JP2011124735A - 圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動部10,11の基端部9からその両側を平行に延出する第1及び第2支持腕14,15を有する圧電振動片2を気密に封止するパッケージ3を備える圧電デバイスにおいて、パッケージが、その内部に圧電振動片を収容するためのキャビティの内部に突出する凸部7aと、該凸部を貫通してキャビティの内部及びパッケージの外面に開口する封止孔22とを有する。第1支持腕はその長さが第2支持腕より短く、凸部は、平面的に見て圧電振動片と重ならないように、第1支持腕の延長方向にその先端よりも先に位置し、かつ圧電振動片の長さ方向において第2支持腕と少なくとも部分的に重なる範囲に配置される。
【選択図】図1
Description
圧電振動片が、振動部と、該振動部の基端部から延出しかつ振動部の両側に沿って配置された第1及び第2支持腕とを有し、
パッケージが、絶縁材料からなる箱型のベースと、該ベースの上部に接合される平板状のリッドと、ベースとリッドとにより画定されてその内部に圧電振動片を収容するためのキャビティと、ベース又はリッドからキャビティの内部に突出する凸部と、該凸部を貫通してキャビティの内部及びパッケージの外面に開口する封止孔とを有し、
圧電振動片が、第1及び第2支持腕においてキャビティの底面に固定支持され、
封止孔が封止材により気密に閉塞され、
第1支持腕の長さが第2支持腕の長さより短く、
凸部が、平面的に見て圧電振動片と重ならないように、第1支持腕の延長方向に該第1支持腕の先端寄りも先に位置しかつ圧電振動片の長さ方向において第2支持腕と少なくとも部分的に重なる範囲に設けられていることを特徴とする。
Claims (8)
- 圧電振動片と、前記圧電振動片を気密に封止するパッケージとを備え、
前記圧電振動片が、振動部と、前記振動部の基端部から延出しかつ該振動部の両側に沿って配置された第1及び第2支持腕とを有し、
前記パッケージが、絶縁材料からなる箱型のベースと、前記ベースの上部に接合される平板状のリッドと、前記ベースと前記リッドとにより画定されてその内部に前記圧電振動片を収容するためのキャビティと、前記ベース又は前記リッドから前記キャビティの内部に突出する凸部と、前記凸部を貫通して前記キャビティの内部及び前記パッケージの外面に開口する封止孔とを有し、
前記圧電振動片が、前記第1及び第2支持腕において前記キャビティの底面に固定支持され、
前記封止孔が封止材により気密に閉塞され、
前記第1支持腕の長さが前記第2支持腕の長さより短く、
前記凸部が、平面的に見て前記圧電振動片と重ならないように、前記第1支持腕の延長方向に該第1支持腕の先端よりも先に位置し、かつ前記圧電振動片の長さ方向において前記第2支持腕と少なくとも部分的に重なる範囲に設けられていることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記圧電振動片の幅方向において、前記振動部が前記第1支持腕よりも前記第2支持腕に近くなるように配置されていることを特徴とする請求項1記載の圧電デバイス。
- 前記ベースが複数の絶縁材料板の積層構造からなり、前記キャビティの底面が第1の前記絶縁材料板により画定され、かつ前記凸部が前記第1の絶縁材料板に積層される第2の前記絶縁材料板により画定され、前記封止孔が、前記第1の絶縁材料板に形成された大孔部と前記大孔部に連続するように前記第2の絶縁材料板に形成された小孔部とからなることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電デバイス。
- 前記リッドが前記凸部を有し、前記封止孔が、前記リッドの外面から前記キャビティに向けてテーパを付した傾斜面を有することを特徴とする請求項1又は2記載の圧電デバイス。
- 前記振動部が、前記基端部から平行に延出して屈曲振動する少なくとも1対の振動腕を有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の圧電デバイス。
- 前記振動腕が、その先端に幅広の錘部を有することを特徴とする請求項5記載の圧電デバイス。
- 前記振動部が、厚み滑り振動をする矩形平板からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の圧電デバイス。
- 前記圧電振動片が、更に前記基端部において前記キャビティの底面に固定支持されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか記載の圧電デバイス。
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