JP2011119722A - 多層配線基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配線パターンと絶縁層とが交互に設けられ、前記絶縁層を貫通して配線パターン間を接続する層間接続を有する多層配線基板であって、前記層間接続がめっきによるフィルドビアで形成され、最外層の配線パターンが、前記層間接続上に配置されかつ前記めっきによるフィルドビアと接続された金属箔により形成される多層配線基板及びその製造方法。
【選択図】図1
Description
1. 配線パターンと絶縁層とが交互に設けられ、前記絶縁層を貫通して配線パターン間を接続する層間接続を有する多層配線基板であって、前記層間接続がめっきによるフィルドビアで形成され、最外層の配線パターンが、前記層間接続上に配置されかつ前記めっきによるフィルドビアと接続された金属箔により形成される多層配線基板。
2. 上記1において、金属箔の一方の面にのみ、絶縁層と配線パターンとそれぞれの配線パターン間を接続する層間接続とを形成した後、前記金属箔を回路加工することにより、最外層の配線パターンが金属箔により形成される多層配線基板。
3. 上記1または2において、フィルドビアで形成される層間接続が、多層配線基板の厚み方向全体に亘って、略柱状に設けられた多層配線基板。
4. 上記1から3の何れかにおいて、最外層の配線パターン上に保護めっきとして、ニッケルめっきまたはニッケルめっきと金めっきまたはニッケルめっきとパラジウムめっきと金めっきとを有する多層配線基板。
5. 上記1から4の何れかにおいて、最外層の配線パターンを構成する金属箔が、厚さ1〜18μmの銅箔である多層配線基板。
6. 上記1から5の何れかにおいて、最外層の配線パターン上に形成された保護めっきの表面の最大粗さ(Rz)が、8μm未満である多層配線基板。
7. 上記1から6の何れかにおいて、層間接続の直上に位置する最外層の配線パターンが、フリップチップ接続端子またはワイヤーボンド接続端子を形成する多層配線基板。
8. 上記7の多層配線基板の最外層の配線パターンで形成されるフリップチップ接続端子またはワイヤーボンド接続端子を用いて、電子部品素子を実装した電子装置。
9. 上記8において、電子部品素子として、SAW圧電素子またはPA素子を搭載して通信モジュールとした電子装置。
10. 最外層の第1層導体となる金属箔Aを準備する工程(1)と、前記金属箔A上に第1絶縁層と第2層導体となる金属箔Bとを積層する工程(2)と、前記第1絶縁層に第2層導体から第1層導体に到る層間接続孔を形成する工程(3)と、この層間接続孔内及び前記第2層導体上に、前記第1層導体と前記第2層導体とを電気的に接続するためのフィルドビアめっきを行なう工程(4)と、前記フィルドビアめっき後の第2層導体を回路加工して、第2層配線パターンを形成する工程(5)と、前記第2層配線パターン上に前記工程(2)〜(5)を必要な回数繰り返す工程(6)と、前記第1層導体である金属箔Aを回路加工して、第1層配線パターンを形成することにより、前記フィルドビアめっきを行なった層間接続孔の直上に接続端子を形成する工程(7)と、を有する多層配線基板の製造方法。
11. 上記10において、第1層導体である金属箔Aを回路加工して、第1層配線パターンを形成することにより、フィルドビアめっきを行なった層間接続孔の直上に接続端子を形成する工程の後、前記接続端子の上に保護めっきを形成する多層配線基板の製造方法。
12. 上記10または11において、両面に金属箔を有するコア基板を準備し、このコア基板の金属箔の上に、工程(1)で準備した表層の第1層となる金属箔Aを直接重ねた後、工程(2)〜(6)を行ない、その後、前記コア基板の金属箔と金属箔Aとの界面で、前記複数の配線層と前記コア基板とを分離する工程(9)と、第1層導体である金属箔Aを回路加工して、第1層配線パターンを形成することにより、フィルドビアめっきを行なった層間接続孔の直上に接続端子を形成する工程(7)と、を有する多層配線基板の製造方法。
まず、図3に示すように、ガラスエポキシ材に厚さ12μmの銅箔(金属箔38)を張り合わせた銅張積層板25(日立化成工業株式会社製 MCL−E−67)の両側に、その銅張積板25の銅箔(金属箔38)よりも幅の狭い金属箔A19として、厚さ12μmの銅箔(三井金属鉱業株式会社製 3EC−VLP−12)の光沢面が銅張積層板25の銅箔(金属箔38)に対向するように配置した。金属箔A19として用意した銅箔の光沢面(第1層側となる面)は、表面の最大粗さ(Rz)が、3μm未満であった。その外側に第1絶縁層9として、プリプレグ(日立化成工業株式会社製 GEA−679FG)と、その外側に金属箔B20として厚さ5μmの極薄銅箔に厚さ18μmのキャリア銅箔が貼りあわされたキャリア付極薄銅箔(三井金属鉱業株式会社製 MT18SDH5)を、5μmの極薄銅箔の粗化面が第1絶縁層9と接着するように構成し、真空ホットプレスにて積層し、18μmのキャリア銅箔を剥がすことで積層板a26を形成した。絶縁層厚さとしては、多層配線基板1の仕上り厚さ要求により任意に決定することができる。
金属箔A19として用意した銅箔の表面(第1層側となる面)は、表面の最大粗さ(Rz)が、5μm未満であること以外は、実施例1と同様にして、多層配線基板1を作製した。接続端子5の上部の保護めっき22及び第1層配線パターン上の保護めっき22の表面粗さは、最大粗さ(Rz)が0.7μm〜4.8μmであった。
金属箔A19として用意した銅箔の表面(第1層側となる面)は、表面の最大粗さ(Rz)が、8μm未満であること以外は、実施例1と同様にして、多層配線基板1を作製した。接続端子5の上部の保護めっき22及び第1層配線パターン上の保護めっき22の表面粗さは、最大粗さ(Rz)が0.9μm〜7.7μmであった。
フリップチップ接続端子5を、第1フィルドビア10の直上に形成したが、第1フィルドビア10、第2フィルドビア13、第3フィルドビア16の位置をそれぞれにずらして、表層側から見たとき、何れのフィルドビアも重ならないように形成した。これ以外は、実施例1と同様にして多層配線基板1を作製した。接続端子5の上部の保護めっき22及び第1層配線パターン上の保護めっき22の表面粗さは、最大粗さ(Rz)が0.5μm〜2.9μmであり、金属箔A19の当初の表面粗さと同等であった。
金属箔A19として、厚さ12μmの銅箔(三井金属鉱業株式会社製 3EC−VLP−12)を準備し、この金属箔A19の表面(第1層側となる面)に対して、研磨紙を用いて研磨を行い、表面の最大粗さ(Rz)が、8μm以上のものを準備した。これ以外は、実施例1と同様にして、多層配線基板1を作製した。接続端子5の上部の保護めっき22及び第1層配線パターン上の保護めっき22の表面粗さは、最大粗さ(Rz)が8μmを超えていた。
電子部品素子3搭載面の配線パターンを、金属箔A19により形成した第1層配線パターン8で形成するのではなく、金属箔D24と層間接続の際に生じるめっき層31とを有する第4層導体37を回路加工して形成した第4層配線パターン17によって形成した。その後、接続端子5となる部分を含む第4層配線パターン17上に保護めっき22を行い、接続端子5を形成した。以下、工程を示す。
図9の多層配線基板1において、接続端子5を第1フィルドビア10の直上ではなく、ずらした位置の第1絶縁層9上に設け、また第1フィルドビア10、第2フィルドビア13、第3フィルドビア16の位置をそれぞれにずらし、表層側から見たとき、何れのフィルドビアも重ならないように形成した。これ以外は、実施例1と同様である。
Claims (12)
- 配線パターンと絶縁層とが交互に設けられ、前記絶縁層を貫通して配線パターン間を接続する層間接続を有する多層配線基板であって、
前記層間接続がめっきによるフィルドビアで形成され、
最外層の配線パターンが、前記層間接続上に配置されかつ前記めっきによるフィルドビアと接続された金属箔により形成される多層配線基板。 - 請求項1において、金属箔の一方の面にのみ、絶縁層と配線パターンとそれぞれの配線パターン間を接続する層間接続とを形成した後、前記金属箔を回路加工することにより、最外層の配線パターンが金属箔により形成される多層配線基板。
- 請求項1または2において、フィルドビアで形成される層間接続が、多層配線基板の厚み方向全体に亘って、略柱状に設けられた多層配線基板。
- 請求項1から3の何れかにおいて、最外層の配線パターン上に保護めっきとして、ニッケルめっきまたはニッケルめっきと金めっきまたはニッケルめっきとパラジウムめっきと金めっきとを有する多層配線基板。
- 請求項1から4の何れかにおいて、最外層の配線パターンを構成する金属箔が、厚さ1〜18μmの銅箔である多層配線基板。
- 請求項1から5の何れかにおいて、最外層の配線パターン上に形成された保護めっきの表面の最大粗さ(Rz)が、8μm未満である多層配線基板。
- 請求項1から6の何れかにおいて、層間接続の直上に位置する最外層の配線パターンが、フリップチップ接続端子またはワイヤーボンド接続端子を形成する多層配線基板。
- 請求項7の多層配線基板の最外層の配線パターンで形成されるフリップチップ接続端子またはワイヤーボンド接続端子を用いて、電子部品素子を実装した電子装置。
- 請求項8において、電子部品素子として、SAW圧電素子またはPA素子を搭載して通信モジュールとした電子装置。
- 最外層の第1層導体となる金属箔Aを準備する工程(1)と、
前記金属箔A上に第1絶縁層と第2層導体となる金属箔Bとを積層する工程(2)と、
前記第1絶縁層に第2層導体から第1層導体に到る層間接続孔を形成する工程(3)と、
この層間接続孔内及び前記第2層導体上に、前記第1層導体と前記第2層導体とを電気的に接続するためのフィルドビアめっきを行なう工程(4)と、
前記フィルドビアめっき後の第2層導体を回路加工して、第2層配線パターンを形成する工程(5)と、
前記第2層配線パターン上に前記工程(2)〜(5)を必要な回数繰り返す工程(6)と、
前記第1層導体である金属箔Aを回路加工して、第1層配線パターンを形成することにより、前記フィルドビアめっきを行なった層間接続孔の直上に接続端子を形成する工程(7)と、
を有する多層配線基板の製造方法。 - 請求項10において、第1層導体である金属箔Aを回路加工して、第1層配線パターンを形成することにより、フィルドビアめっきを行なった層間接続孔の直上に接続端子を形成する工程の後、前記接続端子の上に保護めっきを形成する多層配線基板の製造方法。
- 請求項10または11において、
両面に金属箔を有するコア基板を準備し、このコア基板の金属箔の上に、工程(1)で準備した表層の第1層となる金属箔Aを直接重ねた後、工程(2)〜(6)を行ない、
その後、前記コア基板の金属箔と金属箔Aとの界面で、前記複数の配線層と前記コア基板とを分離する工程(9)と、
第1層導体である金属箔Aを回路加工して、第1層配線パターンを形成することにより、フィルドビアめっきを行なった層間接続孔の直上に接続端子を形成する工程(7)と、
を有する多層配線基板の製造方法。
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