JP2015065589A - 圧電振動片および圧電振動子 - Google Patents
圧電振動片および圧電振動子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015065589A JP2015065589A JP2013198757A JP2013198757A JP2015065589A JP 2015065589 A JP2015065589 A JP 2015065589A JP 2013198757 A JP2013198757 A JP 2013198757A JP 2013198757 A JP2013198757 A JP 2013198757A JP 2015065589 A JP2015065589 A JP 2015065589A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support portion
- pair
- mount
- piezoelectric
- vibrating piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 abstract description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 67
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 33
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 33
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 16
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 16
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 13
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 7
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 description 6
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 4
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000942 Elinvar Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
Description
この圧電振動片は、支持部に形成された一対のマウント電極(マウント部)が、パッケージの基板上に形成された接続電極に対して、例えば導電性接着剤によって接着されている。
また、圧電振動片の小型化により、支持部のマウント電極と振動腕部との離間距離を十分に長く確保できないため、効果的に振動漏れを抑制できないおそれがある。
さらに、開口部内に導電性接着材が入り込むことにより、圧電振動片に対する導電性接着剤の接着面積が増加するので、圧電振動片を基板に実装したときの固着力を増加させることができる。したがって、圧電振動片を基板に実装した際の耐衝撃性を向上させることができる。
さらに、壁部の幅や形状等を調節することにより、支持部の剛性と、支持部による振動漏れの抑制度合いとを所望の値に設定できる。
さらに、開口部内に導電性接着材が入り込むことにより、圧電振動片に対する導電性接着剤の接着面積が増加するので、圧電振動片を基板に実装したときの固着力を増加させることができる。したがって、圧電振動片を基板に実装した際の耐衝撃性を向上させることができる。
図1は、実施形態に係る圧電振動子1の外観斜視図であり、図2は圧電振動子1の内部構成図であって、封口板6(図1参照)を取り外した状態で圧電振動片3Aを上方から見た図であり、図3は、図2に示す圧電振動子1のA−A線に沿う断面図であり、図4は、図1に示す圧電振動子1の分解斜視図である。
図1から図4に示すように、本実施形態の圧電振動子1は、内部に気密封止されたキャビティCを有するパッケージ2と、キャビティCの内部に収納された圧電振動片3Aと、を備えた、いわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。
パッケージ本体5は、互いに重ね合わされた状態で接合された第一ベース基板10および第二ベース基板11と、第二ベース基板11上に接合されたシールリング12と、を備えている。
第一ベース基板10は、平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされている。第二ベース基板11は、第一ベース基板10と同じ外形形状である平面視略長方形状に形成されたセラミックス製の基板とされており、第一ベース基板10上に重ねられた状態で焼結等によって一体的に接合されている。
また、第二ベース基板11の上面は、圧電振動片3Aがマウントされる内壁に対応する実装面11aとされている。
なお、封口板6の溶接方法としては、例えばローラ電極を接触させることによるシーム溶接や、レーザ溶接、超音波溶接等が挙げられる。また、封口板6とシールリング12との溶接をより確実なものとするため、互いになじみの良いニッケルや金等の接合層を、少なくとも封口板6の下面と、シールリング12の上面とにそれぞれ形成することが好ましい。
電極パッド20A,20Bおよび外部電極21A,21Bは、例えば蒸着やスパッタ等で形成された単一金属による単層膜、または異なる金属が積層された積層膜であり、互いにそれぞれ導通している。
なお、他方の接続電極24Bは、後述する凹部40を回避するように、例えばシールリング12の下方を該シールリング12に沿って延在するようにパターニングされている。
圧電振動片3Aは、例えば水晶やタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された振動片であり、長手方向Lに沿って配置される一対の振動腕部30,31と、一対の振動腕部30,31の各基端部30b,31bを接続する基部32と、一対の振動腕部30,31の間において基部32に接続され、一対の振動腕部30,31の延在方向に沿うように延びる支持部33と、を備えている。振動腕部30,31の長手方向は圧電振動子1の長手方向Lと一致し、振動腕部30,31の幅方向は圧電振動子1の幅方向Wと一致し、振動腕部30,31の厚さ方向は圧電振動子1の厚さ方向Tと一致している。
また、圧電振動片3Aの形状はこれに限定されるものではなく、例えば振動腕部30,31が長手方向Lに対して最大で5度程度傾斜して延びているような形状であってもよい。すなわち、基部32の幅方向Wに離間して設けられる振動腕部30,31があり、その間に長手方向Lに沿うように延びる支持部33が設けられるような形状であれば、圧電振動片3Aの形状は特に限定されるものではない。
なお、一対の振動腕部30,31の形状は、いわゆるハンマーヘッドタイプに限定されるものではない。
溝部37は、例えば、振動腕部30,31の基端部30b,31b側からほぼ中央付近に至る間に形成されている。
周波数調整は、粗調膜および微調膜の重量調整によって行なわれ、一対の振動腕部30,31の周波数は所定の目標周波数の範囲内に収まるように調整される。
図5および図6に示すように、一対の振動腕部30,31は、一対の振動腕部30,31を振動させる一対の励振電極(第一の励振電極35および第二の励振電極36)を、圧電材料からなる圧電板34の表面上に備えている。
例えば、第一の励振電極35は、主に、一方側(図5における右方)の振動腕部30の溝部37上と、他方側(図5における左方)の振動腕部31の両側面31d上とに、それぞれ振動腕部30,31の長手方向Lに沿って連続して設けられている。また、第二の励振電極36は、主に、一方側の振動腕部30の両側面30d上と、他方側の振動腕部31の溝部37上とに、それぞれ振動腕部30,31の長手方向Lに沿って連続して設けられている。
第一のマウント電極38Aは、平面視矩形状をしており、幅方向Wの他方側(図5における左方)において、支持部33の長手方向Lにおける中間部分よりも基端部33b側に設けられている。第一のマウント電極38Aは、第一の励振電極35に連続してパターニングされることによって形成されている。
また、第二のマウント電極38Bは、平面視矩形状をしており、幅方向Wの一方側(図5における右方)において、支持部33の長手方向Lにおける中間部分よりも先端部33a側に設けられている。第二のマウント電極38Bは、第二の励振電極36に連続してパターニングされることによって形成されている。
このように、一対のマウント電極38A,38Bは、それぞれ長手方向Lおよび幅方向Wにおいて、異なる位置に設けられている。
マウント電極38A,38Bは、圧電振動片3Aを実装する際に、電極パッド20A,20B(図4参照)と電気的に接続されることで、外部電極21A,21B(図4参照)から第一の励振電極35および第二の励振電極36に給電できるようになっている。
次いで、圧電振動片3Aの一対のマウント電極38A,38Bと、第二ベース基板11の一対の電極パッド20A,20Bとをそれぞれ重ね合わせた状態で、圧電振動片3Aを第二ベース基板11に向かって押圧する。
最後に、導電性接着剤45を硬化させることにより、圧電振動片3Aを第二ベース基板11の実装面11aに実装する工程が完了する。
本実施形態によれば、一対のマウント電極38A,38Bの間に、支持部33を貫通するスリット50(開口部)が形成されているので、導電性接着剤45を用いて圧電振動片3Aを第二ベース基板11に実装する際に、マウント電極38A,38B近傍で広がった導電性接着剤45がスリット50内に入り込むことができる。これにより、導電性接着剤45によって一対のマウント電極38A,38B同士が接続されるのを防止できるので、マウント電極38A,38Bのショート不良を防止することができる。また、支持部33を貫通するスリット50を設けることにより、支持部33の剛性が低下するので、振動腕部30,31から支持部33に伝達した振動を支持部33で減衰させることができる。したがって、圧電振動片3Aからの振動漏れを抑制できる。
さらに、スリット50内に導電性接着材が入り込むことにより、圧電振動片3Aに対する導電性接着剤45の接着面積が増加するので、圧電振動片3Aを第二ベース基板11に実装したときの固着力を増加させることができる。したがって、圧電振動片3Aを第二ベース基板11に実装した際の耐衝撃性を向上させることができる。
図7は、実施形態の第一変形例に係る圧電振動片3Bの平面図である。
図8は、実施形態の第二変形例に係る圧電振動片3Cの平面図である。
続いて、実施形態の各変形例について説明をする。
実施形態に係る圧電振動片3Aは、支持部33を貫通するスリット50が設けられるとともに、スリット50により支持部33が第一のマウント電極38Aを有する第一支持部33Aと、第二のマウント電極38Bを有する第二支持部33Bとに分断されていた。
これに対して、支持部33やスリット50等の形状は、上述した実施形態に限定されることはなく、以下のような各変形例の態様であってもよい。なお、以下では、実施形態と同様の構成については説明を省略する。
さらに、壁部51の幅や形状等を調節することにより、支持部33の剛性と、支持部33による振動漏れの抑制度合いとを所望の値に設定できる。
ここで、第一支持部33Aと第二支持部33Bとは、互いに長さが異なるように形成されている。本変形例においては、第一支持部33Aは、第二支持部33Bよりも全長が短くなるように形成されている。これにより、第一のマウント電極38Aは、第二のマウント電極38Bよりも基部32側に設けられる。したがって、第一のマウント電極38Aと第二のマウント電極38Bとは、長手方向Lに互いに離間して配置される。
支持部33やスリット50等の形状は、実施形態および実施形態の各変形例に限定されることはなく、種々変更することができる。
例えば、図9に示すように、第一支持部33Aと第二支持部33Bとを平面視で蛇腹状に形成するとともに、スリット50を挟んで対称形状となるように形成してもよい。この場合においても、実施形態と同様に、マウント電極38A,38Bのショート不良を防止するとともに、第一支持部33Aと第二支持部33Bとが撓むことにより振動漏れを抑制できる。
Claims (6)
- 一対の振動腕部と、
前記一対の振動腕部の長手方向における一方側の端部同士を接続する基部と、
前記一対の振動腕部の間において前記基部に接続され、前記長手方向に沿って延びる支持部と、
を備えた圧電振動片であって、
前記支持部には、一対のマウント部が設けられ、
前記一対のマウント部の間には、前記支持部を貫通する開口部が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片であって、
前記支持部には、一対のマウント部が、それぞれ前記長手方向において異なる位置に設けられていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1または2に記載の圧電振動片であって、
前記開口部は、前記長手方向に沿って延びるとともに、前記長手方向と直交する幅方向において、第一支持部と第二支持部とに前記支持部を分断するスリットであることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項3に記載の圧電振動片であって、
前記スリット内には、前記第一支持部と前記第二支持部とを接続する壁部が前記幅方向に沿って設けられ、
前記壁部は、前記長手方向において、前記一対のマウント部の間に設けられていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項3に記載の圧電振動片であって、
前記一対のマウント部は、それぞれ前記第一支持部の先端部と前記第二支持部の先端部とに設けられ、
前記第一支持部と前記第二支持部とは、互いに長さが異なることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片がパッケージの内部に収納されていることを特徴とする圧電振動子。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013198757A JP6168949B2 (ja) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 圧電振動片および圧電振動子 |
CN201410496154.4A CN104467730B (zh) | 2013-09-25 | 2014-09-25 | 压电振动片及压电振动器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013198757A JP6168949B2 (ja) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015065589A true JP2015065589A (ja) | 2015-04-09 |
JP6168949B2 JP6168949B2 (ja) | 2017-07-26 |
Family
ID=52833115
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013198757A Active JP6168949B2 (ja) | 2013-09-25 | 2013-09-25 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6168949B2 (ja) |
CN (1) | CN104467730B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114785308A (zh) * | 2022-04-10 | 2022-07-22 | 合肥同晶电子有限公司 | 一种石英晶体封装结构 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5849460U (ja) * | 1981-09-28 | 1983-04-04 | 東芝ライテック株式会社 | プリント配線板装置 |
JPH03151707A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 表面実装型水晶振動子 |
JP2002064356A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-02-28 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子 |
JP2006345517A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 小型のピエゾ電子共振器 |
JP2006345519A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 小型のピエゾ電子共振器 |
JP2011124735A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
US20120098389A1 (en) * | 2010-10-21 | 2012-04-26 | Micro Crystal Ag | Method for mounting a piezoelectric resonator in a case and packaged piezoelectric resonator |
JP2014057236A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
JP2014179901A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計 |
JP2015008351A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4049017B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子 |
CN102668598B (zh) * | 2009-12-15 | 2015-03-04 | 日本电气株式会社 | 致动器、压电致动器、电子装置,和用于衰减振动并且转换振动方向的方法 |
-
2013
- 2013-09-25 JP JP2013198757A patent/JP6168949B2/ja active Active
-
2014
- 2014-09-25 CN CN201410496154.4A patent/CN104467730B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5849460U (ja) * | 1981-09-28 | 1983-04-04 | 東芝ライテック株式会社 | プリント配線板装置 |
JPH03151707A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-27 | Seiko Electronic Components Ltd | 表面実装型水晶振動子 |
JP2002064356A (ja) * | 2000-08-17 | 2002-02-28 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子 |
JP2006345517A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 小型のピエゾ電子共振器 |
JP2006345519A (ja) * | 2005-06-09 | 2006-12-21 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | 小型のピエゾ電子共振器 |
JP2011124735A (ja) * | 2009-12-09 | 2011-06-23 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
US20120098389A1 (en) * | 2010-10-21 | 2012-04-26 | Micro Crystal Ag | Method for mounting a piezoelectric resonator in a case and packaged piezoelectric resonator |
JP2014057236A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
JP2014179901A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器、及び電波時計 |
JP2015008351A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114785308A (zh) * | 2022-04-10 | 2022-07-22 | 合肥同晶电子有限公司 | 一种石英晶体封装结构 |
CN114785308B (zh) * | 2022-04-10 | 2022-12-20 | 合肥同晶电子有限公司 | 一种石英晶体封装结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104467730A (zh) | 2015-03-25 |
CN104467730B (zh) | 2018-04-17 |
JP6168949B2 (ja) | 2017-07-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20160344362A1 (en) | Method of manufacturing piezoelectric vibrator element, piezoelectric vibrator element, and piezoelectric vibrator | |
US9590588B2 (en) | Piezoelectric vibrating piece and piezoelectric vibrator | |
US9748467B2 (en) | Piezoelectric vibrator | |
JP2010178064A (ja) | 音叉型圧電振動片、および音叉型圧電振動デバイス | |
JP5885825B1 (ja) | 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 | |
US9871469B2 (en) | Piezoelectric vibrator element, and piezoelectric vibrator | |
JP6168949B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP2017076911A (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
US9871470B2 (en) | Piezoelectric vibrator element, and piezoelectric vibrator | |
US9548718B2 (en) | Piezoelectric vibration piece and piezoelectric vibrator | |
JP2009232449A (ja) | 圧電振動子及び発振器 | |
JP4595913B2 (ja) | 音叉型圧電振動デバイス | |
JP6571339B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP5855221B1 (ja) | 圧電振動子 | |
JP6587389B2 (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP7342733B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP7327930B2 (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP7300256B2 (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP6673669B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法、ウエハ及び圧電振動片 | |
JP2016134800A (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP2015076746A (ja) | 圧電振動子 | |
JP2018129636A (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子 | |
JP2020141169A (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 | |
JP2016134802A (ja) | 圧電振動片および圧電振動子 | |
JP2020137021A (ja) | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160712 |
|
RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20161026 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170411 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170418 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170620 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170627 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6168949 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |