JPS58158552A - ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法 - Google Patents
ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法Info
- Publication number
- JPS58158552A JPS58158552A JP4147282A JP4147282A JPS58158552A JP S58158552 A JPS58158552 A JP S58158552A JP 4147282 A JP4147282 A JP 4147282A JP 4147282 A JP4147282 A JP 4147282A JP S58158552 A JPS58158552 A JP S58158552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- gas
- output
- measured
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/14—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature
- G01N27/18—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of an electrically-heated body in dependence upon change of temperature caused by changes in the thermal conductivity of a surrounding material to be tested
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本?明はガスクロマトグラフにお汁る熱伝導度形検出器
によるガス濃度のPAl、i定力法に関するものである
。 ガスクロマトグラフにおいてカラムにより分離されたガ
スはガス検出器に送られるが、その代表分、!1度にニ
ジ異なることを利用し、抵抗線、フィルムあるいはサー
ミスタなどの発熱抵抗体のセンサから奪われる熱による
抵抗変化を測定しようとするものである2 一般に、この熱伝導度形検出器の出力はガスの温度(果
際には周囲の壁から熱の出入があり、平衡する場合が多
いので、周囲温度と考えてよい)により変化するので、
精度よく測定するためには、検出器を恒温槽に入れるか
、またはその取付ブロックの温度を制御する方法が採用
されることが多い。 従来のこの種の検出器の一例を第1図に示し説明すると
、まず、第1図(alにおいて、DETは被測定ガスa
の通路に入っている測温抵抗体R@とリファレンスガス
(キャリアガス)bの通MK入つている測温抵抗体Re
よって構成される検出器、CTOけこの検出器I)ET
を収納する恒温槽である。 このように構成された熱伝導度形検出器にす2いて、被
測定ガス8の熱伝導率を測温抵抗体R8によって検出し
、リファレンスガスbの熱伝導率を測温抵抗体RCによ
って検出し、これら両側温抵抗体Rs・RCの発熱抵抗
体による折抗変什を比較することによって熱伝導率を桧
H」することができる。 第11¥4(b)において第】図(alと同一符号のも
のは相当部分を示し、SRは温度センサ、HTは熱ヒー
タで、これらは温度制御回路C0NTによって制御され
るように構成されている。 つぎに、通常のセンサの検出回路の一例を第2図に示し
説明すると、図において、VsおよびVeはそれぞれ電
源で、この電源V B * V cはそれぞれ定電流源
Cs、Ccを介して測定ガス側の測温抵抗体RIIおよ
びキャリアガス佃の測温抵抗体Reにそれぞれ接続され
、この測温抵抗体Rs、Rcの他方はコモンCMHされ
、電源V s + V eの負toy側に接続されてい
る。そして、定電流源Cs と測已抵抗体R8の接続点
および定電流源CCと測温抵抗体Rcの接続点は増幅器
AMPを介して出力端子OUTに接続されている。 このように構成されたセンサの検出回路において、出力
eは e = i (R8−Re ) ・・・e・
(11で表わされ、また、センサの発熱量はそれぞれ
I2Ra + I RCに比例する。 今、センサを流れるガスの熱伝導度をλS・λCとし、
センサの温度(センサ自体の温度であって、センサの周
囲温度ではカい。ここで、周囲温度はガスの温度tll
である)をts、tcとするとし、また、センサから放
散される熱量は、センサの形状。 特性が測定ガス用、キャリアガス用同じとすると、λs
(t、−tB)、λc(tc ta)に比例する。こ
こで、taはガス温度で両方共同じとする、 これは、発熱量と平衡するから、 I Ra”’にλ5(ta ta) ・・・・
φ (2)、2 +Rc=k λc(tc ta)
’ ・ ・−−+31と衣わすことができる。ここで
、kは比例定数で、センサの形彷、特性よシきまるもの
である。 そして、一般にセンサ抵抗はある温度範囲でR@貴Ro
(]+αts) ・・・・・ (4)Rc#R
o(] +αj c ) 6mm
番 ・ (5)のように表わすことができる。 ここで、ROはその温度範囲の直線とセンサの温度jl
l+teが0℃との切点であシ、第3図に示すもので、
使用条件をきめれば一定とみ々せる。また、αは抵抗温
度ダ、数で普通の金属では正”、すいシ ーミスでは通常パヤ′′で使用する。 そして、上記(2)式、(4)式からI8 を消去し、
また、(3)式・(5)式からもtcを消去し、RB+
Rcを求め、(11式に代入すると、出力に関する式が
次のようになることが容易にたしかめらJする。 で表わされる。ここで、β=λS/λCで、キャリアガ
スの熱伝導度で伊次光什
によるガス濃度のPAl、i定力法に関するものである
。 ガスクロマトグラフにおいてカラムにより分離されたガ
スはガス検出器に送られるが、その代表分、!1度にニ
ジ異なることを利用し、抵抗線、フィルムあるいはサー
ミスタなどの発熱抵抗体のセンサから奪われる熱による
抵抗変化を測定しようとするものである2 一般に、この熱伝導度形検出器の出力はガスの温度(果
際には周囲の壁から熱の出入があり、平衡する場合が多
いので、周囲温度と考えてよい)により変化するので、
精度よく測定するためには、検出器を恒温槽に入れるか
、またはその取付ブロックの温度を制御する方法が採用
されることが多い。 従来のこの種の検出器の一例を第1図に示し説明すると
、まず、第1図(alにおいて、DETは被測定ガスa
の通路に入っている測温抵抗体R@とリファレンスガス
(キャリアガス)bの通MK入つている測温抵抗体Re
よって構成される検出器、CTOけこの検出器I)ET
を収納する恒温槽である。 このように構成された熱伝導度形検出器にす2いて、被
測定ガス8の熱伝導率を測温抵抗体R8によって検出し
、リファレンスガスbの熱伝導率を測温抵抗体RCによ
って検出し、これら両側温抵抗体Rs・RCの発熱抵抗
体による折抗変什を比較することによって熱伝導率を桧
H」することができる。 第11¥4(b)において第】図(alと同一符号のも
のは相当部分を示し、SRは温度センサ、HTは熱ヒー
タで、これらは温度制御回路C0NTによって制御され
るように構成されている。 つぎに、通常のセンサの検出回路の一例を第2図に示し
説明すると、図において、VsおよびVeはそれぞれ電
源で、この電源V B * V cはそれぞれ定電流源
Cs、Ccを介して測定ガス側の測温抵抗体RIIおよ
びキャリアガス佃の測温抵抗体Reにそれぞれ接続され
、この測温抵抗体Rs、Rcの他方はコモンCMHされ
、電源V s + V eの負toy側に接続されてい
る。そして、定電流源Cs と測已抵抗体R8の接続点
および定電流源CCと測温抵抗体Rcの接続点は増幅器
AMPを介して出力端子OUTに接続されている。 このように構成されたセンサの検出回路において、出力
eは e = i (R8−Re ) ・・・e・
(11で表わされ、また、センサの発熱量はそれぞれ
I2Ra + I RCに比例する。 今、センサを流れるガスの熱伝導度をλS・λCとし、
センサの温度(センサ自体の温度であって、センサの周
囲温度ではカい。ここで、周囲温度はガスの温度tll
である)をts、tcとするとし、また、センサから放
散される熱量は、センサの形状。 特性が測定ガス用、キャリアガス用同じとすると、λs
(t、−tB)、λc(tc ta)に比例する。こ
こで、taはガス温度で両方共同じとする、 これは、発熱量と平衡するから、 I Ra”’にλ5(ta ta) ・・・・
φ (2)、2 +Rc=k λc(tc ta)
’ ・ ・−−+31と衣わすことができる。ここで
、kは比例定数で、センサの形彷、特性よシきまるもの
である。 そして、一般にセンサ抵抗はある温度範囲でR@貴Ro
(]+αts) ・・・・・ (4)Rc#R
o(] +αj c ) 6mm
番 ・ (5)のように表わすことができる。 ここで、ROはその温度範囲の直線とセンサの温度jl
l+teが0℃との切点であシ、第3図に示すもので、
使用条件をきめれば一定とみ々せる。また、αは抵抗温
度ダ、数で普通の金属では正”、すいシ ーミスでは通常パヤ′′で使用する。 そして、上記(2)式、(4)式からI8 を消去し、
また、(3)式・(5)式からもtcを消去し、RB+
Rcを求め、(11式に代入すると、出力に関する式が
次のようになることが容易にたしかめらJする。 で表わされる。ここで、β=λS/λCで、キャリアガ
スの熱伝導度で伊次光什
【〜た熱伝導度比である。捷だ
、β−]はキャリアガスであり、ヘリウムをキャリアガ
スとしたときのメタンのβは0・21(ただし、0℃に
おいての比)である。 この(6)式から出力は熱伝導度比βにより非線形に変
化し、温度によっては比例的に変化することがわかる。 そして、この(61式で更に温度がΔta変化し、t+
Δtaになったとして、出力eはe+Δeに変化し7c
ものとして演算を行うと、 とhる。 このことは、出力eの温度がΔta変什したときの相対
誤差Δe/eけ被測定ガスの熱伝導度、すhわち、成分
、濃度によらhいことがわかる。 例乏げ、基準温度(ここでは、25℃としてみる: t
a=25 )で校正ガスを使ってキャリジ1/−シヨン
(Ca1lhration) l、たガスクロマトグラ
フで、もし α、=+0.004 であるならば、実際につかっているときにガス温度が3
5℃である々らば、その出力(e+Δe)が3、OOO
mVを元しているとすると、祁へ正量はだけ歩方い出力
、す力わち、 e=3 3XO20364=2−890mVが正しい串
カV介る。 おいては、センサを一定温度(恒温)にすることに特性
を改善する高価で面倒か方法である温度補償方法をとる
必要がある。 本発明は世上の点に鑑み、このような間顛を音検出器の
相対的温度シフト(検量出力が渭11宇時の “ガス
の湿度により変ること)が被検1宇ガスの熱伝導IFに
よらず、ガスの温度のみによみことに着目し、所定の基
準温度において、予め、検出出力とる際のガスの温度を
測定し、所定の演舞を行って実測出力を補正(基準温度
に換笑した出力を求める)することにより、上記既に求
めておいた関係(出力−濃度の対応関係)から濃度を測
定するようにしたものである。 これにより、従来センサを一定m度(恒温)にすること
に特性を改善する高価で面倒な温度補償方法をとる必要
がなく々るないしは安価な変動幅の大きい恒温槽ですま
すことができる。 そして、カラムでのガス成分の分離速度(多成分ガスを
カラムを通すとセンサに供給されるガスの種類は時間差
を伴って順々に出てくる)、すなわち、分離能は一般に
ガス温度を上げると高壕る。 本発明は、カラムを通すときのガス温度は所望の高さの
温度のままとし、センサに与えられるときのガス温度は
、この温度とは無関係な自由な温度となし得ることがで
きる。’ffc、前述の説明においては、基準温度の例
示では常温25℃としたが、ガスによって70℃(笑測
時の温度80℃近傍など)など、所望の温度にすること
ができる。 つぎに、本発明の具体的な笑施方法の一例を第4図に示
すフローチャートよって説明する、1ず、校正ガスによ
るキャリブド−ジョン(ゼロ・スパン)を行った後、校
正時のガスの温度taを測定すると共に、これをメモリ
に記憶し、被測定ガスの分析および測定全行い、測定時
の崗itを測定する。 つぎに、この沖1定時の温itに基いて口に会(t−t
a) ただし、ta:ガスの温度、α:抵抗温度係数なる式に
よって所定の演算を行って出力eを測定し2、との実測
出力を 弁る式に基いて補止することによh5予め求めておいた
関係(出カー!11度対応関併)からガスの濃度を測定
することができる。 そし、て、神正された出力けe−deとして?!ちれる
。 ここで、この第4図に示すフローチャートにおいて、米
】、米?、米3および米4の部分はマイクロコンピュー
タを使って実行することにより、更に容易に笑現するこ
とができる。 以上説明したように、本発明によれば、従来、センサを
一定温度(恒温)にすることに特性を改善する高価で面
倒な温度補償方法を採る必敬がかくなる、ないしは安価
な変動幅の大きい恒温槽でてますことができるので、実
用上の効果は極めて大である。
、β−]はキャリアガスであり、ヘリウムをキャリアガ
スとしたときのメタンのβは0・21(ただし、0℃に
おいての比)である。 この(6)式から出力は熱伝導度比βにより非線形に変
化し、温度によっては比例的に変化することがわかる。 そして、この(61式で更に温度がΔta変化し、t+
Δtaになったとして、出力eはe+Δeに変化し7c
ものとして演算を行うと、 とhる。 このことは、出力eの温度がΔta変什したときの相対
誤差Δe/eけ被測定ガスの熱伝導度、すhわち、成分
、濃度によらhいことがわかる。 例乏げ、基準温度(ここでは、25℃としてみる: t
a=25 )で校正ガスを使ってキャリジ1/−シヨン
(Ca1lhration) l、たガスクロマトグラ
フで、もし α、=+0.004 であるならば、実際につかっているときにガス温度が3
5℃である々らば、その出力(e+Δe)が3、OOO
mVを元しているとすると、祁へ正量はだけ歩方い出力
、す力わち、 e=3 3XO20364=2−890mVが正しい串
カV介る。 おいては、センサを一定温度(恒温)にすることに特性
を改善する高価で面倒か方法である温度補償方法をとる
必要がある。 本発明は世上の点に鑑み、このような間顛を音検出器の
相対的温度シフト(検量出力が渭11宇時の “ガス
の湿度により変ること)が被検1宇ガスの熱伝導IFに
よらず、ガスの温度のみによみことに着目し、所定の基
準温度において、予め、検出出力とる際のガスの温度を
測定し、所定の演舞を行って実測出力を補正(基準温度
に換笑した出力を求める)することにより、上記既に求
めておいた関係(出力−濃度の対応関係)から濃度を測
定するようにしたものである。 これにより、従来センサを一定m度(恒温)にすること
に特性を改善する高価で面倒な温度補償方法をとる必要
がなく々るないしは安価な変動幅の大きい恒温槽ですま
すことができる。 そして、カラムでのガス成分の分離速度(多成分ガスを
カラムを通すとセンサに供給されるガスの種類は時間差
を伴って順々に出てくる)、すなわち、分離能は一般に
ガス温度を上げると高壕る。 本発明は、カラムを通すときのガス温度は所望の高さの
温度のままとし、センサに与えられるときのガス温度は
、この温度とは無関係な自由な温度となし得ることがで
きる。’ffc、前述の説明においては、基準温度の例
示では常温25℃としたが、ガスによって70℃(笑測
時の温度80℃近傍など)など、所望の温度にすること
ができる。 つぎに、本発明の具体的な笑施方法の一例を第4図に示
すフローチャートよって説明する、1ず、校正ガスによ
るキャリブド−ジョン(ゼロ・スパン)を行った後、校
正時のガスの温度taを測定すると共に、これをメモリ
に記憶し、被測定ガスの分析および測定全行い、測定時
の崗itを測定する。 つぎに、この沖1定時の温itに基いて口に会(t−t
a) ただし、ta:ガスの温度、α:抵抗温度係数なる式に
よって所定の演算を行って出力eを測定し2、との実測
出力を 弁る式に基いて補止することによh5予め求めておいた
関係(出カー!11度対応関併)からガスの濃度を測定
することができる。 そし、て、神正された出力けe−deとして?!ちれる
。 ここで、この第4図に示すフローチャートにおいて、米
】、米?、米3および米4の部分はマイクロコンピュー
タを使って実行することにより、更に容易に笑現するこ
とができる。 以上説明したように、本発明によれば、従来、センサを
一定温度(恒温)にすることに特性を改善する高価で面
倒な温度補償方法を採る必敬がかくなる、ないしは安価
な変動幅の大きい恒温槽でてますことができるので、実
用上の効果は極めて大である。
第1図は従来の方法を説明するための構成図、第2図は
センサの検量回路の一例會示す回路図、第3図は第2図
の動作説明に供する特性曲線図、第4図は本発明による
ガス濃度の測定方法の具体的実施方法の一例を説明する
ためのフローチャートである。 RB r Rc ・・φ・測温抵抗体、DET・・φm
検出器、SR・―・・温度センサ、HT・・・・熱ヒ−
メ、AMP・・e・増幅器。 −11− 第1図 (G) (b) 嬉2図 第3図 第4図
センサの検量回路の一例會示す回路図、第3図は第2図
の動作説明に供する特性曲線図、第4図は本発明による
ガス濃度の測定方法の具体的実施方法の一例を説明する
ためのフローチャートである。 RB r Rc ・・φ・測温抵抗体、DET・・φm
検出器、SR・―・・温度センサ、HT・・・・熱ヒ−
メ、AMP・・e・増幅器。 −11− 第1図 (G) (b) 嬉2図 第3図 第4図
Claims (1)
- ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガ
ス濃度の測定において、所定の基準温度において予め検
出出力とガス濃度との関係を求めておき、次に測定時の
温度tとこの温度tにおける検出出力を測定し、この芙
辿j出力eを(ただし、ta:ガスの温度、α:折抗温
胛供峠力る式に基いて演算して補正出すを求め、前配予
め求りておいた検出出すと濃度の対rP伴からガス濃度
を泗1定するようにしたことを特徴とするガス濃度の測
定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4147282A JPS58158552A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4147282A JPS58158552A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58158552A true JPS58158552A (ja) | 1983-09-20 |
Family
ID=12609299
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4147282A Pending JPS58158552A (ja) | 1982-03-15 | 1982-03-15 | ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58158552A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6238648A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-19 | Canon Inc | ファクシミリ装置 |
FR2640381A1 (fr) * | 1988-11-02 | 1990-06-15 | Vaisala Oy | Procede d'etalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur et capteur etalonnable pour effectuer cette mesure |
JPH0489560A (ja) * | 1990-08-02 | 1992-03-23 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ガスクロマトグラフの補正方法 |
-
1982
- 1982-03-15 JP JP4147282A patent/JPS58158552A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6238648A (ja) * | 1985-08-14 | 1987-02-19 | Canon Inc | ファクシミリ装置 |
FR2640381A1 (fr) * | 1988-11-02 | 1990-06-15 | Vaisala Oy | Procede d'etalonnage pour la mesure de la concentration relative de gaz ou de vapeur et capteur etalonnable pour effectuer cette mesure |
JPH0489560A (ja) * | 1990-08-02 | 1992-03-23 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ガスクロマトグラフの補正方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2007036983A1 (ja) | 熱伝導率測定方法および装置、並びにガス成分比率測定装置 | |
WO2001098735A2 (en) | Hot wire gas flow sensor having improved operation | |
US5709792A (en) | Method of characterizing a gas mixture by catalytic oxidation | |
EP0962763A1 (en) | Differential scanning calorimeter | |
EP0529295B1 (en) | Single-element thermal conductivity detector | |
Hinkle et al. | Toward understanding the fundamental mechanisms and properties of the thermal mass flow controller | |
US2759354A (en) | Isothermal systems for gas analysis | |
JPH05509413A (ja) | 調節赤外線源 | |
KR102197378B1 (ko) | 열식 플로우 센서 장치 및 유량 보정 방법 | |
Loram | A new high-precision continuous-heating differential calorimeter for the temperature range 1.5 K to 300K | |
JP3326715B2 (ja) | ガス分析計 | |
JPS58158552A (ja) | ガスクロマトグラフにおける熱伝導度形検出器によるガス濃度の測定方法 | |
JPS62293126A (ja) | レベル測定方法および装置 | |
JPS6277604A (ja) | 比例制御装置 | |
JP3114137B2 (ja) | 熱伝導率式ガス濃度分析計 | |
JPH0854268A (ja) | 質量流量センサ | |
JP2949314B2 (ja) | 熱量測定装置及び方法 | |
Corsan | Axial heat flow methods of thermal conductivity measurement for good conducting materials | |
JP2515247B2 (ja) | ゼロシフト補償回路 | |
JPS5815050B2 (ja) | ピラニ真空計 | |
JP4068475B2 (ja) | ガス物性値の測定方法 | |
JP5511120B2 (ja) | ガス濃度検出装置 | |
JPH0996617A (ja) | 熱量計 | |
JPH10221291A (ja) | 熱伝導度検出器 | |
JPS60142242A (ja) | 熱伝導型検出器 |