI 82554B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
sensor
gas
temperature
calibration
meadow
Prior art date
Application number
FI885062A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI885062A (fi
FI885062A0 (fi
FI82554C (fi
Inventor
Pekka Belt
Lars Stormbom
Original Assignee
Vaisala Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vaisala Oy filed Critical Vaisala Oy
Priority to FI885062A priority Critical patent/FI82554C/fi
Publication of FI885062A0 publication Critical patent/FI885062A0/fi
Priority to FR8914157A priority patent/FR2640381B1/fr
Priority to DE3936138A priority patent/DE3936138C2/de
Priority to JP1282059A priority patent/JP2758458B2/ja
Priority to US07/430,621 priority patent/US5033284A/en
Priority to GB8924700A priority patent/GB2224578B/en
Publication of FI885062A publication Critical patent/FI885062A/fi
Publication of FI82554B publication Critical patent/FI82554B/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI82554C publication Critical patent/FI82554C/fi

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0006—Calibrating gas analysers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)

Description

82554
Kalibrointimenetelmä kaasun tai höyryn suhteellisen pitoisuuden mittausta varten Tämän keksinnön kohteena on patenttivaatimuksen 1 mukainen kalibrointimenetelmä kaasun tai höyryn suhteellisen pitoisuuden mittausta varten.
Kaasun tai höyryn suhteellisella pitoisuudella tarkoitetaan tässä yhteydessä suhdelukua, joka ilmoittaa kaasun pitoisuuden suhteessa kyseisen kaasun kyllästymispisteen pitoisuuteen. Suhteellisen pitoisuuden arvoa käytetään yleisesti esimerkiksi vesihöyryn pitoisuutta määriteltäessä (suhteellinen kosteus).
Mittalaitteiden tärkeimmät ominaisuudet ovat luotettavuus ja tarkkuus. Siksi tarvitaan erilaisia kalibrointimenetelmiä.
Ideaalinen ratkaisu kenttäkalibrointia varten olisi jonkinlainen automaattinen itsekalibrointi. Tällaisen itseka-libroinnin toteuttaminen on erittäin vaikeaa useimmille parametreille.
Nykyisin kaasujen ja höyryjen suhteellisen pitoisuuden mittarit kalibroidaan kontrolloiduissa laboratorio-olosuhteissa.
Tunnetun tekniikan epäkohtana on se, että kalibrointitapah-tuman hankaluuden vuoksi kalibrointivälit muodostuvat pitkiksi. Tämä puolestaan johtaa epätarkkoihin mittauksiin, koska suhteellisen pitoisuuden mittarit ovat tyypillisesti epästabiilej a.
2 82554 Tämän keksinnön tarkoituksena on poistaa edellä kuvatussa tekniikassa esiintyvät haitat ja saada aikaan aivan uudentyyppinen kalibrointimenetelmä kaasun tai höyryn suhteellisen pitoisuuden mittausta varten.
Keksintö perustuu siihen, että kaasun tai höyryn suhteellista pitoisuutta mittaavan anturielementin lämpötilaa mitataan ja anturielementin lämpötilaa poikkeutetaan ympäristön lämpötilasta yksikäsitteisten kalibrointipisteiden saavuttamiseksi. Kalibroinnissa siis luodaan tunnetut olosuhteet mitattavalle suureelle ja/tai muutetaan näitä olosuhteita siten, että mitattavasta suureesta saadaan lisätietoa.
Täsmällisemmin sanottuna keksinnön mukaiselle kalibrointime-netelmälle on tunnusomaista se, mikä on esitetty patenttivaatimuksen 1 tunnusmerkkiosassa.
Keksinnön avulla saavutetaan huomattavia etuja.
Keksinnön mukainen ratkaisu mahdollistaa automaattisen kalibroinnin kondensoituvien kaasujen (esim. vesihöyry) pitoisuuksien mittaamisessa. Ratkaisulla tarkka ja nopea kalib-; rointi on mahdollista myös kenttäolosuhteissa poistamatta kaasuanturia mittaustilasta. Lyhentyneet kalibrointivälit lisäävät merkittävästi esimerkiksi suhteellista kosteutta mittaavien, melko epästabiilien antureiden mittaustarkkuutta. Saavutetaan myös huomattava huoltovälin pidentyminen.
Keksintöä ryhdytään seuraavassa lähemmin tarkastelemaan oheisen piirustuksen mukaisen sovellusesimerkin avulla.
Kuvio 1 esittää graafisesti vesihöyryn saturaatio-osapainet-ta lämpötilan funktiona.
li 3 82554
Kuvio 2 esittää yhtä keksinnön mukaiseen kalibrointimenetel-mään soveltuvaa anturirakennetta.
Keksinnössä käytetään hyväksi sitä, että lämpötilaa on helppo mitata ja säätää myös kenttäolosuhteissa ja sitä, että kondensoituvan kaasun suhteellinen pitoisuus muuttuu lämpötilan muuttuessa, jos kaasun osapaine säilyy vakiosuuruise-na.
Kondensoituvalle kaasulle herkkä kaasuanturi on usein herkkä mitattavan kaasun suhteelliselle pitoisuuudelle eikä sen absoluuttiselle pitoisuudelle. Tällöin voidaan määritellä mitattavan kaasun suhteellinen pitoisuus seuraavasti: u = pkaasu/ps(T) (1) pkaasu = mitattavan kaasun osapaine PS(T) * mitattavan kaasun saturaatio-osapaine (lämpötilan funktio)
Jos anturin vaste on muotoa: V - f(u) (2) voidaan anturin lämpötilaa muuttamalla (joko lämmittämällä tai jäähdyttämällä) aikaansaada anturin näkemän suhteellisen kaasupitoisuuden muutos. Esimerkiksi anturi voidaan jäähdyttämällä saattaa kondenssiin (jolloin aktiviteetti a = 1) ja lämmittämällä riittävästi aikaansaada erittäin matala aktiviteetti (a lähes 0). Näiden kahden pisteen avulla voidaan suorittaa kahden pisteen kalibrointi anturille. Lämpötila-pisteitä voi tarvittaessa olla useampia, jolloin myös anturin lineaarisuus voidaan mitata.
Kuviossa 1 on esitetty vesihöyryn saturaatio-osapaine lämpötilan funktiona.
4 82554
Kuten kuviosta näkyy, on saturaatio-osapaine lähes ekponen-tiaalisesti riippuvainen lämpötilasta.
Oletustilanteessa ympäristölämpötila on 20eC ja suhteellinen kosteus 50 % (eli suhteellinen aktiviteetti 0,5). Vesihöyryn osapaine on tällöin n. 11,7 hPa. Oletamme että mittalaiteessa on esimerkiksi 5 %:n offset-tyyppinen mittausvirhe, jolloin laitteen näyttämä on 55 %. Laitteen näyttämän ja lämpötilan perusteella laskettu höyryn osapaine on n. 12,9 hPa. Nyt mittalaitteen anturi lämmitetään esimerkiksi 100*C:n lämpötilaan, jolloin anturin näkemä todellinen suhteellinen kosteus muuttuu arvoon 1,2 %. Koska anturissa on offset-tyyppinen mittausvirhe, on laitteen näyttämä nyt 6,2 %. Laitteen ensimmäisen näyttämän (55 %, 20*C, laskettu osapaine 12,9 hPa) perusteella saadaan suhteellisen kosteuden laskennalliseksi arvoksi 100eC:n lämpötilassa 1,3 %. Niinpä näiden kahden mittauksen perusteella itsekalibroiva laitteisto voi korjata näyttämäänsä 4,9 prosenttiyksikköä alaspäin. Esitetty anturin lämmitys 100*C:n lämpötilaan on vain yksi esimerkki. Tärkeintä on, että anturia lämmitetään riittävästi, esimerkiksi ainakin 60*K ympäristön lämpötilaa korkeampaan lämpötilaan.
Seuraavassa esitetään yleisemmin keksinnön mukainen kalib-rointialgoritmi suhteellista kosteutta mittaavaa anturia varten.
Oletukset:
Anturin vaste on muotoa: u = (C - C0)/a (3) u - PW/PS(T)
Pw = vesihöyryn osapaine 5 82554
PS(T) * vesihöyryn saturaatio-osapaine lämpötilassa T
1. Mitataan vaste ympäristölämpötilassa Ti Ci = C0 + a*Pw/Ps(Ti) 2. Jäähdytetään anturi niin kylmäksi, että se varmasti on kasteessa ja mitataan vaste: C2 - C0 + a 3. Lämmitetään anturi ympäristölämpötilaa korkeampaan lämpötilaan T2 ja mitataan vaste: C3 » C0 + a*Pw/Ps(T2) 4. Nyt voidaan ratkaista vallitseva vesihöyryn osapaine: (Ci - C3)*Ps(Ti) PW = - (4) c2 - c3 - Ps(Ti)/Ps(T2)*(C2 - Cl) 5. Vallitsevan vesihöyryn osapaineen avulla voidaan ratkaista Cq : C3 - C2*PW/PS(T2) C0 = - (5) 1 - PW/PS(T2) 6. Ratkaistaan anturin herkkyys a: a = C2 - C0 (6)
Vastaavasti voidaan valita jokin toinen anturia mahdollisesti paremmin kuvaava mallifunktio, esim. logaritminen tai korkeamman asteen polynomi.
6 82554
Jos yleisemmin oletetaan, että anturin vaste on muotoa: n u(C) = Σ ajL * C1 (7) i = 0 saadaan suorittamalla n + l mittausta eri lämpötiloissa n + 1 yhtälön yhtälöryhmä: n PS(TS)( Σ ai * Cs) - Pw = 0 (8) i = 0 n Σ «1 * C(n + 1) - 1 (9) i = 0 Tämä yhtälöryhmä on ratkaistavissa sekä kertoimien a että vallitsevan höyrynpaineen Pw suhteen.
Kuviossa 1 on esitetty yksi mahdollinen tapa toteuttaa lämmitettävä/jäähdytettävä anturi.
Kuviossa näkyy kaasuanturi 1 ja lämpötila-anturi 3, jotka on esim. liimaamalla liitetty tasomaisen pinnan muodostavaan, palkkimaisista elementeistä laskostettuun peltier-element-tiin 2. Anturit 1 ja 3 on edelleen kytketty johtimilla 4 mittauselektroniikkaan. Peltier-elementtiä puolestaan syötetään johtimilla 5. On tärkeää, että kaasuanturi 1 on lähellä lämpötila-anturia 3, jotta lämpötilan mittaustieto olisi tarkka. Kaasuanturi 1 voi olla tyypiltään esimerkiksi ns. humicap-anturi, jollainen on kuvattu esimerkiksi FI-patent-tihakemuksissa 824393 ja 824392. Lämpötila-anturi 3 puolestaan voi olla mikä tahansa kaupallinen lämpötila-anturi, esimerkiksi puolijohde-tai vastusanturi. Tyypillisesti lämpötila-anturina käytetään platina-anturia. Kytkemällä pelti-
II
7 82554 er-elementtiin 2 sähkövirta saadaan antureiden lämpötila aina virran suunnan mukaan joko nousemaan tai laskemaan.
Kalibrointimenetelmää voidaan soveltaa myös esim. alkoholien tai ammoniakin mittaukseen, jos aktiivinen anturimateriaali on ensimmäisessä approksimaatiossa riippuvainen mitattavan kaasun suhteellisesta pitoisuudesta eikä absoluuttisesta pitoisuudesta.

Claims (4)

1. Kalibrointimenetelmä kaasun tai höyryn suhteellisen pitoisuuden mittausta varten, jossa menetelmässä - anturi (1) saatetaan kontrolloituihin olosuhteisiin, joissa määritetään vähintään yksi kalibroin-tipiste, ja - määritetyn kalibrointipisteen avulla lasketaan anturin (1) vaste mitattavan kaasun tai höyryn suhteelliselle pitoisuudelle, tunnettu siitä, että - varsinaisella mittauspaikalla mitataan toistuvasti ja ainakin likimain yhtäaikaisesti sekä anturin (1) lämpötilaa että halutun kaasun tai höyryn suhteellista pitoisuutta, ja - poikkeutetaan anturin (1) lämpötila ympäristön lämpötilasta niin lyhytaikaisesti, että mittaus-paikalla mitattavan kaasun tai höyryn osapaineen voidaan olettaa pysyvän ainakin likimain vakiosuu-ruisena poikkeutuksen ajan, jolloin kunkin poikkeutetussa lämpötilassa suoritetun mittauksen mittaustulosten avulla voidaan laskea korjaustermi anturin kalibroimista varten.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kalibrointimenetelmä, tunnettu siitä, että anturi (1) jäähdytetään 100%:n suhteellisen pitoisuuden kalibrointipisteen määrittämiseksi ainakin niin alhaiseen lämpötilaan, jossa kaasu tai höyry kyllästyy. 9 82554
3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen kalibrointimenetelmä, tunnettu siitä, että anturi (1) alhaisen suhteellisen pitoisuuden kalibrointipisteen määrittämiseksi lämmitetään merkittävästi, esimerkiksi ainakin 60eK ympäristön lämpötilaa korkeampaan lämpötilaan.
4. Jonkin edellisen patenttivaatimuksen mukainen kalibroin-timenetelmä, tunnettu siitä, että anturin lämpötilan poikkeutukseen käytetään peltier-elementtiä. 10 82554
FI885062A 1988-11-02 1988-11-02 Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. FI82554C (fi)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI885062A FI82554C (fi) 1988-11-02 1988-11-02 Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga.
FR8914157A FR2640381B1 (fr) 1988-11-02 1989-10-27 Procede d'etalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur et capteur etalonnable pour effectuer cette mesure
DE3936138A DE3936138C2 (de) 1988-11-02 1989-10-30 Kalibrierverfahren zur Messung der relativen Konzentration von Gas oder Dampf
JP1282059A JP2758458B2 (ja) 1988-11-02 1989-10-31 ガス或は蒸気の相対濃度を測定する為の測定方法及びセンサー
US07/430,621 US5033284A (en) 1988-11-02 1989-11-01 Calibration method for gas or vapor relative concentration sensor
GB8924700A GB2224578B (en) 1988-11-02 1989-11-02 Calibrating the measurement of relative gas or vapour concentration.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI885062A FI82554C (fi) 1988-11-02 1988-11-02 Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga.
FI885062 1988-11-02

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI885062A0 FI885062A0 (fi) 1988-11-02
FI885062A FI885062A (fi) 1990-05-03
FI82554B true FI82554B (fi) 1990-11-30
FI82554C FI82554C (fi) 1991-03-11

Family

ID=8527299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI885062A FI82554C (fi) 1988-11-02 1988-11-02 Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US5033284A (fi)
JP (1) JP2758458B2 (fi)
DE (1) DE3936138C2 (fi)
FI (1) FI82554C (fi)
FR (1) FR2640381B1 (fi)
GB (1) GB2224578B (fi)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4014930A1 (de) * 1990-05-10 1991-11-14 Draegerwerk Ag Verfahren fuer den betrieb einer messanordnung zum nachweis des anteils von brennbaren gasen
DE4030516A1 (de) * 1990-09-27 1992-04-02 Draegerwerk Ag Verfahren zur konzentrationsueberwachung eines gasfoermigen bestandteils in einem abgeschlossenen raum
DE4302367A1 (de) * 1993-01-28 1994-08-04 Rwe Energie Ag System zur indirekten Ermittlung kritischer Zustände von zustandsabhängig Gase entwickelnden Stoffen, Anlagenteilen ect.
FR2716975A1 (fr) * 1994-03-04 1995-09-08 Coreci Procédé et dispositif pour l'autocalibration d'appareils de mesure d'humidité.
US5394934A (en) * 1994-04-15 1995-03-07 American Standard Inc. Indoor air quality sensor and method
JPH08313468A (ja) * 1995-05-24 1996-11-29 Taiyo Toyo Sanso Co Ltd 過酸化水素蒸気の濃度検出方法及びその装置
US5792938A (en) * 1996-12-13 1998-08-11 Panametrics, Inc. Humidity sensor with differential thermal detection and method of sensing
US6230543B1 (en) * 1999-10-21 2001-05-15 Johnson Controls Technology Co. Humidity detector calibration method
FI107840B (fi) * 1999-12-09 2001-10-15 Vaisala Oyj Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten
DE10203484A1 (de) * 2001-06-08 2002-12-12 Continental Teves Ag & Co Ohg Drucksensoranordnung für Kraftfahrzeugbremssysteme und Verfahren zur Kalibrierung eines Drucksensors
DE10141408B4 (de) * 2001-08-23 2005-03-24 Knick Elektronische Meßgeräte GmbH & Co. Verfahren zur Bestimmung der Kalibrier-Intervallzeit von elektrochemischen Messsensoren
DE10203637B4 (de) * 2002-01-30 2004-09-16 Testo Ag Verfahren und Vorrichtung zur Kalibrierung eines Feuchtesensors
DE102004005353B4 (de) 2004-02-03 2016-08-11 CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH Verfahren zur Bestimmung der Parameter von Gasen
DE102004007526A1 (de) * 2004-02-17 2005-09-01 Oetjen, Georg-Wilhelm, Dr. Verfahren und Einrichtung zur Gefriertrocknung von Produkten
US7152458B2 (en) * 2004-11-30 2006-12-26 Honeywell International Inc. Nano-crystalline and/or metastable metal hydrides as hydrogen source for sensor calibration and self-testing
FI20050530A (fi) * 2005-05-18 2006-11-19 Vaisala Oyj Menetelmä ja laitteisto suhteellisen pitoisuuden mittauksen kalibroimiseksi
TWI314989B (en) * 2006-06-23 2009-09-21 Fego Prec Ind Co Ltd Humidity sensor having temperature compensation self-comparing and manufacturing method therefore
DE102007005544B4 (de) * 2007-02-06 2008-10-02 Behr-Hella Thermocontrol Gmbh Messung der relativen Luftfeuchtigkeit im Innenraum eines Fahrzeuges und Kalibrierung eines Feuchtesensors
SE535032C2 (sv) * 2010-03-23 2012-03-20 Rikard Bergsten System och förfarande för att nedbringa mätfel hos en fuktsensor vid luftväxling eller luftcirkulering av ett utrymme
DE102010030338A1 (de) * 2010-06-22 2011-12-22 Robert Bosch Gmbh Sensormodul und Betriebsverfahren hierfür
DE102010063066B4 (de) * 2010-12-14 2016-06-02 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Verfahren und Vorrichtung zum Überwachen eines Druckmessaufnehmers in Prozessanlagen
CN104067120B (zh) * 2014-06-27 2016-05-25 深圳华盛昌机械实业有限公司 一种湿度传感器数值补偿方法、装置及空气质量检测仪
DE102015001500A1 (de) * 2015-02-05 2016-08-11 Hella Kgaa Hueck & Co. Verfahren zur Kalibration mindestens eines Sensors, insbesondere eines Drucksensors, mit mindestens einer signalleitenden Verbindung zu mindestens einem Signalwandler
US10718682B2 (en) 2015-02-05 2020-07-21 Hella Kgak Hueck & Co. Method for calibrating at least one sensor, in particular a pressure sensor, having at least one signal-conducting connection to at least one signal converter
CN105424767B (zh) * 2015-10-29 2018-02-16 上海申矽凌微电子科技有限公司 湿度传感器芯片大批量生产的测试装置及测试方法
DE102018201946A1 (de) * 2018-02-08 2019-08-08 Audi Ag Verfahren und Vorrichtung zur Plausibilisierung der Messwerte eines Feuchtesensors
CN110426495A (zh) * 2019-09-29 2019-11-08 江西珉轩智能科技有限公司 一种基于大数据的环境监测校验方法
CN112484916B (zh) * 2020-11-27 2022-04-19 北京航天计量测试技术研究所 一种贴片式压力传感器温度响应特性校准方法
CN112946201A (zh) * 2021-03-09 2021-06-11 深圳市英乐斐科技有限公司 一种校准过氧化氢浓度传感器的方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1758494A (en) * 1926-03-04 1930-05-13 Leeds & Northrup Co Relative-humidity recorder
US3416356A (en) * 1965-12-17 1968-12-17 Vapor Corp Dew point hygrometer
FI65674A (fi) * 1974-03-06 1975-09-07 Kajaani Oy
US3973848A (en) * 1974-12-19 1976-08-10 United Technologies Corporation Automatic gas analysis and purging system
GB1511467A (en) * 1975-04-22 1978-05-17 Nissan Motor Closed-loop mixture control system for internal combustion engine using errorcorrected exhaust gas sensors
FI58402C (fi) * 1977-12-02 1981-01-12 Vaisala Oy Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare
JPS5552938A (en) * 1978-10-16 1980-04-17 Nissan Motor Co Ltd Drunken drive preventing device
SU928291A2 (ru) * 1980-06-04 1982-05-15 Предприятие П/Я М-5534 Солевой генератор влажного воздуха
FR2486656A1 (fr) * 1980-07-09 1982-01-15 Commissariat Energie Atomique Hygrometre capacitif
US4468948A (en) * 1981-03-11 1984-09-04 Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha Method and apparatus for measuring the concentration of a gaseous or volatile substance in a liquid
JPS57200850A (en) * 1981-06-04 1982-12-09 Ngk Insulators Ltd Detector for oxygen concentration
JPS5830650A (ja) * 1981-08-18 1983-02-23 Nippon Soken Inc ガス成分検出器
DE3140875A1 (de) * 1981-10-14 1983-04-28 Hellige Gmbh, 7800 Freiburg Verfahren und vorrichtung zur automatischen kalibrierung von mess- und anzeigegeraeten zur bestimmung des sauerstoffpartialdrucks
JPS58158552A (ja) * 1982-03-15 1983-09-20 Yamatake Honeywell Co Ltd ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法
DE3231995C2 (de) * 1982-08-27 1985-06-27 Endress U. Hauser Gmbh U. Co, 7867 Maulburg Verfahren und Anordnung zum Messen der Verschmutzung eines kapazitiven Taupunktsensors
FI65674C (fi) * 1982-12-21 1984-06-11 Vaisala Oy Kapacitiv fuktighetsgivare och foerfarande foer framstaellningdaerav
JPS59212761A (ja) * 1983-05-19 1984-12-01 Fuigaro Giken Kk 気体成分検出装置
DE3409401A1 (de) * 1984-03-14 1985-09-19 Winfried Dr.-Ing. 7500 Karlsruhe Lück Wasserdampfdruckkompensierende feuchtemesseinrichtung
US4572900A (en) * 1984-04-25 1986-02-25 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Organic semiconductor vapor sensing method
DE3437445A1 (de) * 1984-10-12 1986-05-07 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren und einrichtung zur kompensation der temperaturabhaengigkeit einer elektrochemischen messzelle
JPS61124859A (ja) * 1984-11-22 1986-06-12 Yamatake Honeywell Co Ltd 湿度検出用素子
DE3546409A1 (de) * 1985-12-31 1987-07-02 Conducta Mess & Regeltech Verfahren und vorrichtung zur selbsttaetigen kalibrierung von chemischen sensoren
JPS62291557A (ja) * 1986-06-11 1987-12-18 Hitachi Ltd ガス検知装置
JPS6363936A (ja) * 1986-09-04 1988-03-22 Ngk Insulators Ltd 工業用ガス濃度測定装置
DE3708697A1 (de) * 1987-03-18 1988-09-29 Draegerwerk Ag Verfahren und anordnung zur messung des taupunktes
US4847783A (en) * 1987-05-27 1989-07-11 Richard Grace Gas sensing instrument

Also Published As

Publication number Publication date
FR2640381B1 (fr) 1993-12-24
GB2224578A (en) 1990-05-09
FR2640381A1 (fr) 1990-06-15
JPH02171647A (ja) 1990-07-03
JP2758458B2 (ja) 1998-05-28
GB8924700D0 (en) 1989-12-20
DE3936138C2 (de) 1998-09-10
GB2224578B (en) 1993-01-06
DE3936138A1 (de) 1990-05-03
FI885062A (fi) 1990-05-03
US5033284A (en) 1991-07-23
FI885062A0 (fi) 1988-11-02
FI82554C (fi) 1991-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI82554B (fi) Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga.
US5792938A (en) Humidity sensor with differential thermal detection and method of sensing
US20110079074A1 (en) Hydrogen chlorine level detector
EP2930499A2 (en) System, method and apparatus for humidity sensor temperature compensation
US8148691B1 (en) Calibration methodology for NDIR dew point sensors
US5303167A (en) Absolute pressure sensor and method
FI107840B (fi) Mittausmenetelmä ja järjestelmä kosteus- tai kaasuanturia varten
EP2887057A1 (en) Device and method of humidity compensated gas concentration monitoring by thermal conductivity measurements
JP3310430B2 (ja) 計測装置および計測方法
US20060163460A1 (en) Arrangement and method for compensation of the temperature dependency of detectors in spectrometers
US20190079034A1 (en) Method and device for determining concentration of gas components in a gas mixture
CN111595910A (zh) 一种浓度计算方法
Skierucha Design and performance of psychrometric soil water potential meter
US20220128502A1 (en) Sensor Device and Method for Operating A Sensor Device
EP0672245B1 (en) Humidity measuring instrument
Koll et al. Micromachined CMOS calorimetric chemical sensor with on-chip low noise amplifier
JP3502085B2 (ja) 計測装置
JPS6159252A (ja) 湿度測定方法
US11927514B2 (en) Method and device for calibrating a fluid detector having a preconcentrator
JP2001281182A (ja) 湿度検出装置
Rajamäki et al. D3: Protocol for the SI-traceable calibration of oxidised mercury (HgII) gas generators used in the field.
SU1185207A1 (ru) Способ детектировани молекул в атмосфере неизмер емого компонента
US10365241B2 (en) Sensing system for a humidity sensor
Dahlstrom et al. A modified system of temperature control for the varian HA-100 NMR spectrometer
Bürgler et al. Combined humidity-and temperature sensor

Legal Events

Date Code Title Description
FG Patent granted

Owner name: VAISALA OY

MA Patent expired