JP4273460B2 - 圧電振動子ならびに圧電振動子のパッケージ構造および電子機器 - Google Patents
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Description
このような構成の圧電振動子によれば、電子機器内部への実装面積を削減することができ、かつ隔壁によって圧電振動片間に生じる振動等の干渉を抑制することができる。
しかし、上述した圧電振動子にはそれぞれ次のような課題があるものと考えられる。特許文献1に記載の圧電振動子は、パッケージ内部に実装した音叉型圧電振動片同士に発振周波数の位相ズレの影響や、振動が滑り振動ではなく屈曲振動だということによる影響、例えば真空状態での希薄な気体の振動による影響等により、相互に干渉が生じ、周波数精度、周波数偏移精度を調整することが困難となる可能性がある。
隔壁に金属被覆を施す構成とすることにより、各圧電振動子間に発生する高周波を遮断することができ、各圧電振動片間の干渉抑制効果を向上させることができる。
このような構成の電子機器によれば、上記構成の圧電振動子の効果を得ることができるため、圧電振動子を実装するために電子機器内部に確保する実装面積を縮小することができる。これにより、圧電振動子を実装する電子機器自体も小型化することが可能となる。
本実施形態の圧電振動子10は、複数の音叉型圧電振動片(本実施形態では音叉型圧電振動片16,18)と、前記音叉型圧電振動片16,18を内部に実装するパッケージ11とを基本構成とする。
まず、セラミックス等の原料を焼結し、基板12a,12b,12c,12dを形成する。形成された各形状の基板をそれぞれ接着し、箱状体のベース12を形成する。このとき同時に、前記ベース12の内部には、音叉型圧電振動片16,18の実装空間を分割する隔壁20を形成するようにする。また、ベース12の底部を形成する基板には、音叉型圧電振動片16,18の先端部(自由端)が位置する箇所に凹陥部24を備えるようにすると良い。圧電振動子10に外部から衝撃が加えられた場合、前記音叉型圧電振動片16,18の自由端は、矢印Cの方向に振れることがある。このため、ベース12の底部を形成する基板に凹陥部24を備えるようにすることで、音叉型圧電振動片16,18の自由端が矢印Cの方向に振れたとしても、前記自由端がベース12の底部に接触してしまうことを回避することができる。
隔壁20bの構成を上記のようにすることにより、パッケージ11自体の強度バランス、実装バランス(重量バランス)を調整することができる。
本実施形態では、ベース12内に発振周波数の異なる2つの音叉型圧電振動片16,18を実装し、互いの音叉型圧電振動片の間に実装空間を分割する隔壁20eを設けることを基本構成としている。
Claims (3)
- パッケージに形成された実装空間に発振周波数の異なる複数の音叉型圧電振動片を実装した圧電振動子であって、
前記パッケージに設けられて前記実装空間を気密に封止した封止孔と、
前記実装空間を前記各音叉型圧電振動片に対応させた分割空間に区画する隔壁とを有し、
前記封止孔は、前記隔壁と対応した位置において、隣接する分割空間に跨って形成してあることを特徴とする圧電振動子。 - 前記隔壁には、金属被覆が施されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。
- 請求項1または請求項2に記載の圧電振動子を内部に収容することを特徴とする電子機器。
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