SU1583151A1 - Способ очистки газов от арсина - Google Patents

Способ очистки газов от арсина Download PDF

Info

Publication number
SU1583151A1
SU1583151A1 SU884428099A SU4428099A SU1583151A1 SU 1583151 A1 SU1583151 A1 SU 1583151A1 SU 884428099 A SU884428099 A SU 884428099A SU 4428099 A SU4428099 A SU 4428099A SU 1583151 A1 SU1583151 A1 SU 1583151A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
layer
stream
fed
ash
protective action
Prior art date
Application number
SU884428099A
Other languages
English (en)
Inventor
Геннадий Валентинович Зубченко
Виктор Леонидович Митник
Владимир Алексеевич Кожемякин
Сергей Васильевич Герасимов
Виталий Кондратьевич Скаба
Игорь Григорьевич Финк
Original Assignee
Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет" filed Critical Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет"
Priority to SU884428099A priority Critical patent/SU1583151A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1583151A1 publication Critical patent/SU1583151A1/ru

Links

Landscapes

  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Abstract

Изобретение относитс  к технологии адсорбционной очистки газов от ASH 3, примен емой в производстве мышь ка и позвол ющей повысить врем  защитного действи . Предварительно активированный уголь смешивают с порошкообразным SIO 2, модифицированным диметилсиланом. Поток очищаемого газа с примес ми ASH 3 подают на наружную цилиндрическую поверхность сло  микропористого активированного угл  и вывод т из центральной осевой цилиндрической полости. Уголь используют в виде двух слоев. При этом на слой сначала подают слабоконцентрированный поток с содержанием ASH 3(8 .10 -6)-(5 .10 -4)об.%. Затем на этот слой подают поток с содержанием ASH 3(6*9Об.%. 9.10 -4)-(5 .10 -1)Об.%. об.%. Выход щий поток совместно со слабоконцентрированным потоком подают на второй свежий слой такого же сорбента. Способ позвол ет повысить врем  защитного действи  в 1,3-1,8 раз. Температура сло  в процессе сорбции не поднимаетс  выше 70°С, что предотвращает возгорание угл . 1 табл.

Description

Изобретение относитс  к технологии санитарной очистки промышленных газовых выбросов от AsH3 и может быть использовано в производстве мышь ксо- держащих продуктов.
Цель изобретени  - повышение времени защитного действи .
Пример 1. Отход щие газы при 25°С, разбавленные воздухом и содержащие 8-10- об.% AsH}, 0,01-0,02 об.% паров воды, 10-15 мг/м3 пыли, пропускали через сорбционную колонку диаметром 70 мм, высотой 200 мм, заполненную микропористым активированным углем АГ-3, предварительно обработанным при перемешивании порошком высокодисперсного диоксида кремни , модифицированного диметилсиланом, в соотношении масс 10:1 соответственно. Поток газов подавали на наружную цилиндрическую поверхность сло  сорбента , а выводили из центральной осевой цилиндрической полости диаметром 10мм при объемной скорости 400 . После по влени  арсина в выводимых газах вместо потока с концентрацией арсина
СЛ
00 С
:п
8-10г об.% подключали поток газов с концентрацией арсина .%, а первый поток подключали к второй такой же сорбционной колонке с таким же обработанным активированным углем. После прохождени  второго потока через слой его подмешивают к первому потоку, подаваемому к второй колонке.
Скорость газового потока через опой составл ла 0,0159 л/мин.см2. Коэффициент защитного действи  при прохождении первого потока через первый слой составил 3780 ч/см, концентраци  AsH3 за слоем 2-10 мг/м3 . При Последующем прохождении второго потока через первый слой коэффициент защитного действи  составил 375 ч/см, концентраци  AsH,, за слоем 2, МО мг/м3, При пропускании объединенного потока через второй слой коэффициент защитного действи  составил 8780 ч/см, концентраци  АзНэ за слоем 4 8
Результаты опытов по примерам 1-4 приведены в таблице.
Перемешивание угл  с модифицированным диметилсиланом диоксидом кремни  приводит к повышению гидрофобнос- ти, меньшей сорбции воды и вследствие
этого к повышению сорбционной емкости по AsH5. Подача очищаемого газа на внешнюю цилиндрическую поверхность сло  сорбента и вывод его из центральной полости приводит к тому, что по мере убывани  концентрации AsH3 в газе из-за сорбции уменьшаетс  площадь поверхности сорбента. В известном же способе эта площадь остаетс  посто нной. Поэтому при одинаковом объеме врем  защитного действи  в предложенном способе увеличиваетс .
При концентрации AsH, более
5 -10 об.% может происходить разогрев
0
5
0
5
0
сло  до 150ЮС, привод щий к возгоранию . В предложенном способе температура сло  не поднимаетс  выше 70° С. Подача газа на очистку с концентрацией менее .% нецелесообразна , так как така  концентраци  соответствует предельно допустимой. Превышение концентрации AsH3 в слабоконцентрированном потоке приводит к снижению времени защитного действи  сорбента.
При использовании предлагаемого способа коэффициент защитного действи  в 8-12 раз больше, чем при использовании известного, что обеспечивает увеличение времени защитного действи  в 1,3-1,8 раза.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Способ очистки газов от арсина, включающий пропускание их через цилиндрический слой микропористого активированного угл , отличающийс  тем, что, с целью повышени  времени защитного действи , активированный уголь предварительно смешивают с порошкообразным диоксидом кремни , модифицированным диметилси- - ланом, поток очищаемого газа подают на наружную цилиндрическую поверхность сло  угл , расположенного в адсорбере с центральной осевой цилиндрической полостью, при этом сначала на слой подают разбавленный воздухом поток с содержанием арсина, равным 8-10 -5-10 об.%, затем на этот слой подают поток с содержанием арсина , равным 6-1СГ -5 .%, после чего выход щий поток совместно со слабоконцентрированным потоком подают на второй свежий слой такого же сорбента .
    Коэффициент защитного действи , ч/см:
    I поток3780 498 1682 1682
    11 поток375 375 251 24
    объединенный поток8780 .8780 8780 8780
    Температура сло  70°С.
SU884428099A 1988-05-23 1988-05-23 Способ очистки газов от арсина SU1583151A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884428099A SU1583151A1 (ru) 1988-05-23 1988-05-23 Способ очистки газов от арсина

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU884428099A SU1583151A1 (ru) 1988-05-23 1988-05-23 Способ очистки газов от арсина

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1583151A1 true SU1583151A1 (ru) 1990-08-07

Family

ID=21376171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU884428099A SU1583151A1 (ru) 1988-05-23 1988-05-23 Способ очистки газов от арсина

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1583151A1 (ru)

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5518528A (en) * 1994-10-13 1996-05-21 Advanced Technology Materials, Inc. Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds
US5980608A (en) * 1998-01-07 1999-11-09 Advanced Technology Materials, Inc. Throughflow gas storage and dispensing system
US5985008A (en) * 1997-05-20 1999-11-16 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium
US6019823A (en) * 1997-05-16 2000-02-01 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with replaceable sorbent cartridge members
US6027547A (en) * 1997-05-16 2000-02-22 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing vessel with modified high surface area solid as fluid storage medium
US6070576A (en) * 1998-06-02 2000-06-06 Advanced Technology Materials, Inc. Adsorbent-based storage and dispensing system
US6083298A (en) * 1994-10-13 2000-07-04 Advanced Technology Materials, Inc. Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment
US6132492A (en) * 1994-10-13 2000-10-17 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same
US6204180B1 (en) 1997-05-16 2001-03-20 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing sorbent-based fluid storage and dispensing system for reagent delivery
US6406519B1 (en) * 1998-03-27 2002-06-18 Advanced Technology Materials, Inc. Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system
US7857880B2 (en) 2002-10-31 2010-12-28 Advanced Technology Materials, Inc. Semiconductor manufacturing facility utilizing exhaust recirculation
US9468901B2 (en) 2011-01-19 2016-10-18 Entegris, Inc. PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Карабанов Н.Т. и др. Исследование адсорбции летучих водородных соединений элементов на активированном угле. - Журнал физической химии, 1976, т.50, № 1, с. 180-187. *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6083298A (en) * 1994-10-13 2000-07-04 Advanced Technology Materials, Inc. Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment
US6132492A (en) * 1994-10-13 2000-10-17 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same
US6125131A (en) * 1994-10-13 2000-09-26 Advanced Technology Materials, Inc. Laser system utilizing sorbent-based gas storage and delivery system
US5518528A (en) * 1994-10-13 1996-05-21 Advanced Technology Materials, Inc. Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds
US6019823A (en) * 1997-05-16 2000-02-01 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with replaceable sorbent cartridge members
US6027547A (en) * 1997-05-16 2000-02-22 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing vessel with modified high surface area solid as fluid storage medium
US6204180B1 (en) 1997-05-16 2001-03-20 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing sorbent-based fluid storage and dispensing system for reagent delivery
US5985008A (en) * 1997-05-20 1999-11-16 Advanced Technology Materials, Inc. Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium
US5980608A (en) * 1998-01-07 1999-11-09 Advanced Technology Materials, Inc. Throughflow gas storage and dispensing system
US6406519B1 (en) * 1998-03-27 2002-06-18 Advanced Technology Materials, Inc. Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system
US6540819B2 (en) * 1998-03-27 2003-04-01 Advanced Technology Materials, Inc. Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system
US6070576A (en) * 1998-06-02 2000-06-06 Advanced Technology Materials, Inc. Adsorbent-based storage and dispensing system
US7857880B2 (en) 2002-10-31 2010-12-28 Advanced Technology Materials, Inc. Semiconductor manufacturing facility utilizing exhaust recirculation
US9468901B2 (en) 2011-01-19 2016-10-18 Entegris, Inc. PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SU1583151A1 (ru) Способ очистки газов от арсина
US4215096A (en) Removal of acidic contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon
US4273751A (en) Removal of acidica contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon
US4908195A (en) Process of purifying exhaust gas
GB1493250A (en) Decarbonation of gas for example air
GB1234862A (en) Separating gas mixtures by selective absorption in liquids
JP2565895B2 (ja) 廃ガスを浄化するための方法および装置
CA2265083A1 (en) Method and apparatus for processing polluted gas containing harmful substances
SU1747129A1 (ru) Способ очистки газов от ртути
SU1747130A1 (ru) Способ очистки газов от ртути
GB1472896A (en) Adsorption process for purifying gases
EP0037450B1 (en) Process for the removal of acid and acid precursor gases and vapors from gas streams
JPS5869715A (ja) モノシランの精製方法
SU1161465A1 (ru) Способ получени углеродного адсорбента
IE51162B1 (en) Continuous process and equipment for the recovery of nitrogen oxides for nitrous gases
GB2265145B (en) Production of tert. Amylmethyl Ether
JPH04176320A (ja) 排ガス浄化方法及び装置
SU181061A1 (ru) ГМТПТГЧЬ .^, ! '^ т;-^;.(ч-:кл^: -'Ч
RU1793947C (ru) Способ очистки отход щих газов от фенола и формальдегида
SU891127A1 (ru) Способ очистки газа от тетрафторида кремни
SU971790A1 (ru) Способ получени сорбента дл поглощени паров ртути
CA1143137A (en) Removal of acidic contaminants from gas streams by caustic impregnated activated carbon
SU1142151A1 (ru) Способ очистки газов от окислов серы
SU1247340A1 (ru) Способ получени высокодисперсной поверхностно-активной двуокиси кремни
JPS5528756A (en) Removing method of corrosive gas