JPH07167833A - ガスセンサ - Google Patents
ガスセンサInfo
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- JPH07167833A JPH07167833A JP5313151A JP31315193A JPH07167833A JP H07167833 A JPH07167833 A JP H07167833A JP 5313151 A JP5313151 A JP 5313151A JP 31315193 A JP31315193 A JP 31315193A JP H07167833 A JPH07167833 A JP H07167833A
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- solid electrolyte
- anode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は１つのセンサで水素の濃度も酸素の
濃度も検出でき、製造工程が簡単で、コストが安く、拡
散孔が目詰まりしないガスセンサを提供することを目的
としたものである。 【構成】 両面に第１陰極２ａおよび陽極２ｂが形成さ
れた水素イオン導電性を有する第１固体電解質１と、第
２陰極４ａおよび陽極４ｂが形成された酸素イオン導電
性を有する第２固体電解質３と、多孔質体５と、加熱体
６で構成した。
濃度も検出でき、製造工程が簡単で、コストが安く、拡
散孔が目詰まりしないガスセンサを提供することを目的
としたものである。 【構成】 両面に第１陰極２ａおよび陽極２ｂが形成さ
れた水素イオン導電性を有する第１固体電解質１と、第
２陰極４ａおよび陽極４ｂが形成された酸素イオン導電
性を有する第２固体電解質３と、多孔質体５と、加熱体
６で構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被測定気体中の水素お
よび酸素の濃度を検出するガスセンサに関するものであ
る。
よび酸素の濃度を検出するガスセンサに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、様々な固体電解質を用いたガ
スセンサが数多く提案されている。例えば、「材料技
術」（p.296-301,Vol.10,No.9,1992）に図６に示すよう
な限界電流式酸素センサが報告されている。図６におい
てイットリア安定化ジルコニアから成る固体電解質３の
両面には白金から成る陰極４ａおよび陽極４ｂが形成さ
れている。陰極４ａおよび陽極４ｂ間には直流電源（図
示せず）により任意の電圧を印加することができる。陰
極４ａ側には、シール板７と、隔壁５が設けられ、無機
系接着剤により密閉されている。被測定気体中の酸素
は、シール板７に形成された小孔８より導入され、陰極
４ａと接触し、陰極４ａおよび陽極４ｂ間に所定の電圧
を印加することにより、酸素イオンとなり固体電解質３
中を移動する。そして、酸素イオンは陽極４ｂ上におい
て再び酸素となり放出される。この際電極間にはイオン
電流が発生するが、小孔８により物理的に酸素供給量が
制限されるため、イオン電流は限界値に達する。この時
に流れるイオン電流の値を限界電流値と呼ぶが、この限
界電流値は酸素濃度に比例するため、限界電流値を測定
することにより酸素濃度を求めることができる。
スセンサが数多く提案されている。例えば、「材料技
術」（p.296-301,Vol.10,No.9,1992）に図６に示すよう
な限界電流式酸素センサが報告されている。図６におい
てイットリア安定化ジルコニアから成る固体電解質３の
両面には白金から成る陰極４ａおよび陽極４ｂが形成さ
れている。陰極４ａおよび陽極４ｂ間には直流電源（図
示せず）により任意の電圧を印加することができる。陰
極４ａ側には、シール板７と、隔壁５が設けられ、無機
系接着剤により密閉されている。被測定気体中の酸素
は、シール板７に形成された小孔８より導入され、陰極
４ａと接触し、陰極４ａおよび陽極４ｂ間に所定の電圧
を印加することにより、酸素イオンとなり固体電解質３
中を移動する。そして、酸素イオンは陽極４ｂ上におい
て再び酸素となり放出される。この際電極間にはイオン
電流が発生するが、小孔８により物理的に酸素供給量が
制限されるため、イオン電流は限界値に達する。この時
に流れるイオン電流の値を限界電流値と呼ぶが、この限
界電流値は酸素濃度に比例するため、限界電流値を測定
することにより酸素濃度を求めることができる。
【０００３】また、「電気化学」（p.996-999,No.10,19
89）にはストロンチウムセリウム酸化物から成る水素イ
オン導電体が、濃淡電池の起電力から水素分圧を検出す
ることができることを報告しており、この種の水素イオ
ン導電体が水素センサにも応用が可能であることを示唆
している。
89）にはストロンチウムセリウム酸化物から成る水素イ
オン導電体が、濃淡電池の起電力から水素分圧を検出す
ることができることを報告しており、この種の水素イオ
ン導電体が水素センサにも応用が可能であることを示唆
している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の技
術では、水素と酸素が共存する被測定気体中で水素と酸
素の濃度を検出する場合、水素センサと酸素センサを併
用しなければならないため、構成が複雑でコストがかか
り、また限界電流を得るために、シール板あるいは固体
電解質に加工を施し、小孔を形成する必要があるため、
製造工程が複雑になるだけでなく、小孔が目詰まりする
という課題があった。
術では、水素と酸素が共存する被測定気体中で水素と酸
素の濃度を検出する場合、水素センサと酸素センサを併
用しなければならないため、構成が複雑でコストがかか
り、また限界電流を得るために、シール板あるいは固体
電解質に加工を施し、小孔を形成する必要があるため、
製造工程が複雑になるだけでなく、小孔が目詰まりする
という課題があった。
【０００５】本発明は上記課題を解決するもので、１つ
のセンサで水素と酸素の濃度を検出することができ、シ
ール板などを加工し小孔を形成する必要がなく、目詰ま
りのしないガスセンサを提供することを目的としてい
る。
のセンサで水素と酸素の濃度を検出することができ、シ
ール板などを加工し小孔を形成する必要がなく、目詰ま
りのしないガスセンサを提供することを目的としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、第１の手段を、水素イオン導電性を有する
第１固体電解質と、前記第１固体電解質の一方の表面に
形成された第１陰極と、前記第１陰極と対向するように
他方の表面に形成された第１陽極と、酸素イオン導電性
を有する第２固体電解質と、前記第２固体電解質の一方
の表面に形成された第２陰極と、前記第２陰極と対向す
るように他方の表面に形成された第２陽極と、前記第１
陽極と前記第２陰極それぞれの周りを囲むように配置さ
れた多孔質隔壁とで構成されるガスセンサとした。さら
に、前記第１陽極の周りを囲むように配置された第１多
孔質隔壁と、前記第２陰極の周りを囲むように配置され
た第２多孔質隔壁と、前記第１多孔質隔壁と前記第２多
孔質隔壁の間に配置された加熱体とで構成されるガスセ
ンサとした。
に本発明は、第１の手段を、水素イオン導電性を有する
第１固体電解質と、前記第１固体電解質の一方の表面に
形成された第１陰極と、前記第１陰極と対向するように
他方の表面に形成された第１陽極と、酸素イオン導電性
を有する第２固体電解質と、前記第２固体電解質の一方
の表面に形成された第２陰極と、前記第２陰極と対向す
るように他方の表面に形成された第２陽極と、前記第１
陽極と前記第２陰極それぞれの周りを囲むように配置さ
れた多孔質隔壁とで構成されるガスセンサとした。さら
に、前記第１陽極の周りを囲むように配置された第１多
孔質隔壁と、前記第２陰極の周りを囲むように配置され
た第２多孔質隔壁と、前記第１多孔質隔壁と前記第２多
孔質隔壁の間に配置された加熱体とで構成されるガスセ
ンサとした。
【０００７】また第２の手段を、水素イオン導電性を有
する第１固体電解質と、前記第１固体電解質の一方の表
面に形成された第１陰極と、前記第１陰極と対向するよ
うに他方の表面に形成された第１陽極と、酸素イオン導
電性を有する第２固体電解質と、前記第２固体電解質の
一方の表面に形成された第２陰極と、前記第２陰極と対
向するように他方の表面に形成された第２陽極と、前記
第１陽極と前記第２陰極に挟まれ、前記第１陽極および
前記第２陰極を覆うように配置された多孔質体とで構成
されるガスセンサとした。さらに、前記多孔質体の内部
に形成された加熱体とで構成されるガスセンサとした。
する第１固体電解質と、前記第１固体電解質の一方の表
面に形成された第１陰極と、前記第１陰極と対向するよ
うに他方の表面に形成された第１陽極と、酸素イオン導
電性を有する第２固体電解質と、前記第２固体電解質の
一方の表面に形成された第２陰極と、前記第２陰極と対
向するように他方の表面に形成された第２陽極と、前記
第１陽極と前記第２陰極に挟まれ、前記第１陽極および
前記第２陰極を覆うように配置された多孔質体とで構成
されるガスセンサとした。さらに、前記多孔質体の内部
に形成された加熱体とで構成されるガスセンサとした。
【０００８】
【作用】本発明は上記した第１、第２、第３および第４
の技術手段により、１つのセンサで水素と酸素の濃度を
検出できるガスセンサと成り、水素と酸素が共存する被
測定気体中において、水素センサと酸素センサを併用し
なくても水素と酸素の濃度を検出することができるた
め、構成が簡単となり、拡散孔を加工する必要がないた
め製造工程が簡単となり、目詰まりの起こらないガスセ
ンサが得られる。
の技術手段により、１つのセンサで水素と酸素の濃度を
検出できるガスセンサと成り、水素と酸素が共存する被
測定気体中において、水素センサと酸素センサを併用し
なくても水素と酸素の濃度を検出することができるた
め、構成が簡単となり、拡散孔を加工する必要がないた
め製造工程が簡単となり、目詰まりの起こらないガスセ
ンサが得られる。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を図を参照しながら説明
する。
する。
【００１０】（実施例１）図１に本発明の一実施例であ
るガスセンサの断面図を示す。図１において第１固体電
解質１は、水素イオン導電性を有するバリウムセリウム
ガドリウム酸化物（ＢａＣｅ1-xＧｄxＯ3-δ，０≦ｘ＜
１，０＜δ＜１）である。実施した第１固体電解質１に
はｘ＝０．２であるＢａＣｅ0.8Ｇｄ0.2Ｏ3-δを用い
た。第１固体電解質１は実施したバリウムセリウムガド
リウム酸化物以外の例えばストロンチウムセリウム酸化
物（ＳｒＣｅＯ3）などのアルカリ土類金属と希土類元
素の複合酸化物でもよい。バリウムセリウムガドリウム
酸化物は、硝酸バリウム、酸化セリウムおよび酸化ガド
リウムより調製し、大気中で約１６５０℃で１０時間焼
成した。また、第２固体電解質３は、酸素イオン導電性
を有する酸化イットウムアを８モル％添加した安定化酸
化ジルコニウム（８Ｙ2Ｏ3・９２ＺｒＯ2）である。第
２固体電解質３は、実施した安定化酸化ジルコニウム以
外に酸化ビスマス、酸化セリウムなどの固体電解質でも
よい。第１および第２固体電解質１および３は、厚さ
０．５ミリ、直径１３ミリのディスク状に成型し、さら
に第１および第２固体電解質１および３の両面にそれぞ
れ白金ペーストをスクリーン印刷した後、８２０℃で１
０分間焼成し、第１陰極２ａ、第１陽極２ｂ、第２陰極
４ａおよび第２陽極４ｂを形成した。さらに金ペースト
で各電極に白金リード線（図示せず）を取り付けた。
るガスセンサの断面図を示す。図１において第１固体電
解質１は、水素イオン導電性を有するバリウムセリウム
ガドリウム酸化物（ＢａＣｅ1-xＧｄxＯ3-δ，０≦ｘ＜
１，０＜δ＜１）である。実施した第１固体電解質１に
はｘ＝０．２であるＢａＣｅ0.8Ｇｄ0.2Ｏ3-δを用い
た。第１固体電解質１は実施したバリウムセリウムガド
リウム酸化物以外の例えばストロンチウムセリウム酸化
物（ＳｒＣｅＯ3）などのアルカリ土類金属と希土類元
素の複合酸化物でもよい。バリウムセリウムガドリウム
酸化物は、硝酸バリウム、酸化セリウムおよび酸化ガド
リウムより調製し、大気中で約１６５０℃で１０時間焼
成した。また、第２固体電解質３は、酸素イオン導電性
を有する酸化イットウムアを８モル％添加した安定化酸
化ジルコニウム（８Ｙ2Ｏ3・９２ＺｒＯ2）である。第
２固体電解質３は、実施した安定化酸化ジルコニウム以
外に酸化ビスマス、酸化セリウムなどの固体電解質でも
よい。第１および第２固体電解質１および３は、厚さ
０．５ミリ、直径１３ミリのディスク状に成型し、さら
に第１および第２固体電解質１および３の両面にそれぞ
れ白金ペーストをスクリーン印刷した後、８２０℃で１
０分間焼成し、第１陰極２ａ、第１陽極２ｂ、第２陰極
４ａおよび第２陽極４ｂを形成した。さらに金ペースト
で各電極に白金リード線（図示せず）を取り付けた。
【００１１】次に管状のアルミナ多孔質隔壁５を第１固
体電解質１と第２固体電解質体３挟み、第１陽極２ｂお
よび第２陰極４ａの周りを囲むように配置し、接着固定
した。多孔質隔壁を用いることにより、従来のように小
孔を加工する必要がなくなるため、製造工程が簡単にな
るばかりでなく、目詰まりを起こすことがなくなる。
体電解質１と第２固体電解質体３挟み、第１陽極２ｂお
よび第２陰極４ａの周りを囲むように配置し、接着固定
した。多孔質隔壁を用いることにより、従来のように小
孔を加工する必要がなくなるため、製造工程が簡単にな
るばかりでなく、目詰まりを起こすことがなくなる。
【００１２】さらに各電極間に電圧を印加するための直
流電源（図示せず）と、電極間を流れる電流を測定する
ための電流計（図示せず）をそれぞれ接続した。
流電源（図示せず）と、電極間を流れる電流を測定する
ための電流計（図示せず）をそれぞれ接続した。
【００１３】このようにして得られたガスセンサを外部
加熱体（図示せず）によりセンサ温度が約６００℃にな
るよう保持し、被測定気体存在空間に配置した。被測定
気体存在空間にアルゴンと水素あるいは酸素の混合ガス
を導入し、水素および酸素は多孔質隔壁５を経て、それ
ぞれ第１陽極２ｂおよび第２陰極４ａ上へ拡散する。
加熱体（図示せず）によりセンサ温度が約６００℃にな
るよう保持し、被測定気体存在空間に配置した。被測定
気体存在空間にアルゴンと水素あるいは酸素の混合ガス
を導入し、水素および酸素は多孔質隔壁５を経て、それ
ぞれ第１陽極２ｂおよび第２陰極４ａ上へ拡散する。
【００１４】しかし、多孔質隔壁５によりそれぞれ供給
量が物理的に制限されるため各電極間２ａと２ｂおよび
４ａと４ｂに所定の電圧を印加すると、それぞれにおい
て限界電流特性が得られた。そこで水素および酸素それ
ぞれの濃度を変化させ、それぞれの限界電流値との関係
を調べた。測定結果を図２に示す。図２より水素濃度お
よび酸素濃度はそれぞれ各限界電流値と比例関係にある
ことが判った。
量が物理的に制限されるため各電極間２ａと２ｂおよび
４ａと４ｂに所定の電圧を印加すると、それぞれにおい
て限界電流特性が得られた。そこで水素および酸素それ
ぞれの濃度を変化させ、それぞれの限界電流値との関係
を調べた。測定結果を図２に示す。図２より水素濃度お
よび酸素濃度はそれぞれ各限界電流値と比例関係にある
ことが判った。
【００１５】（実施例２）図３に本発明の一実施例であ
るガスセンサの断面図を示す。図３において、フォルス
テライト基板の両面に白金ペーストによりヒーターパタ
ーンがスクリーン印刷された加熱体６は、第１多孔質隔
壁５ａと第２多孔質隔壁５ｂで挟まれ、第１固体電解質
と第２固体電解質の間に配置され、無機系接着剤により
固定されている。それ以外は実施例１と同様の構成であ
るガスセンサを得た。このガスセンサを加熱体６に所定
の電圧を印加することにより約６００℃に保持し、実施
例１と同様の実験を行ったところ同じ結果が得られた。
したがって、外部加熱体が不要となり、比較的コンパク
トな構成でコストが安くなることが判った。
るガスセンサの断面図を示す。図３において、フォルス
テライト基板の両面に白金ペーストによりヒーターパタ
ーンがスクリーン印刷された加熱体６は、第１多孔質隔
壁５ａと第２多孔質隔壁５ｂで挟まれ、第１固体電解質
と第２固体電解質の間に配置され、無機系接着剤により
固定されている。それ以外は実施例１と同様の構成であ
るガスセンサを得た。このガスセンサを加熱体６に所定
の電圧を印加することにより約６００℃に保持し、実施
例１と同様の実験を行ったところ同じ結果が得られた。
したがって、外部加熱体が不要となり、比較的コンパク
トな構成でコストが安くなることが判った。
【００１６】（実施例３）図４に本発明の一実施例であ
るガスセンサの断面図を示す。図４において、アルミナ
から成る多孔質体５は、電極が形成された第１および第
２固体電解質１および３で挟まれ、無機系接着剤により
固定されている。それ以外は実施例１と同じ構成である
ガスセンサを得た。このガスセンサを約６００℃に保持
し、実施例１と同様に水素および酸素濃度と各限界電流
値との関係を調べた。実施例１と同じ結果が得られ、多
孔質体の構造が管状でなくても同じように水素および酸
素の濃度を検出でき、多孔質体を管状に加工する必要が
なくなり製造コストが安くなるだけでなく、強度が増
し、管状構造に比べ素子が割れにくくなることが判っ
た。
るガスセンサの断面図を示す。図４において、アルミナ
から成る多孔質体５は、電極が形成された第１および第
２固体電解質１および３で挟まれ、無機系接着剤により
固定されている。それ以外は実施例１と同じ構成である
ガスセンサを得た。このガスセンサを約６００℃に保持
し、実施例１と同様に水素および酸素濃度と各限界電流
値との関係を調べた。実施例１と同じ結果が得られ、多
孔質体の構造が管状でなくても同じように水素および酸
素の濃度を検出でき、多孔質体を管状に加工する必要が
なくなり製造コストが安くなるだけでなく、強度が増
し、管状構造に比べ素子が割れにくくなることが判っ
た。
【００１７】なお多孔質体５にスパッタリングにより、
電極および固体電解質を薄膜化する方法でガスセンサを
得てもよい。
電極および固体電解質を薄膜化する方法でガスセンサを
得てもよい。
【００１８】（実施例４）図５に本発明の一実施例であ
るガスセンサの断面図を示す。図５において白金線から
成る加熱体６は多孔質体５に挟まれている。それ以外は
実施例３と同じ構成であるガスセンサを得た。加熱体６
に電圧を印加することによりセンサ温度を約６００℃に
保持し、実施例１と同様の実験を行ったところ同じ結果
が得られた。したがって外部加熱体が不要となりコスト
が安くなることが判った。
るガスセンサの断面図を示す。図５において白金線から
成る加熱体６は多孔質体５に挟まれている。それ以外は
実施例３と同じ構成であるガスセンサを得た。加熱体６
に電圧を印加することによりセンサ温度を約６００℃に
保持し、実施例１と同様の実験を行ったところ同じ結果
が得られた。したがって外部加熱体が不要となりコスト
が安くなることが判った。
【００１９】
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明の第１の
手段によれば、被測定気体の拡散手段として多孔質体を
用いるため、従来のように固体電解質やシール板等に小
孔を形成する必要がなく、加工と構造が簡単になり、目
詰まりしなくなり、２種類の固体電解質を用いることに
より同時に水素と酸素の濃度を検出できるという効果が
得られる。さらに加熱体を一体化することにより、電気
炉などの外部加熱体が不要となり、コンパクトな構成で
コストが安くなるという効果が得られる。
手段によれば、被測定気体の拡散手段として多孔質体を
用いるため、従来のように固体電解質やシール板等に小
孔を形成する必要がなく、加工と構造が簡単になり、目
詰まりしなくなり、２種類の固体電解質を用いることに
より同時に水素と酸素の濃度を検出できるという効果が
得られる。さらに加熱体を一体化することにより、電気
炉などの外部加熱体が不要となり、コンパクトな構成で
コストが安くなるという効果が得られる。
【００２０】また、第２の手段によれば、多孔質体を管
状に加工する必要がないためさらに構造が簡単となるだ
けでなく、製造コストが安くなり、また強度が増すため
多少の外部の衝撃にも耐えうるという効果が得られる。
また、多孔質体内部に加熱体が形成されているため、比
較的簡単な構成により、外部加熱体を必要としない素子
になり、コストが安くなるという効果が得られる。
状に加工する必要がないためさらに構造が簡単となるだ
けでなく、製造コストが安くなり、また強度が増すため
多少の外部の衝撃にも耐えうるという効果が得られる。
また、多孔質体内部に加熱体が形成されているため、比
較的簡単な構成により、外部加熱体を必要としない素子
になり、コストが安くなるという効果が得られる。
【図１】本発明の一実施例のガスセンサの断面図
【図２】限界電流値の水素および酸素濃度依存性を示す
図
図
【図３】本発明の他の実施例のガスセンサの断面図
【図４】本発明の他の実施例のガスセンサの断面図
【図５】本発明の他の実施例のガスセンサの断面図
【図６】従来の限界電流式酸素センサの断面図
１ 第１固体電解質 ２ａ 第１陰極 ２ｂ 第１陽極 ３ 第２固体電解質 ４ａ 第２陰極 ４ｂ 第２陽極 ５ 多孔質体 ６ 加熱体 ７ 小孔
Claims (4)
- 【請求項１】水素イオン導電性を有する第１固体電解質
と、前記第１固体電解質の一方の表面に形成された第１
陰極と、前記第１陰極と対向するように他方の表面に形
成された第１陽極と、酸素イオン導電性を有する第２固
体電解質と、前記第２固体電解質の一方の表面に形成さ
れた第２陰極と、前記第２陰極と対向するように他方の
表面に形成された第２陽極と、前記第１陽極と前記第２
陰極それぞれの周りを囲むように配置された多孔質隔壁
とで構成されるガスセンサ。 - 【請求項２】前記多孔質体は、前記第１陽極の周りを囲
むように配置された第１多孔質隔壁と、前記第２陰極の
周りを囲むように配置された第２多孔質隔壁から成り、
前記第１多孔質隔壁と前記第２多孔質隔壁の間には加熱
体が配置されている請求項１記載のガスセンサ。 - 【請求項３】水素イオン導電性を有する第１固体電解質
と、前記第１固体電解質の一方の表面に形成された第１
陰極と、前記第１陰極と対向するように他方の表面に形
成された第１陽極と、酸素イオン導電性を有する第２固
体電解質と、前記第２固体電解質の一方の表面に形成さ
れた第２陰極と、前記第２陰極と対向するように他方の
表面に形成された第２陽極と、前記第１陽極と前記第２
陰極に挟まれ、前記第１陽極および前記第２陰極を覆う
ように配置された多孔質体とで構成されるガスセンサ。 - 【請求項４】前記多孔質体の内部には加熱体が形成され
ている請求項３記載のガスセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5313151A JP2932916B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | ガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5313151A JP2932916B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | ガスセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07167833A true JPH07167833A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2932916B2 JP2932916B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=18037728
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5313151A Expired - Fee Related JP2932916B2 (ja) | 1993-12-14 | 1993-12-14 | ガスセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2932916B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5720864A (en) * | 1995-09-28 | 1998-02-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electrochemical device |
| US5935398A (en) * | 1995-11-02 | 1999-08-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Hydrocarbon sensor |
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| RU2483298C1 (ru) * | 2011-11-22 | 2013-05-27 | Учреждение Российской академии наук Институт высокотемпературной электрохимии Уральского отделения РАН | Твердоэлектролитный датчик для амперометрического измерения концентрации водорода и кислорода в газовых смесях |
| RU189090U1 (ru) * | 2019-02-21 | 2019-05-13 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт высокотемпературной электрохимии Уральского отделения Российской Академии наук | Сенсор для измерения концентрации кислорода и водорода в инертных, защитных и окислительных газовых смесях |
-
1993
- 1993-12-14 JP JP5313151A patent/JP2932916B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| RU2483298C1 (ru) * | 2011-11-22 | 2013-05-27 | Учреждение Российской академии наук Институт высокотемпературной электрохимии Уральского отделения РАН | Твердоэлектролитный датчик для амперометрического измерения концентрации водорода и кислорода в газовых смесях |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2932916B2 (ja) | 1999-08-09 |
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