JP2015065589A - 圧電振動片および圧電振動子 - Google Patents

Abstract

【課題】マウント部のショート不良を防止するとともに、振動漏れを抑制できる圧電振動片およびこの圧電振動片を備えた圧電振動子を提供する。【解決手段】一対の振動腕部３０，３１と、一対の振動腕部３０，３１の長手方向Ｌにおける基端部３０ｂ，３１ｂ同士を接続する基部３２と、一対の振動腕部３０，３１の間において基部３２に接続され、長手方向Ｌに沿って延びる支持部３３と、を備えた圧電振動片３Ａであって、支持部３３には、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂが設けられ、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂの間には、支持部３３を貫通するスリット５０が形成されていることを特徴としている。【選択図】図５

Description

この発明は、圧電振動片および圧電振動子に関するものである。

例えば、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等に用いられるデバイスとして、水晶等を利用した圧電振動子を用いる場合が多い。この種の圧電振動子として、キャビティが形成されたパッケージ内に圧電振動片を気密封止したものが知られている。

圧電振動片としては、例えば一対の振動腕部と、一対の振動腕部の長手方向における一方側の端部同士を接続する基部と、一対の振動腕部の間において基部に接続され、長手方向に沿って延びる支持部と、を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。圧電振動片は、各振動腕部に形成された励振電極に電圧が印加されると、一対の振動腕部が接近および離間するように、所定の周波数で振動する。
この圧電振動片は、支持部に形成された一対のマウント電極（マウント部）が、パッケージの基板上に形成された接続電極に対して、例えば導電性接着剤によって接着されている。

ところで、近年の携帯電話や携帯情報端末機器等の小型化の要請から、パッケージ内に収納される圧電振動片に対しても小型化が要求されている。このとき、圧電振動片の小型化にともなって、マウント電極が形成された支持部も小型化されることになる。

また、圧電振動片を作動させたとき、支持部を通じてパッケージの外部に振動が漏れる事象（以下、「振動漏れ」という。）が発生することが知られている。この振動漏れは、ＣＩ値（Ｃｒｙｓｔａｌ Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）の上昇に繋がってしまうものであるので、できるだけ抑制する必要がある。一般に、支持部のマウント電極と振動腕部との離間距離を長く確保することにより、支持部のマウント電極と振動腕部との間で振動腕部の振動を減衰させて、振動漏れを抑制できることが知られている。

特開２００６−３４５５１７号公報

しかしながら、従来技術にあっては、支持部の小型化により一対のマウント電極の離間距離も短縮される。このため、パッケージの基板上に圧電振動片を実装する際に、導電性接着剤が広がって一対のマウント電極同士をショートさせるおそれがある。
また、圧電振動片の小型化により、支持部のマウント電極と振動腕部との離間距離を十分に長く確保できないため、効果的に振動漏れを抑制できないおそれがある。

そこで、本発明は、上記事情に鑑みたものであって、マウント部のショート不良を防止するとともに、振動漏れを抑制できる圧電振動片およびこの圧電振動片を備えた圧電振動子の提供を課題とする。

上記の課題を解決するため、本発明の圧電振動片は、一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部の長手方向における一方側の端部同士を接続する基部と、前記一対の振動腕部の間において前記基部に接続され、前記長手方向に沿って延びる支持部と、を備えた圧電振動片であって、前記支持部には、一対のマウント部が設けられ、前記一対のマウント部の間には、前記支持部を貫通する開口部が形成されていることを特徴としている。

本発明によれば、一対のマウント部の間に、支持部を貫通する開口部が形成されているので、導電性接着剤を用いて圧電振動片を基板に実装する際に、マウント部近傍で広がった導電性接着剤が開口部内に入り込むことができる。これにより、導電性接着剤によって一対のマウント部同士が接続されるのを防止できるので、マウント部のショート不良を防止することができる。また、支持部を貫通する開口部を設けることにより、支持部の剛性が低下するので、振動腕部から支持部に伝達した振動を支持部で減衰させることができる。したがって、圧電振動片からの振動漏れを抑制できる。
さらに、開口部内に導電性接着材が入り込むことにより、圧電振動片に対する導電性接着剤の接着面積が増加するので、圧電振動片を基板に実装したときの固着力を増加させることができる。したがって、圧電振動片を基板に実装した際の耐衝撃性を向上させることができる。

また、前記支持部には、一対のマウント部が、それぞれ前記長手方向において異なる位置に設けられていることを特徴としている。

本発明によれば、支持部には、一対のマウント部が、それぞれ長手方向において異なる位置に設けられているので、導電性接着剤によって一対のマウント部同士が接続されるのを防止し、マウント部のショート不良を確実に防止することができる。

また、前記開口部は、前記長手方向に沿って延びるとともに、前記長手方向と直交する幅方向において、第一支持部と第二支持部とに前記支持部を分断するスリットであることを特徴としている。

本発明によれば、開口部が支持部を分断するスリットであるので、第一支持部に設けられた第一のマウント部と、第二支持部に設けられた第二のマウント部とが導電性接着剤によって接続されるのを抑制できる。

また、前記スリット内には、前記第一支持部と前記第二支持部とを接続する壁部が前記幅方向に沿って設けられ、前記壁部は、前記長手方向において、前記一対のマウント部の間に設けられていることを特徴としている。

本発明によれば、スリット内の壁部が長手方向において一対のマウント部の間に設けられているので、第一のマウント部を基板に対して接着する一方の導電性接着剤と、第二のマウント部を基板に対して接着する他方の導電性接着剤とが、それぞれスリット内に入り込んだ場合であっても、壁部によって、一方の導電性接着剤と他方の導電性接着剤とが接続されるのを確実に防止できる。したがって、マウント部のショート不良を確実に防止することができる。
さらに、壁部の幅や形状等を調節することにより、支持部の剛性と、支持部による振動漏れの抑制度合いとを所望の値に設定できる。

また、前記一対のマウント部は、それぞれ前記第一支持部の先端部と前記第二支持部の先端部とに設けられ、前記第一支持部と前記第二支持部とは、互いに長さが異なることを特徴としている。

本発明によれば、一対のマウント部の離間距離を、振動腕部の長手方向に沿って十分に確保できる。したがって、一対のマウント部同士が接続されるのを確実に防止できるので、マウント部のショート不良を確実に防止することができる。

また、本発明の圧電振動子は、上述の圧電振動片がパッケージの内部に収納されていることを特徴としている。

本発明によれば、マウント部のショート不良を防止するとともに、振動漏れを抑制できる圧電振動片がパッケージの内部に収納されているので、信頼性に優れた高性能な圧電振動子を得ることができる。

本発明によれば、一対のマウント部の間に、支持部を貫通する開口部が形成されているので、導電性接着剤を用いて圧電振動片を基板に実装する際に、マウント部近傍で広がった導電性接着剤が開口部内に入り込むことができる。これにより、導電性接着剤によって一対のマウント部同士が接続されるのを防止できるので、マウント部のショート不良を防止することができる。また、支持部を貫通する開口部を設けることにより、支持部の剛性が低下するので、振動腕部から支持部に伝達した振動を支持部で減衰させることができる。したがって、圧電振動片からの振動漏れを抑制できる。
さらに、開口部内に導電性接着材が入り込むことにより、圧電振動片に対する導電性接着剤の接着面積が増加するので、圧電振動片を基板に実装したときの固着力を増加させることができる。したがって、圧電振動片を基板に実装した際の耐衝撃性を向上させることができる。

実施形態に係る圧電振動子の外観斜視図である。 図１に示す圧電振動子の内部構成図である。 図２に示す圧電振動子のＡ−Ａ線に沿う断面図である。 図１に示す圧電振動子の分解斜視図である。 実施形態に係る圧電振動片の平面図である。 図５のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 実施形態の第一変形例に係る圧電振動片の平面図である。 実施形態の第二変形例に係る圧電振動片の平面図である。 実施形態の他の変形例に係る圧電振動片の平面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下では、まず、圧電振動子について説明をしたあと、圧電振動子に収納される圧電振動片について説明する。
図１は、実施形態に係る圧電振動子１の外観斜視図であり、図２は圧電振動子１の内部構成図であって、封口板６（図１参照）を取り外した状態で圧電振動片３Ａを上方から見た図であり、図３は、図２に示す圧電振動子１のＡ−Ａ線に沿う断面図であり、図４は、図１に示す圧電振動子１の分解斜視図である。
図１から図４に示すように、本実施形態の圧電振動子１は、内部に気密封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣの内部に収納された圧電振動片３Ａと、を備えた、いわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。

圧電振動子１は、概略直方体状に形成されている。なお、以下の説明では、平面視において圧電振動子１の長さ方向を長手方向Ｌといい、長手方向と直交する圧電振動子１の短手方向を幅方向Ｗといい、長手方向Ｌおよび幅方向Ｗに対して直交する方向を厚さ方向Ｔという。

パッケージ２は、パッケージ本体５と、このパッケージ本体５に対して接合されるとともに、パッケージ本体５との間にキャビティＣを形成する封口板６と、を備えている。
パッケージ本体５は、互いに重ね合わされた状態で接合された第一ベース基板１０および第二ベース基板１１と、第二ベース基板１１上に接合されたシールリング１２と、を備えている。
第一ベース基板１０は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第二ベース基板１１は、第一ベース基板１０と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第一ベース基板１０上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。

第一ベース基板１０および第二ベース基板１１の四隅には、平面視１／４円弧状の切欠部１５が、第一ベース基板１０および第二ベース基板１１の厚さ方向Ｔの全体にわたって形成されている。これら第一ベース基板１０および第二ベース基板１１は、例えばウエハ状のセラミック基板を二枚重ねて接合した後、両セラミック基板を貫通する複数のスルーホールを行列状に形成し、その後、各スルーホールを基準としながら両セラミック基板を格子状に切断することで作製される。その際、スルーホールが４分割されることで、切欠部１５となる。
また、第二ベース基板１１の上面は、圧電振動片３Ａがマウントされる内壁に対応する実装面１１ａとされている。

なお、第一ベース基板１０および第二ベース基板１１はセラミックス製としたが、その具体的なセラミックス材料としては、例えばアルミナ製のＨＴＣＣ（Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）や、ガラスセラミックス製のＬＴＣＣ（Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）等が挙げられる。

シールリング１２は、第一ベース基板１０および第二ベース基板１１の外形よりも一回り小さい導電性の枠状部材であり、第二ベース基板１１の実装面１１ａに接合されている。具体的には、シールリング１２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等による焼付けによって実装面１１ａ上に接合、あるいは、例えば、電解メッキや無電解メッキの他、蒸着やスパッタリング等により実装面１１ａ上に形成された金属接合層に対する溶着等によって接合されている。

シールリング１２の材料としては、例えばニッケル基合金等が挙げられ、具体的にはコバールやエリンバー、インバー、４２−アロイ等から選択すれば良い。特に、シールリング１２の材料としては、セラミックス製とされている第一ベース基板１０および第二ベース基板１１に対して、熱膨張係数が近いものを選択することが好ましい。例えば、第一ベース基板１０および第二ベース基板１１として、熱膨張係数６．８×１０−６／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１２としては、熱膨張係数５．２×１０−６／℃のコバールや、熱膨張係数４．５〜６．５×１０−６／℃の４２−アロイ等を用いることが好ましい。

封口板６は、シールリング１２上に重ねられた導電性基板であり、シールリング１２に対する接合によってパッケージ本体５に対して気密に接合されている。そして、この封口板６とシールリング１２と第二ベース基板１１の実装面１１ａとで画成された空間が、気密に封止された上記キャビティＣ（図３参照）として機能する。
なお、封口板６の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板６とシールリング１２との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板６の下面と、シールリング１２の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。

第二ベース基板１１の実装面１１ａには、圧電振動片３Ａとの接続電極である一対の電極パッド２０Ａ，２０Ｂが長手方向Ｌおよび幅方向Ｗに互いにずれた異なる位置に形成されている。また、第一ベース基板１０の下面には、一対の外部電極２１Ａ，２１Ｂが長手方向Ｌに間隔をあけて形成されている。
電極パッド２０Ａ，２０Ｂおよび外部電極２１Ａ，２１Ｂは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、互いにそれぞれ導通している。

図３に示すように、第一ベース基板１０には、一方の外部電極２１Ａに導通し、第一ベース基板１０を厚さ方向Ｔに貫通する一方の第一貫通電極２２Ａが形成されている。また、第二ベース基板１１には、一方の電極パッド２０Ａに導通し、該第二ベース基板１１を厚さ方向Ｔに貫通する一方の第二貫通電極２３Ａが形成されている。そして、第一ベース基板１０と第二ベース基板１１との間には、一方の第一貫通電極２２Ａと一方の第二貫通電極２３Ａとを接続する一方の接続電極２４Ａが形成されている。これにより、一方の電極パッド２０Ａと一方の外部電極２１Ａとは、互いに導通している。

また、第一ベース基板１０には、他方の外部電極２１Ｂに導通し、該第一ベース基板１０を厚さ方向Ｔに貫通する他方の第一貫通電極２２Ｂが形成されている。また、第二ベース基板１１には、他方の電極パッド２０Ｂに導通し、該第二ベース基板１１を厚さ方向Ｔに貫通する他方の第二貫通電極２３Ｂが形成されている。そして、第一ベース基板１０と第二ベース基板１１との間には、他方の第一貫通電極２２Ｂと他方の第二貫通電極２３Ｂとを接続する他方の接続電極２４Ｂが形成されている。これにより、他方の電極パッド２０Ｂと他方の外部電極２１Ｂとは、互いに導通している。
なお、他方の接続電極２４Ｂは、後述する凹部４０を回避するように、例えばシールリング１２の下方を該シールリング１２に沿って延在するようにパターニングされている。

図２に示すように、第二ベース基板１１の実装面１１ａには、後述する圧電振動片３Ａの一対の振動腕部３０，３１の先端部３０ａ，３１ａに対向する部分に、凹部４０が形成されている。凹部４０は、例えば落下等による衝撃の影響によって、振動腕部３０，３１が厚さ方向Ｔに変位（撓み変形）したときに、振動腕部３０，３１の先端部３０ａ，３１ａと第二ベース基板１１との接触を回避するために形成されている。凹部４０は、第二ベース基板１１を貫通する貫通孔とされているとともに、シールリング１２の内側において四隅が丸み帯びた平面視矩形状に形成されている。

（圧電振動片）
圧電振動片３Ａは、例えば水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された振動片であり、長手方向Ｌに沿って配置される一対の振動腕部３０，３１と、一対の振動腕部３０，３１の各基端部３０ｂ，３１ｂを接続する基部３２と、一対の振動腕部３０，３１の間において基部３２に接続され、一対の振動腕部３０，３１の延在方向に沿うように延びる支持部３３と、を備えている。振動腕部３０，３１の長手方向は圧電振動子１の長手方向Ｌと一致し、振動腕部３０，３１の幅方向は圧電振動子１の幅方向Ｗと一致し、振動腕部３０，３１の厚さ方向は圧電振動子１の厚さ方向Ｔと一致している。
また、圧電振動片３Ａの形状はこれに限定されるものではなく、例えば振動腕部３０，３１が長手方向Ｌに対して最大で５度程度傾斜して延びているような形状であってもよい。すなわち、基部３２の幅方向Ｗに離間して設けられる振動腕部３０，３１があり、その間に長手方向Ｌに沿うように延びる支持部３３が設けられるような形状であれば、圧電振動片３Ａの形状は特に限定されるものではない。

一対の振動腕部３０，３１は、例えば、先端部３０ａ，３１ａ側の幅寸法が基端部３０ｂ，３１ｂ側に比べて拡大された、いわゆるハンマーヘッドタイプであって、振動腕部３０，３１の先端部３０ａ，３１ａ側の重量および振動時の慣性モーメントが増大させられている。これによって、振動腕部３０，３１は振動し易くなるので、振動腕部３０，３１の全長を短くして小型化が図られている。
なお、一対の振動腕部３０，３１の形状は、いわゆるハンマーヘッドタイプに限定されるものではない。

一対の振動腕部３０，３１は、その両主面３０ｃ，３１ｃ上に、振動腕部３０，３１の長手方向Ｌに沿ってそれぞれ形成された溝部３７を備えている。
溝部３７は、例えば、振動腕部３０，３１の基端部３０ｂ，３１ｂ側からほぼ中央付近に至る間に形成されている。

一対の振動腕部３０，３１は、自身の振動状態を所定の周波数の範囲内で振動するように調整するための周波数調整用に外表面上に被膜された不図示の重り金属膜を備えている。重り金属膜は、例えば、周波数を粗く調整するための不図示の粗調膜と、微小調整するための不図示の微調膜とを備えている。
周波数調整は、粗調膜および微調膜の重量調整によって行なわれ、一対の振動腕部３０，３１の周波数は所定の目標周波数の範囲内に収まるように調整される。

図５は圧電振動片の平面図であり、図６は、図５のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
図５および図６に示すように、一対の振動腕部３０，３１は、一対の振動腕部３０，３１を振動させる一対の励振電極（第一の励振電極３５および第二の励振電極３６）を、圧電材料からなる圧電板３４の表面上に備えている。

第一の励振電極３５および第二の励振電極３６からなる励振電極は、一対の振動腕部３０，３１の外表面上に互いに電気的に絶縁された状態でパターニングされ、一対の振動腕部３０，３１を互いに接近または離間する方向に所定の周波数で振動させる。
例えば、第一の励振電極３５は、主に、一方側（図５における右方）の振動腕部３０の溝部３７上と、他方側（図５における左方）の振動腕部３１の両側面３１ｄ上とに、それぞれ振動腕部３０，３１の長手方向Ｌに沿って連続して設けられている。また、第二の励振電極３６は、主に、一方側の振動腕部３０の両側面３０ｄ上と、他方側の振動腕部３１の溝部３７上とに、それぞれ振動腕部３０，３１の長手方向Ｌに沿って連続して設けられている。

支持部３３の外表面上には、圧電振動片３Ａを実装する際のマウント部として、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂが設けられている。
第一のマウント電極３８Ａは、平面視矩形状をしており、幅方向Ｗの他方側（図５における左方）において、支持部３３の長手方向Ｌにおける中間部分よりも基端部３３ｂ側に設けられている。第一のマウント電極３８Ａは、第一の励振電極３５に連続してパターニングされることによって形成されている。
また、第二のマウント電極３８Ｂは、平面視矩形状をしており、幅方向Ｗの一方側（図５における右方）において、支持部３３の長手方向Ｌにおける中間部分よりも先端部３３ａ側に設けられている。第二のマウント電極３８Ｂは、第二の励振電極３６に連続してパターニングされることによって形成されている。
このように、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂは、それぞれ長手方向Ｌおよび幅方向Ｗにおいて、異なる位置に設けられている。
マウント電極３８Ａ，３８Ｂは、圧電振動片３Ａを実装する際に、電極パッド２０Ａ，２０Ｂ（図４参照）と電気的に接続されることで、外部電極２１Ａ，２１Ｂ（図４参照）から第一の励振電極３５および第二の励振電極３６に給電できるようになっている。

一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂの間には、支持部３３を厚さ方向Ｔに貫通するスリット５０が形成されている。スリット５０は、支持部３３の先端部３３ａから基端部３３ｂにわたって長手方向Ｌに沿って延びるとともに、幅方向Ｗにおいて支持部３３を第一支持部３３Ａと第二支持部３３Ｂとに分断している。これにより、第一支持部３３Ａの基端側に第一のマウント電極３８Ａが配置され、第二支持部３３Ｂの先端側に第二のマウント電極３８Ｂが配置される。

図４に示すように、圧電振動片３Ａを第二ベース基板１１の実装面１１ａに実装する工程では、まず、一対の電極パッド２０Ａ，２０Ｂの表面に導電性接着剤４５を塗布する。
次いで、圧電振動片３Ａの一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂと、第二ベース基板１１の一対の電極パッド２０Ａ，２０Ｂとをそれぞれ重ね合わせた状態で、圧電振動片３Ａを第二ベース基板１１に向かって押圧する。
最後に、導電性接着剤４５を硬化させることにより、圧電振動片３Ａを第二ベース基板１１の実装面１１ａに実装する工程が完了する。

ここで、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂの間には、スリット５０が形成されているので、圧電振動片３Ａを第二ベース基板１１に向かって押圧したときに、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂと一対の電極パッド２０Ａ，２０Ｂとの間で押し広げられた導電性接着剤４５は、スリット５０内に入り込む。これにより、押し広げられた導電性接着剤４５を介して、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂが電気的に接続されるのが防止される。

（効果）
本実施形態によれば、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂの間に、支持部３３を貫通するスリット５０（開口部）が形成されているので、導電性接着剤４５を用いて圧電振動片３Ａを第二ベース基板１１に実装する際に、マウント電極３８Ａ，３８Ｂ近傍で広がった導電性接着剤４５がスリット５０内に入り込むことができる。これにより、導電性接着剤４５によって一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂ同士が接続されるのを防止できるので、マウント電極３８Ａ，３８Ｂのショート不良を防止することができる。また、支持部３３を貫通するスリット５０を設けることにより、支持部３３の剛性が低下するので、振動腕部３０，３１から支持部３３に伝達した振動を支持部３３で減衰させることができる。したがって、圧電振動片３Ａからの振動漏れを抑制できる。
さらに、スリット５０内に導電性接着材が入り込むことにより、圧電振動片３Ａに対する導電性接着剤４５の接着面積が増加するので、圧電振動片３Ａを第二ベース基板１１に実装したときの固着力を増加させることができる。したがって、圧電振動片３Ａを第二ベース基板１１に実装した際の耐衝撃性を向上させることができる。

また、支持部３３に形成された開口部が、支持部３３を第一支持部３３Ａと第二支持部３３Ｂとに分断するスリット５０であるので、第一支持部３３Ａに設けられた第一のマウント電極３８Ａと、第二支持部３３Ｂに設けられた第二のマウント電極３８Ｂとが導電性接着剤４５によって接続されるのを確実に抑制できる。

また、本実施形態によれば、マウント電極３８Ａ，３８Ｂのショート不良を防止するとともに、振動漏れを抑制できる上述の圧電振動片３Ａがパッケージ２の内部に収納されているので、信頼性に優れた高性能な圧電振動子１を得ることができる。

（実施形態の変形例）
図７は、実施形態の第一変形例に係る圧電振動片３Ｂの平面図である。
図８は、実施形態の第二変形例に係る圧電振動片３Ｃの平面図である。
続いて、実施形態の各変形例について説明をする。
実施形態に係る圧電振動片３Ａは、支持部３３を貫通するスリット５０が設けられるとともに、スリット５０により支持部３３が第一のマウント電極３８Ａを有する第一支持部３３Ａと、第二のマウント電極３８Ｂを有する第二支持部３３Ｂとに分断されていた。
これに対して、支持部３３やスリット５０等の形状は、上述した実施形態に限定されることはなく、以下のような各変形例の態様であってもよい。なお、以下では、実施形態と同様の構成については説明を省略する。

図７に示すように、実施形態の第一変形例に係る圧電振動片３Ｂには、支持部３３を厚さ方向Ｔに貫通するスリット５０が長手方向Ｌに沿って形成されている。支持部３３のスリット５０内には、幅方向Ｗに沿うように壁部５１が形成されている。スリット５０は、壁部５１によって、長手方向Ｌに第一スリット５０ａと第二スリット５０ｂとに分割されている。

壁部５１は、支持部３３の長手方向Ｌの中間部分において、第一支持部３３Ａと第二支持部３３Ｂとを接続している。これにより、支持部３３に形成された第一のマウント電極３８Ａと第二のマウント電極３８Ｂとの間には、幅方向Ｗにおいてスリット５０が介在するとともに、長手方向Ｌにおいて壁部５１が介在する。

実施形態の第一変形例によれば、スリット５０内の壁部５１が長手方向Ｌにおいて一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂの間に設けられているので、第一のマウント電極３８Ａを第二ベース基板１１（図４参照）に対して接着するため、一方の電極パッド２０Ａ（図４参照）に塗布された導電性接着剤４５（図４参照）と、第二のマウント電極３８Ｂを第二ベース基板１１に対して接着するため、他方の電極パッド２０Ｂ（図４参照）に塗布された導電性接着剤４５（図４参照）とが、それぞれスリット５０内に入り込んだ場合であっても、壁部５１によって一方の導電性接着剤４５と他方の導電性接着剤４５とが接続されるのを確実に防止できる。したがって、マウント電極３８Ａ，３８Ｂのショート不良を確実に防止することができる。
さらに、壁部５１の幅や形状等を調節することにより、支持部３３の剛性と、支持部３３による振動漏れの抑制度合いとを所望の値に設定できる。

図８に示すように、実施形態の第二変形例に係る圧電振動片３Ｃには、支持部３３を厚さ方向Ｔに貫通するスリット５０が長手方向Ｌに沿って形成されている。支持部３３は、スリット５０によって、第一支持部３３Ａと第二支持部３３Ｂとに分断されている。これにより、第一のマウント電極３８Ａと第二のマウント電極３８Ｂとの間には、幅方向Ｗにおいてスリット５０が介在する。

第一のマウント電極３８Ａは、第一支持部３３Ａの先端部に設けられている。また、第二のマウント電極３８Ｂは、第二支持部３３Ｂの先端部に設けられている。
ここで、第一支持部３３Ａと第二支持部３３Ｂとは、互いに長さが異なるように形成されている。本変形例においては、第一支持部３３Ａは、第二支持部３３Ｂよりも全長が短くなるように形成されている。これにより、第一のマウント電極３８Ａは、第二のマウント電極３８Ｂよりも基部３２側に設けられる。したがって、第一のマウント電極３８Ａと第二のマウント電極３８Ｂとは、長手方向Ｌに互いに離間して配置される。

実施形態の第二変形例によれば、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂの離間距離を、一対の振動腕部３０，３１の長手方向Ｌに沿って十分に確保できる。したがって、一対のマウント電極３８Ａ，３８Ｂ同士が接続されるのを確実に防止できるので、マウント電極３８Ａ，３８Ｂのショート不良を確実に防止することができる。

なお、この発明の技術範囲は上記の実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

図９は、実施形態の他の変形例に係る圧電振動片３Ｄの平面図である。
支持部３３やスリット５０等の形状は、実施形態および実施形態の各変形例に限定されることはなく、種々変更することができる。
例えば、図９に示すように、第一支持部３３Ａと第二支持部３３Ｂとを平面視で蛇腹状に形成するとともに、スリット５０を挟んで対称形状となるように形成してもよい。この場合においても、実施形態と同様に、マウント電極３８Ａ，３８Ｂのショート不良を防止するとともに、第一支持部３３Ａと第二支持部３３Ｂとが撓むことにより振動漏れを抑制できる。

上述した実施形態では、圧電振動子の一例として、セラミックパッケージタイプの圧電振動子１を例に挙げたが、これに限定されない。したがって、圧電振動子は、例えばガラスパッケージタイプの圧電振動子や、表面実装型の圧電振動子、シリンダパッケージタイプの圧電振動子であってもよい。

実施形態の圧電振動片３Ａは、支持部３３に形成される開口部が長手方向Ｌに沿うスリット５０であった。これに対して、支持部３３に形成される開口部は、スリット５０に限定されない。したがって、例えば、開口部が貫通孔であってもよい。また、支持部３３に形成される開口部の個数は、一個に限定されない。

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。

１・・・圧電振動子 ２・・・パッケージ ３Ａ，３Ｂ，３Ｃ，３Ｄ・・・圧電振動片 ３０，３１・・・振動腕部 ３０ｂ，３１ｂ・・・基端部（端部） ３２・・・基部 ３３・・・支持部 ３３Ａ・・・第一支持部 ３３Ｂ・・・第二支持部 Ｌ・・・長手方向 ３８Ａ，３８Ｂ…マウント電極（マウント部） ５０・・・スリット（開口部） ５１・・・壁部

Claims (6)

1. 一対の振動腕部と、
   前記一対の振動腕部の長手方向における一方側の端部同士を接続する基部と、
   前記一対の振動腕部の間において前記基部に接続され、前記長手方向に沿って延びる支持部と、
   を備えた圧電振動片であって、
   前記支持部には、一対のマウント部が設けられ、
   前記一対のマウント部の間には、前記支持部を貫通する開口部が形成されていることを特徴とする圧電振動片。
2. 請求項１に記載の圧電振動片であって、
   前記支持部には、一対のマウント部が、それぞれ前記長手方向において異なる位置に設けられていることを特徴とする圧電振動片。
3. 請求項１または２に記載の圧電振動片であって、
   前記開口部は、前記長手方向に沿って延びるとともに、前記長手方向と直交する幅方向において、第一支持部と第二支持部とに前記支持部を分断するスリットであることを特徴とする圧電振動片。
4. 請求項３に記載の圧電振動片であって、
   前記スリット内には、前記第一支持部と前記第二支持部とを接続する壁部が前記幅方向に沿って設けられ、
   前記壁部は、前記長手方向において、前記一対のマウント部の間に設けられていることを特徴とする圧電振動片。
5. 請求項３に記載の圧電振動片であって、
   前記一対のマウント部は、それぞれ前記第一支持部の先端部と前記第二支持部の先端部とに設けられ、
   前記第一支持部と前記第二支持部とは、互いに長さが異なることを特徴とする圧電振動片。
6. 請求項１に記載の圧電振動片がパッケージの内部に収納されていることを特徴とする圧電振動子。

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