JP2009099806A - 電子部品、およびその封止方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】水晶振動子1では、ベース3と蓋4とが封止材5を介して接合されて本体筐体11が構成され、この本体筐体11の内部空間12に水晶振動片2が気密封止されている。ベース3と蓋4との予め設定した接合領域のうち一接合領域13において、ビーム溶接方式によってベース3と蓋4とが封止材5を介して線状に接合するライン接合されている。また、ライン接合後に、ベース3と蓋4との予め設定した接合領域のうち他接合領域14において、ビーム溶接方式によってベース3と蓋4とが点状に接合するドット接合されている。
【選択図】図1
Description
11 本体筐体
12 内部空間
13 一接合領域
14 他接合領域
2 音叉型水晶振動片
3 ベース
4 蓋
5 封止材
71,72 照射痕
Claims (7)
- ベースと蓋とが封止材を介して接合されて本体筐体が構成され、この本体筐体の内部空間に電子部品素子が気密封止される電子部品において、
前記ベースと前記蓋との予め設定した接合領域のうち一接合領域において、ビーム溶接方式によって前記ベースと前記蓋とが封止材を介して線状に接合するライン接合され、前記ライン接合後に、前記ベースと前記蓋との予め設定した接合領域のうち他接合領域において、ビーム溶接方式によって前記ベースと前記蓋とが点状に接合するドット接合されたことを特徴とする電子部品。 - 請求項1に記載の電子部品において、
前記封止材を介した前記ベースと前記蓋の接合には、連続発振出力またはパルス発振出力によるビーム溶接方式が用いられたことを特徴とする電子部品。 - 請求項1または2に記載の電子部品において、
前記一接合領域の領域に対して、前記他接合領域の領域は小さいことを特徴とする電子部品。 - 請求項1乃至3のうちいずれか1つに記載の電子部品において、
前記他接合領域におけるドット接合の点状の照射痕の径は、100〜200μmであることを特徴とする電子部品。 - 請求項1乃至4のうちいずれか1つに記載の電子部品において、
前記電子部品素子は、圧電振動素子であることを特徴とする電子部品。 - 電子部品素子を保持したベースに封止材を介して蓋を接合し、電子部品素子を気密封止する電子部品の封止方法において、
ベースへの蓋の接合に、ビーム溶接方式を用い、
前記封止材を用いて前記ベースと前記蓋とを線状に接合するライン接合工程と、
前記封止材を用いて前記ベースと前記蓋とを点状に接合するドット接合工程と、を有し、
前記ライン接合工程の後に前記ドット接合工程を行うことを特徴とする電子部品の封止方法。 - 請求項6に記載の電子部品の封止方法において、
ビーム溶接方式は、連続発振出力またはパルス発振出力によるレーザビーム溶接方式であり、
前記ライン接合工程は、不活性ガスによる雰囲気下において行い、
前記ドット接合工程は、真空雰囲気下において行うことを特徴とする電子部品の封止方法。
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