TW565467B - Process for fabricating a gas storage and dispensing system - Google Patents

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TW565467B TW088113376A TW88113376A TW565467B TW 565467 B TW565467 B TW 565467B TW 088113376 A TW088113376 A TW 088113376A TW 88113376 A TW88113376 A TW 88113376A TW 565467 B TW565467 B TW 565467B
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James V Mcmanus
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Advanced Tech Materials
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Description

565467 五、發明說明（1) 相關申請案之交互春照 此係 1997 年4 月 11 日以Glenn M. Tom 及James V.
McManus之名義提出中請之美國專利中請案ν〇· 08/80 9,0 1 9， 「氣態化合物之儲存及輸送系統（St〇rage AND DELIVERY SYSTEM FOR GASEOUS COMPOUNDS)」之部分 延續，美國專利申請案No. 08/809, 019係1995年10月13日 提出申請，並聲明1 994年10月13曰提出申請之為其部分延 續之美國專利申請案No· 08/322, 2 24之優先權之國際專利 申請案No. PCT/US9 5/ 1 3040 之35 USC § 371 申請案。 發明之背景 發明之領域 本發明大致係關於自容器或儲存容器選擇性分配流體之 儲存及分配系統之製造，其中流體成份係以 於固態吸著劑介質，且在分配操作中自吸著劑 放。 相關技藝之說明 種製程流體的可靠 在許多工業製程及應用中，有需要一 來源。 此種製程及應用領域包括半導體製造、離子植入、平 顯示之製造、醫療介入及治療、水處理、緊急 二 焊接操作、液體及氣體的空間輸送芎算犛 199e，5,2l9.Glenn M. Tom；Ja：et, McManus, ，義發證之美國專利5’ 5 1 8, 528說明一種用於儲酉 氣體之氣體儲存及分配系統。Tom等人之專利的氣體ς丰
565467 五、發明說明（2) —— 及分配系統包括用於儲存及分配氣體，例如，氫化物氣 ^、函化物氣體、第V族有機金屬化合物等等之吸附〜脫附 1置’其包括：構造及配置成用於容納固相物理吸著劑介 夤’及使氣體選擇性地流進及流出該容器之儲存及分配容 器；在内部氣體壓力下設置於該儲存及分配容器内之固相 物，吸著劑介質；物理吸附於固相物理吸著劑介質上之被 =著質氣體；及與儲存及分配容器以氣流互通方式結合的 分配組合，以使氣體自容器中之吸著劑介質脫附而从 地自容器排出。 、俘Γ 脫附可經由使待分配氣體熱脫附，或經由在容器内 積與外部分配位置之間提供壓差，例如，經由在儲存i二 配谷器上施加真空，或經由將氣體泵送至分配氣體之 使用部位而達成。由於此種分配式的結: 容器中之氣體壓力可為大氣麗力或低於大氣壓=及刀配 因此’ Tom等人之專利的儲存及分配容器相 藝的使用高壓氣體鋼瓶在技蓺中且_表 、先則技 知的高壓氣體鋼瓶易自受損丄質習 力快速增加時的破= 之内部氣體壓 自鋼瓶大量釋出之危險。 衣他不希望的氣體
Tom等人之專利的氣體儲存 吸附於載體吸著劑介質，例如，沸°、、壬、災由將其可逆地 降低儲存被吸著質氣體之壓力。/ $ /性碳材料上，而 在使用前述Tom等人之衷而 之專利的氣體儲存及分配系統時， )65467 五、發明說明（3) ____ f許：j!用，諸如’比方說’微電子裝置結 希，在南純度值下分配儲存氣體。 j。午夕情况中，氣體儲存及分配系統之此 此可歸因於此等材料之吸著特性，且在某種;:二污 之吸著劑材料的特徵，其中此等外來；吸ί: 土 已’遭度係視特定的吸著 成物類 存、輸送和環境暴露的歷“異。 &★及其铸 因=，舉例來說，被製造成 可能會在後續的儲存中晨霞s 士 >由从 > =们及者劑材料 或原來由製造商所征條* 大乳中的水伤及環境氣體， 種類，n #二^仏應之此種吸著劑材料之容器中的氣體 種j其會吸者於吸著劑材料上並使其受污染。以體 在此種情況下，當將含有外來可吸著種類之 凌於氣體儲存及分配灾哭击 、及者μ材料 其後選擇性地自^:中:及將分配氣體（即待儲存及 载於其：:寺以：：”)引至吸著劑以吸收及負 著物之存在而受到;會由於外來可吸 接著可在後續的分“：，卜二"外,的可吸著物 之外來的可吸著物而降低純度果/刀配氣體由於其中 舉例來說，當在氣體儲存及 劑材料，及將容納吸著劑之梦：：中使用活性碳吸著 (例如，供後續在離子植入許w 、、虱化物氣體諸如胂時 砷的半導體基材），經分配：二分配用’以產生摻雜 性反吸者劑的一氧化碳及二氧化碳
565467
五、發明說明（4) :二物--氧化碳量值高至每百萬份體積2〇_5〇份(ppmv) ^，及相對的二氧化碳量值可能超過1〇〇叩㈣。 =，此？氣體儲存及分配系統如能 irn::問體之系統，及可視需要而分配高純度的 乳體，在技藝中將係明顯的進步。 專R本二明*之S的在於提供一種揭示於T〇m等人之 引5, 5 1 8, 528中之-般類型的氣體儲 可排除此種外來可吸著物的問題刀配糸^其 度氣體。 且了選擇性地分配高純 4:;: ΐίΐ:?及優點由隨後的揭示内容及隨附之申 明寻利軏圍當可更加明白。 彳、甲 本發明大致係關於氣體儲存及分配系統法 包括用於容納對下列物質具有吸著親 ^ =統 料之分配容器：⑴待容納於分n及考劑材 Ϊ:分配容器排出之可吸著分配氣體及= 在一態樣中，本發明之方法包括： 處，其上吸著有外來可吸著物之物理 至9、分的外來可吸著物自吸著劑材料脫附. 以使 將物理吸著劑材料裝填於容器中； ， f可吸者分配氣體引入至容納物理吸 器中’以使分配氣體物理吸著：；：刀配容 益乱體谷納於物理吸著劑材料上之分配容
88113376.ptd 565467 五、發明說明（5) 為’以致分配谷為其後包含呈可經 者劑材料脫附及使分配氣體自容器排出而件=自物理吸 之形態的分配氣體。 卜出1、遠擇性分配用 在此方法中，處理物理吸著劑 外f可吸著物自吸著劑材料脫附之；驟部分之該 一個下列步驟·· 驟Ί有利地包括至小 (a)加熱物理吸著劑 夕 脫附·， 材科以使外來的可吸著物自* 再熱 吸著氣體中Γ物理吸著劑材料脫附至流動中的二 (C)對物理吸著劑材 不可 著理吸著劑材料真空脫附 以使外來的h 在本發明之另一能 j ^ 少部分之該外來可；著物自吸著劑材料， 前=驟(a)士)之至少兩二材料脫附之步驟可包； 逡庳用=驟可在特定氣體儲存及分配办-途^用中視需要或希望而以任 2盗之製法之指定用 在—較佳態樣中，百用的組合或變化進行。 理吸著劑材料’以使至^ 2係以使在自（1)處理物 ::::步驟開始，及結：：來可吸著物自吸著劑材 之後包含呈可供選擇 在封分配容器，以致其 成之期間中，使物理吸i劑材料^ f之分配氣體之步驟完 行’及與氧和水蒸氣隔絕接觸=大氣隔絕接觸之方式進 …0467 五、發明說明（6) —____ 在本發明之另一能 劑材料時，—炉中，當將活性碳材料使用作為吸著 材料之處理，=自，由包括下列之步驟進行物理吸著劑 至超過650 t之、、声、除外來的可吸著物··將吸著劑加埶 至將分配容器;;度’;^此處$理過程中及*此處理後直、 形態的分配氣體A h致八之後包含可供選擇性分配用之 觸較佳。孔體為纟’使吸著劑材料與氧及水蒸氣隔絕接 在本發明之声i> 1吸著劑材料⑽附二Z f至少#分之該外來可吸著物 著劑材料裳填 ^著劑材料的處理可在將物理吸 如，使物理前及/或之後進行為包括，例 裝填步驟，及使i if惰性氣體之流動氣流中加熱之前 熱之後裝填步驟。’吸者劑材料在容器令在真空條件下加 可及::系=法:之物理吸著劑材料 網狀聚合物、=土氧:；等氧:;義；晶… 寺外珠粒活性破吸著劑材料為特佳。義貫行本發明 及其K可;之特定的物理吸著劑材料、 型。一此户 和衣兄暴路的歷史而為各式各樣不回触 氣體種以著Γ材料上之不期望被吸著質成份之=性 氮、烴水蒸氣、氧、氫、碳氧二: 組成物。 一且& ’以及含有-或多種前述種類之 在較佳碳吸著劑材料之情況中，典型顧慮的外來可吸著 88H3376.ptd 第11頁 565467
物包括碳氧化物，例如，一氧化取一乳化m。 、、* 2 Λ較佳悲樣中，其中碳為吸著劑材料，例如，為珠粒 吸英t s ’及其中—氧化碳和二氧化碳為顧慮的外來可 =者物，當物理吸著劑材料在以物理吸著劑材料之重量 :0重量百分比之载入量、700托耳（T〇rr)之壓力及22 t 以二載=時’可進行本發明之方法，以產生在 lot 萬體積低於20份（ppmv)之一氧化碳量值，低於 劑材"二更佳-及低於5 ppmv又更佳’及/或當物理吸著、 ，枓在以物理吸著劑材料之重量計為5 者 入置、70 0托耳之壓力及22r之、、田厗 白刀比之载 進行本發明之方法，以產生在胂Y每百萬，胂/體時，可 (ΡΡ，ν).^^,4 ^ , ^20 ΡΡΓΛ PPmv又更佳。 v足佳，及低於10 較佳態樣中 在另 :著有外來可吸著物之物理吸著劑材料，以使：處f其上 :卜來可吸著物自吸著劑材料脫附之步驟包括分之 劑材料裝填於容器中之前，將物理；理吸著 約_至細R之範圍内之溫度 =枓加熱至在自 可吸著物自其之脫附。 0時間，以達成外來 在此加熱過程中，可使惰性氣體，例如 悧材料流動接觸，及於裝填於容器中之Y ，人物理吸著 真二之步驟進一步處理吸著劑材料。 Μ材料施加 在氣體儲存及分配容器中被引至 物理吸著劑材料
565467 — 五、發明說明（8) ___ 上之可吸著分配氣體可為經處 親和力之任何適當類型，諸 付劑對之具有適當吸著 胂、膦、氯、BCl3、BF3°、’Λ方說，石夕烧、二職、 氫、氯化氫、GeF4、SiF4、W Γ氟化鎢、（叫）3讥、氟化 氣、鍺烧、氨、»、疏化氫物、硬化氫、演化 或多種前述氣體種類之相容混合物氧、碲化氫、NFS、或一 在一特定具體例中，本發明 物質具有吸著親和力之珠粒活生^於包括用於容納對下列 ，器之氣體儲存及分配系統之二物理吸著劑材料之分配 器中，及後續選擇性地自分二，（1)待容納於分配容 體’及（⑴外來的可吸著物=之可吸著分配氣 處理其上吸著有外來可吸著 f包括二 至少部分的外來可吸著物自吸 理吸著劑材料，以使 溫声^枓加熱至在自約300 t至約800 t之第將物理 ^ ^ 及將溫度在第一範圍內 範圍内之 間，及在此加熱過：中：：維持自约1至15小時之期 動接觸； 吏h性氣體與物理吸著劑材料节 將：著劑材料裝填於容器中； °c之第，r ί物理吸著劑材料加熱至在自約loot δ鉍 1 - ^ ^ ^ ^ ^ - r,® , ?,Λ2 5 ° 吸材料施加真空及在此加熱過程中，對容器令之物理約 將可二料冷卻至低於第二溫度範圍之溫度. -氧體引入至容納物理吸著劑材料 =， —孓分配容 88n3376.ptd 第〗3頁 565467 五、發明說明（9) 器中’以使分配氣體物理吸著於物理吸著劑材料上· 器密冬分配器氣體容納於物理吸著劑材料上之分配： 著#ι β致分配容為其後包含呈可經由使分配氣體自物理吸 脫附及使分配氣體自容器排出而 夂形悲的分配氣體。 刀ι用 劑Ξίίϊ财，#經處理物理吸著劑㈣在以物理吸著 力=重量計為5°重量百分比之載入量、m托耳之/ =2 c之溫度下負載胂氣體時，可進行方法，以 份體積低於1份(ppmv)之-氧化碳量值，及在 中母百萬份體積低於1份（ppmv)之二氧化碳量值。 隨樣、特色及具體例由隨後的揭示内容及 寸之申β月專利範圍當可更加完全明白。 II示之簡單說@ 圖1係根據本發明之一具體例之儲存及釋放系統之概略 圃不。 概:2:示在。一具體例中用於進行本發明方法之方法系統之 圖圖3係指出根據本發明之方法之特定步驟的概略流程 圖0 圖4係活性碳吸墓漁，丨上丄、， & ^、 熱至高於65(TC時，析(TGA)圖，其顯示加 ^ 虱基團自吸者劑材料之脫附損耗。 將以下之' 入本文為參考資ί 美申請案之全體揭示内容併
565467 五、發明說明（ίο) 1 9 9 6年5月21日以Glenn M· Tom等人之名義發證之美國 專利5, 5 1 8, 528 ; 1 9 98年1月6日以Glenn M· Tom等人之名 義發證之美國專利5, 704, 96 7 ; 1 99 8年1月6日以Glenn M. Tom等人之名義發證之美國專利5, 704, 965 ; 1998年1月13 日發證給Glenn M· Tom等人之美國專利5, 707, 424 ; 1997 年10月14日發證給James V. McManus之美國專利 5,676,735，1997年5月20日以Glenn M· Tom之名義提出申 請之美國專利申請案No· 0 8/859, 1 72 ;及1 997年4月π日 以Glenn M· Tom等人之名義提出申請之美國專利申社 No· 08/809, 0 1 9。 ΰ月案 本發明係 造成產物氣 為說明於前 體儲存及分 除此等外來 使用中自氣 外來的可 在製造要利 於吸著劑材 氣體，諸如 氧化碳及二 及可能與物 類。
卜列呶現為基礎：含有污染被脫附質氣體 體純度減小之外來可吸著物之吸著劑材料可 述Tom等人之美國專利5,5 1 8,528中之類型 配組合之製造的部分進行處理，以有效 ，及在氣體儲存及分配系統之後 體！存及分配容器提供高純度的分 吸著，可為各式各樣的不同類型，例如， 用此等吸著劑之氣體儲存及分配，
m成:蒸:來rr著㈡為: 氧化碳、氣氧化物諸如\。風以炭氧化物諸^ 何料接觸並吸著於其上之周圍環； 物理吸著劑材料經處 理以使外來的
88113376.ptd 第15頁 在本發明之方法中 五、發明說明（11) 可吸著物脫附，以致在 地供待儲存於吸著劑上口c著部位 配容器分配之氣體用。 自谷納吸著劍之儲存及： 用於去除外來可吸著物之物 脫附技術之任何適當組合…f耆蜊枒料之處理可包括 材料’以達到外來可吸著物之例如("加熱吸著劑 對之基本上具有零吸著親和力:可D’ t1 i)使吸著剤材料 f或f他氣體成份或種類與物理吸：氣體諸如惰性氣 藉由濃度差達成脫附，（ii Μ材科流動接觸，而 制多於-個此等步驟以“合： 料之南度去除典型上為較佳。吸者物自吸著劑材 與物理吸著劑接二二熱可與使不可 其施加真空條件。 負之加熱過程中對 此外，外來可吸著物自吸著 及分配系統之製造過程中，附可在氣體儲存 分配容器内之前及/或之後進行及者蜊材料裝填於儲存及 舉例來說，在某些情況中可能 以達成熱脫附，同時並使不可口：、=吸著劑材料 著劑材料接觸，之後者自4=虱體&動而與物理吸 y劑材料來 器；it可：Γί;劑r裝填於氣體儲存及分配容 、荨〜部步驟省略，而簡單地將熱的吸 565467 五、發明說明（12) 巧：：裝填至儲存及分配，^ 丨=而達到吸著劑材料的冷卻。以使各器壁作為熱傳 在本發明之較佳警/ * ^ (ο處理物理仃中，進行本發明之方法 处里物理吸者劑材料，以使小 心万去，以致在自 自吸著劑材料脫附之步驟開 7分之外來可吸著物 盗，以致其之後包含呈可# 束於（2)密封分配容 ，之步驟完成之期間用之形態之分配氣 :卜二吸著氣體隔絕接觸。吸著齊C與除分配氣懸 〇杂孔乳體，例如氧、水蒸氣等等的任所有此等步驟中 包：下使用作為吸著劑材料二 可吸甚輪處理物理吸著劑材料，以自1ΐ希 ^者物··將吸著劑加熱至超過650 自，、去除外來的 之ϊ 及在此處理後直至最終將分配//ι以在此處 —後包含可供選擇性分配用之形能的八咨抢封，以致其 者劑材料與氧、水装氣等 =々刀配氣體為止，使吸 另外，或另—錄：：？“絕接觸較佳。 分配宏哭1 &種式為可使吸著劑材料於#埴s找六《 刀配令盗中後進行加熱，同 /十以填至儲存及 空條件’以去除外來的可吸著物。"之内部體積施加真 再另一種方式為可進行此種前 :，以使外來可吸著物自被為，填步驟之组 中自容器分配出之氣體之儲存介質乍在後續使用 大化。 > 之及者劑材料的去除最 於吸著劑材料經處理，及接 著劑材料並物理吸附於其上經引至吸 』以白知之方式將容器密 88113376.ptd 第17頁 565467
五、發明說明（13) 封，例如，經由在容器上安裝閥頭組合， 如 接至流體歧管或其他的分配裝置，复之可、g ^ =盗連 動，以視需要而提供氣體自儲存及—=性地引 rVs^7&，^ 之附:r對;rr吸著親和力 B(M3、bf3、b2d6、六氣化鶴、（CH3)3Sb’ 月麟氣^ 7肩、氣化“物、峨化氯、演化氮、錯燒氨虱、 合Γ…碑化氮，r或多種前述氣想種類 本發明之氣體儲存及分配系 分配容器選擇性地分配氣體之 持於低壓下，因而較諸在半導 送用之標準裝置之高壓氣體鋼 步。 統提供一種儲存及自儲存及 方便的裝置及方法，其可維 體工業中為供氣體儲存及輸 瓶在技藝中提供顯著的進
^處所使用之術語「低壓」.係指實質上不超過丨大氣壓 j壓力例如，^1·25大氣壓之壓力，-1.0大氣壓之壓 更佳，及在自約0.15至約〇·8大氣壓之範圍内的壓力最 佳。
當明瞭在本發明之廣義實行内，本發明之儲存及分配系 統可在較前述低壓策略高之壓力下操作，然而，此種低壓 儲存及分配系統在流體係在低於大氣壓力下使用之應用， 例如，在離子植入應用中，具有特殊效用。在此種用途 中’本發明之系統可使流體在低壓下儲存及分配。
565467 五、發明說明（u) ，藉$此種低壓操作，本發明之系統可排除在許多應用中 ίϋ迄今為止被使用於此等應用中之先前技藝之高壓流體 =裔的需求。尤其在涉及危險氣體的情況下，使用高壓容 對於可將氣體儲存在接近室壓下，並以準備就緒及可 =j =方式为配之本發明的低壓系統，會有洩漏及對人員 及/或財產造成傷害的增加危險。 、 如ΐ::之乱二儲存及分配系統包括-個不漏的容器，諸 著劑材料：待二t ΐ吸附於吸著劑材料，諸如碳質物理吸 體’例如’肿、三氣化蝴、錯 專 在刀配氣體諸如氫化物#i轉夕味、口 士 或分子_吸著劑可有吟A ^體^情況中，活性碳吸著劑 大氣壓。 ""：被吸著質氣體之蒸氣壓降至1 此處參照本發明之物理吸著劑 〜 ::係巧吸著劑材料包含元素碳其》？ ：「碳 成伤。碳吸著劑材料之較 /、及者Μ負篁甲之主要 脂諸如聚丙烯腈、確化 / =匕括·經由熱解合成烴樹 碳；纖維素焦炭；木= 乙稀苯等等所生成之 青、木材、石& 來源材料諸如椰子殼 較佳的碳吸著劑材二二=之活性碳。 :至？當高溫所產生之高度吸|種？將粒狀木炭加 珠粒妷形態之活性碳，其中之的奴。最佳者為所謂 形顆粒，可具有在自約 ^，即高度均勻直徑的 自约0.25至約2毫米直徑更佳么分之範圍内的直徑，及 在本發明之廣義實行 丁中“佳之市售的碳吸著劑材料包 88113376.ptd 565467 五、發明說明（15) 括構自紐約州紐約市美國克瑞哈公司（Kreha Corporat i on of America)之名稱為 BAC-MP、BAC-LP、及 BAC-G-70R 之珠 粒碳材料；購自賓州費城隆姆哈斯公司（Rohm & Haas Company)之等級Ambersorb ® 563、Ambersorb ® 564、 A m b e r s o r b ® 3 4 8 F、A m b e r s o r b ® 5 7 5、A m b e r s o r b ® 572 、及Ambersorb ® 1500 之Ambersorb ®碳質吸著劑；購 自卡爾貢碳公司（Calg〇n Carbon Corporation)之Calgon Filtrasorb 400R及BPL GAC碳吸著劑材料；及購自德國厄 夸斯（Erkrath)布魯赫有限公司（Biucher GmbH)之珠粒活 性奴吸著劑材料。前述的Am]3ersorb材料具有孔隙大於 埃之貫g孔隙體積，及一般而言，此種大孔隙尺寸的材料 較具有不超過約4 0埃之孔隙之材料不佳。 使用於本發明之儲存及分配系統中之吸著劑可具有適合 於所涉及之用it應用及特定被吸$質流體種類之任何適^ 尺寸形狀及構造。吸著劑材料例如可為珠粒、顆粒、丸 ΐ二劑人粉末、粒狀、擠出物、布或網狀形態材料、蜂 f母體、（'吸著劑與其他成份之）複合物之形態 構造之粉碎或壓碎形態。 〆 这 總而言之，本發明之儲存及釋放系 氣體鋼瓶、及連接至鋼瓶铟 有用也由私皁的 (調節器…則薄閥或其他流量分配組合 。 二：測益、感測器、流量引導裝置、壓力控制 裔、質1流量控制器、管件、關 &制 箅箄）所細杰甘& 、件閲件、儀器、自動開關裴詈 分配氣#，$㈣容納吸著劑材料’及將鋼瓶填求 刀孔體诸如氣化物氣體，至例如，！大氣壓之μ力
565467 五、發明說明（16) 利用麗差脫附之來自本發明之儲 動可經由利用在儲存及釋放系釋放系統的抓體w 含吸著齊！之m3放充内部體積中之屢力與在 二 為外部之較低堡力之間的屡差而容易地進 舉例來說’含吸著劑之容器、可容納 令之在低於大氣壓力，例如， 吏用於離子植入方法 如膦，其中用於植入磷成份之離子托措耳下之試劑氣體，諸 件下，或者在低於儲存及分配室係維持在真空條 壓，例如，低於100托耳下。結 备内°卩體積之壓力的低 有被吸著質膦氣體之儲存及分配田在離子植入室與含 時，膦氣體將自容器中之吸著^間建立氣流溝通 質量流量控制器之裝置，當吸ϊ = 流率下。利用諸如 操作而減小時，可得定流量。Μ谷益壓力隨持續的分配 另外，或另一種方式為本發 分配組合可包括用於加熱料子及分配系統之氣體 自其熱脫附之裝置。此種加敎使被吸著質流體 以達成其之加熱，而=著；=!劑材料操作結合， 此，本發明考慮由熱及/或壓力引者剤介f熱脫附。因 所儲存之吸著劑上分配。 e之被吸著質流體自其 在本發明之廣義實行中，用於 劑材料、及其孔隙大小、孔丁本發明之特定的吸著 隙體積、及表面積特徵可有相 第21頁 88ll3376.ptd 565467 人士可容易 決定適當的 ’例如，利 存於特殊候 力研究。 配糸統之製 保其中不存 外發氣之種 存及分配操 或者使容器 供經適當清 法處理吸著 由將容納經 吸著劑材料 程序控制目 溫度獨立地 裝填分配氣 散至周圍環 五、發明說明（17) 當大的變化。熟悉技藝 配系統之指定用途應用 用表面積及孔隙度測定 多的實驗，及對企圖儲 分配之特殊流體作親和 在本發明之儲存及分 及分配容器清潔，以確 包括在容器壁中之可向 續利用容器所進行之儲 谷器烘烤、溶劑脫脂， 移除或處理步驟，以提 吸著劑材料用。 接著根據本發明之方 來的可吸著物，然後經 器裝填分配氣體，而使 續進行分配之氣體。 在裝填過程中，關於 之溫度可連同分配氣體 定裝填程序之終點。 可能希望分段將容器 使溫度效應至少部分消 介質。 地對本發明之儲存及分 吸著劑特性，而不需使 用水銀孔隙度技術作過 選吸著劑材料上及自其 造中，若須要，將儲存 在任何污染物或種類， 類，其會不利地影響後 作。為此，可能希望將 及其内表面進行清潔、 潔的容器供後續裝設的 劑材料，以自其去除外 預處理吸著劑材料之容 負載待儲存於其上及後 的，容器及吸著劑材料 作監測。監測壓力以決 體，及使系統平衡，以 境或供此用途用之熱傳 或者，可適當地將容器填充至指定壓力，然後使六如、_ 卻至吸著劑床及相關容器之最終溫度和壓力^件。谷器冷
565467 丨丨 五、發明說明（18) _ 因此，可進行分配氣體之劑量填充或 配氣體引入至容器中，而被吸著劑材料吸； ：將分 J填充順序後’可將自填充歧管分離後之容器運：:、：。 子，或經由在分配地點連接至管件、士 ^、啫 回路而安排供後續分配用途用。 …為、及分配電氣 本發明之儲存及釋放系統裝置及方法 儲存和分㉟，提供較目前所使用 =吸者，體之 安全的替代方式。本發明提供在 更為 器輸送、儲存及釋放可吸著氣體下自鋼瓶或其他容 著劑材料之孔隙、表面及微孔：物理b吸附分：氣體係被吸 存及分配用途用之氣體壓力顯著地^附’因而可使供儲 配操作+，利用所謂的熱辅助釋放，僅藉 W材料的低度加熱，即可使脫附氣 ^ ，者 致可容易地達到50。sccm以上 之；：速率增加，以 操作，單單利用在吸著劑容器盥外^八=，可利用絕熱 ，入至充滿被吸著質之吸著劑介質），該外 分；iiKi 製程設備’諸如離子植入室、 友f猫日日早兀、或化學蒸氣沈積反應器中。 軋體儲存及分配裝置可容易妯 。 如，經由將-或多個本置形態提供，例 U複ίΛί!吸著劑容器之氣體箱配置中，各容 吸著質氣體。氣體箱可在其；m::選擇性地釋放被 ，、甲更包括獨立的熱電偶、或其
565467 五、發明說明（19) ____ 他溫度感測/監測設備及組件，0 器及/或氣體箱之其他内部組件的=防在其之使用中之容 此種氣體來源箱可另包括用於、g j熱: ’可容易地在1 5 〇 具體例之氣體儲存 器及吸著劑之可熔連結加熱器元=·性增=加熱其中之容 測器；毒性氣體監測器，其功用’、，水管系；排氣熱感 將裝置停機；滌氣器或容積吸著$當感測到毒性氣體時 裝置。利用此一儲存及釋放系統^置，及過壓和溫度控制 psig下達到5〇〇 sccm之氣體釋放速率 現參照附圖，圖1係根據本發明之一 及分配系統1 0之概略圖示。 氣體儲存及分配系統1 0包括氣體 可為具有封住内部體積之圓= =器12’其 態。 _ ♦乳體鋼瓶的形 子ί 7之内部體積中設置物理吸著劑材料1 6，諸如八 子師材料或珠粒活性碳材料，或任 *女刀 質。吸著劑介f Α&丨±uμ%^ 他適s的吸著劑介 珠私Z 係分割的形態，諸如小丸、 :粒、顆粒等…，以提供利用標準的 二
Brunnauer-EmmU-Tener)方法測 j 疋（例 吸著劑材料的床。 ^仵具有阿表面積之 配容器12如圖所示為細長特性，其具有與 示為包f ，此閥頭組合20在此具體實例中 閱體ΪΪΐ: 2狀闕體24，其具有與其結合以手動開關 VCR連接器，以當轉動手動輪26而打開閥體24中 第24頁 88_6.ptd 565467 五 發明說明（20) 之閥時，使在氣體儲存及分配容器中自 氣體進行分配。 τ目及者劑材料脫附之 藉由此種配置，當下游分配位置之 之内部體積之壓力，例如在離子植入應低於容器12 下游的離子化器係維持在極低壓條^ =中，其中 儲存及分配容器釋放。 ^件下日守，氣體可自氣體 或者，聯結器26可將氣體儲存及分配 ^ :含有系、鼓風機、噴射器、發射器、壓管 々泵、建壓回路、或其他可將被吸俨風扇、極 再另-種ίϊΐίϊ體動葉輪裝置之流動回路。 为種’代方式為可將容器丨2或1 + 接或間接力σ敎，w \ 八 之及者劑材料直 附。舉例來說，可將交 及者Μ材料熱脫 中），或且有名敕置於加熱失套（未示於圖 (鬥榫夹：ί 吸著劑床設置於容器内部之加埶蟫总 (同樣未不於圖中）供此用途用。 之加熱螺官 :不於圖1之系統1 〇因此可以任何適告的八配， 差促成脫附及/ +也 u W田的为配形式（壓 中之物理吸著劑=成脫附)使被吸著質氣體自容器12 排出。 枓選擇性地分配，而使分配氣體自容器 # :2::據本發明之方法用於處理物理吸著劑材科 圖示。 考物自吸著劑脫附之吸附劑處理系統之概略 圖2之糸統包枯 有流量控制間66之—，性氣體源50…為連接至其中具 6之情性氣體進給管線64之含有惰性氣體諸
88113376.ptd 第25頁 565467 發明說明（21) — 愈1氮專專的容器。惰性氣f進认營蟪R 4在丨、2 流=連接至待處理之吸著劑材料=、:：韓以 供最：製：Πίΐϊ;填充分配氣體’並經密封，以提 存及分配心二ΐ;二著!1自其轉移至產物氣體儲 器6。【二著Λ’容器60係設置在經構造及設置成將容 υ及八及者劑材料内容物 可吸著物自吸著劑姑祖舳胳"、、主預疋，皿度以使外來的 方式構造供此= : = :之爐62内。此爐可以習知之 及其内容物加敎至在自i 〇 〇 Γ如可設置成選擇性地將容器6 0 度。 ”、、至在自100 C至約1 500 t之範圍内的溫 亦將 '一其中古"、六〇 1 接至容器60，以^制閥70之惰性氣體流出管線68連 自處理系統排出。° P "虱體流過之流量，而使惰性氣體 管線72砝^ 机里控制閥74，並結合至真空泵52之真空 線72結合至惰性氣體 現將參照圖2之明鍫 步驟之流程圖，而說二材一料處理系統’及參照圖3之方法 劑處理方法。 ° 在一說明具體例中之本發明的吸著 次》明方法係經由挺彳址 裝填於容器中（圖3ϋΓ容器60(圖3之步驟1〇〇)及提供 102)而進行。C圖3之V驟105)之吸著劑材料（圖3之步驟 吸著Μ材料可在裝填至容器内之前及/或之後進行處理
565467 五、發明說明（22)
(圖3之步驟1 〇 3及1 0 4)。在銳日日B 於爐62内，及爐經引動以加孰月容具體例中，容器60係設置 66打開，以使惰性氣體在管線：。同時’將流量控制閥 使閥70在開啟狀態’使惰性氣^自源50流過容器60，並 調節惰性氣體及自經加熱吸著匈容器60排放至管線68以 可吸著物之流動。惰性氣體之Z ^料脫附之任何夾帶外來 物之脫附及其在排放管線68中自σ .系、及流動造成外來可吸著 在此操作過程中，閥7 4關閉。=、充IL出 完成時，㈣6 6及7G關％，及^惰性氣體之加熱及流動 步驟中維持開啟於較低溫度條件下關掉或視需要在隨後的 接下來，將閥74打開，引動 吸著劑材料上之殘留的外來可吸=^ 2，以使容器60中之 如所提及之經由加熱爐62而增進。A空脫附，視需要可 因此產生外來可吸著物之含旦每 容器。 只負降低之吸著劑材料的 接著將容納吸著劑材料之容 ⑽卜分配氣體被吸著劑材氣體(圖3之步驟 之分配操W。 計及者及收，且保留供後續 最後’將谷納充滿分配氣體夕 (圖3之步驟107)。密封操作 料之容器密封 =體隔絕容，，或安裝間頭組：機；步=如關閉間， 統。密封操作可視本發明氣體儲存及分配系 造中的適當情況或需要而乳體健存及分配系统之制 '而要而在真空或惰性氣體環境以製
88113376.ptd 五、發明說明（23) 吸著物zi’u:者：材料的預處理中，其中外來的可 分之該外來可吸菩=6处，物理吸著劑材料，以使至少部 行，以當物理吸著,材：$劑材料脫附之步驟可方便地進 5〇重量百分比夕ί “ ΐ枓在以物理吸著劑材料之重量計為 負載胂氣體時，產：：胂7中0,耳之壓力及22。。之溫度下 之一氧化碳量值 母百萬份體積低於20份（ppm v) 劑材料传方：：來：可吸著物包括二氧化碳時，物理吸著 經處理’以使外來的可吸著物脫附，以致 百分比k :劑ί料在以物理吸著劑材料之重量計為50重量 氣體時，產2:胂7中°〇每托百耳萬之//咖 化碳量值。在胂中母百萬伤體積低於50份（PPmv)之二氧 適ί:=吸著劑材料，以使外來可吸著物脫附之步驟可 物i^ 在將物理吸著劑材料裝填於該容器中之前，將 声f者劑材料加熱至在自約300至約8〇〇t之範圍内之溫 i劑二Γ時間’以使外來的可吸著物自其脫附’在物理吸 ;斗之此加熱過程中，視需要並使惰性氣體，例如 4 ’與物理吸著劑材料流動接觸。 熱係活性碳吸著劑材料之熱重分析（TGA)圖，其顯示加 ^向於650 t：時，含氧基團自吸著劑材料之脫附損耗。 如^明的TGA光譜係對珠粒活性碳材料在氬氣體中得到。 重曲線所顯示，材料在直至約100t之溫度下經由 “、、氣的逐漸增加脫附而失去重量。接著當溫度提高時，
565467 五、發明說明（24) 吸著劑材料之重|其士 L , 止。在高於此65〇^H保持定值約65〇°C之溫度 吸著劑材料脫附及，由於含氧基團諸如co及叫自 因此，當殘留ΪΓ因而失重顯著增加。 上時，確保加熱操作ίΓΐ著物在此點保留於吸著劑材料 之點，對於在分配氣體^明顯增加超過失重變化成為零 然可根據起始失重（在吉中達到咼純度極為重要。因此，雖 溫度（直至600。(：）的^織f 1 〇()°C之溫度下）及後續隨增加 可吸著物排除，但持誇欠匕而推測吸著劑已將所有的外來 充分程度，以將殘留至高於約650 °c充分的時間及 將可明顯地提高分配老辦卜來可吸著物自吸著劑材料驅除， .LL L , 门刀配軋體之純度。 在此加熱至高溫中 會沈積於吸著劑材料上使;剤材料之周圍環境保持不含 中會污染吸著劑材料（及在/堵存及分配容器之後續操作 要。 刀配乳體）之可吸著成份至為重 在本發明之包括〜 及後續選擇性地自分配，納對（i )待容納於分配容器中， ⑴)外來的可吸著：：；排出之可吸著分配氣體，及 吸著劑材料之分配容器：=:工見和力之珠粒活性碳物理 特佳具體例中，製造 儲存及分配系統之製法之一 處理其上吸著有外：可3下列步驟·· 至少部分的外來可吸 之物理吸著劑材料， 溫度，及將溫度、i;自約3°〇。。至_〇1之第：；：理 -在第-範圍内維持自約⑷範圍内之 88113376.ptd 第29頁 立、發明說明（25) 間，及在此加熱過 動接觸； 王，使惰性氣體與物理吸著劑材料流
將物理吸著劑从L 將該容器以：”於容器中； 250 t之第二範圍 者劑材料加熱至在自約100它至& 礼㈤内之溫度，及 取 L主約 自約1至10小時之期間，及 ，=又在第二範圍内維持 物理吸著劑材料施加真空加熱過程中，對容器中之 使物理吸著劑材料冷 將可吸著分配氣體引入5 ί於第二溫度範圍之溫度； 器中，以使分配氣體%㈣吸材料之分配容 密封將分配器氣體容納；及 器，以致分配容器其後包含呈 ==容 耆劑材料脫附及使分配氣體自容器排出：:Ί自物理吸 之形態的分配氣體。 w 仏k擇性分配用 當外來的可吸著物包括—氧化碳時， 法，以致當物理吸著劑材料在仃此種製 下負載肿氣體日寺，吸著劑材7ΓΛ理^力有及在22胂t温度 份體積低於20份（ppmv)之一氧化碳量值了及當二二=j ::來的可吸著物時，當物理吸著劑材料在以物；= 料之重量計為50重量百分比之載入量、7〇〇托耳之壓力~= 2厂。之溫度下負載胂氣體時，在胂中之二氧化碳量值低於 每百萬份體積50份（ppmv)。 ' 舉例來說’當外來的可吸著物包括一氧化碳及 565467 五、發明說明（26) 時’物理吸著劑材料可根據本發明有效率地處理，以使外 ，的可吸著物脫附，而產生當物理吸著劑材料在以物理吸 著劑材料之重量計為5 0重量百分比之載入量、7〇 〇托耳之 壓力及22 t：之溫度下負載胂氣體時，胂中之一氧化碳量值 低=每百萬份體積1份（ppmv)，及胂中之二氧化碳量值低 於每百萬份體積10份（ppmv)之經處理吸著劑材料。 本發明之特色及優點由以下的非限制性實施例而作更完 整的展示。 實施例』 迪f ^定量之Kureha BAC活性碳吸附劑（紐約州紐約市克 戶錄鋼樣品鋼瓶中，並置於經構造成如圖2 方法系統中的爐内。將方法系統中之爐直接 運〜至手套箱以進行爐後處理。 在ΪΓ=ϊ!°〇至8°ot在氣氣流下預處理12小時後， 中，隨後在直*:附劑裝填至儲存及分配容器（氣體鋼瓶） Μΐ4ίί;Π15°。"進行脫氣操作5小時。然後在 L下將谷為填充胂氣體至700托耳壓力。 比以ΐ Ϊ:::J =重量計之胂載入量為5。重量百分 任何預處理之：二用之個別容器中之未進行 胂氣體接著自兩~ t吸者劑材料相同的載入量。 化偵檢器（DID)之^^益分配，並獨立地流過裝設放電離子 吸著劑材料之# 目層析儀。經測得在來自含經預處理 含未經處理吸；中，。〇2量值相對於來自 科之&制谷器之胂氣體有明顯地下
565467 案號 88113376 年 曰 修正 五、發明說明（28) 12 容 器 14 圓 柱 壁 16 物 理 吸 著 劑 材 料 18 頸 部 20 閥 頭 組 合 24 單 —一 的 塊狀 閥 體 26 手 動 輪 2 6a 聯 結 器 50 惰 性 氣 體 源 52 真 空 泵 60 容 器 62 爐 64 惰 性 氣 體 進 給 管 線 66 流 量 控 制 閥 68 惰 性 氣 體 排 出 管 線 70 閥 72 真 空 管 線 74 閥
88113376.ptc 第33頁 修正頁 565467
88113376.ptc 第34頁 修正頁

Claims (1)

  1. 3辨6¾ Γ -τ-* f2'1修胸 杜錢Γ t^L 88 mm 六、 曰 —修正 範圍 i. -種氣體儲存及分 ^ 於容納對下列物質具有 二之^方法’此系統包 配容器、’此物理吸著劑係自：,物理吸著劑材料 ，(…寺容納於分配容器中自，=?$珠·活性碳之族刀 益排出之可吸著分配氣體，及（ii^k擇性地自分配容 法包括： ）卜來的可吸著物，兮 處理其上吸著有外來可 至少部分之該外來可吸著物：=:里吸著劑材料，以使 吸著物包括-氧化碳及二/㈣材料脫附’該外來可 處理包含加熱吸著劑材料：至少-者’此處所謂之 將物理吸著劑材料裝填於今之溫度； 將可吸著分配氣體弓丨入二合為中； 器中，以使分配氣體物理吸：：：理吸著劑材料之分配容 费封將分配器氣體容納；理吸著劑材料上；及 器，以致分配容器其後及著劑材料上之分配容 著劑材料脫附及使分配氣體 ^由使分配氣體自物理吸 之形態的分配氣體。 —各器排出而供選擇性分配用 2 ·如申請專利範圍第丨項之 材料，以使至少部分之該外來。去，其中處理物理吸著劑 之該步驟更進一步包括至少二^Γ吸著物自吸著劑材料脫附 (a) 使不可吸著的氣體與物一個下列步驟： 使外來的可吸著物自物理吸〜^及著劑材料流動接觸，以 吸著氣體中；及 者劑材料脫附至流動中的不可 、二條件，以使外來的可吸
    C:\ 總檔\88\88113376\881 13376(替換）-2.ptc 第35頁 (b) 對物理吸著劑材料施加直* ^65467
    號88〗1奶7只 .申請專利範圍 著物自物理吸著劑材料真空脫附。 3·如申請專利範圍第1項之方法， 材料，以使至少部分之該外來可\其中處理物理吸著劑 之該步驟更進一步包括使不可吸=物自吸著劑材料脫附 料流動接觸，以使外來的可吸著）氣體與物理吸著劑材 至流動中的不可吸著氣體中。 自物理吸著劑材料脫附 4·如申請專利範圍第1項之方、去 材料，以使至少部分之該外來可其中處理物理吸著劑 之該步驟更進一步包括對物理吸=物自吸著劑材料脫附 以使外來的可吸著物自物理吸剜材料施加真空條件， 5 ·如申請專利範圍第丨項之方、、背材料真空脫附。 材料，以使至少部分之該外來可法，其中處理物理吸著劑 之該步驟更進一步包括下列步驟吸著物自吸著劑材料脫附 (a) 使不可吸著的氣體與物理^ 使外來的可吸著物自物理吸 及者劑材料流動接觸，以 吸著氣體中；及 ”材料脫附至流動中的不可 (b) 對物理吸著劑材料施加真处 著物自物理吸著劑材料真空脫、卜二條件，以使外來的可吸 6·如申請專利範圍第1項^附° 材料，以使至少部分之該外去，其中處理物理吸著劑 之該步驟係在將物理吸著 I吸著物自吸著劑材料脫附 前進行。 ”材料裂填於該容器中之步驟之 7·如申請專利範圍第丨項之 材料，以使至少部分之該 去，其中處理物理吸著劑 __人/可吸著物自吸著劑材料脫附
    匸：\總檔\88\88113376\881 13376(替換）-2. Ss_88im76 六、申請專利範圍 之該步驟係在將物理吸著劑材 後進行。 、+破填於該容器中之步驟之 8 ·如申凊專利範圍第1項之方法，甘 材料，以使至少部分之該外來可套/、中處理物理吸著劑 之該步驟係在將物理吸著劑材料』物自吸著劑材料脫附 前及之後進行。 y材枓裝填於該容器中之步驟之 9·如申請專利範圍第1項之 料係選自包括氧化銘、氧化去，其中該物理吸著劑材 合物、矽藻土、及碳。 、、⑺晶鋁矽酸鹽、巨網狀聚 1 〇 ·如申請專利範圍第丨項之 物包含選自包括水蒸氣、氧、^ L其中該外來的可吸著 素之氣體種類、及含有_或二二，氧化物、氮、烴、齒 11.如申請專利範圍第之:述種類之組成物。 物包括一氧化碳，及處理复上二丄其中該外來的可吸著 吸著劑材料，以使至少部;之兮1 =外來可吸著物之物理 料脫附之該步驟，當物理吸著5料J吸著物自吸著劑材 之重量計為50重量百分比之載入旦二1以物理吸著劑材料 C之溫度下負載胂氣體時，產生 托耳之壓力及2 2 20份（ppm v)之一氧化碳量值。 母百萬份體積低於 1 2·如申請專利範圍第1項之 物包括二氧化碳，及處理其上吸著有;=夕卜=可吸著 吸著劑材料，以使至少部分之該 J；來:吸者物之物理 料脫附之該步驟，當物理吸著劑=吸著物自吸著劑材 之重量計為50重量百分比之=枓二以物理吸著劑材料 戰入里、700托耳之壓力及22 565467 月 日 六、宇請專利範圍 °c之溫度下倉都M々 5 0份（ppmv)之二氧:，產生在胂中每百萬份體積低於 10 ^ ^ 乳化石厌量值。 外來可吸著物之和物$1 里圍及第J :：法，其中處理其上吸著有 可吸著物自吸著劑材=悧材料，以使至少部分之該外來 材料裝填於該容器中2二附之該步驟包括在將物理吸著劑 約650至約80〇 t :，將物理吸著劑材料加熱至在自 可吸著物自其之：：圍内之溫度足夠的時間，以達成外來 =·如_請專利範圍第13項之方法， 者劑材料之該步驟 ，、中在加熱物理吸 動接觸。 彳&性氣體與物理吸著劑材料流 * 1 2 3 4 5 ·如申凊專利範圍第1 4項之方、去^ 虱。 万法，其中該惰性氣體為 # 2·如申請專利範圍第1 3項之方、去甘士 材料於裝填於容器中後進方法，其中該物理吸著劑 著劑材料、及％ & ，、 匕括更進一步加熱物理吸 驟。+及對物理吸者劑材料施加真空之至少一個步
    13376(替換）-2.pt 第38頁 1 7 ·如申請專利範圍第j 3項 2 劑材料於袭填於容器中之後m’/中使該物理吸著 加熱。 在&加真空下進行更進一步 3 1 8 ·如申請專利範圍第i 4項 4 :材料於裝填於容器中之後，進 =又中使該物理吸著 5 :理吸著劑材料、及對物理吸著；2包括更進-步加熱 個步驟。 J材料施加真空之至少一 565467 _案號88113376 年月日 修正_ 六、申請專利範圍 1 9.如申請專利範圍第1 4項之方法，其中使該物理吸著 劑材料於裝填於容器中之後，在施加真空下進行更進一步 力口熱。 2 0.如申請專利範圍第1項之方法，其中該可吸著分配氣 體包含選自包括矽烷、二硼烷、胂、膦、氯、BC13、BF3、 B2 D6、六氟化鶴、（C H3 )3 S b、氟化氫、氯化氫、G e F4、 S i F4、氣化氫化物、蛾化氫、漠化氫、鍺院、氨、胁、硫 化氫、砸化氫、碲化氫、及NF3之氣體。 2 1.如申請專利範圍第1項之方法，其中該可吸著分配氣 體包括氫化物氣體。 2 2.如申請專利範圍第1項之方法，其中該可吸著分配氣 體包括肿。 2 3.如申請專利範圍第1項之方法，其中該可吸著分配氣 體包括膦。 2 4.如申請專利範圍第1項之方法，其中該可吸著分配氣 體包括三氟化硼。 2 5.如申請專利範圍第1項之方法，其中該可吸著分配氣 體包括二棚烧。 2 6.如申請專利範圍第1項之方法，其中該可吸著分配氣 體包括氘化酿）。 2 7. —種製造包括用於容納對下列物質具有吸著親和力 之珠粒活性碳物理吸著劑材料之分配容器之氣體儲存及分 配系統之方法：（i)待容納於分配容器中，及後續選擇性 地自分配容器排出之可吸著分配氣體，及（i i)外來的可吸
    (：Λ 總檔\88\881 13376\881 13376(替換）-2.pt c 第39頁 ^ 4S_88n3376 /、、申請專利範圍 著物，該方法包括： 處理其上吸著有外 至少部分之該外來二物之物理吸著劑特料 理吸著劑材料加哉ΖΐΓ 著劑材料脫附，包括： 之溫度，及將、、.；、J在自約3 0 0 °C至約80〇t之第”將物 及將咖度在該 弟—耗圍内 期間，及在該加熱軛W内、准持自約1至15小時夕 流動接觸； °壬，使惰性氣體與物理吸著劑材料 ::，吸著劑材料裝填於該容 ； 250 t：之第二範圍及//材科加熱至在自約1 00 t至約 持自約1至1 0小時之至日„ β ^ ^ 隹/第一靶圍内維 ^ ir m ^ 了之，月間’及在该加熱過程中，斟六抑士 之物理吸著劑材料施加真空； T對心裔中 ^物理？著劑材料冷卻至低於該第二溫度範圍之、； 器中可^ Ϊ配氣體引入至容納物理吸著劑材料之；二 ^ 使刀配氣體物理吸著於物理吸著劑材料上；及 %、密封將分配器氣體容納於物理吸著劑材料上之分配容 致分配容器其後包含呈可經由使分配氣體自物理吸 者蜊材料脫附及使分配氣體自容器排出而供選擇性分配用 之形態的分配氣體。 —28·如申請專利範圍第27項之方法，其中該外來的可吸 著物包含選自包括水蒸氣、氧、氫、破氧化物、氮、烴、 提為該 者。 _素之氣體種類、及含有一或多種前述種類之組成物，前 外來的可吸著物包括一氧化碳及二氧化碳之至少一 第40頁 C:\ 總檔\88\88113376\88113376(替換）-2.ptc 565467 a 農正 _案號 88113376 六、申請專利範圍 29.如申請專利範圍第27項之方法，立 ^ 著物包括碳氧化物。 "十該外來的可吸 如申請專利範圍第27項之方法，复 著物包括一氧化碳，及處理其上吸右、中該外來的可吸 理吸著劑材料，以使至少部分之該卜來可吸著物之物 材料脫附之該步驟，當物理著m吸著物自吸著劑 料之重量計為50重量百分比之以物理吸著劑材 22 °C之溫度下負載胂氣體時’產生^ ' 700>托耳之壓力及 於20份（ppmv)之一氧化碳量值。 每百萬份體積低 31.如申請專利範圍第27項之 著物包括二氧化碳，及處理其上吸有、中該外來的可吸 理吸著劑材料，以使至少部分之該外來可吸;:：物，物 料之重量計為50重量百分比以广以 22C之溫度下負載胂氣體時，產生 乇之壓力及 於5 0份（ppmv)之二氧化碳量值。 母百萬份體積低 32·如申請專利範圍第27項 甘士― t 著物包括-氧化碳及二氧化_ / -中s亥外來的可吸 吸著物之物理吸著劑材料，=^上吸著有外來可 物自吸著劑材料脫附之：步： = =可吸著 劑材料加熱至在自約10〇t至 C 物理吸者 度，及將溫度在該第-笳n咖 第一犯圍内之溫 間，及在該加熱過程中，對 了之期 真空之該步驟，當物理吸中之物理吸著劑材料施加 哪田物理及者劑材料在以物理吸著劑材料之
    c:\ 總檔\88\881 13376\881 13376(替換）-2.ptc 第41頁 565467
    b匕之載入量、700托耳之壓力；¢99 °Γ 之溫度下負載胂氣體時，一走 於⑷卿ν)之-氧化;^信起產/Λ申士中每百萬份體積低 於10份（ppmv)之二氧化碳量值。 積1- 3 3 ·如申請專利筋圍楚9 7 ε ~人、$ έ h &圍第27項方法，其中該可吸著分配 氣體包含選自包括砂炫、_ w 何7沉、一硼烷、胂、膦、氣、BC1,、 m::敗化鎢、(cH3)3Sb、氣化氫、氯化氫、㈣、 1二、Jil IL化物、峨化氫、漠化氫、錯烧、氨、胁、硫 化虱、硒化氫、碲化氫、及NF3之氣體。 其中該可吸著分配 其中該可吸著分配 其中該可吸著分配 3 4 ·如申請專利範圍第2 7項之方法 氣體包括氫化物氣體。 35·如申請專利範圍第27項之方法 氣體包括胂。 36·如申請專利範圍第27項之方法 氣體包括膦。 37·如申請專利範圍第27項之方法，其中該可吸著分配 氣體包括三氟化硼。 38·如申請專利範圍第27項之方法，其中該可吸著分氣 體包括二硼烷。 ' 3 9 ·如申請專利範圍第2 7項之方法，其中該可吸著分配 氣體包括氘化ft。 4 0.如申請專利範圍第1項之方法，其中在自（丨）處理物 理吸著劑材料，以使至少部分之外來可吸著物自吸著劑材 料脫附之步驟開始，及結束於（2)密封分配容器，以致1其
    C: \總檔\88\88113376\881 13376(替換）-2. 第42頁 565467 曰 六 申請專利——^ — 之後包含g I 成之期間中2擇性分配用之形態之分配氣體之步驟完 41.如VV憲使物理吸著劑材料與大氣隔絕接觸。 在^期間中係與氧隔絕接觸。 …物理吸著劑 用作為V二專圍1項之方其中將活性碳材料使 外來可吸處理物理吸著劑材料，“自其去除 驟。 物匕括將吸者劑加熱至超過650 t之溫度之步 士申凊專利範圍第4 2項之方法，复φ 在該加熱至超之溫度之過程/，': = :劑材料 ^分配容器密封，以致其之後包含及在此處理後直 形悲的分西？洛駚& , 仏&擇性分配用之 44如申Λ 減水蒸氣隔絕接觸。 物包括一申氧\專/ = 礼化奴，及處理其上吸菩， 有 吸著劑材#，以使至少部分之該= = : =物，物理 料脫附之該步驟，當物理吸著劑材料在=吸著劑材 ，重量計為5。重量百分比之載」物耳理吸/劑村料 C之溫度下負載胂氣體時，產耳之堅力及22 5份（卿ν)之—氧化碳量值。在肿中母百萬份體積低於 45·如申請專利範圍第1項之方法， 物包括二氧化碳，及處理其上吸二七“外來的可吸著 吸著劑材料，以使至少部分之該外 Λ :吸著物之物理 料脫附之該步驟，當物理吸著劑松:吸著物自吸著劑材 之重量計為50重量百分比之載j枓二以，理吸著劑村料 里、700托耳之壓力及22
    565467 曰 案號 88113376 六、申請專利範圍 °C之溫度下負載胂氣體時’產生在胂中每百萬份體積低於 10份（ppmv)之二氧化碳量值。 46.如申請專利範圍第27項之方法，其中該外來的可吸 著物包括一氧化碳，及處理其上吸著有外來可吸著物之 理吸著劑材料，以使至少部分之該外來可吸著物自吸 材料脫附之該步驟，當物理吸著劑材料在以物 料之重量計為50重量百分比之載入量、7 者Μ材 22 °C之溫度下負載胂氣體時，產生在 耳之壓力及 於1份（ppmv)之一氧化碳量值。 母百萬份體積低 如申請專利範圍第27項之方法 著物包括二氧化碳，及處理其上吸著有、中该外來的可吸 理吸著劑材料，以使至少部分之該未可吸耆物之物 材料脫附之該步驟，當物理吸著^ ^可吸著物自吸著劑 料之重量計為5 0重量百分比之載入息在以物理吸著劑材 溫度下負載胂氣體時，產生^肿^托耳壓力及 於1份（ppmv)之二氧化碳量值。 平母百萬份體積低
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