SU1583151A1 - Способ очистки газов от арсина - Google Patents
Способ очистки газов от арсина Download PDFInfo
- Publication number
- SU1583151A1 SU1583151A1 SU884428099A SU4428099A SU1583151A1 SU 1583151 A1 SU1583151 A1 SU 1583151A1 SU 884428099 A SU884428099 A SU 884428099A SU 4428099 A SU4428099 A SU 4428099A SU 1583151 A1 SU1583151 A1 SU 1583151A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- layer
- stream
- fed
- ash
- protective action
- Prior art date
Links
Landscapes
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к технологии адсорбционной очистки газов от ASH 3, примен емой в производстве мышь ка и позвол ющей повысить врем защитного действи . Предварительно активированный уголь смешивают с порошкообразным SIO 2, модифицированным диметилсиланом. Поток очищаемого газа с примес ми ASH 3 подают на наружную цилиндрическую поверхность сло микропористого активированного угл и вывод т из центральной осевой цилиндрической полости. Уголь используют в виде двух слоев. При этом на слой сначала подают слабоконцентрированный поток с содержанием ASH 3(8 .10 -6)-(5 .10 -4)об.%. Затем на этот слой подают поток с содержанием ASH 3(6*9Об.%. 9.10 -4)-(5 .10 -1)Об.%. об.%. Выход щий поток совместно со слабоконцентрированным потоком подают на второй свежий слой такого же сорбента. Способ позвол ет повысить врем защитного действи в 1,3-1,8 раз. Температура сло в процессе сорбции не поднимаетс выше 70°С, что предотвращает возгорание угл . 1 табл.
Description
Изобретение относитс к технологии санитарной очистки промышленных газовых выбросов от AsH3 и может быть использовано в производстве мышь ксо- держащих продуктов.
Цель изобретени - повышение времени защитного действи .
Пример 1. Отход щие газы при 25°С, разбавленные воздухом и содержащие 8-10- об.% AsH}, 0,01-0,02 об.% паров воды, 10-15 мг/м3 пыли, пропускали через сорбционную колонку диаметром 70 мм, высотой 200 мм, заполненную микропористым активированным углем АГ-3, предварительно обработанным при перемешивании порошком высокодисперсного диоксида кремни , модифицированного диметилсиланом, в соотношении масс 10:1 соответственно. Поток газов подавали на наружную цилиндрическую поверхность сло сорбента , а выводили из центральной осевой цилиндрической полости диаметром 10мм при объемной скорости 400 . После по влени арсина в выводимых газах вместо потока с концентрацией арсина
СЛ
00 С
:п
8-10г об.% подключали поток газов с концентрацией арсина .%, а первый поток подключали к второй такой же сорбционной колонке с таким же обработанным активированным углем. После прохождени второго потока через слой его подмешивают к первому потоку, подаваемому к второй колонке.
Скорость газового потока через опой составл ла 0,0159 л/мин.см2. Коэффициент защитного действи при прохождении первого потока через первый слой составил 3780 ч/см, концентраци AsH3 за слоем 2-10 мг/м3 . При Последующем прохождении второго потока через первый слой коэффициент защитного действи составил 375 ч/см, концентраци AsH,, за слоем 2, МО мг/м3, При пропускании объединенного потока через второй слой коэффициент защитного действи составил 8780 ч/см, концентраци АзНэ за слоем 4 8
Результаты опытов по примерам 1-4 приведены в таблице.
Перемешивание угл с модифицированным диметилсиланом диоксидом кремни приводит к повышению гидрофобнос- ти, меньшей сорбции воды и вследствие
этого к повышению сорбционной емкости по AsH5. Подача очищаемого газа на внешнюю цилиндрическую поверхность сло сорбента и вывод его из центральной полости приводит к тому, что по мере убывани концентрации AsH3 в газе из-за сорбции уменьшаетс площадь поверхности сорбента. В известном же способе эта площадь остаетс посто нной. Поэтому при одинаковом объеме врем защитного действи в предложенном способе увеличиваетс .
При концентрации AsH, более
iУ
5 -10 об.% может происходить разогрев
0
5
0
5
0
сло до 150ЮС, привод щий к возгоранию . В предложенном способе температура сло не поднимаетс выше 70° С. Подача газа на очистку с концентрацией менее .% нецелесообразна , так как така концентраци соответствует предельно допустимой. Превышение концентрации AsH3 в слабоконцентрированном потоке приводит к снижению времени защитного действи сорбента.
При использовании предлагаемого способа коэффициент защитного действи в 8-12 раз больше, чем при использовании известного, что обеспечивает увеличение времени защитного действи в 1,3-1,8 раза.
Claims (1)
- Формула изобретениСпособ очистки газов от арсина, включающий пропускание их через цилиндрический слой микропористого активированного угл , отличающийс тем, что, с целью повышени времени защитного действи , активированный уголь предварительно смешивают с порошкообразным диоксидом кремни , модифицированным диметилси- - ланом, поток очищаемого газа подают на наружную цилиндрическую поверхность сло угл , расположенного в адсорбере с центральной осевой цилиндрической полостью, при этом сначала на слой подают разбавленный воздухом поток с содержанием арсина, равным 8-10 -5-10 об.%, затем на этот слой подают поток с содержанием арсина , равным 6-1СГ -5 .%, после чего выход щий поток совместно со слабоконцентрированным потоком подают на второй свежий слой такого же сорбента .Коэффициент защитного действи , ч/см:I поток3780 498 1682 168211 поток375 375 251 24объединенный поток8780 .8780 8780 8780Температура сло 70°С.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884428099A SU1583151A1 (ru) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | Способ очистки газов от арсина |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU884428099A SU1583151A1 (ru) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | Способ очистки газов от арсина |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1583151A1 true SU1583151A1 (ru) | 1990-08-07 |
Family
ID=21376171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU884428099A SU1583151A1 (ru) | 1988-05-23 | 1988-05-23 | Способ очистки газов от арсина |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1583151A1 (ru) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5518528A (en) * | 1994-10-13 | 1996-05-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds |
US5980608A (en) * | 1998-01-07 | 1999-11-09 | Advanced Technology Materials, Inc. | Throughflow gas storage and dispensing system |
US5985008A (en) * | 1997-05-20 | 1999-11-16 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium |
US6019823A (en) * | 1997-05-16 | 2000-02-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with replaceable sorbent cartridge members |
US6027547A (en) * | 1997-05-16 | 2000-02-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing vessel with modified high surface area solid as fluid storage medium |
US6070576A (en) * | 1998-06-02 | 2000-06-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Adsorbent-based storage and dispensing system |
US6083298A (en) * | 1994-10-13 | 2000-07-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment |
US6132492A (en) * | 1994-10-13 | 2000-10-17 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same |
US6204180B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-03-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing sorbent-based fluid storage and dispensing system for reagent delivery |
US6406519B1 (en) * | 1998-03-27 | 2002-06-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system |
US7857880B2 (en) | 2002-10-31 | 2010-12-28 | Advanced Technology Materials, Inc. | Semiconductor manufacturing facility utilizing exhaust recirculation |
US9468901B2 (en) | 2011-01-19 | 2016-10-18 | Entegris, Inc. | PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same |
-
1988
- 1988-05-23 SU SU884428099A patent/SU1583151A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Карабанов Н.Т. и др. Исследование адсорбции летучих водородных соединений элементов на активированном угле. - Журнал физической химии, 1976, т.50, № 1, с. 180-187. * |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6083298A (en) * | 1994-10-13 | 2000-07-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment |
US6132492A (en) * | 1994-10-13 | 2000-10-17 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same |
US6125131A (en) * | 1994-10-13 | 2000-09-26 | Advanced Technology Materials, Inc. | Laser system utilizing sorbent-based gas storage and delivery system |
US5518528A (en) * | 1994-10-13 | 1996-05-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds |
US6019823A (en) * | 1997-05-16 | 2000-02-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with replaceable sorbent cartridge members |
US6027547A (en) * | 1997-05-16 | 2000-02-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing vessel with modified high surface area solid as fluid storage medium |
US6204180B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-03-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing sorbent-based fluid storage and dispensing system for reagent delivery |
US5985008A (en) * | 1997-05-20 | 1999-11-16 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium |
US5980608A (en) * | 1998-01-07 | 1999-11-09 | Advanced Technology Materials, Inc. | Throughflow gas storage and dispensing system |
US6406519B1 (en) * | 1998-03-27 | 2002-06-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system |
US6540819B2 (en) * | 1998-03-27 | 2003-04-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system |
US6070576A (en) * | 1998-06-02 | 2000-06-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Adsorbent-based storage and dispensing system |
US7857880B2 (en) | 2002-10-31 | 2010-12-28 | Advanced Technology Materials, Inc. | Semiconductor manufacturing facility utilizing exhaust recirculation |
US9468901B2 (en) | 2011-01-19 | 2016-10-18 | Entegris, Inc. | PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
SU1583151A1 (ru) | Способ очистки газов от арсина | |
US4215096A (en) | Removal of acidic contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon | |
US4273751A (en) | Removal of acidica contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon | |
US4908195A (en) | Process of purifying exhaust gas | |
GB1493250A (en) | Decarbonation of gas for example air | |
GB1234862A (en) | Separating gas mixtures by selective absorption in liquids | |
JP2565895B2 (ja) | 廃ガスを浄化するための方法および装置 | |
CA2265083A1 (en) | Method and apparatus for processing polluted gas containing harmful substances | |
SU1747129A1 (ru) | Способ очистки газов от ртути | |
SU1747130A1 (ru) | Способ очистки газов от ртути | |
GB1472896A (en) | Adsorption process for purifying gases | |
EP0037450B1 (en) | Process for the removal of acid and acid precursor gases and vapors from gas streams | |
JPS5869715A (ja) | モノシランの精製方法 | |
SU1161465A1 (ru) | Способ получени углеродного адсорбента | |
IE51162B1 (en) | Continuous process and equipment for the recovery of nitrogen oxides for nitrous gases | |
GB2265145B (en) | Production of tert. Amylmethyl Ether | |
JPH04176320A (ja) | 排ガス浄化方法及び装置 | |
SU181061A1 (ru) | ГМТПТГЧЬ .^, ! '^ т;-^;.(ч-:кл^: -'Ч | |
RU1793947C (ru) | Способ очистки отход щих газов от фенола и формальдегида | |
SU891127A1 (ru) | Способ очистки газа от тетрафторида кремни | |
SU971790A1 (ru) | Способ получени сорбента дл поглощени паров ртути | |
CA1143137A (en) | Removal of acidic contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon | |
SU1142151A1 (ru) | Способ очистки газов от окислов серы | |
SU1247340A1 (ru) | Способ получени высокодисперсной поверхностно-активной двуокиси кремни | |
JPS5528756A (en) | Removing method of corrosive gas |