JPH08122287A - ガス成分の濃度の測定装置および方法 - Google Patents
ガス成分の濃度の測定装置および方法Info
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- JPH08122287A JPH08122287A JP6258109A JP25810994A JPH08122287A JP H08122287 A JPH08122287 A JP H08122287A JP 6258109 A JP6258109 A JP 6258109A JP 25810994 A JP25810994 A JP 25810994A JP H08122287 A JPH08122287 A JP H08122287A
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- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
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- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
- G01N33/0013—Sample conditioning by a chemical reaction
Abstract
(57)【要約】
【目的】雰囲気を測定室中に導入し、測定室中に設置さ
れている酸化物半導体素子を雰囲気にさらしたときの抵
抗値を測定することによって特定のガスの濃度を測定す
る方式の測定装置において、酸素分圧が変動する場合に
も正確な測定ができるようにすることである。 【構成】雰囲気を導入するための測定室１７中に、酸化
物半導体素子８が設置されている。素子８は、特定のガ
ス成分の濃度に応じて抵抗値が変化する。酸素イオン透
過性の固体電解質素子１１と一対の電極１２、１３とを
備えた酸素ポンプ４が設けられ、酸素ポンプ４の一方の
電極が測定室１７側に設けられている。ガス拡散抵抗手
段としての孔によって、測定室と外部雰囲気とが接続さ
れている。酸化物半導体素子８を雰囲気にさらしたとき
の抵抗値を測定することによって濃度を測定するのと共
に、酸素ポンプ４によって測定室１７中の酸素分圧を制
御することを特徴とする。
れている酸化物半導体素子を雰囲気にさらしたときの抵
抗値を測定することによって特定のガスの濃度を測定す
る方式の測定装置において、酸素分圧が変動する場合に
も正確な測定ができるようにすることである。 【構成】雰囲気を導入するための測定室１７中に、酸化
物半導体素子８が設置されている。素子８は、特定のガ
ス成分の濃度に応じて抵抗値が変化する。酸素イオン透
過性の固体電解質素子１１と一対の電極１２、１３とを
備えた酸素ポンプ４が設けられ、酸素ポンプ４の一方の
電極が測定室１７側に設けられている。ガス拡散抵抗手
段としての孔によって、測定室と外部雰囲気とが接続さ
れている。酸化物半導体素子８を雰囲気にさらしたとき
の抵抗値を測定することによって濃度を測定するのと共
に、酸素ポンプ４によって測定室１７中の酸素分圧を制
御することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、酸素分圧が変化するよ
うなガスの中でも、特定のガス成分の濃度を測定できる
ようなガス成分の濃度の測定装置および方法に関するも
のである。
うなガスの中でも、特定のガス成分の濃度を測定できる
ようなガス成分の濃度の測定装置および方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】各種の特定のガス成分を含有する雰囲気
やガス流中に対して、酸化物半導体をさらすと、その電
気抵抗値が変化する現象が知られており、この抵抗値変
化を利用して特定のガス成分の濃度を測定することも知
られている。この方法で測定できる特定のガス成分とし
ては、ＣＯ、ＣＯ2 、ＮＯ、ＮＯ2 、Ｈ2、Ｈ2 Ｏ、Ｓ
Ｏ2 、ＨＣｌ、Ｈ2 Ｓ等がある。例えば、特開昭６３─
３１３０４７号公報では、酸化物半導体としてＳｎＯ2
を使用し、Ｈ2 Ｓの濃度を測定している。特開平１─１
５０８４９号公報では、酸化物半導体としてＴｉＯ2 を
使用し、ＮＯの濃度を測定している。特公昭４５─１７
０３８号公報においては、酸化物半導体としてＷＯ3 を
使用し、ＮＨ3 の濃度を測定している。いずれも、目的
のガスの濃度変化に応じて、酸化物半導体の電気抵抗値
が変化するのを検出し、この抵抗値を校正曲線と比較し
て、ガスの濃度を決定するものである。
やガス流中に対して、酸化物半導体をさらすと、その電
気抵抗値が変化する現象が知られており、この抵抗値変
化を利用して特定のガス成分の濃度を測定することも知
られている。この方法で測定できる特定のガス成分とし
ては、ＣＯ、ＣＯ2 、ＮＯ、ＮＯ2 、Ｈ2、Ｈ2 Ｏ、Ｓ
Ｏ2 、ＨＣｌ、Ｈ2 Ｓ等がある。例えば、特開昭６３─
３１３０４７号公報では、酸化物半導体としてＳｎＯ2
を使用し、Ｈ2 Ｓの濃度を測定している。特開平１─１
５０８４９号公報では、酸化物半導体としてＴｉＯ2 を
使用し、ＮＯの濃度を測定している。特公昭４５─１７
０３８号公報においては、酸化物半導体としてＷＯ3 を
使用し、ＮＨ3 の濃度を測定している。いずれも、目的
のガスの濃度変化に応じて、酸化物半導体の電気抵抗値
が変化するのを検出し、この抵抗値を校正曲線と比較し
て、ガスの濃度を決定するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】例えば、自動車や内燃
機関の排気ガスや、各種塵埃の焼却処理施設等において
発生する排気ガスでは、その酸素濃度が大きく変動す
る。しかし、本発明者が確認したところでは、酸化物半
導体素子の電気抵抗値が、特定の目的とするガスの濃度
だけでなく、こうした酸素分圧の変動によっても大きく
変動する。そして、最終的に出力される電気抵抗値には
この両者が反映されるため、特定のガス成分の濃度を正
確に測定することができない。例えば、後述する図４に
示したように、酸素分圧が０．０１気圧から０．２０気
圧の間で変動した場合、ＮＯの濃度が同じであっても、
抵抗値に非常に顕著な差が生ずることがわかった。
機関の排気ガスや、各種塵埃の焼却処理施設等において
発生する排気ガスでは、その酸素濃度が大きく変動す
る。しかし、本発明者が確認したところでは、酸化物半
導体素子の電気抵抗値が、特定の目的とするガスの濃度
だけでなく、こうした酸素分圧の変動によっても大きく
変動する。そして、最終的に出力される電気抵抗値には
この両者が反映されるため、特定のガス成分の濃度を正
確に測定することができない。例えば、後述する図４に
示したように、酸素分圧が０．０１気圧から０．２０気
圧の間で変動した場合、ＮＯの濃度が同じであっても、
抵抗値に非常に顕著な差が生ずることがわかった。
【０００４】本発明の課題は、雰囲気を測定室中に導入
し、測定室中に設置されている酸化物半導体素子を雰囲
気にさらしたときの抵抗値を測定することによって特定
のガスの濃度を測定する方式の装置において、酸素分圧
が変動する場合にも正確な測定ができるようにすること
である。
し、測定室中に設置されている酸化物半導体素子を雰囲
気にさらしたときの抵抗値を測定することによって特定
のガスの濃度を測定する方式の装置において、酸素分圧
が変動する場合にも正確な測定ができるようにすること
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る測定装置
は：雰囲気中の特定のガス成分の濃度を測定する装置で
あって：前記雰囲気を導入するための測定室；前記雰囲
気と前記測定室とを接続するガス拡散抵抗手段；この測
定室中に設置されている酸化物半導体素子であって、前
記特定のガス成分の濃度に応じて抵抗値が変化する酸化
物半導体素子；および酸素イオン透過性の固体電解質素
子と一対の電極とを備えた酸素ポンプであって、その一
方の電極が前記測定室中の雰囲気に接触可能に設けられ
ている酸素ポンプを備えており、前記酸素ポンプによっ
て前記測定室中の酸素分圧を制御すると共に、前記酸化
物半導体素子を前記雰囲気にさらしたときの抵抗値を測
定することによって前記濃度を測定することを特徴とす
る。
は：雰囲気中の特定のガス成分の濃度を測定する装置で
あって：前記雰囲気を導入するための測定室；前記雰囲
気と前記測定室とを接続するガス拡散抵抗手段；この測
定室中に設置されている酸化物半導体素子であって、前
記特定のガス成分の濃度に応じて抵抗値が変化する酸化
物半導体素子；および酸素イオン透過性の固体電解質素
子と一対の電極とを備えた酸素ポンプであって、その一
方の電極が前記測定室中の雰囲気に接触可能に設けられ
ている酸素ポンプを備えており、前記酸素ポンプによっ
て前記測定室中の酸素分圧を制御すると共に、前記酸化
物半導体素子を前記雰囲気にさらしたときの抵抗値を測
定することによって前記濃度を測定することを特徴とす
る。
【０００６】また、本発明に係るガス成分の濃度の測定
方法は、被測定ガスをガス拡散抵抗手段を介して測定室
に導入し、この測定室内の酸素分圧を電気化学的素子に
よる酸素ポンプによって所定の値に制御しつつ、この測
定室内に設けた特定のガス成分の濃度に応じて抵抗値が
変化する酸化物半導体の抵抗値として、特定のガス成分
の濃度を測定することを特徴とする。
方法は、被測定ガスをガス拡散抵抗手段を介して測定室
に導入し、この測定室内の酸素分圧を電気化学的素子に
よる酸素ポンプによって所定の値に制御しつつ、この測
定室内に設けた特定のガス成分の濃度に応じて抵抗値が
変化する酸化物半導体の抵抗値として、特定のガス成分
の濃度を測定することを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明者は、ジルコニア固体電解質素子の両側
にそれぞれ電極を付けて酸素ポンプを構成し、この酸素
ポンプの一方の電極を、酸化物半導体素子のある測定室
側に配置することで、測定室中の酸素分圧を制御するこ
とに成功した。そして、雰囲気中のＮＯ等の濃度と酸素
分圧とを共に大きく変動させつつ、実際に特定のガス成
分の測定実験を行った結果、ほとんど時間的な遅れもな
く、ほぼリアルタイムで正確にガス濃度を正確に測定で
きることを発見し、本発明に到達した。
にそれぞれ電極を付けて酸素ポンプを構成し、この酸素
ポンプの一方の電極を、酸化物半導体素子のある測定室
側に配置することで、測定室中の酸素分圧を制御するこ
とに成功した。そして、雰囲気中のＮＯ等の濃度と酸素
分圧とを共に大きく変動させつつ、実際に特定のガス成
分の測定実験を行った結果、ほとんど時間的な遅れもな
く、ほぼリアルタイムで正確にガス濃度を正確に測定で
きることを発見し、本発明に到達した。
【０００８】これによって、各種の排気ガスや燃焼ガス
のように、酸素分圧が大きく変動するような雰囲気にお
いて、ＮＯ等の有害ガス等の濃度を測定する用途につい
て、酸化物半導体素子を用いた濃度測定装置によって正
確な濃度測定が実現できるようになった。この点で、計
測装置の分野における本発明の意義は、きわめて大き
い。
のように、酸素分圧が大きく変動するような雰囲気にお
いて、ＮＯ等の有害ガス等の濃度を測定する用途につい
て、酸化物半導体素子を用いた濃度測定装置によって正
確な濃度測定が実現できるようになった。この点で、計
測装置の分野における本発明の意義は、きわめて大き
い。
【０００９】
【実施例】酸化物半導体素子としては、ＴｉＯ2 、Ｓｎ
Ｏ2 、ＺｎＯ2 、ＮｉＯ、Ｆｅ−Ｏ、ＷＯ2 、Ｉｎ2 Ｏ
3 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｖ2 Ｏ5 、Ｍｎ−Ｏ、Ｃｕ−Ｏ、Ｃｏ
Ｏ等の酸化物、これらの各酸化物を含有する固溶体、複
合酸化物を例示することができる。酸化物半導体素子中
の金属イオンと酸素イオンとの組成比や、結晶構造は、
酸化物半導体素子を使用する環境、製造時の温度、酸素
分圧によって、変化する。
Ｏ2 、ＺｎＯ2 、ＮｉＯ、Ｆｅ−Ｏ、ＷＯ2 、Ｉｎ2 Ｏ
3 、Ｎｂ2 Ｏ5 、Ｖ2 Ｏ5 、Ｍｎ−Ｏ、Ｃｕ−Ｏ、Ｃｏ
Ｏ等の酸化物、これらの各酸化物を含有する固溶体、複
合酸化物を例示することができる。酸化物半導体素子中
の金属イオンと酸素イオンとの組成比や、結晶構造は、
酸化物半導体素子を使用する環境、製造時の温度、酸素
分圧によって、変化する。
【００１０】また、酸化物半導体素子は、酸化物半導体
からなる多孔質体、緻密な焼結体であってよく、また支
持体と支持体上に形成された酸化物半導体薄膜からなっ
ていてよい。この酸化物半導体素子に、抵抗値測定用の
電極を取り付けて測定室中に収容する。
からなる多孔質体、緻密な焼結体であってよく、また支
持体と支持体上に形成された酸化物半導体薄膜からなっ
ていてよい。この酸化物半導体素子に、抵抗値測定用の
電極を取り付けて測定室中に収容する。
【００１１】特定のガス成分としては、酸素以外のガス
成分であれば測定可能であるが、好ましくは、ＣＯ、Ｃ
Ｏ2 、ＮＯ、ＮＯ2 、ＮＨ3 、Ｈ2 、Ｈ2 Ｏ、ＳＯ2 、
ＨＣｌ、Ｈ2 Ｓが挙げられる。
成分であれば測定可能であるが、好ましくは、ＣＯ、Ｃ
Ｏ2 、ＮＯ、ＮＯ2 、ＮＨ3 、Ｈ2 、Ｈ2 Ｏ、ＳＯ2 、
ＨＣｌ、Ｈ2 Ｓが挙げられる。
【００１２】酸素ポンプは、ジルコニア等の酸素イオン
透過性の固体電解質素子に、正極と負極とを設けたもの
である。正極で酸素をイオン化し、この酸素イオンが固
体電解質素子中を透過し、負極で酸素イオンが酸素分子
となり、放出される。従って、正極側から負極側へと酸
素イオンが移動し、酸素がくみ出されることになる。
透過性の固体電解質素子に、正極と負極とを設けたもの
である。正極で酸素をイオン化し、この酸素イオンが固
体電解質素子中を透過し、負極で酸素イオンが酸素分子
となり、放出される。従って、正極側から負極側へと酸
素イオンが移動し、酸素がくみ出されることになる。
【００１３】この固体電解質素子の形状としては薄板が
好ましく、電極としては多孔質電極が好ましい。この多
孔質電極は、ペーストの塗布および焼き付けによって形
成できる。
好ましく、電極としては多孔質電極が好ましい。この多
孔質電極は、ペーストの塗布および焼き付けによって形
成できる。
【００１４】酸化物半導体の温度を、ガス濃度の測定に
適した温度に温度上昇させるため、および酸素ポンプの
温度をその作動温度に温度上昇させるために、測定室を
構成する容器の壁面中に、抵抗加熱式等のヒーターを埋
設することが好ましい。
適した温度に温度上昇させるため、および酸素ポンプの
温度をその作動温度に温度上昇させるために、測定室を
構成する容器の壁面中に、抵抗加熱式等のヒーターを埋
設することが好ましい。
【００１５】なお、酸素ポンプの一方の電極を測定室側
に設けるけれども、この電極は、測定室に直接面してい
ることが好ましいが、測定室内に直接面していなくと
も、所定の通路を通じて測定室内の雰囲気に接触可能に
なっていればよい。
に設けるけれども、この電極は、測定室に直接面してい
ることが好ましいが、測定室内に直接面していなくと
も、所定の通路を通じて測定室内の雰囲気に接触可能に
なっていればよい。
【００１６】本発明では、酸素ポンプの一対の電極の間
の印加電圧を一定値に設定できる。これによって、酸素
ポンプの一方の電極の側と他方の電極の側との酸素分圧
の割合が、一定値に設定され、制御される。
の印加電圧を一定値に設定できる。これによって、酸素
ポンプの一方の電極の側と他方の電極の側との酸素分圧
の割合が、一定値に設定され、制御される。
【００１７】酸素ポンプの一対の電極のうちの他方の電
極を、測定室外の雰囲気側に設けた場合には、測定室中
に正極が位置し、測定室外に負極が位置するように、酸
化物半導体素子への印加電圧を設定すれば、雰囲気の酸
素分圧に比較して、測定室中の酸素分圧を小さくでき
る。これによって、雰囲気中の酸素分圧が大きく変動し
ても、測定室中の酸素分圧の変動を、相対的に小さくす
ることができる。
極を、測定室外の雰囲気側に設けた場合には、測定室中
に正極が位置し、測定室外に負極が位置するように、酸
化物半導体素子への印加電圧を設定すれば、雰囲気の酸
素分圧に比較して、測定室中の酸素分圧を小さくでき
る。これによって、雰囲気中の酸素分圧が大きく変動し
ても、測定室中の酸素分圧の変動を、相対的に小さくす
ることができる。
【００１８】また、酸素ポンプの一対の電極のうちの他
方の電極を、測定室外の雰囲気側に設けた場合には、測
定室中に負極が位置し、測定室外に正極が位置するよう
に、酸化物半導体素子への印加電圧を設定すれば、雰囲
気の酸素分圧に比較して、測定室中の酸素分圧を大きく
できる。そして、この印加電圧を十分に大きくすれば、
測定室内の酸素分圧が常に所定のしきい値Ｃ以上となる
ようにすることができる。酸化物半導体素子の抵抗値
が、このしきい値Ｃ以上の酸素分圧では、あまり変化し
ない場合には、この構成を採用することができる。
方の電極を、測定室外の雰囲気側に設けた場合には、測
定室中に負極が位置し、測定室外に正極が位置するよう
に、酸化物半導体素子への印加電圧を設定すれば、雰囲
気の酸素分圧に比較して、測定室中の酸素分圧を大きく
できる。そして、この印加電圧を十分に大きくすれば、
測定室内の酸素分圧が常に所定のしきい値Ｃ以上となる
ようにすることができる。酸化物半導体素子の抵抗値
が、このしきい値Ｃ以上の酸素分圧では、あまり変化し
ない場合には、この構成を採用することができる。
【００１９】更に、酸素濃度が一定範囲内に保持されて
いる酸素濃度基準室を設け、酸素ポンプの一対の電極の
うちの他方の電極をこの酸素濃度基準室側に設けること
ができる。この場合には、酸素濃度基準室の酸素濃度が
一定値に保持されるので、酸素ポンプの一対の電極の間
の印加電圧を一定値に設定すれば、測定室の酸素濃度も
一定値に保持される。従って、非常に容易かつ正確な酸
素濃度の制御が可能である。
いる酸素濃度基準室を設け、酸素ポンプの一対の電極の
うちの他方の電極をこの酸素濃度基準室側に設けること
ができる。この場合には、酸素濃度基準室の酸素濃度が
一定値に保持されるので、酸素ポンプの一対の電極の間
の印加電圧を一定値に設定すれば、測定室の酸素濃度も
一定値に保持される。従って、非常に容易かつ正確な酸
素濃度の制御が可能である。
【００２０】また、測定室中の酸素濃度を測定する酸素
濃度計を備え、この酸素濃度計から得られた信号を酸素
ポンプの印加電圧にフィードバックし、測定室内の酸素
分圧を所定の範囲に制御する構成とすることができる。
濃度計を備え、この酸素濃度計から得られた信号を酸素
ポンプの印加電圧にフィードバックし、測定室内の酸素
分圧を所定の範囲に制御する構成とすることができる。
【００２１】このフィードバックの具体例としては、酸
素濃度計から得られた信号が所定の上限値を越えると、
測定室側の電極が正極となるように酸素ポンプに対して
電圧を印加できる。これによって、測定室側の正極から
酸素を吸引し、排出して、測定室中の酸素分圧を低下さ
せることができる。この場合には、また、酸素濃度計か
ら得られた信号が下限値未満になると、測定室側の電極
が負極となるように酸素ポンプに対して電圧を印加す
る。これによって、測定室側の負極から酸素を供給し
て、測定室中の酸素分圧を上昇させることができる。
素濃度計から得られた信号が所定の上限値を越えると、
測定室側の電極が正極となるように酸素ポンプに対して
電圧を印加できる。これによって、測定室側の正極から
酸素を吸引し、排出して、測定室中の酸素分圧を低下さ
せることができる。この場合には、また、酸素濃度計か
ら得られた信号が下限値未満になると、測定室側の電極
が負極となるように酸素ポンプに対して電圧を印加す
る。これによって、測定室側の負極から酸素を供給し
て、測定室中の酸素分圧を上昇させることができる。
【００２２】このように制御を行うと、雰囲気中の酸素
濃度が大きく変動する場合に、酸素濃度基準室を設けず
に、酸素ポンプの一対の電極のうちの他方の電極を雰囲
気中に露出させた場合でも、ある所定の範囲内に測定室
内の酸素分圧を維持することが、容易に実施できる。
濃度が大きく変動する場合に、酸素濃度基準室を設けず
に、酸素ポンプの一対の電極のうちの他方の電極を雰囲
気中に露出させた場合でも、ある所定の範囲内に測定室
内の酸素分圧を維持することが、容易に実施できる。
【００２３】本発明においては、雰囲気と測定室との間
に、ガス拡散抵抗手段を設ける。このガス拡散抵抗手段
は、雰囲気ガスを測定室内へと適度に流入させ、かつ適
度に排出させるためのものである。このガス拡散抵抗手
段は、一個でもよく、複数個でもよい。
に、ガス拡散抵抗手段を設ける。このガス拡散抵抗手段
は、雰囲気ガスを測定室内へと適度に流入させ、かつ適
度に排出させるためのものである。このガス拡散抵抗手
段は、一個でもよく、複数個でもよい。
【００２４】以下、図面を参照しつつ、更に本発明の実
施例を述べる。図１は、酸素濃度基準室を備えた測定装
置を示す。容器２内に測定室１７が形成されており、容
器２の壁面に、ガス拡散抵抗手段としての孔３が設けら
れており、孔３から外部雰囲気１６の雰囲気ガスを、矢
印Ｂのように適度に流入および排出させうるように、構
成されている。
施例を述べる。図１は、酸素濃度基準室を備えた測定装
置を示す。容器２内に測定室１７が形成されており、容
器２の壁面に、ガス拡散抵抗手段としての孔３が設けら
れており、孔３から外部雰囲気１６の雰囲気ガスを、矢
印Ｂのように適度に流入および排出させうるように、構
成されている。
【００２５】酸化物半導体素子８の両側に各電極６．７
を形成し、特定のガス成分の濃度を測定する測定素子５
を作成している。この測定素子５を、測定室１７内に形
成し、封着部分１０で封着する。各電極６、７は、外部
の公知の制御装置１８に接続されている。
を形成し、特定のガス成分の濃度を測定する測定素子５
を作成している。この測定素子５を、測定室１７内に形
成し、封着部分１０で封着する。各電極６、７は、外部
の公知の制御装置１８に接続されている。
【００２６】測定室１７の下側に、酸素濃度基準室１が
設けられており、孔１４から基準気体を導入できるよう
になっている。隔壁２１内に固体電解質素子１１が設置
されており、隔壁２１の両側にそれぞれ電極１２、１３
が形成されている。この酸素ポンプ４の電極１２が測定
室１７に面しており、電極１３が酸素濃度基準室１に面
している。各電極１２、１３が、外部の制御装置１９に
接続されている。また、隔壁２１内にはヒーター９が埋
設されている。
設けられており、孔１４から基準気体を導入できるよう
になっている。隔壁２１内に固体電解質素子１１が設置
されており、隔壁２１の両側にそれぞれ電極１２、１３
が形成されている。この酸素ポンプ４の電極１２が測定
室１７に面しており、電極１３が酸素濃度基準室１に面
している。各電極１２、１３が、外部の制御装置１９に
接続されている。また、隔壁２１内にはヒーター９が埋
設されている。
【００２７】図２に示す測定装置においては、容器２２
内に測定室１７が形成されており、容器２２の壁２３に
孔３が設けられている。壁２３内に固体電解質素子１１
が設置されており、壁２３の両側にそれぞれ電極１２、
１３が形成されている。この酸素ポンプ１５の電極１２
が測定室１７に面しており、電極１３が外部雰囲気１６
に面している。また、壁２３内にはヒーター９が埋設さ
れている。
内に測定室１７が形成されており、容器２２の壁２３に
孔３が設けられている。壁２３内に固体電解質素子１１
が設置されており、壁２３の両側にそれぞれ電極１２、
１３が形成されている。この酸素ポンプ１５の電極１２
が測定室１７に面しており、電極１３が外部雰囲気１６
に面している。また、壁２３内にはヒーター９が埋設さ
れている。
【００２８】図３に示す測定装置においては、容器２２
内に測定室１７が形成されており、容器２２の壁２３に
孔３が設けられている。壁２３内に固体電解質素子１１
が設置されており、壁２３の両側にそれぞれ電極１２、
１３が形成されている。この酸素ポンプ１５の電極１２
が測定室１７に面しており、電極１３が外部雰囲気１６
に面している。壁２３内にはヒーター９が埋設されてい
る。
内に測定室１７が形成されており、容器２２の壁２３に
孔３が設けられている。壁２３内に固体電解質素子１１
が設置されており、壁２３の両側にそれぞれ電極１２、
１３が形成されている。この酸素ポンプ１５の電極１２
が測定室１７に面しており、電極１３が外部雰囲気１６
に面している。壁２３内にはヒーター９が埋設されてい
る。
【００２９】そして、前記測定室内に酸素濃度計２０が
設置されており、酸素濃度計２０が制御装置１９に接続
されている。そして、酸素濃度計２０から得られた信号
が上限値を越えると、測定室１７側の電極１２が正極と
なるように酸素ポンプ１５に対して電圧を印加する。酸
素濃度計２０から得られた信号が下限値未満になると、
測定室１７側の電極１２が負極となるように酸素ポンプ
に対して電圧を印加する。
設置されており、酸素濃度計２０が制御装置１９に接続
されている。そして、酸素濃度計２０から得られた信号
が上限値を越えると、測定室１７側の電極１２が正極と
なるように酸素ポンプ１５に対して電圧を印加する。酸
素濃度計２０から得られた信号が下限値未満になると、
測定室１７側の電極１２が負極となるように酸素ポンプ
に対して電圧を印加する。
【００３０】以下、更に具体的な実験結果について述べ
る。 （実験１）図１に示す、本発明例の測定装置を作成し
た。容器２としては、孔３を有するジルコニア製の気密
質の焼結体を使用した。この容器２内に、粒径約０．５
μｍのＴｉＯ2 の粉体のスラリーを流し込み、このスラ
リーを乾燥し、焼成して、多孔質のＴｉＯ2 焼結体から
なる酸化物半導体素子８を作成した。そして、スラリー
を流し込むための開放端部を、ガラス封着材１０によっ
て密封した。固体電解質素子はジルコニアによって形成
した。
る。 （実験１）図１に示す、本発明例の測定装置を作成し
た。容器２としては、孔３を有するジルコニア製の気密
質の焼結体を使用した。この容器２内に、粒径約０．５
μｍのＴｉＯ2 の粉体のスラリーを流し込み、このスラ
リーを乾燥し、焼成して、多孔質のＴｉＯ2 焼結体から
なる酸化物半導体素子８を作成した。そして、スラリー
を流し込むための開放端部を、ガラス封着材１０によっ
て密封した。固体電解質素子はジルコニアによって形成
した。
【００３１】一方、比較例として、図１の測定装置にお
いて酸素ポンプ１１を取り除いたものを作成した。ただ
し、この材料は、上記した本発明例の測定装置と同じで
ある。
いて酸素ポンプ１１を取り除いたものを作成した。ただ
し、この材料は、上記した本発明例の測定装置と同じで
ある。
【００３２】まず、比較例の測定装置について、測定実
験をおこなった。測定温度を６００℃とし、雰囲気中の
ＮＯの濃度を図４に示すように０〜５００ｐｐｍの間で
変更し、かつ酸素分圧を０．０１、０．１０および０．
２０気圧に変更した。雰囲気の全圧は１気圧にした。各
酸素分圧について、酸化物半導体素子の抵抗値を測定し
た結果を、図４に示す。
験をおこなった。測定温度を６００℃とし、雰囲気中の
ＮＯの濃度を図４に示すように０〜５００ｐｐｍの間で
変更し、かつ酸素分圧を０．０１、０．１０および０．
２０気圧に変更した。雰囲気の全圧は１気圧にした。各
酸素分圧について、酸化物半導体素子の抵抗値を測定し
た結果を、図４に示す。
【００３３】図４からわかるように、酸素分圧が変化す
ると、抵抗値はきわめて大きく変動することがわかる。
この条件下では、酸素分圧が大きく変動する場合には、
ＮＯの濃度の測定は不可能であるし、酸素分圧の変化が
たとえ小さい場合であっても、正確な測定値を得ること
は困難である。
ると、抵抗値はきわめて大きく変動することがわかる。
この条件下では、酸素分圧が大きく変動する場合には、
ＮＯの濃度の測定は不可能であるし、酸素分圧の変化が
たとえ小さい場合であっても、正確な測定値を得ること
は困難である。
【００３４】一方、図１に示す本発明例の測定装置につ
いて、測定実験を行った。測定温度を６００℃とし、雰
囲気中のＮＯの濃度を、図５に示すように０〜５００ｐ
ｐｍの間で変更した。また、雰囲気中の酸素分圧を０．
０１、０．１０および０．２０気圧にそれぞれ変更し
た。雰囲気の全圧は１気圧にした。
いて、測定実験を行った。測定温度を６００℃とし、雰
囲気中のＮＯの濃度を、図５に示すように０〜５００ｐ
ｐｍの間で変更した。また、雰囲気中の酸素分圧を０．
０１、０．１０および０．２０気圧にそれぞれ変更し
た。雰囲気の全圧は１気圧にした。
【００３５】ただし、酸素濃度基準室１中における酸素
分圧を０．２０気圧に設定し、かつ電極１３側の酸素分
圧と電極１２側の酸素分圧との比率が２０：１となるよ
うに、電極１２と１３との間に５６ｍＶの電圧を印加し
た（電極１２を正極とした）。各酸素分圧について、酸
化物半導体素子の抵抗値を測定した結果を、図５に示
す。
分圧を０．２０気圧に設定し、かつ電極１３側の酸素分
圧と電極１２側の酸素分圧との比率が２０：１となるよ
うに、電極１２と１３との間に５６ｍＶの電圧を印加し
た（電極１２を正極とした）。各酸素分圧について、酸
化物半導体素子の抵抗値を測定した結果を、図５に示
す。
【００３６】更に、電極１３側の酸素分圧と電極１２側
の酸素分圧との比率が２００００：１となるように、電
極１２と１３との間に１８６ｍＶの電圧を印加した（電
極１２を正極とした）。各酸素分圧について、酸化物半
導体素子の抵抗値を測定した結果を、図６に示す。
の酸素分圧との比率が２００００：１となるように、電
極１２と１３との間に１８６ｍＶの電圧を印加した（電
極１２を正極とした）。各酸素分圧について、酸化物半
導体素子の抵抗値を測定した結果を、図６に示す。
【００３７】これらの結果から分かるように、雰囲気中
の酸素分圧が大きく変動した場合にも、正確にＮＯ濃度
を測定できることが判明した。
の酸素分圧が大きく変動した場合にも、正確にＮＯ濃度
を測定できることが判明した。
【００３８】（実験２）実験１と同様にして本発明例と
比較例の測定装置を作成し、測定実験を行った。ただ
し、酸化物半導体素子を多孔質のＷＯ3 焼結体によって
製造した。
比較例の測定装置を作成し、測定実験を行った。ただ
し、酸化物半導体素子を多孔質のＷＯ3 焼結体によって
製造した。
【００３９】最初に、比較例の測定装置について、測定
実験を行った。測定温度を４００℃とし、雰囲気中のＣ
Ｏの濃度を、図７に示すように０〜２０００ｐｐｍの間
で変更し、かつ酸素分圧を０．０１、０．１０および
０．２０気圧に変更した。雰囲気の全圧は１気圧にし
た。各酸素分圧について、酸化物半導体素子の抵抗値を
測定した結果を、図７に示す。
実験を行った。測定温度を４００℃とし、雰囲気中のＣ
Ｏの濃度を、図７に示すように０〜２０００ｐｐｍの間
で変更し、かつ酸素分圧を０．０１、０．１０および
０．２０気圧に変更した。雰囲気の全圧は１気圧にし
た。各酸素分圧について、酸化物半導体素子の抵抗値を
測定した結果を、図７に示す。
【００４０】図７からわかるように、酸素分圧が変化す
ると、抵抗値はきわめて大きく変動することがわかる。
この条件下では、酸素分圧が大きく変動する場合には、
ＣＯの濃度の測定は不可能であるし、酸素分圧の変化が
たとえ小さい場合であっても、正確な測定値を得ること
は困難である。
ると、抵抗値はきわめて大きく変動することがわかる。
この条件下では、酸素分圧が大きく変動する場合には、
ＣＯの濃度の測定は不可能であるし、酸素分圧の変化が
たとえ小さい場合であっても、正確な測定値を得ること
は困難である。
【００４１】次に、本発明例の測定装置について、測定
実験を行った。測定温度を４００℃とし、雰囲気中のＣ
Ｏの濃度を、図８に示すように０〜２０００ｐｐｍの間
で変更した。また、雰囲気中の酸素分圧を０．０１、
０．１０および０．２０気圧にそれぞれ変更した。雰囲
気の全圧は１気圧にした。
実験を行った。測定温度を４００℃とし、雰囲気中のＣ
Ｏの濃度を、図８に示すように０〜２０００ｐｐｍの間
で変更した。また、雰囲気中の酸素分圧を０．０１、
０．１０および０．２０気圧にそれぞれ変更した。雰囲
気の全圧は１気圧にした。
【００４２】ただし、酸素濃度基準室１中における酸素
分圧を０．２０気圧に設定し、かつ電極１３側の酸素分
圧と電極１２側の酸素分圧との比率が２：１となるよう
に、電極１２と１３との間に１２ｍＶの電圧を印加した
（電極１２を正極とした）。各酸素分圧について、酸化
物半導体素子の抵抗値を測定した結果を、図８に示す。
分圧を０．２０気圧に設定し、かつ電極１３側の酸素分
圧と電極１２側の酸素分圧との比率が２：１となるよう
に、電極１２と１３との間に１２ｍＶの電圧を印加した
（電極１２を正極とした）。各酸素分圧について、酸化
物半導体素子の抵抗値を測定した結果を、図８に示す。
【００４３】この結果から分かるように、雰囲気中の酸
素分圧が大きく変動した場合にも、正確にＮＯ濃度を測
定できることが判明した。これによって、酸素濃度が大
きく変動するような雰囲気中の特定のガス成分の濃度測
定を実用化できるし、またその測定値の精度を向上させ
ることもできる。
素分圧が大きく変動した場合にも、正確にＮＯ濃度を測
定できることが判明した。これによって、酸素濃度が大
きく変動するような雰囲気中の特定のガス成分の濃度測
定を実用化できるし、またその測定値の精度を向上させ
ることもできる。
【００４４】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、特
定のガス成分の濃度を測定するガスセンサーにおいて、
測定する雰囲気やガス流の酸素分圧が変化しても、これ
に影響されることなく、正確な測定値を得ることが可能
である。従って、各種の排気ガスや燃焼ガスのように、
酸素分圧が大きく変動するような雰囲気において、有害
ガス、可燃性ガス等の濃度を測定する用途について、酸
化物半導体素子を用いた濃度測定装置による測定を実用
化することが可能になり、また測定精度が一層高い正確
な濃度測定が実現できるようになった。この点で、計測
装置の分野における本発明の意義は、きわめて大きい。
定のガス成分の濃度を測定するガスセンサーにおいて、
測定する雰囲気やガス流の酸素分圧が変化しても、これ
に影響されることなく、正確な測定値を得ることが可能
である。従って、各種の排気ガスや燃焼ガスのように、
酸素分圧が大きく変動するような雰囲気において、有害
ガス、可燃性ガス等の濃度を測定する用途について、酸
化物半導体素子を用いた濃度測定装置による測定を実用
化することが可能になり、また測定精度が一層高い正確
な濃度測定が実現できるようになった。この点で、計測
装置の分野における本発明の意義は、きわめて大きい。
【図１】本発明の実施例に係る測定装置の構造を概略的
に示す概略断面図である。
に示す概略断面図である。
【図２】本発明の他の実施例に係る測定装置の構造を概
略的に示す概略断面図である。
略的に示す概略断面図である。
【図３】本発明の更に他の実施例に係る測定装置の構造
を概略的に示す概略断面図である。
を概略的に示す概略断面図である。
【図４】酸化物半導体素子が多孔質ＴｉＯ2 焼結体であ
る場合について、比較例の測定装置によるＮＯ濃度の測
定結果を示すグラフである。
る場合について、比較例の測定装置によるＮＯ濃度の測
定結果を示すグラフである。
【図５】酸化物半導体素子が多孔質ＴｉＯ2 焼結体であ
る場合について、本発明の実施例の測定装置によるＮＯ
濃度の測定結果を示すグラフである。
る場合について、本発明の実施例の測定装置によるＮＯ
濃度の測定結果を示すグラフである。
【図６】酸化物半導体素子が多孔質ＴｉＯ2 焼結体であ
る場合について、本発明の実施例の測定装置によるＮＯ
濃度の測定結果を示すグラフである。
る場合について、本発明の実施例の測定装置によるＮＯ
濃度の測定結果を示すグラフである。
【図７】酸化物半導体素子が多孔質ＷＯ3 焼結体である
場合について、比較例の測定装置によるＣＯ濃度の測定
結果を示すグラフである。
場合について、比較例の測定装置によるＣＯ濃度の測定
結果を示すグラフである。
【図８】酸化物半導体素子が多孔質ＷＯ3 焼結体である
場合について、本発明の実施例の測定装置によるＣＯ濃
度の測定結果を示すグラフである。
場合について、本発明の実施例の測定装置によるＣＯ濃
度の測定結果を示すグラフである。
１ 酸素濃度基準室 ２、２２ 容器 ３ 孔
４、１５酸素ポンプ ５ 特定のガス成分の濃度測定
素子 ６、７ 酸化物半導体素子の電極 ８ 酸化
物半導体素子 ９ ヒーター １０ 封着部分 １１ 酸素透過性の固体電解質素子 １２、１３ 多
孔質電極 １６ 外部雰囲気 １７ 測定室 １
８ 酸化物半導体素子の制御装置 １９ 酸素ポンプ
の制御装置 ２０ 酸素濃度計
４、１５酸素ポンプ ５ 特定のガス成分の濃度測定
素子 ６、７ 酸化物半導体素子の電極 ８ 酸化
物半導体素子 ９ ヒーター １０ 封着部分 １１ 酸素透過性の固体電解質素子 １２、１３ 多
孔質電極 １６ 外部雰囲気 １７ 測定室 １
８ 酸化物半導体素子の制御装置 １９ 酸素ポンプ
の制御装置 ２０ 酸素濃度計
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 伸秀 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 (72)発明者 勝田 祐司 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内
Claims (5)
- 【請求項１】 雰囲気中の特定のガス成分の濃度を測定
する装置であって：前記雰囲気を導入するための測定
室；前記雰囲気と前記測定室とを接続するガス拡散抵抗
手段；この測定室中に設置されている酸化物半導体素子
であって、前記特定のガス成分の濃度に応じて抵抗値が
変化する酸化物半導体素子；および酸素イオン透過性の
固体電解質素子と一対の電極とを備えた酸素ポンプであ
って、その一方の電極が前記測定室中の雰囲気に接触可
能に設けられている酸素ポンプを備えており、 前記酸素ポンプによって前記測定室中の酸素分圧を制御
すると共に、前記酸化物半導体素子を前記雰囲気にさら
したときの抵抗値を測定することによって前記濃度を測
定することを特徴とする、ガス成分の濃度の測定装置。 - 【請求項２】 前記一対の電極の間の印加電圧を一定値
に設定することによって前記測定室中の酸素分圧を制御
することを特徴とする、請求項１記載のガス成分の濃度
の測定装置。 - 【請求項３】 酸素濃度が一定範囲内に保持されている
酸素濃度基準室を備えており、前記一対の電極のうちの
他方の電極がこの酸素濃度基準室側にあることを特徴と
する、請求項１〜２のいずれか一つの請求項に記載のガ
ス成分の濃度の測定装置。 - 【請求項４】 前記測定室中の酸素濃度を測定する酸素
濃度計を備えており、この酸素濃度計から得られた信号
を前記酸素ポンプの印加電圧にフィードバックし、前記
測定室内の酸素分圧を所定の範囲に制御する構成とした
ことを特徴とする、請求項１記載のガス成分の濃度の測
定装置。 - 【請求項５】被測定ガスをガス拡散抵抗手段を介して測
定室に導入し、この測定室内の酸素分圧を電気化学的素
子による酸素ポンプによって所定の値に制御しつつ、こ
の測定室内に設けた特定のガス成分の濃度に応じて抵抗
値が変化する酸化物半導体の抵抗値として、特定のガス
成分の濃度を測定することを特徴とする、ガス成分の濃
度の測定方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6258109A JPH08122287A (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | ガス成分の濃度の測定装置および方法 |
| US08/546,542 US5602326A (en) | 1994-10-24 | 1995-10-20 | Apparatus and method for measuring concentrations of gas components |
| EP95307510A EP0709668B1 (en) | 1994-10-24 | 1995-10-23 | Apparatus and method for measuring concentrations of gas components |
| DE69524919T DE69524919T2 (de) | 1994-10-24 | 1995-10-23 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentration von Gaskomponenten |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6258109A JPH08122287A (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | ガス成分の濃度の測定装置および方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08122287A true JPH08122287A (ja) | 1996-05-17 |
Family
ID=17315631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6258109A Pending JPH08122287A (ja) | 1994-10-24 | 1994-10-24 | ガス成分の濃度の測定装置および方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5602326A (ja) |
| EP (1) | EP0709668B1 (ja) |
| JP (1) | JPH08122287A (ja) |
| DE (1) | DE69524919T2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1172438A (ja) * | 1997-08-29 | 1999-03-16 | Agency Of Ind Science & Technol | 湿度検知用材料及びその製造方法 |
| JP2012531613A (ja) * | 2009-06-29 | 2012-12-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガスの特性を求めるためのセンサ素子 |
| JP2016038382A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | マイクロメカニカルガスセンサ装置およびその製造方法 |
| CN106018488A (zh) * | 2016-07-07 | 2016-10-12 | 东北大学 | 测量固体电解质中氧离子、质子、电子迁移数的方法 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5672811A (en) * | 1994-04-21 | 1997-09-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of measuring a gas component and sensing device for measuring the gas component |
| DE19547150C2 (de) * | 1995-12-16 | 2000-08-03 | Draegerwerk Ag | Gassensor |
| JP3521170B2 (ja) * | 1996-03-19 | 2004-04-19 | 日本特殊陶業株式会社 | 排気ガスセンサ及びそれを用いたセンサシステム |
| DE19708770C1 (de) * | 1997-03-04 | 1998-08-27 | Siemens Ag | Gassensor |
| JP3510447B2 (ja) * | 1997-03-19 | 2004-03-29 | 日本碍子株式会社 | ガス濃度測定方法 |
| DE19808521A1 (de) * | 1998-02-27 | 1999-09-16 | Siemens Ag | Gassensor mit verbessertem Ansprechverhalten |
| KR100319947B1 (ko) * | 1998-04-06 | 2002-01-09 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 탄화수소 센서 |
| DE19955125A1 (de) * | 1998-11-16 | 2000-06-21 | Denso Corp | Gassensor und Verfahren zur Messung der Konzentration eines bestimmten Gases |
| DE10064667A1 (de) * | 2000-12-22 | 2002-07-04 | Siemens Ag | Mehrstufiger, Gassensor, Betriebs- und Herstellungsverfahren |
| DE10206497A1 (de) * | 2002-02-16 | 2003-09-11 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement, insbesondere planares Gassensorelement |
| JP4634720B2 (ja) * | 2004-01-20 | 2011-02-16 | サントリーホールディングス株式会社 | ガス検出方法および検出装置 |
| US9164073B1 (en) | 2008-02-11 | 2015-10-20 | Pavel Nosovitskiy | Multi-functional, discrete determination of concentrations of gases in a gaseous mixture |
| US8185325B2 (en) * | 2008-02-11 | 2012-05-22 | Pavel Nosovitskiy | Multi-functional, discrete and mutually exclusive method for determining concentrations of gases in a gaseous mixture |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1213120A (ja) * | 1957-05-06 | 1960-03-29 | ||
| GB1451231A (en) * | 1973-03-30 | 1976-09-29 | Nat Res Dev | Gas sensitive devices |
| JPS59190646A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | リツチバ−ンセンサ |
| JPS60236056A (ja) * | 1984-05-09 | 1985-11-22 | Nissan Motor Co Ltd | 空燃比センサ |
| JPS63313047A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Figaro Eng Inc | ガスセンサ及びその製造方法 |
| JPH0623710B2 (ja) * | 1987-12-08 | 1994-03-30 | 徳山曹達株式会社 | ＮＯｘガス検知素子 |
| DE59010654D1 (de) * | 1989-10-17 | 1997-04-03 | Itvi Inttech Venture Investa | Gas-sensor-anordnung |
| US5250169A (en) * | 1991-06-07 | 1993-10-05 | Ford Motor Company | Apparatus for sensing hydrocarbons and carbon monoxide |
| DE4311849C2 (de) * | 1992-12-23 | 2003-04-24 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur Bestimmung von Gaskomponenten und/oder Gaskonzentrationen von Gasgemischen |
| DE4243733C2 (de) * | 1992-12-23 | 2003-03-27 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur Bestimmung von Gaskomponenten und/oder Gaskonzentrationen von Gasgemischen |
| DE4311851A1 (de) * | 1993-04-10 | 1994-10-13 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Bestimmung von Gaskomponenten und/oder von Gaskonzentrationen von Gasgemischen |
-
1994
- 1994-10-24 JP JP6258109A patent/JPH08122287A/ja active Pending
-
1995
- 1995-10-20 US US08/546,542 patent/US5602326A/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-23 EP EP95307510A patent/EP0709668B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-23 DE DE69524919T patent/DE69524919T2/de not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1172438A (ja) * | 1997-08-29 | 1999-03-16 | Agency Of Ind Science & Technol | 湿度検知用材料及びその製造方法 |
| JP2012531613A (ja) * | 2009-06-29 | 2012-12-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ガスの特性を求めるためのセンサ素子 |
| JP2016038382A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツングＲｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ Ｇｍｂｈ | マイクロメカニカルガスセンサ装置およびその製造方法 |
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