JP3017552B2 - 圧力変動吸着法による富酸素ガスの製造方法 - Google Patents
圧力変動吸着法による富酸素ガスの製造方法Info
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は圧力変動吸着法（ＰＳＡ
法）による空気の酸素富化方法に係り、特に吸着塔の周
囲温度の変化に対しＰＳＡ性能を良好に保持して、富酸
素ガスを製造する方法に関するものである。
法）による空気の酸素富化方法に係り、特に吸着塔の周
囲温度の変化に対しＰＳＡ性能を良好に保持して、富酸
素ガスを製造する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】窒素を選択的に吸着する吸着剤、例えば
CaゼオライトＡ分子ふるいを用いたＰＳＡ法による空気
からの酸素富化分離法は安価に酸素を製造でき、その装
置はほとんど保守を要しない簡便性の故に、小型から大
型に至る装置が開発され、電炉、紙パルプ、化学反応、
水処理等の分野において、深冷分離装置に代って代替が
進んでいる。
CaゼオライトＡ分子ふるいを用いたＰＳＡ法による空気
からの酸素富化分離法は安価に酸素を製造でき、その装
置はほとんど保守を要しない簡便性の故に、小型から大
型に至る装置が開発され、電炉、紙パルプ、化学反応、
水処理等の分野において、深冷分離装置に代って代替が
進んでいる。
【０００３】これ等のＰＳＡ装置には窒素吸着剤として
モレキュラシーブゼオライトが使用されているが、吸着
剤の特性として吸着量ｑは温度Ｔ及び圧力Ｐの函数ｑ＝
ｆ（Ｔ，Ｐ）として示される。例えばCaゼオライトＡ分
子ふるいにおいては吸着量ｑは圧力Ｐの増大によって増
加し、温度Ｔの上昇によって減少する。
モレキュラシーブゼオライトが使用されているが、吸着
剤の特性として吸着量ｑは温度Ｔ及び圧力Ｐの函数ｑ＝
ｆ（Ｔ，Ｐ）として示される。例えばCaゼオライトＡ分
子ふるいにおいては吸着量ｑは圧力Ｐの増大によって増
加し、温度Ｔの上昇によって減少する。
【０００４】従ってＰＳＡ装置を雰囲気中に設置した場
合、その性能は通常、気温の変化の影響を受け、高気温
時にはその装置における最大酸素発生量は減少し、低気
温時にはその装置における最大酸素発生量は増加してい
る。
合、その性能は通常、気温の変化の影響を受け、高気温
時にはその装置における最大酸素発生量は減少し、低気
温時にはその装置における最大酸素発生量は増加してい
る。
【０００５】また、これに加えて吸着剤を充填した吸着
塔内の温度勾配の問題も挙げられる。吸着剤が窒素吸着
工程中に発生する熱量は吸着塔内の空気の流れに伴って
移動し、その一部は分離された酸素によって塔外に持ち
去られる。続いて行われる窒素脱着工程ではこの持ち去
られた熱量のために熱収支が合わず空気流入側にある吸
着剤の温度は低下する。この不足分の一部は塔外からの
熱侵入によって補われるが完全ではなく、従って空気の
流入方向に沿って、場合によっては５０℃以上もの温度
勾配が出来、吸着剤の窒素吸着量は塔内各部の温度に影
響される。また当然のことながら、この塔内温度勾配は
周囲温度の影響を受ける。
塔内の温度勾配の問題も挙げられる。吸着剤が窒素吸着
工程中に発生する熱量は吸着塔内の空気の流れに伴って
移動し、その一部は分離された酸素によって塔外に持ち
去られる。続いて行われる窒素脱着工程ではこの持ち去
られた熱量のために熱収支が合わず空気流入側にある吸
着剤の温度は低下する。この不足分の一部は塔外からの
熱侵入によって補われるが完全ではなく、従って空気の
流入方向に沿って、場合によっては５０℃以上もの温度
勾配が出来、吸着剤の窒素吸着量は塔内各部の温度に影
響される。また当然のことながら、この塔内温度勾配は
周囲温度の影響を受ける。
【０００６】このため、これらの対策として、例えば塔
内にサーマルプレートを設置し、高温部の熱を低温部に
移動させる方法（特開昭５０−７９４８１号公報、及び
特開昭５２−２８９１号公報）、吸着塔内の一部に熱交
換ゾーンを設ける方法（特開昭４７−３８８８０号公
報）、さらには吸着塔を氷点以下の恒温槽に収納する方
法（特開昭６０−９０５０９号公報）等が開示されてい
る。
内にサーマルプレートを設置し、高温部の熱を低温部に
移動させる方法（特開昭５０−７９４８１号公報、及び
特開昭５２−２８９１号公報）、吸着塔内の一部に熱交
換ゾーンを設ける方法（特開昭４７−３８８８０号公
報）、さらには吸着塔を氷点以下の恒温槽に収納する方
法（特開昭６０−９０５０９号公報）等が開示されてい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の方法は吸着塔を複雑な構造にしたり、デットスペース
を大きくしたり、また冷却するためには余分なエネルギ
ーを必要としている。そして上述の方法では十分な対策
が取り得ないので、ＰＳＡ装置の設計条件として与えら
れた周囲温度のうちでも最もＰＳＡ性能の低い条件を採
用しないと満足したＰＳＡ性能を常に確保できない。
の方法は吸着塔を複雑な構造にしたり、デットスペース
を大きくしたり、また冷却するためには余分なエネルギ
ーを必要としている。そして上述の方法では十分な対策
が取り得ないので、ＰＳＡ装置の設計条件として与えら
れた周囲温度のうちでも最もＰＳＡ性能の低い条件を採
用しないと満足したＰＳＡ性能を常に確保できない。
【０００８】一方、このような低い条件を採用するとＰ
ＳＡ能力が増加する季節には、吸着剤の量は過量とな
り、吸着塔へ空気を流入させる空気ブロワや、窒素脱着
用の真空ポンプの設備能力も過大になってしまうという
問題があった。
ＳＡ能力が増加する季節には、吸着剤の量は過量とな
り、吸着塔へ空気を流入させる空気ブロワや、窒素脱着
用の真空ポンプの設備能力も過大になってしまうという
問題があった。
【０００９】また吸着塔に吸着特性の異なる複数の吸着
剤を充填する方法は例えば、特開昭６０−１２０２７２
号公報、特開昭６２−１４８３０４号公報、特開平２−
２２７１１２号公報等に記載されているが、いずれの方
法でも周囲温度の変化に対して安定したＰＳＡ性能を確
保することは困難であった。
剤を充填する方法は例えば、特開昭６０−１２０２７２
号公報、特開昭６２−１４８３０４号公報、特開平２−
２２７１１２号公報等に記載されているが、いずれの方
法でも周囲温度の変化に対して安定したＰＳＡ性能を確
保することは困難であった。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の問題点を
解決するためになされたものであって、その要旨は窒素
を選択的に吸着する吸着剤を充填した複数の吸着塔を用
い、これらの吸着塔に空気を流入させて窒素を吸着除去
することにより富酸素ガスを製造方法において、前記吸
着塔の空気流入側にCaゼオライトＡを、その下流側にCa
ゼオライトＸをそれぞれ充填して圧力変動吸着法によっ
て富酸素ガスを製造する方法にある。
解決するためになされたものであって、その要旨は窒素
を選択的に吸着する吸着剤を充填した複数の吸着塔を用
い、これらの吸着塔に空気を流入させて窒素を吸着除去
することにより富酸素ガスを製造方法において、前記吸
着塔の空気流入側にCaゼオライトＡを、その下流側にCa
ゼオライトＸをそれぞれ充填して圧力変動吸着法によっ
て富酸素ガスを製造する方法にある。
【００１１】本発明において使用するCaゼオライトＡ分
子ふるいとしては、例えば５Ａタイプがあり、空気分離
のＰＳＡ装置用として一般に知られている。一方、Caゼ
オライトＸ分子ふるいは、例えば米国特許明細書４，４
８１，０１８号に記載されているものである。
子ふるいとしては、例えば５Ａタイプがあり、空気分離
のＰＳＡ装置用として一般に知られている。一方、Caゼ
オライトＸ分子ふるいは、例えば米国特許明細書４，４
８１，０１８号に記載されているものである。
【００１２】本発明において、吸着塔は２塔以上の複数
の塔を組合せることができ、圧力を変動させる圧力分布
は大気圧以下の真空吸着法や加圧系の圧力吸着法に適用
できる。
の塔を組合せることができ、圧力を変動させる圧力分布
は大気圧以下の真空吸着法や加圧系の圧力吸着法に適用
できる。
【００１３】図２は一例として３塔の吸着塔を用いたＰ
ＳＡ装置の気体の流れとシーケンスを示したものであ
る。図において、吸着塔１のＡ，Ｂ，Ｃにはそれぞれ、
吸着塔１の下部にCaゼオライトＡが一様に充填されてお
り、その上部にはCaゼオライトＸが充填されている。同
図の第１の吸着塔Ａに注目すると、１サイクルは１〜６
工程から成り立っている。工程１は空気１１が吸着塔Ａ
の下部すなわち空気流入側から空気ブロワ（図示せず）
等で供給される。同時に塔の出口から製品である富酸素
ガス１２が流出し、その一部は吸着塔Ｂに流入させてい
る。一方、吸着塔Ｃは真空ポンプ（図示せず）等により
真空排気１３されている。
ＳＡ装置の気体の流れとシーケンスを示したものであ
る。図において、吸着塔１のＡ，Ｂ，Ｃにはそれぞれ、
吸着塔１の下部にCaゼオライトＡが一様に充填されてお
り、その上部にはCaゼオライトＸが充填されている。同
図の第１の吸着塔Ａに注目すると、１サイクルは１〜６
工程から成り立っている。工程１は空気１１が吸着塔Ａ
の下部すなわち空気流入側から空気ブロワ（図示せず）
等で供給される。同時に塔の出口から製品である富酸素
ガス１２が流出し、その一部は吸着塔Ｂに流入させてい
る。一方、吸着塔Ｃは真空ポンプ（図示せず）等により
真空排気１３されている。
【００１４】次に工程２は引き続き空気１１が吸着塔Ａ
の下部に供給されており、同時に塔の出口から富酸素ガ
ス１２が流出し、その一部は吸着塔Ｂに流入させ、さら
に一部は吸着塔Ｃ内を向流方向に洗滌（パージ）しなが
ら系外に排出されている。工程３は空気１１が吸着塔Ｂ
に供給され、同時に塔の出口から富酸素ガス１２を流出
させ、その一部は吸着塔Ｃに流入させている。吸着塔Ａ
は真空排気１３されている。
の下部に供給されており、同時に塔の出口から富酸素ガ
ス１２が流出し、その一部は吸着塔Ｂに流入させ、さら
に一部は吸着塔Ｃ内を向流方向に洗滌（パージ）しなが
ら系外に排出されている。工程３は空気１１が吸着塔Ｂ
に供給され、同時に塔の出口から富酸素ガス１２を流出
させ、その一部は吸着塔Ｃに流入させている。吸着塔Ａ
は真空排気１３されている。
【００１５】工程４は引き続き空気１１が吸着塔Ｂに供
給されており、同時に塔の出口から富酸素ガス１２が流
出し、その一部は吸着塔Ｃに流入させ、さらに一部は吸
着塔Ａ内を向流方向に洗滌（パージ）しながら系外に排
出されている。工程５は空気１１が吸着塔Ｃに供給さ
れ、同時に塔の出口から富酸素ガス１２を流出させ、そ
の一部は吸着塔Ａに流入させている。吸着塔Ｂは真空排
気１３されている。
給されており、同時に塔の出口から富酸素ガス１２が流
出し、その一部は吸着塔Ｃに流入させ、さらに一部は吸
着塔Ａ内を向流方向に洗滌（パージ）しながら系外に排
出されている。工程５は空気１１が吸着塔Ｃに供給さ
れ、同時に塔の出口から富酸素ガス１２を流出させ、そ
の一部は吸着塔Ａに流入させている。吸着塔Ｂは真空排
気１３されている。
【００１６】工程６は引き続き空気１１が吸着塔Ｃに供
給されており、同時に塔の出口から富酸素ガス１２が流
出し、その一部は吸着塔Ａに流入させ、さらに一部は吸
着塔Ｂ内を向流方向に洗滌（パージ）しながら系外に排
出されている。
給されており、同時に塔の出口から富酸素ガス１２が流
出し、その一部は吸着塔Ａに流入させ、さらに一部は吸
着塔Ｂ内を向流方向に洗滌（パージ）しながら系外に排
出されている。
【００１７】以上のサイクルを連続的に繰り返すことに
よって、富酸素ガス１２は連続的に製造することができ
る。なお、本発明においては、複数の使用する塔数およ
びシーケンスサイクルが図２に限定されるものではな
い。
よって、富酸素ガス１２は連続的に製造することができ
る。なお、本発明においては、複数の使用する塔数およ
びシーケンスサイクルが図２に限定されるものではな
い。
【００１８】
【実施例】次に実施例を示し、本発明をさらに詳細に説
明する。 〔実施例１〕内径が６００mmの円筒状の吸着塔の底端部
に４〜８φの活性アルミナを２００mmの高さに充填し、
その上に２〜３φのCaゼオライトＡ分子ふるいを２０
７．５kg、さらにその上に２〜３φのCaゼオライトＸ分
子ふるいを１７８kg充填してゼオライトモレキュラシー
ブの充填高さを２１００mmとした。さらにその最上部に
は８〜１２φのセラミックボールを１００mm充填して吸
着塔の充填物の総高さを２４００mmとした。そしてこれ
らの吸着塔を３塔用意した。
明する。 〔実施例１〕内径が６００mmの円筒状の吸着塔の底端部
に４〜８φの活性アルミナを２００mmの高さに充填し、
その上に２〜３φのCaゼオライトＡ分子ふるいを２０
７．５kg、さらにその上に２〜３φのCaゼオライトＸ分
子ふるいを１７８kg充填してゼオライトモレキュラシー
ブの充填高さを２１００mmとした。さらにその最上部に
は８〜１２φのセラミックボールを１００mm充填して吸
着塔の充填物の総高さを２４００mmとした。そしてこれ
らの吸着塔を３塔用意した。
【００１９】図１はこれら３塔の吸着塔を組み込んで実
験に使用したＰＳＡ装置の構成図である。図においてCa
ゼオライトＡ８とCaゼオライトＸ９とを充填した吸着塔
１Ａ，Ｂ，Ｃと開閉弁２……は恒温槽３中に収納されて
おり、温湿度調整機４によって恒温槽３内の温度を−１
０〜４０℃、相対湿度を３０〜８０％の範囲で任意にコ
ントロールできるようにした。空気ブロワ５は吐出圧６
００mm H2Oにおいて吸入量約２００ｍ3 ／HRの能力を有
するターボ型で同様に恒温槽３内に設置した。真空排気
用の真空ポンプ６は吸入量約３７５ｍ3 ／HRの水封式２
段ルーツ型であり、吸着塔から発生する酸素はターボ型
酸素ポンプ７によって大気圧で放出した。
験に使用したＰＳＡ装置の構成図である。図においてCa
ゼオライトＡ８とCaゼオライトＸ９とを充填した吸着塔
１Ａ，Ｂ，Ｃと開閉弁２……は恒温槽３中に収納されて
おり、温湿度調整機４によって恒温槽３内の温度を−１
０〜４０℃、相対湿度を３０〜８０％の範囲で任意にコ
ントロールできるようにした。空気ブロワ５は吐出圧６
００mm H2Oにおいて吸入量約２００ｍ3 ／HRの能力を有
するターボ型で同様に恒温槽３内に設置した。真空排気
用の真空ポンプ６は吸入量約３７５ｍ3 ／HRの水封式２
段ルーツ型であり、吸着塔から発生する酸素はターボ型
酸素ポンプ７によって大気圧で放出した。
【００２０】このＰＳＡ装置は図２に示したシーケンス
によって１塔当り５０秒のサイクルタイムで運転した。
そして恒温槽の温度と相対湿度をそれぞれ（−１０℃、
なりゆき）、（０℃、５０％）、（２５℃、７０％）、
（４０℃、５０％）の４段階にコントロールして酸素濃
度９３％における脱着最終圧力（mmHg）、ベッドサイズ
ファクタ（kg−モレキュラシーブゼオライト／トン酸素
／日）（Ｂ．Ｓ．Ｆ．と称する）、及び電力原単位（kw
h ／ Nｍ3 酸素）を測定した。その測定結果を図３に示
し、図中が実施例１の結果である。
によって１塔当り５０秒のサイクルタイムで運転した。
そして恒温槽の温度と相対湿度をそれぞれ（−１０℃、
なりゆき）、（０℃、５０％）、（２５℃、７０％）、
（４０℃、５０％）の４段階にコントロールして酸素濃
度９３％における脱着最終圧力（mmHg）、ベッドサイズ
ファクタ（kg−モレキュラシーブゼオライト／トン酸素
／日）（Ｂ．Ｓ．Ｆ．と称する）、及び電力原単位（kw
h ／ Nｍ3 酸素）を測定した。その測定結果を図３に示
し、図中が実施例１の結果である。
【００２１】図３は横軸に恒温槽内温度すなわち周囲温
度、縦軸にはそれぞれ脱着最終圧力、Ｂ．Ｓ．Ｆ．及び
電力原単位を示してある。
度、縦軸にはそれぞれ脱着最終圧力、Ｂ．Ｓ．Ｆ．及び
電力原単位を示してある。
【００２２】なお、脱着最終圧力とは脱着工程で真空ポ
ンプで排気した時の最終真空度であり、電力原単位には
空気ブロワ５と真空ポンプ６の消費電力を加算した。
ンプで排気した時の最終真空度であり、電力原単位には
空気ブロワ５と真空ポンプ６の消費電力を加算した。
【００２３】〔比較例１〕実施例１においてCaゼオライ
トＡ分子ふるいとCaゼオライトＸ分子ふるいの吸着剤の
代りにCaゼオライトＡ分子ふるいのみを使用し、１塔当
りの充填量は４１５kgで、充填高さは２１００mmであっ
た。そしてその他の条件は実施例１と同様にして運転し
た。その結果を図３のに示した。
トＡ分子ふるいとCaゼオライトＸ分子ふるいの吸着剤の
代りにCaゼオライトＡ分子ふるいのみを使用し、１塔当
りの充填量は４１５kgで、充填高さは２１００mmであっ
た。そしてその他の条件は実施例１と同様にして運転し
た。その結果を図３のに示した。
【００２４】〔比較例２〕比較例１においてCaゼオライ
トＡ分子ふるいとCaゼオライトＸ分子ふるいのみを使用
し、１塔当りの充填量は３５６kgで、充填高さは２１０
０mmであった。そしてその他の条件は比較例１と同様に
して運転した。その結果を図３のに示した。
トＡ分子ふるいとCaゼオライトＸ分子ふるいのみを使用
し、１塔当りの充填量は３５６kgで、充填高さは２１０
０mmであった。そしてその他の条件は比較例１と同様に
して運転した。その結果を図３のに示した。
【００２５】図３において、モレキュラシーブゼオライ
トとしてCaゼオライトＡ分子ふるいのみを充填したの
結果では、周囲温度の上昇によって急激にＢ．Ｓ．Ｆ．
及び電力原単位が悪化している。またモレキュラシーブ
ゼオライトとしてCaゼオライトＸ分子ふるいのみを充填
したの結果では、周囲温度の低下によってＢ．Ｓ．
Ｆ．及び電力原単位が悪化している。一方、本発明のCa
ゼオライトＡ分子ふるいとCaゼオライトＸ分子ふるいと
を組合せて充填したの結果では、周囲温度の変化に対
してＢ．Ｓ．Ｆ．及び電力原単位の変動が極めて小さい
ことが明らかである。
トとしてCaゼオライトＡ分子ふるいのみを充填したの
結果では、周囲温度の上昇によって急激にＢ．Ｓ．Ｆ．
及び電力原単位が悪化している。またモレキュラシーブ
ゼオライトとしてCaゼオライトＸ分子ふるいのみを充填
したの結果では、周囲温度の低下によってＢ．Ｓ．
Ｆ．及び電力原単位が悪化している。一方、本発明のCa
ゼオライトＡ分子ふるいとCaゼオライトＸ分子ふるいと
を組合せて充填したの結果では、周囲温度の変化に対
してＢ．Ｓ．Ｆ．及び電力原単位の変動が極めて小さい
ことが明らかである。
【００２６】
【発明の効果】本発明は吸着塔に充填しているモレキュ
ラシーブゼオライトを空気の流入側にはCaゼオライトＡ
を、そしてその下流側にはCaゼオライトＸを組合せて充
填しているので、周囲温度の変化に対してＰＳＡ性能の
変動が極めて小さく、従ってＰＳＡ装置自体を恒温にす
ることなく安定した生産能力を維持することができる。
また吸着塔の構造も特別な部材を付加することなく、在
来の構造のものを使用することができる。
ラシーブゼオライトを空気の流入側にはCaゼオライトＡ
を、そしてその下流側にはCaゼオライトＸを組合せて充
填しているので、周囲温度の変化に対してＰＳＡ性能の
変動が極めて小さく、従ってＰＳＡ装置自体を恒温にす
ることなく安定した生産能力を維持することができる。
また吸着塔の構造も特別な部材を付加することなく、在
来の構造のものを使用することができる。
【図１】実験に使用したＰＳＡ装置の構成図である。
【図２】ＰＳＡ装置の操作の一例を示すシーケンス図で
ある。
ある。
【図３】実施例の結果を示すグラフである。
１ 吸着塔 ２ 開閉弁 ３ 恒温槽 ４ 温湿度調整機 ５ 空気ブロワ ６ 真空ポンプ ７ 酸素ポンプ ８ CaゼオライトＡ ９ CaゼオライトＸ １１ 空気 １２ 富酸素ガス １３ 真空排気
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 53/04
Claims (1)
- 【請求項１】 窒素を選択的に吸着する吸着剤を充填し
た複数の吸着塔を用い、これらの吸着塔に空気を流入さ
せて窒素を吸着除去することにより富酸素ガスを製造方
法において、前記吸着塔の空気流入側にCaゼオライトＡ
を、その下流側にCaゼオライトＸをそれぞれ充填してい
ることを特徴とする圧力変動吸着法による富酸素ガスの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083081A JP3017552B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 圧力変動吸着法による富酸素ガスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083081A JP3017552B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 圧力変動吸着法による富酸素ガスの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04293513A JPH04293513A (ja) | 1992-10-19 |
| JP3017552B2 true JP3017552B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=13792237
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3083081A Expired - Fee Related JP3017552B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 圧力変動吸着法による富酸素ガスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3017552B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5529610A (en) * | 1993-09-07 | 1996-06-25 | Air Products And Chemicals, Inc. | Multiple zeolite adsorbent layers in oxygen separation |
| DE19518407A1 (de) * | 1995-05-19 | 1996-11-21 | Bayer Ag | Verfahren zur adsorptiven Sauerstoffanreicherung von Luft mit Mischungen aus Molekularsieb-Zeolithen |
| US5674311A (en) * | 1995-10-20 | 1997-10-07 | Praxair Technology, Inc. | Adsorption process and system using multilayer adsorbent beds |
| US6152991A (en) | 1997-04-17 | 2000-11-28 | Praxair Technology, Inc. | Multilayer adsorbent beds for PSA gas separation |
| TW201043327A (en) * | 2009-03-30 | 2010-12-16 | Taiyo Nippon Sanso Corp | Pressure swing adsorbing type gas separating method and separation device |
| JP7318407B2 (ja) * | 2019-08-08 | 2023-08-01 | 株式会社豊田中央研究所 | 吸着器 |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP3083081A patent/JP3017552B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04293513A (ja) | 1992-10-19 |
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