JPH03127606A - 充填塔構造 - Google Patents
充填塔構造Info
- Publication number
- JPH03127606A JPH03127606A JP1262010A JP26201089A JPH03127606A JP H03127606 A JPH03127606 A JP H03127606A JP 1262010 A JP1262010 A JP 1262010A JP 26201089 A JP26201089 A JP 26201089A JP H03127606 A JPH03127606 A JP H03127606A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adsorbent
- packed
- packing
- gas
- materials
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000945 filler Substances 0.000 claims description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 16
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 12
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 10
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 3
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
- B01J8/02—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds
- B01J8/04—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid passing successively through two or more beds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
- B01J8/02—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds
- B01J8/04—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid passing successively through two or more beds
- B01J8/0446—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid passing successively through two or more beds the flow within the beds being predominantly vertical
- B01J8/0449—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid passing successively through two or more beds the flow within the beds being predominantly vertical in two or more cylindrical beds
- B01J8/0453—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid passing successively through two or more beds the flow within the beds being predominantly vertical in two or more cylindrical beds the beds being superimposed one above the other
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ｍｆｆｉ上の利用分野〕
本発明は、充填塔構造に係り、充填塔軽■化とともにム
ダ空間部によるロス、例えばパージロス低減に寄与する
構造に関するものである。
ダ空間部によるロス、例えばパージロス低減に寄与する
構造に関するものである。
従来の装置は、特開昭６０−７８６３８号や特開昭５９
−１？７１３１’ｊｊなどのように縦型円筒吸着塔を使
用しているが、下塔の原料ガス（不純ガス）入口部には
、ガスを均一に分散させ、更に偏流を起こさせない配慮
からガス分散器が取り付けられ、その上、サポートで支
えられている吸着剤充填部までは、ある高さの空間部が
設けられている。
−１？７１３１’ｊｊなどのように縦型円筒吸着塔を使
用しているが、下塔の原料ガス（不純ガス）入口部には
、ガスを均一に分散させ、更に偏流を起こさせない配慮
からガス分散器が取り付けられ、その上、サポートで支
えられている吸着剤充填部までは、ある高さの空間部が
設けられている。
従来装置の一例を１１！２図により説明する。第２図は
切替時間が１分前後と短い吸ＩＦ、説着により空気中の
酸素を濃縮する例で従来の吸着剤の充填Ｗ１１で、原料
ガス２は下塔入口ノズル３より供給され、吸着により精
製されて製品ガス４となり上場の出口ノズル５より排出
される。充填Ｍｌ内には、前処理用吸着剤であるｉｌｌ
光填物６が下層２分離精製用吸着剤である主充填物７が
上層となってサポート８で支持されており、サポート８
と副充填物６、および副充填物６と主充填物７の境界に
は、金網９が敷いてあり、充填物６，７の脱落や混合を
避けである。また、ガスの偏流防止のために、充＃Ａ塔
１のガス２，４の出入口には分散器ｌＯが設置されてお
り、特に下塔には更に整流効果をもたせるために空間部
を持たせている。
切替時間が１分前後と短い吸ＩＦ、説着により空気中の
酸素を濃縮する例で従来の吸着剤の充填Ｗ１１で、原料
ガス２は下塔入口ノズル３より供給され、吸着により精
製されて製品ガス４となり上場の出口ノズル５より排出
される。充填Ｍｌ内には、前処理用吸着剤であるｉｌｌ
光填物６が下層２分離精製用吸着剤である主充填物７が
上層となってサポート８で支持されており、サポート８
と副充填物６、および副充填物６と主充填物７の境界に
は、金網９が敷いてあり、充填物６，７の脱落や混合を
避けである。また、ガスの偏流防止のために、充＃Ａ塔
１のガス２，４の出入口には分散器ｌＯが設置されてお
り、特に下塔には更に整流効果をもたせるために空間部
を持たせている。
これを純酸素量５０ ＯＮｍ”／ｈ 、 ９３％の酸
素を得る装置に適用し、パージロスをあたってみると次
のようになる。
素を得る装置に適用し、パージロスをあたってみると次
のようになる。
１゜充填塔形状 （
１１）塔 径
（２）塔高
３墳使用）
φ３，０００朋
Ｔ、 Ｌ〜Ｔ、 Ｌ ３，０００ｉｃｍ（うち空間部
高さ５００Ｍ） ２：１ 楕円 ２８ ｍ” ｉｓｍ’（但し、副充填 物６および切替弁まで の配管分考慮） （３） 鏡 （４１塔容積 （５）空間容積 １、 操作条件 ｉｌ＋ 原料空気量 ６，３００ Ｎｍ”／ｈ
（正味）（２）操作圧力 吸着 １．２ａ（ａ再
生 ０．４５ａｔａ （３） 大気条件 ７６０１１Ｈｑ、 ３０℃
。
高さ５００Ｍ） ２：１ 楕円 ２８ ｍ” ｉｓｍ’（但し、副充填 物６および切替弁まで の配管分考慮） （３） 鏡 （４１塔容積 （５）空間容積 １、 操作条件 ｉｌ＋ 原料空気量 ６，３００ Ｎｍ”／ｈ
（正味）（２）操作圧力 吸着 １．２ａ（ａ再
生 ０．４５ａｔａ （３） 大気条件 ７６０１１Ｈｑ、 ３０℃
。
８０那ＲＨ
（４） 切替サイクル ６０秒
以上の条件からパージロスを求めると、キ５９０ Ｎｍ
７ｈ となり、原料空気の９．４％のパージロス分を原料空気
（こ追加する必要がある。これは、真空ポンプを使って
排気するガスについても同様である。
７ｈ となり、原料空気の９．４％のパージロス分を原料空気
（こ追加する必要がある。これは、真空ポンプを使って
排気するガスについても同様である。
このパージロス（半空間容積）は、大容量となって塔径
が大きくなるに従い増加するため、電力原単位のみなら
ず、プラントコストの面でも不利となっていた。
が大きくなるに従い増加するため、電力原単位のみなら
ず、プラントコストの面でも不利となっていた。
上記従来技術、特に切替時間の短いガスの吸着における
充填塔では、充填塔内の空間部によるパージロスの低減
、および軽量化についての配慮がされておらず、これに
伴なう電力原単位の増加とともに、充填塔、原料ガス供
給ブロア、再生用真空ポンプおよびバルブ、配管類など
のコストアップにつ々がる欠点があった。
充填塔では、充填塔内の空間部によるパージロスの低減
、および軽量化についての配慮がされておらず、これに
伴なう電力原単位の増加とともに、充填塔、原料ガス供
給ブロア、再生用真空ポンプおよびバルブ、配管類など
のコストアップにつ々がる欠点があった。
本発明の目的は、充填塔の空間部容積を低減することに
より、充＃Ｘ塔の軽量化を図るとともに、特に、切替時
間の短いガスの吸着においてはパージロスを低減して電
力原単位を下げる効果を持つ充填塔構造を提供すること
にある。
より、充＃Ｘ塔の軽量化を図るとともに、特に、切替時
間の短いガスの吸着においてはパージロスを低減して電
力原単位を下げる効果を持つ充填塔構造を提供すること
にある。
上記目的は、充填塔下墳部に直接副充填物を充填し、そ
の上部に主充填物を充填することにより、充填塔内の空
＋１ｆｉ部容積を低減することにより連成される。
の上部に主充填物を充填することにより、充填塔内の空
＋１ｆｉ部容積を低減することにより連成される。
充填塔内の空間部に光＃（物を充填することにより、空
ｎｕｓ容槓を低減することができる。また、この充填物
は、流体の分数効果を有するために分散器の省略が可能
となる。更に、充填物を直接充填塔で支持するためにサ
ポートの省略も可能となる。
ｎｕｓ容槓を低減することができる。また、この充填物
は、流体の分数効果を有するために分散器の省略が可能
となる。更に、充填物を直接充填塔で支持するためにサ
ポートの省略も可能となる。
一方、充填物の充填高さは、分散効果を持たせるために
数百１ｇ（２ｏｏＩＩｊ１前後）高くなるが、この部分
の圧損は、分散器の圧損に比べて大きくなるものではな
い。
数百１ｇ（２ｏｏＩＩｊ１前後）高くなるが、この部分
の圧損は、分散器の圧損に比べて大きくなるものではな
い。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。
ｆＪ１図は、本発明により空間容積を低減した、切替時
間が１分前後の吸着に用いられる吸着剤の充填塔ｌの構
造図である。従来の第２図における空間部１１に前処理
用の吸着剤である副充填物６を充填し、その上に分離精
製用の吸着剤である主充填物７を充填したもので、原料
ガス２の入口には、置網９とともに、充填物６，７の受
皿３を設置した。また、充填物６，７の境界、更に主充
填物７の上部には、それぞれ充填物６，７の混合防止、
並びに固定の目的で金網９を設置した。ガスの流れは、
通常の充填塔１と同様に、原料ガス２が下塔部ノズル３
より供給され、不純物および分離除去物質を吸着除去後
、製品ガス４として上塔部ノズル５より出て行く構成と
なっている。
間が１分前後の吸着に用いられる吸着剤の充填塔ｌの構
造図である。従来の第２図における空間部１１に前処理
用の吸着剤である副充填物６を充填し、その上に分離精
製用の吸着剤である主充填物７を充填したもので、原料
ガス２の入口には、置網９とともに、充填物６，７の受
皿３を設置した。また、充填物６，７の境界、更に主充
填物７の上部には、それぞれ充填物６，７の混合防止、
並びに固定の目的で金網９を設置した。ガスの流れは、
通常の充填塔１と同様に、原料ガス２が下塔部ノズル３
より供給され、不純物および分離除去物質を吸着除去後
、製品ガス４として上塔部ノズル５より出て行く構成と
なっている。
このような吸着における充填物ｌでは、ガスの空塔速度
は、充填物６，７が流動化しない速度（充填物形状：約
２〜４Ｍの球あるいはベレツト）の５０Ｃｍ７１１以下
（通常１０〜２０ｃｍ／ ｓ ）であるが、このような
充填場ｌでは、充填物６，７の流動抵抗が支配的となり
、原料ガス２は、充填部入口より１００〜２００朋の位
置でほぼ均一流となることがシミ、レージ雪ンから判明
している。
は、充填物６，７が流動化しない速度（充填物形状：約
２〜４Ｍの球あるいはベレツト）の５０Ｃｍ７１１以下
（通常１０〜２０ｃｍ／ ｓ ）であるが、このような
充填場ｌでは、充填物６，７の流動抵抗が支配的となり
、原料ガス２は、充填部入口より１００〜２００朋の位
置でほぼ均一流となることがシミ、レージ雪ンから判明
している。
そこで、副充填物６を受皿捻より必要高さ２００朋増加
した充填高となるよう充填した。コストの面から見ると
、この分の充填物６だけアップとなるが、特に水分除去
用の場合、充填物６コストは安価であり、充ｍ塔１の軽
量化（充填物サポート８等インターナルも不要となる）
の方が遥かにコストダウンとなる。
した充填高となるよう充填した。コストの面から見ると
、この分の充填物６だけアップとなるが、特に水分除去
用の場合、充填物６コストは安価であり、充ｍ塔１の軽
量化（充填物サポート８等インターナルも不要となる）
の方が遥かにコストダウンとなる。
ここで本発明による充填塔ｌ構造を使用した時のパージ
ロスを求めてみる。条件等は、従来の充填塔１構造で評
価した時と同様、空気中の酸素を９３％にまで濃縮する
吸着とし、純酸素量５０ＯＮｍ”／ｈ、 操作条件も
同様として算出する。次に変更点のみ下記に示すと、 （１）鏡 １０１サラ型 （２）堵容Ｍ１２１ｒｊＩ （３）空間部容積 ６ｍ”（副充填物６および切替弁
までの配管分考慮） ｌ、２−０．４５ ２７３ ３．６００パージロス
＝ （６） （’） （−−） （−’）１．０３３
３０３ ６０−！１−２３５Ｎｄ／ｈ となり、パージロスは正味原料空気量の３．７％に低減
する。
ロスを求めてみる。条件等は、従来の充填塔１構造で評
価した時と同様、空気中の酸素を９３％にまで濃縮する
吸着とし、純酸素量５０ＯＮｍ”／ｈ、 操作条件も
同様として算出する。次に変更点のみ下記に示すと、 （１）鏡 １０１サラ型 （２）堵容Ｍ１２１ｒｊＩ （３）空間部容積 ６ｍ”（副充填物６および切替弁
までの配管分考慮） ｌ、２−０．４５ ２７３ ３．６００パージロス
＝ （６） （’） （−−） （−’）１．０３３
３０３ ６０−！１−２３５Ｎｄ／ｈ となり、パージロスは正味原料空気量の３．７％に低減
する。
以上の結果を従来ペースと比較すると次のようになる。
従来例では、電力原単位が０．４６（ｋｗｈ／Ｎｉ）近
募であるから１本発明により、これが０，４４（ｋｗｈ
／ＮＸＩ／）以下に低減できることになる。
募であるから１本発明により、これが０，４４（ｋｗｈ
／ＮＸＩ／）以下に低減できることになる。
本発明 従来例
原料空気量（Ｎｔｌ”／ｈ）、 ６，５３５
６．８９０同 比（−）
１ １．０５排気ガス１１（Ｎｍ”／ｈ）
５，９９７ ６．３５２同 比（−）
１ １．０６電力原単
位比（−）１１．０６ また、コストの面では、本発明によち充填塔１の容量を
従来の７５％に低減できる。更に、従来要した充填物６
．７のサポート８やガス分散器ｌＯが省略できる。そし
て原料空気ブロアや再生用の真空ポンプの負荷が軽減で
きるなど、コストダウンに結びつ＜要素が大きい。更に
、大容量になるに従い、パージロスの比率が太き（なる
ため、上記要素の他に、原料ガスラインや排気ガスライ
ンのバルブや配管類のサイズダウンも可能となり、本発
明によるノリ１トは、更に大きくなる。
６．８９０同 比（−）
１ １．０５排気ガス１１（Ｎｍ”／ｈ）
５，９９７ ６．３５２同 比（−）
１ １．０６電力原単
位比（−）１１．０６ また、コストの面では、本発明によち充填塔１の容量を
従来の７５％に低減できる。更に、従来要した充填物６
．７のサポート８やガス分散器ｌＯが省略できる。そし
て原料空気ブロアや再生用の真空ポンプの負荷が軽減で
きるなど、コストダウンに結びつ＜要素が大きい。更に
、大容量になるに従い、パージロスの比率が太き（なる
ため、上記要素の他に、原料ガスラインや排気ガスライ
ンのバルブや配管類のサイズダウンも可能となり、本発
明によるノリ１トは、更に大きくなる。
以上１本発明では、特に、切替Ｒ問が短い吸着において
副充填物６の使用量が多ｉなるものの、その他でのコス
トダウンの比率が大ｈ（、総合的にコストダウンが可能
となるとともに電力原単位の低減も可能となる。
副充填物６の使用量が多ｉなるものの、その他でのコス
トダウンの比率が大ｈ（、総合的にコストダウンが可能
となるとともに電力原単位の低減も可能となる。
一方、切替時間の短い吸着以外の用途においても、充填
物６．７の一部を流体の整流２分散目的に使用すること
により、埼容積の低減、インターナル（ガス分散器１０
．サポート８など）省略による構造の簡略化、軽量化が
期待できる。
物６．７の一部を流体の整流２分散目的に使用すること
により、埼容積の低減、インターナル（ガス分散器１０
．サポート８など）省略による構造の簡略化、軽量化が
期待できる。
本発明によれば、充填塔の軽量化、開票化が可能なので
、プラントコスト低減の効果がある。また、特に切替時
間の短い吸着における、ガス分離。
、プラントコスト低減の効果がある。また、特に切替時
間の短い吸着における、ガス分離。
不純物除去では、本発明により、パージロスが低減でき
るので、処理ガス量の効率が上るため、電力原単位の低
減とともに回転機類のサイズダウン、更に管類のサイズ
ダウンによるコスト低減の効果がある。
るので、処理ガス量の効率が上るため、電力原単位の低
減とともに回転機類のサイズダウン、更に管類のサイズ
ダウンによるコスト低減の効果がある。
第１図は、本発明の一実施例の′３ｆ、填塔の構造図、
第２図は、従来の充填場の構造図である。
第２図は、従来の充填場の構造図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、充填塔下塔部に空間部を形成することなく充填物を
充填したことを特徴とする充填塔構造。 ２、充填塔の下塔部に前処理用の吸着剤を充填し、その
上部に分離用吸着剤を充填したことを特徴とする充填塔
構造。 ３、前記下塔部に充填した充填物あるいは吸着剤に原料
流体の分散整流の効果をもたせ、分散器を省略したこと
を特徴とする請求項第１項、又は請求項第２項記載の充
填塔構造。４、前記空間部の除去および分散器の省略に
より充填塔を軽量化したことを特徴とする請求項第１項
又は請求項第３項記載の充填塔構造。 ５、前記前処理用の吸着剤と分離用吸着剤との混合防止
を可動のメッシュで行うよう構成したことを特徴とする
請求項第２項記載の充填塔構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1262010A JPH03127606A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 充填塔構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1262010A JPH03127606A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 充填塔構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03127606A true JPH03127606A (ja) | 1991-05-30 |
Family
ID=17369766
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1262010A Pending JPH03127606A (ja) | 1989-10-09 | 1989-10-09 | 充填塔構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03127606A (ja) |
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5518528A (en) * | 1994-10-13 | 1996-05-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds |
| US5676735A (en) * | 1996-10-31 | 1997-10-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Reclaiming system for gas recovery from decommissioned gas storage and dispensing vessels and recycle of recovered gas |
| US5704967A (en) * | 1995-10-13 | 1998-01-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent |
| US5707424A (en) * | 1994-10-13 | 1998-01-13 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process system with integrated gas storage and delivery unit |
| US5851270A (en) * | 1997-05-20 | 1998-12-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Low pressure gas source and dispensing apparatus with enhanced diffusive/extractive means |
| US5916245A (en) * | 1996-05-20 | 1999-06-29 | Advanced Technology Materials, Inc. | High capacity gas storage and dispensing system |
| US5980608A (en) * | 1998-01-07 | 1999-11-09 | Advanced Technology Materials, Inc. | Throughflow gas storage and dispensing system |
| US5985008A (en) * | 1997-05-20 | 1999-11-16 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium |
| US6019823A (en) * | 1997-05-16 | 2000-02-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with replaceable sorbent cartridge members |
| US6027547A (en) * | 1997-05-16 | 2000-02-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing vessel with modified high surface area solid as fluid storage medium |
| US6070576A (en) * | 1998-06-02 | 2000-06-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Adsorbent-based storage and dispensing system |
| US6083298A (en) * | 1994-10-13 | 2000-07-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment |
| US6132492A (en) * | 1994-10-13 | 2000-10-17 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same |
| US6204180B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-03-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing sorbent-based fluid storage and dispensing system for reagent delivery |
| EP1093850A2 (en) * | 1999-10-20 | 2001-04-25 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Packed column and polymerizable compound treating method using the same |
| US6406519B1 (en) * | 1998-03-27 | 2002-06-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system |
| US6660063B2 (en) | 1998-03-27 | 2003-12-09 | Advanced Technology Materials, Inc | Sorbent-based gas storage and delivery system |
| JP2013507245A (ja) * | 2009-10-16 | 2013-03-04 | ハイダック フィルターテヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 媒体流を乾燥させる装置 |
-
1989
- 1989-10-09 JP JP1262010A patent/JPH03127606A/ja active Pending
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5518528A (en) * | 1994-10-13 | 1996-05-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds |
| US6083298A (en) * | 1994-10-13 | 2000-07-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment |
| US5704965A (en) * | 1994-10-13 | 1998-01-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and delivery system utilizing carbon sorbent medium |
| US5707424A (en) * | 1994-10-13 | 1998-01-13 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process system with integrated gas storage and delivery unit |
| US5935305A (en) * | 1994-10-13 | 1999-08-10 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous compounds |
| US6132492A (en) * | 1994-10-13 | 2000-10-17 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based gas storage and delivery system for dispensing of high-purity gas, and apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing same |
| US6125131A (en) * | 1994-10-13 | 2000-09-26 | Advanced Technology Materials, Inc. | Laser system utilizing sorbent-based gas storage and delivery system |
| US5704967A (en) * | 1995-10-13 | 1998-01-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent |
| US5916245A (en) * | 1996-05-20 | 1999-06-29 | Advanced Technology Materials, Inc. | High capacity gas storage and dispensing system |
| US5676735A (en) * | 1996-10-31 | 1997-10-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Reclaiming system for gas recovery from decommissioned gas storage and dispensing vessels and recycle of recovered gas |
| US6204180B1 (en) | 1997-05-16 | 2001-03-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and process for manufacturing semiconductor devices, products and precursor structures utilizing sorbent-based fluid storage and dispensing system for reagent delivery |
| US6027547A (en) * | 1997-05-16 | 2000-02-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing vessel with modified high surface area solid as fluid storage medium |
| US6019823A (en) * | 1997-05-16 | 2000-02-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing vessel with replaceable sorbent cartridge members |
| US5851270A (en) * | 1997-05-20 | 1998-12-22 | Advanced Technology Materials, Inc. | Low pressure gas source and dispensing apparatus with enhanced diffusive/extractive means |
| US5985008A (en) * | 1997-05-20 | 1999-11-16 | Advanced Technology Materials, Inc. | Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium |
| US5980608A (en) * | 1998-01-07 | 1999-11-09 | Advanced Technology Materials, Inc. | Throughflow gas storage and dispensing system |
| US6406519B1 (en) * | 1998-03-27 | 2002-06-18 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system |
| US6540819B2 (en) * | 1998-03-27 | 2003-04-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas cabinet assembly comprising sorbent-based gas storage and delivery system |
| US6660063B2 (en) | 1998-03-27 | 2003-12-09 | Advanced Technology Materials, Inc | Sorbent-based gas storage and delivery system |
| US6070576A (en) * | 1998-06-02 | 2000-06-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Adsorbent-based storage and dispensing system |
| EP1093850A3 (en) * | 1999-10-20 | 2001-10-31 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Packed column and polymerizable compound treating method using the same |
| EP1093850A2 (en) * | 1999-10-20 | 2001-04-25 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Packed column and polymerizable compound treating method using the same |
| US6891061B1 (en) | 1999-10-20 | 2005-05-10 | Nippon Shokubai Co. Ltd. | Packed column and polymerizable compound treating method using the same |
| JP2013507245A (ja) * | 2009-10-16 | 2013-03-04 | ハイダック フィルターテヒニク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 媒体流を乾燥させる装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH03127606A (ja) | 充填塔構造 | |
| JP2002143630A (ja) | 空隙容量の少ない吸着システム及びその使用 | |
| JPH1087302A (ja) | 単一段二次高純度酸素濃縮機 | |
| JPS6022965B2 (ja) | 気体状混合物中の所定の気体比率の増大方法とその装置 | |
| CN101261072A (zh) | 用于生产氩的结合的低温蒸馏和psa | |
| JP2024012400A (ja) | より高い酸素流量能力を可能にする着用可能な酸素生成機およびドッキング・ステーション | |
| CA2179118A1 (en) | Carbon monoxide production plant incorporating a cryogenic separation unit | |
| WO2007144764A2 (en) | Compact and efficient pressure swing oxygen concentrator | |
| CN212315554U (zh) | 用于高纯氯硅烷生产中去除含碳杂质的装置 | |
| CN1764813A (zh) | 空气分离装置 | |
| CN111971108B (zh) | 具有各自包括多个吸附剂模块的至少一个簇的吸附器 | |
| JPS5644022A (en) | Multistage type crossflow moving bed adsorbing device | |
| CN116139661B (zh) | 一种可进行多级处理的voc废气处理净化装置 | |
| CN101070145B (zh) | 一种吸气剂型的氩气净化器 | |
| CN208577433U (zh) | 一种制氧机用吸附床 | |
| CN101569816B (zh) | 一种负压式空气分离提纯系统 | |
| JPH05237328A (ja) | 高酸素含有量ガスの製造方法 | |
| CN206762399U (zh) | 一种用于集输系统的污水过滤装置 | |
| JP3017552B2 (ja) | 圧力変動吸着法による富酸素ガスの製造方法 | |
| JP3333660B2 (ja) | 酸素濃縮装置 | |
| EP0122874A1 (en) | Process for separating a mixed gas into oxygen and nitrogen under low temperature and low pressure conditions | |
| CN201099621Y (zh) | 一种高效的氩气净化装置 | |
| CN212283026U (zh) | 一种废水处理设备 | |
| CN220677306U (zh) | 一种废气吸附装置 | |
| JP2004216296A (ja) | ガス不純物の除去システム |