JP2009021794A - 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】圧電振動片30と圧電振動片30を収容するパッケージ12とを有し、パッケージ12における底板14bに気密封止用の封止孔24を備え、固形状の封止材28を溶融させた後に当該封止材28を硬化させることで前記封止孔24を封止する圧電デバイス10であって、前記封止孔24は、少なくともその一部が、前記パッケージ12に収容した圧電振動片30を平面視した際に重なる位置に形成し、封止孔24に固形状の封止材28を配置した際に、封止材28が圧電振動片30の一部と接触する事で、封止材28がパッケージ12のキャビティ内部に侵入することを防止する構成としたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
まず、図1乃至図3を参照して本発明の圧電デバイスに係る第1の実施形態について説明する。なお、図1(A)はリッドを取り外した圧電デバイスの構造を示す平面図であり、図1(B)は同図(A)におけるA−A断面を示す図である。また、図2は、封止孔の形態のバリエーションを示す図であり、図3は、圧電デバイスを分解した際の参考斜視図である。
前記圧電振動片30は、その振動形態を特に限定するものでは無いが、次のような構造を成す事が望ましい。すなわち、振動部32と、この振動部32から延設されたアーム部34a,34bを有するという構造である。
尚、本発明は、圧電デバイスの振動部と封止孔に対応する位置との間に入出力電極とマウント電極とを固定した固定個所が存在することで以下のような利点を有する。
封止孔24を封止した際には、希に封止材28がアーム部34aに接触してしまうことや封止材28からのガスが溶融により噴出しアーム部34aに付着することが起きる可能性があり、これによりアーム部34aの振動エネルギーの伝達特性が変化する可能性がある。
尚、このような機能は、特に音叉型圧電デバイスやその他、ジャイロセンサ等に使用されるような屈曲振動をする圧電振動片を用いた圧電デバイスに有効に働く。
尚、封止材としてハンダ材を用いて本発明を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ハンダ以外の軟ろう材から成る封止材や、銀や金錫などからなるろう材を封止材として使用しても構わない。
Claims (9)
- 圧電振動片と当該圧電振動片を収容するパッケージとを有し、前記パッケージにおける底板に気密封止用の貫通孔を備え、固形状の封止材を溶融させた後に当該封止材を硬化させることで前記貫通孔を封止する圧電デバイスであって、
前記貫通孔は、少なくともその一部が、前記パッケージに収容した圧電振動片を平面視した際に重なる位置に形成し、当該貫通孔に前記固形状の封止材を配置した際に、当該封止材が前記圧電振動片の一部と接触する事で、前記封止材が前記パッケージのキャビティ内部に侵入することを防止する構成としたことを特徴とする圧電デバイス。 - 前記圧電振動片は少なくとも、励振電極を備えた振動部と、入出力電極を備えたアーム部、および前記励振電極と前記入出力電極とを接続する引出電極とを備え、前記封止孔は前記アーム部の下部に形成したことを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- 前記貫通孔は、前記アーム部における前記入出力電極を形成した箇所よりも先端側に位置する箇所に対応させて設けたことを特徴とする請求項2に記載の圧電デバイス。
- 前記貫通孔は、前記アーム部に形成した前記入出力電極と、当該入出力電極よりもアーム部の先端側に形成した電極との間に位置する箇所に対応させて設けたことを特徴とする請求項2に記載の圧電デバイス。
- 前記アーム部は、1つの振動部に対して2つ形成したことを特徴とする請求項2乃至請求項4のいずれかに記載の圧電デバイス。
- 前記アーム部には、前記パッケージに配置した際に前記貫通孔と対応する位置に、金属被膜を形成したことを特徴とする請求項2乃至請求項5のいずれかに記載の圧電デバイス。
- 圧電振動片と当該圧電振動片を収容するパッケージとを有し、前記パッケージにおける底板に貫通孔を備え、封止材にて前記貫通孔を封止する圧電デバイスであって、
前記貫通孔は、少なくともその一部が、前記パッケージに収容した圧電振動片を平面視した際に重なる位置に形成し、前記貫通孔の開口面から前記圧電振動片までの距離が貫通孔の内接円のうち最大なものの直径の半分以下に構成したものであることを特徴とする圧電デバイス。 - 前記圧電振動片が屈曲振動をするものであることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の圧電デバイス。
- パッケージに形成された貫通孔について、固形状の封止材を溶融・硬化させることにより前記パッケージ内部のキャビティを封止する圧電デバイスの製造方法であって、
封止孔内部に配置する固形状の封止材を、前記キャビティに配置した圧電振動片の一部に接触させ、前記キャビティに前記封止材が落下することを防いだ後、
前記封止材を溶融・硬化させることを特徴とする圧電デバイスの製造方法。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011124735A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP2011228977A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2011233990A (ja) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
JP2012010128A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2012074807A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、表面実装型圧電振動子及び表面実装型圧電発振器 |
JP2012235366A (ja) * | 2011-05-06 | 2012-11-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
EP2621088A1 (en) * | 2012-01-27 | 2013-07-31 | Seiko Instruments Inc. | Vibration device and oscillator |
JP2014090516A (ja) * | 2014-02-06 | 2014-05-15 | Seiko Epson Corp | 振動子、発振器、ジャイロ及び電子機器 |
JP2016220180A (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-22 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電振動素子及び圧電デバイス |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05121989A (ja) * | 1991-10-25 | 1993-05-18 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の収納容器 |
JP2003318691A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-07 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスと圧電デバイス用パッケージ、圧電デバイスの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2004208236A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2004343541A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子 |
JP2005241380A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2006148857A (ja) * | 2004-10-20 | 2006-06-08 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
-
2007
- 2007-07-11 JP JP2007182378A patent/JP4905859B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05121989A (ja) * | 1991-10-25 | 1993-05-18 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の収納容器 |
JP2003318691A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-07 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスと圧電デバイス用パッケージ、圧電デバイスの製造方法、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置ならびに圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2004208236A (ja) * | 2002-12-26 | 2004-07-22 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2004343541A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片および音叉型圧電振動子 |
JP2005241380A (ja) * | 2004-02-25 | 2005-09-08 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2006148857A (ja) * | 2004-10-20 | 2006-06-08 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイス |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8723401B2 (en) | 2009-12-09 | 2014-05-13 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device with a package including a convex part |
US8643254B2 (en) | 2009-12-09 | 2014-02-04 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device with a package including a convex part |
US9325292B2 (en) | 2009-12-09 | 2016-04-26 | Seiko Epson Corporation | Piezoelectric device with a package including a convex part |
JP2011124735A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
KR101234482B1 (ko) | 2009-12-09 | 2013-02-18 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 압전 디바이스 |
JP2011228977A (ja) * | 2010-04-21 | 2011-11-10 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
US8803407B2 (en) | 2010-04-26 | 2014-08-12 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Piezoelectric device with asymmetrically mounted tuning-fork type piezoelectric vibrating piece |
JP2011233990A (ja) * | 2010-04-26 | 2011-11-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
JP2012010128A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2012074807A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、表面実装型圧電振動子及び表面実装型圧電発振器 |
JP2012235366A (ja) * | 2011-05-06 | 2012-11-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
EP2621088A1 (en) * | 2012-01-27 | 2013-07-31 | Seiko Instruments Inc. | Vibration device and oscillator |
JP2014090516A (ja) * | 2014-02-06 | 2014-05-15 | Seiko Epson Corp | 振動子、発振器、ジャイロ及び電子機器 |
JP2016220180A (ja) * | 2015-05-26 | 2016-12-22 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電振動素子及び圧電デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4905859B2 (ja) | 2012-03-28 |
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