FI58402C - Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare - Google Patents
Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare Download PDFInfo
- Publication number
- FI58402C FI58402C FI773680A FI773680A FI58402C FI 58402 C FI58402 C FI 58402C FI 773680 A FI773680 A FI 773680A FI 773680 A FI773680 A FI 773680A FI 58402 C FI58402 C FI 58402C
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- sensor
- humidity
- equipment
- heating
- electrical
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
- G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
- G01N27/225—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity by using hygroscopic materials
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
.. KUULUTUSjULKAlSU CQA no ™ <11) UTLÄGGNI NCSSKRIFT 5 84 0 2 c Patentti ayunnetty 12 OI 1081 • inli (45) ' 1 Patent aeddelat ^ * ' (51) Kv.ik.Wa3 G 01 IT 27/22 SUOMI —FINLAND (21) P*»n«rh«lwtm» — P«wt»n«6knlii| TT3680
(22) HtkwnltpUvl—Amdknlngad«| 02.12. TT
(23) Alkuplivl— QIMth«c«d»| 02.12.77 (41) Tullut JulklMlul — Bllvlt 03.06.79 PMMttl. J* r.kl.t«rlh*IIItu. NihtMtoip™ |. kuuUjulk^ pvm.- P»tant> oeh r*gi>t«ntyr*la«n 7 AiwMcm uti*|d och utukriftM puMiMnd 30.09.80 (32)(33)(31) pyydetty «tuelkuu»—Begird pdoHtut (71) Vaisala Oy, 00U20 Helsinki U2, Suomi-Finland(Fl) (72) Veijo Antikainen, Vantaa, Jouko Jalava, Klaukkala, Eero Salasmaa,
Helsinki, Suomi-Finland(FI) (7^) Forssan & Salomaa Oy (5*0 Menetelmä sähköisen kosteusanturin ei-haluttujen ominaisuuksien pienentämiseksi - Förfarande för nedsättning av icke önskvärda egenska-, per hos en elektrisk fuktighetsgivare
Keksinnön kohteena on menetelmä sähköisen, impedanssin muutokseen perustuvan, kosteusanturin palautuvien muutosten aiheuttamisen ei-haluttujen ominaisuuksien pienentämiseksi, etenkin kapasitiivisessa kosteusanturissa, jonka kosteudelle herkkänä materiaalina on orgaaninen polymeeri, jonka kosteusanturin kosteudelle herkkää materiaalia lämmitetään, ainakin suuremmilla suhteellisilla kosteuksilla, kosteusanturin ympäristön lämpötilaa suurempaan lämpötilaan.
Ennestään tunnetaan useita erilaisia sähköisesti ilmaistuja kosteusantureita, joiden impedanssi muuttuu mitattavan kosteuden funktiona. Tällaisia kosteusantu-reita tunnetaan esim. USA-patenteista n:ot 3 168 829 ja 3 350 941 sekä hakijan suomalaisesta patentista n:o 48 229.
Suomalaisessa patentissa n:o 48 229 on esitetty kapasitiivinen kosteusanturi, jossa dielektrisena aineena on poIymeerika Ivo, jonka dieIektrisyysvakio on poly-merikalvon absorboiman vesimäärän funktio. Edellä esitetyissä ja muissakin impedanssin muutokseen perustuvissa kosteusantureissa esiintyy ei-toivuttuja ilmiöitä, etenkin suuria kosteuspitoisuuksia mitattaessa. Tällaisia ilmiöitä ovat mm. anturin hidas ryömiminen, joka voi aiheutua useista eri tekijöistä. Yleisesti on kuitenkin tällöin kysymys palautuvista ilmiöistä, joiden entistä parempaan hallintaan keksinnöllä tähdätään tarkoituksena entistä suuremman anturin nopeuden 2 58402 aikaansaaminen ja mittaustarkkuuden parantaminen, etenkin suurilla esim. yli 90 %:n suhteellisilla kosteuksilla.
Esillä olevaan keksintöön liittyvän tekniikan tason osalta viitataan GB-patentti-julkaisuun n:o I 401 172, jossa on hygrometri, jossa kosteudelle herkäksi materiaaliksi on ilmoitettu alumiinioksidi. Tämän viitepatentin mukaisesti kosteudelle herkän elementin lämpötilaa pidetään vakiona.
Edellä esitettyihin ja myöhemmin selviäviin päämääriin pääsemiseksi keksinnölle on pääasiallisesti tunnusomaista se, että anturin lämmitystehoa säädetään mitattavan kosteuden funktiona.
Seuraavassa keksintöä selostetaan yksityiskohtaisesti viittaamalla oheisen piirustuksen kuvioissa kaavi o 11isesti esitettyyn keksinnön sovellutusesimerkkiin, jonka kohteena on kapasitiivinen kosteusanturi, jossa kosteudelle herkkänä aineena on orgaaninen polymeeri. On kuitenkin tässä yhteydessä korostettava, että keksinnön mukainen menetelmä soveltuu käytettäväksi muunkin tyyppisissä kosteusantureissa, joissa tarvitaan edellä käsiteltyjen ja myöhemmin selviävien haitallisten ilmiöiden entistä parempaa hallintaa.
Kuvio I esittää kaaviollisena kuvantona, osittain lohkokaaviona, keksinnön menetelmän erästä sovellutusta.
Kuvio 2 esittää leikkausta ll-ll kuvion I varsinaisesta kosteusanturista.
Kuvioissa I ja 2 esitetty kosteusanturi on sinänsä tunnettu hakijan suomalaisesta patentista n:o 48 229. Anturin 10 pohjana on veden absorption suhteen passiivinen tukialusta II, kuten lasilevy. TukiaIustalle II on tehty ohutkalvo-tekniikasta tunnetulla tavalla metalloimalla pohjakontakti 12, Joihin on kiinnitetty juotoksi Ma 16 kontakti johti met 21, joista kapasitanssia mitataan ja ilmaistaan laitteella, joita kuviossa I on kaavioi Iisesti esitetty lohkoilla 20 ja 22. Anturissa 10 on aktiivisena aineena ohut esim. paksuudeltaan n. 10 um suuruusluokkaa oleva polymeeri ka Ivo 13. PolymeerikaI von 13 päälle on tyhjöhöyrys-tetty, sputrattu tai kemiallisesti muodostettu ohut vesihöyryä läpäisevä pinta kontakti 14, joka ei ole galvaanisessa kosketuksessa kumpaankaan pohjakontakti in 12. Näin muodostuu mitattava kapasitanssi alueella d ja e (kuvio 2) pöhjakontaktien 12 ja pintakontaktin 14 välille syntyvien kapasitanssien sarja-kytkennästä.
VesimolokyyI ien absorboituessa kalvon 13 kosteusherkkään materiaaliin tapahtuu 3 58402 veden sitoutumista kahteen eri ilmiöön perustuen. Toinen sitoutuminen tapahtuu mo IekyIäärise IIä tasolla antaen nopean ja yleensä lineaarisen vasteen kapasitanssin muutoksen muodossa. Toisena ilmiönä on hyvin kosteissa olosuhteissa yleensä n. 90 % suuremmilla suhteellisilla kosteuksilla ilmenevä ns. turpoamisefekti, jossa kalvon 13 kosteusherkkään materiaaliin sitoutuu vettä ikäänkuin taskuihin. Tämä ilmiö on luonteeltaan huomattavasti hitaampi kuin edellä selostettu ilmiö ja sen aiheuttamana epäkohtana on anturin ryömiminen suuria kosteuksia mitattaessa. Seurauksena on myös anturikapasitanssi n Q-arvon (tehokertoimen) huononeminen, mitä tämän keksinnön eräissä sovellutus-muodoissa käytetään aktiivisesti hyväksi esillä olevien ei-toivottujen ilmiöiden haitallisten vaikutusten pienentämiseen myöhemmin selviävällä tavalla.
Kuvion I mukaisesti mittausanturiin syötetään kontakti johtimien 21 kautta sopivan taajuinen mittausvirta 1 ja tämän virran suuruutta käytetään anturilla 10 mitattavan kosteuden perustana. Edellä selostetuista syistä johtuen etenkin suurilla kosteusarvoiI la kontakteista 16 näkyvä impedanssi ZM ei ole puhdas kapasitanssi, vaan sillä on tietty resist!ivinen komponentti niin, että voidaan merkitä mitattava kapasitanssi = Rq + j^-q- (sijaiskyt-kentänä resistanssin ja kapasitanssiin sarjakytkentä), missä Rq edustaa dielektrisen polymeerin häviövastusta ja CM mitattavan impedanssin kapasitiivista komponenttia. Suurilla kosteuksilla selostetun turpoamisefektin vaikutuksesta häviövastuskomponentti Rq kasvaa ja tällöin kondensaattorin resistiivisessä komponentissa R syntyvä, anturia lämmittävä häviÖteho= 2 0 W = I R , missä I = mittausvirran teholIisarvo.
o
Keksinnön mukaisesti tapahtuva anturin lämmittäminen voidaan ajatella vaikuttavan joko siten, että haitallinen anturiin imeytynyt kosteus poistuu kosteudelle herkästä aineesta nopeammin lämpötilan noustessa ja/tai siten, että jonkun verran ympäristön lämpötilaa korkeammassa lämpötilassa oleva anturi lämmittää sitä välittömästi ympäröivän Ϊ Imaker-roksen, jolloin rajapinnassa olevan ilman suhteellinen kosteus ei pääse nousemaan anturin toiminnan kannalta haitallisen suuriin arvoihin.
Kuvion I mukaisesti anturin 10 eristeainekerroksen 13 lämmittäminen tapahtuu anturiin itseensä johdetulla sähkövirralla I, joka on sama kuin anturin oma mittausvirta, ja aiheuttamalla häviöitä mittauskapasitanssln dielektrisessä materiaalissa, siis kerroksessa 13. Käytännössä kyseinen lämmittäminen tapahtuu kuvion I mukaisesti siten, että anturin 10 syöttöjännite 4 58402 U nostetaan keksinnön menetelmän kannalta sopivan suuruiselle tasolle.
Tässä keksinnön sovelIutusmuodossa on etuna se, että anturi 10 itsesäätöises-ti lämpenee enemmän suurilla kosteuksilla (verraten suuri häviövastus R ) ja lämpeneminen kuten häviötkin ovat pienempiä alemmilla kosteuksilla, jolloin lämmittämistä ei tarvitakaan. Näin ollen pienemmillä kosteuksilla keksinnön mukainen lämmittäminen ei aiheuta merkittävää virhettä tai korjaustarvetta kosteusmittauksessa.
Kuvion I mukaisesti on keksintöä sovellettu niin, että eristeainekerroksen 13 yhteyteen sovitetulla lämpötila-anturilla 15 mitataan dielektrisen materiaalin lämpötilaa Ts ja tätä mittausta käytetään sopivalla tavalla hyväksi (yhde 18) eristeainekerroksen 13 lämmityksessä. Käytännössä tämä tapahtuu niin, että lämpötilan T perusteella säädetään syöttöjännitettä U käytännössä sopivaksi havaitun riippuvuuden mukaisesti.
Kuvion I mukaisesti lisäksi mitataan anturin 10 ympäristön lämpötila TQ mittausanturilla 17 ja tämä mittaustieto johdetaan mittauslaitteisiin 20 ja käytetään sopivalla tavalla hyväksi anturin 10 lämmityksen säädössä.
- Kuviossa I on suhteellisen kosteuden (RH) osoitus laitetta esitetty lohkolla 22.
Keksinnön piirissä pysyen voidaan anturia 10 tai muuta vastaavaa anturia lämmittää muutenkin kuin anturin omalla mittausvirralla. Lämmitys voidaan suorittaa esim. siten, että anturin 10 substraatin II päälle tehdään esim. metal I o i ma I I a erityinen lämmitysvastus, Johon johdetaan sähkövirta sopivimmin muiden suureiden mukaan suuruudeltaan säädetty sähkövirta.
Lämmitys voidaan suorittaa myös muuliakin anturin yhteyteen sovitetulla Iämmityselimellä tai jopa ulkopuolisella säteilylähteellä.
Lämmitysenergian säätöön voidaan käyttää kuten edellä on selvinnyt itse kosteusanturin antamaa kosteus informaatiota. Lisäksi lämmityksen säätöön voidaan käyttää edellä mainittujen lämpötilojen Ts ja Tq sisältävää informaatiota, esim. niin että suurilla, kuten yli 90 /6:n suhteellisilla kosteuksilla mittaustulosta korjataan lämpötilaeron ΔΤ = Tg - Tq verrannollisella signaaliI la.
Eräissä sovellutuksissa on edullista, että keksinnön mukainen lämmitys kytketään pois kosteuden mittaamisen ajaksi sen ollessa kytkettynä muina
Claims (4)
1. Menetelmä sähköisen, impedanssin muutokseen perustuvan, kosteusanturin palautuvien muutosten aiheuttamien ei-ha Iuttujen ominaisuuksien pienentämiseksi, etenkin kapasitiivisessa kosteusanturissa (10), jonka kosteudelle herkkänä materiaalina on orgaaninen polymeeri, jonka kosteusanturin kosteudelle herkkää materiaalia (13) lämmitetään, ainakin suuremmilla suhteellisilla kosteuksilla, kosteusanturin ympäristön lämpötilaa (T ) suurempaan lämpötilaan (Tg), tunnettu siitä, että anturin lämmitystehoa säädetään mitattavan kosteuden funktiona.
2. Patenttivaatimuksen I mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että anturin lämmitysteho kytketään pois kosteusmittauksen suorituksen ajaksi.
3. Patenttivaatimuksen I tai 2 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että menetelmässä mitataan anturin lämpötila (T ) ja/tai uIkolämpötiIa (TQ) ja tätä tai näitä mittaussuureita käytetään hyväksi kosteusmittausarvojen korjaamisessa.
4. Patenttivaatimuksen 1,2 tai 3 mukainen menetelmä, jossa anturia lämmitetään anturin yhteyteen sovitetun erillisen Iämmitysvastuksen avulla, tunnet-t u siitä, että anturin lämmitystehon säätö suoritetaan mainitun lämmitys-vastuksen kautta kulkevan sähkövirran säädöllä. 1 Patenttivaatimuksen I mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että anturin lämmitys suoritetaan ainakin osittain itsesäätöisesti, kapasitiivisen (C^) anturin (10) eristeaineen (13) sähköisten häviöiden avulla.
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI773680A FI58402C (fi) | 1977-12-02 | 1977-12-02 | Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare |
| ZA786573A ZA786573B (en) | 1977-12-02 | 1978-11-22 | A procedure for minimizing the non-desired properties of a humidity sensor |
| FR7833753A FR2410821A1 (fr) | 1977-12-02 | 1978-11-29 | Procede pour minimiser les proprietes indesirables d'un detecteur d'humidite |
| AU42033/78A AU4203378A (en) | 1977-12-02 | 1978-11-29 | Minimizing the non-desired properties of a humidity sensor |
| DE2851686A DE2851686C2 (de) | 1977-12-02 | 1978-11-29 | Verfahren zum Bestimmen der relativen Feuchte von Gasen |
| GB7846486A GB2011093A (en) | 1977-12-02 | 1978-11-29 | A humidity sensor |
| JP14730878A JPS5494090A (en) | 1977-12-02 | 1978-11-30 | Method of minimizing undesirable characteristics of humidity sensor |
| BR7807935A BR7807935A (pt) | 1977-12-02 | 1978-12-01 | Processo para minimizacao das propriedades indesejaveis de um sensor de unidade |
| IT30461/78A IT1100442B (it) | 1977-12-02 | 1978-12-01 | Procedimento per ridurre al minimo le proprieta' non desiderate di un rivelatore di umidita' |
| JP61165684A JPS6263852A (ja) | 1977-12-02 | 1986-07-16 | 温度補償の容量型湿度センサ |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI773680A FI58402C (fi) | 1977-12-02 | 1977-12-02 | Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare |
| FI773680 | 1977-12-02 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI773680A FI773680A (fi) | 1979-06-03 |
| FI58402B FI58402B (fi) | 1980-09-30 |
| FI58402C true FI58402C (fi) | 1981-01-12 |
Family
ID=8511289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI773680A FI58402C (fi) | 1977-12-02 | 1977-12-02 | Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JPS5494090A (fi) |
| AU (1) | AU4203378A (fi) |
| BR (1) | BR7807935A (fi) |
| DE (1) | DE2851686C2 (fi) |
| FI (1) | FI58402C (fi) |
| FR (1) | FR2410821A1 (fi) |
| GB (1) | GB2011093A (fi) |
| IT (1) | IT1100442B (fi) |
| ZA (1) | ZA786573B (fi) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI58403C (fi) * | 1979-03-29 | 1981-01-12 | Vaisala Oy | Regleranordning i fuktighetsgivare |
| JPS5667742A (en) * | 1979-10-26 | 1981-06-08 | Kaelle Eur Control | Apparatus for and method of separately providing conductivity* dielectric coefficient and measured value of water content of granular material |
| US4352059A (en) * | 1980-06-13 | 1982-09-28 | Massachusetts Institute Of Technology | Determination of moisture level in materials |
| DE3513065C1 (de) * | 1985-04-12 | 1986-01-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Sonde zur hystereselosen Messung der relativen Feuchte der Luft |
| EP0317871A3 (de) * | 1987-11-24 | 1991-03-06 | Siemens Aktiengesellschaft | Sensor zum Nachweis gasförmiger Stoffe |
| FI82554C (fi) * | 1988-11-02 | 1991-03-11 | Vaisala Oy | Kalibreringsfoerfarande foer maetning av den relativa halten av gas eller aonga. |
| FI95626C (fi) * | 1993-09-29 | 1996-02-26 | Vaisala Oy | Menetelmä ja järjestely kosteuden mittauksessa, etenkin radiosondeissa |
| FI99164C (fi) * | 1994-04-15 | 1997-10-10 | Vaisala Oy | Menetelmä kastepisteen tai kaasupitoisuuden mittaamiseksi sekä laitteisto jäätymisen ennakoimista varten |
| DE4426736C2 (de) * | 1994-07-28 | 1999-12-23 | Mannesmann Vdo Ag | Feuchtesensor für eine Fensterscheibe eines Kraftfahrzeugs |
| AT1469U1 (de) * | 1996-04-10 | 1997-05-26 | E & E Elektronik Gmbh | Verfahren zum ermitteln der absoluten luftfeuchtigkeit |
| DE19729697C1 (de) | 1997-07-11 | 1999-02-11 | Mannesmann Vdo Ag | Anordnung zum Bestimmen der relativen Luftfeuchte |
| DE19953195A1 (de) * | 1999-11-05 | 2001-05-23 | Preh Elektro Feinmechanik | Sensor zur Ermittlung von Feuchtigkeit und/oder Nässe, insbesondere in Bremssystemen von Nutzfahrzeugen |
| DE10019551A1 (de) * | 2000-04-20 | 2001-10-25 | Elk Ges Fuer Erstellung Layout | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der relativen Feuchte in Luft-/Gasgemischen |
| DE10051558C2 (de) * | 2000-10-18 | 2003-04-17 | Sitronic Elektrotech Ausruest | Sensoreinheit mit einem Luftfeuchte-Sensor und mit einem Lufttemperatur-Sensor |
| DE10141408B4 (de) * | 2001-08-23 | 2005-03-24 | Knick Elektronische Meßgeräte GmbH & Co. | Verfahren zur Bestimmung der Kalibrier-Intervallzeit von elektrochemischen Messsensoren |
| DE10335553A1 (de) | 2003-08-02 | 2005-02-17 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Verfahren und Anordnung zur Feuchtemessung |
| JP2016509226A (ja) * | 2013-02-22 | 2016-03-24 | ヴァイサラ オーワイジェー | ラジオゾンデおよび高温で実施される大気測定方法 |
| CN105229463B (zh) | 2013-05-30 | 2019-08-02 | 维萨拉公司 | 双气体传感器结构及测量方法 |
| DE102017210064A1 (de) | 2017-06-14 | 2018-12-20 | E + E Elektronik Ges.M.B.H. | Verfahren zum Betrieb einer Sensoranordnung und hierzu geeignete Sensoranordnung |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB557613A (en) * | 1940-05-03 | 1943-11-29 | British Thomson Houston Co Ltd | Improved arrangement for the indication of atmospheric moisture |
| US3350941A (en) * | 1965-05-20 | 1967-11-07 | Johnson Service Co | Humidity sensing element |
| FI48229C (fi) * | 1972-10-12 | 1974-07-10 | Vaisala Oy | Kapasitiivinen kosteusanturi ja sen valmistumenetelmä. |
| JPS5434628Y2 (fi) * | 1973-06-06 | 1979-10-23 | ||
| GB1464605A (en) * | 1973-08-14 | 1977-02-16 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Humidity-sensitive sensor |
| US3859502A (en) * | 1974-02-11 | 1975-01-07 | Anthony S Mfg Co | Defrosting system for refrigerator doors |
-
1977
- 1977-12-02 FI FI773680A patent/FI58402C/fi not_active IP Right Cessation
-
1978
- 1978-11-22 ZA ZA786573A patent/ZA786573B/xx unknown
- 1978-11-29 GB GB7846486A patent/GB2011093A/en not_active Withdrawn
- 1978-11-29 FR FR7833753A patent/FR2410821A1/fr active Granted
- 1978-11-29 AU AU42033/78A patent/AU4203378A/en active Pending
- 1978-11-29 DE DE2851686A patent/DE2851686C2/de not_active Expired
- 1978-11-30 JP JP14730878A patent/JPS5494090A/ja active Granted
- 1978-12-01 BR BR7807935A patent/BR7807935A/pt unknown
- 1978-12-01 IT IT30461/78A patent/IT1100442B/it active
-
1986
- 1986-07-16 JP JP61165684A patent/JPS6263852A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FI773680A (fi) | 1979-06-03 |
| GB2011093A (en) | 1979-07-04 |
| ZA786573B (en) | 1980-03-26 |
| IT7830461A0 (it) | 1978-12-01 |
| JPH0151771B2 (fi) | 1989-11-06 |
| IT1100442B (it) | 1985-09-28 |
| FI58402B (fi) | 1980-09-30 |
| AU4203378A (en) | 1979-06-07 |
| DE2851686A1 (de) | 1979-06-07 |
| FR2410821A1 (fr) | 1979-06-29 |
| BR7807935A (pt) | 1979-07-31 |
| JPS6263852A (ja) | 1987-03-20 |
| FR2410821B1 (fi) | 1984-04-20 |
| DE2851686C2 (de) | 1981-10-01 |
| JPH0340334B2 (fi) | 1991-06-18 |
| JPS5494090A (en) | 1979-07-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI58402C (fi) | Foerfarande foer nedsaettning av icke oenskvaerda egenskaper hos en elektrisk fuktighetsgivare | |
| FI96640B (fi) | Menetelmä suhteellisen kosteuden mittaamiseksi, etenkin radiosondeissa | |
| FI58403B (fi) | Regleranordning i fuktighetsgivare | |
| KR0157605B1 (ko) | 캐퍼시턴스 습도 감지기 | |
| US3983527A (en) | Humidity-sensitive sensor | |
| FI94556C (fi) | Hygrometri | |
| JP2938531B2 (ja) | 容量性湿度センサの製造方法 | |
| AU2007292328B2 (en) | Method and apparatus for controlling the sensitivity and value of a capacitive humidity sensor | |
| US5358618A (en) | Capillary electrophoresis apparatus with improved electroosmotic flow control | |
| Cha et al. | Preparation of epoxy/polyelectrolyte IPNs for flexible polyimide-based humidity sensors and their properties | |
| US5320730A (en) | Capillary electrophoresis apparatus with improved electroosmotic flow control | |
| JPH07218465A (ja) | 液体の存在または同内の相の変化あるいはその両方の観察のための検出器および方法 | |
| FI85770B (fi) | Foerfarande i samband med impedansgivare i radiosonder. | |
| AU736573B2 (en) | Liquid level sensor | |
| SE9901755L (sv) | Metod för mätning av termiska egenskaper hos material med riktningsberoende egenskaper | |
| Rohlíček et al. | Determination of the isoelectric point of the capillary wall in capillary electrophoresis: Application to plastic capillaries | |
| FI100739B (fi) | Menetelmä suhteellisen kosteuden mittaamiseksi, etenkin radiosondeissa sekä menetelmää soveltava kosteusanturi | |
| RU2086971C1 (ru) | Сенсорная структура | |
| DE60034019D1 (de) | Dickschicht heizelement | |
| KR100331809B1 (ko) | 박막형 절대습도 센서 | |
| KR20180136369A (ko) | 센서 어셈블리 작동 방법 및 이에 적합한 센서 어셈블리 | |
| JPS59183356A (ja) | 湿度センサ | |
| KR20000013253U (ko) | 저항형 습도센서 | |
| RU1772708C (ru) | Способ изготовлени сорбционного электрического датчика влажности газов | |
| FI101106B (fi) | Kosteusherkkä elementti |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Patent lapsed | ||
| MM | Patent lapsed |
Owner name: VAISALA OY |