JP2011099562A5 - - Google Patents

Description

よって、計量分配用気体の高純度を達成するには、吸着剤上に残余の異質可吸着体が残っている場合、加熱作業の温度が重量減少変化ゼロになる時点を大幅に超えることを確保することが重要である。最初の重量減少（１００℃までの温度）及びその後の温度上昇に伴う不変（６００℃まで）に基づき、吸着剤からすべての異質可吸着体が除去されたと推測可能であるが、それにもかかわらず、吸着剤から残余の異質可吸着体を除去するために、十分な時間と範囲において６５０℃を超えて加熱し続けることによって計量分配用気体の純度は顕著に向上する。

Claims (15)

1. （i）可吸着計量分配用気体及び（ii）異質可吸着体に対する吸着親和性を有し、かつ、異質可吸着体が吸着している物理的炭素吸着剤の処理工程であって、前記物理的炭素吸着剤に接触させて非可吸着気体を流しながら前記物理的炭素吸着剤を６５０℃超の温度まで加熱して、前記物理的炭素吸着剤から前記異質可吸着体の少なくとも一部を脱着する処理工程と、
   前記処理工程の後に、前記処理がされた前記物理的炭素吸着剤を酸素及び水蒸気から隔離した状態で、当該物理的炭素吸着剤を気体貯蔵及び計量分配容器に導入する工程と
   を備える気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法。
2. 前記物理的炭素吸着剤を６５０℃超の温度まで加熱する工程が１〜１５時間行われる
   請求項１に記載の製造方法。
3. 前記気体貯蔵及び計量分配容器は不活性気体の環境において密閉される
   請求項１又は２に記載の製造方法。
4. 前記物理的炭素吸着剤を６５０℃超の温度まで加熱する工程は、前記６５０℃超の温度を超えて、温度上昇に伴う前記物理的炭素吸着剤の重量減少が大幅に増加し始める温度まで実行される
   請求項１から３のいずれか一項に記載の製造方法。
5. 前記異質可吸着体は、水蒸気、空気、酸素、水素、酸化炭素、窒素、炭化水素、窒化酸素、ハロゲン、及びこれら種を一つ以上含有する組成物からなる群より選択される気体種を含むことを特徴とする
   請求項１から４のいずれか一項に記載の製造方法。
6. 前記物理的炭素吸着剤を保持している前記気体貯蔵及び計量分配容器内に、可吸着計量分配用気体を導入する
   請求項１から５のいずれか一項に記載の製造方法。
7. 可吸着計量分配用気体は、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、ＢＣＬ_３、ＢＦ_３、Ｂ_２Ｄ_６、タングステン六フッ化物、（ＣＨ_３）_３Ｓｂ、フッ化水素、塩化水素、ＧｅＦ_４、ＳｉＦ_４、重水素水素化物、ヨウ化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、及びＮＦ_３からなる群より選ばれる気体を含む
   請求項６に記載の製造方法。
8. 前記可吸着計量分配用気体は、前記可吸着計量分配用気体の圧力を観測しながら前記物理的炭素吸着剤を保持している前記気体貯蔵及び計量分配容器内に導入され、最終圧力条件まで前記可吸着計量分配用気体で前記気体貯蔵及び計量分配容器を満たす
   請求項６又は７に記載の製造方法。
9. 温度作用が少なくとも部分的に分散されるように、前記物理的炭素吸着剤を保持している前記気体貯蔵及び計量分配容器内に段階的に前記可吸着計量分配用気体を導入する
   請求項６から８のいずれか一項に記載の製造方法。
10. 前記可吸着計量分配用気体は、大気圧以下で前記気体貯蔵及び計量分配容器内に貯蔵される
    請求項６から９のいずれか一項に記載の製造方法。
11. 前記可吸着計量分配用気体はアルシンを含む請求項６から１０のいずれか一項に記載の製造方法。
12. 前記可吸着計量分配用気体はホスフィンを含む請求項６から１０のいずれか一項に記載の製造方法。
13. 前記可吸着計量分配用気体はシランを含む請求項６から１０のいずれか一項に記載の製造方法。
14. 前記可吸着計量分配用気体は三フッ化物ホウ素を含む請求項６から１０のいずれか一項に記載の製造方法。
15. 前記気体貯蔵及び計量分配容器内の前記物理的炭素吸着剤を真空状態にする請求項１から１４のいずれか一項に記載の製造方法。