JPS61222905A - 酸素富化空気の製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は選択吸収によるガスの分離に関するものであり
、更に詳しくは、循環空気から富化された酸素含有量の
工業的に有用なガス生成物を回収することｌＣ関するも
のである。

（従来の技術） 米国特許第４０１）４２９号明細書には、選択着駅によ
る空気分留のための先行特許文献に開示されている種々
の系について論議がなされている。一般にこれらの先行
技術の方法は、窒素を保有するための選択吸着剤のベッ
トを有する塔を通常使用しており、このベットを通して
供給空気を通過させ、高度に酸素の富化されたに１流出
物を該ベットから放出させる。空前負荷ベットの再生は
圧力減少および／またはガ゛ス流によるベットの浄化に
よって行われる。これらの従来技術の方法の目的は、約
８０チ０露以上の高い酸素含有量の生成物流を得ること
であり、その方法の工程および操作条件はこの目的が達
成されるように設計されている。このような高度富化法
のための＃！素四回収率富化空気として実際に回収され
た酸素を供給空気中の全酸素の係として定義される）は
約４０１のオーダーである。低酸素含有量の生成物を得
るようＫｇ蜜寓化法を操業すると更に低い回収効率とな
る。

吸着工程で最初に高い圧力を使用し、窒素脱吸着の開は
大気圧に近い圧力を使用するこのような先行技術の方法
（ｐｓＡ）の例としては、米国特許填２９４４６２７号
および同１！、　３７１７９７４号が挙げられる。

その他の記載された先行の方法にかいては、米国特許１
ｆ、　３７９６０２２号、同第４０１）４２９号、同第
４１２９４２４号および同第４１６９１４９号によって
例示されるように、大気圧以下の圧力でベットからの窒
素の脱吸着が行われる。

窒素を選択的に保有するのく好ましい吸着剤は市場で入
手できる合成ゼオライト例えはＡ型、Ｘ型およびモルデ
ナイトである。大抵の従来技術の方法においては、供給
空気を窒素吸着ベットに導入する前に、供給空気から水
およびＣＯ，を除去することが準備される。

（発明が解決しようとする問題点） 高度に酸素富化された空気が要求または希望されて−る
多数の応用例があるが、低酸素濃度の富化空気を使用し
かつ使用することのできる或種の工業的方法も存在する
。このようｋして種々の態勢方法および化学的および生
化當的反応器において、約２３〜４５４０．含有量の空
気が使用される。このような中程度の酸素富化空気は比
較的純粋な液状を走はガス状の酸素を循環空気流に添加
すること忙よって得られる。このような手法は技術的に
は満足なものであるが、比較的経費ががかり、このよう
々添加をしなければ中程度の酸素富化空気生成物を使用
することによって利益の得られる或種の応用例において
は経済的に望ましくない。

本発明の目的は、制御された中程度の酸素濃度の有用な
酸素富化生成ガスを、高い酸素回収効率で、循環空気か
ら製造する簡単かつ経済的な方法を提供することである
。

（問題を解決するための手段） 本発明によれば、選択吸着技術により、久〜父容量係の
酸素含有量を有する酸素富化ガス生成物が循環空気から
製造される。本発明を実施するに当っては、著しく簡単
化された断熱圧力振動吸着サイクル（ＰＥＡ　）が採用
される。この方法は、窒素選択吸着剤のベットを有して
いる塔に、好ましくはその一端に、該塔が大気圧から数
気圧の第１圧力になるまで供給空気を導入することＫよ
って行われる。次に生成物としての酸素富化空気を、該
ベットへの供給空気の最初の導入方向と同じ流れ方向で
、例えば供給空気導入部から塔の反対の端部で該塔から
生成物として取シ出すととＫより、塔の圧力を中間第２
圧力水準に低下°させる。次に酸素富化生成物の取シ出
し方向と逆の流れ方向で排気する、例えば最初の空気入
口端から排気することによって塔の圧力を更に大気圧に
低下させ、こうしてこのサイクルを完了し、サイクル順
序を繰返すために塔を準備する。このようなおだやかな
操作によって、酸素含有量る〜２６係の酸素富化生成ガ
スが、供給空気から約７５〜８５憾の酸素回収率で得ら
れる。

（発明の動果） サイクル順序に付加工程を含ませることによって、酸素
５０％までを含有しているような高酸素含有量の酸素富
化生成ガスが得られる。塔の排気に続いて、供給空気導
入方向と反対の流れ方向で酸素富化空気生成物の一部で
浄イヒし、サイクルを繰返し、こうしてサイクルの継続
により約５０１１での酸素を含有している酸素富化生成
物が得られる。

別法として、成る場合には、約（資）〜５０係までの酸
素を含有する富化流出物を循環空気から得られるような
条件下で本発明方法を操作するのが有利なことがわかシ
、この流出物は次に単に循環空気で希釈することＫよシ
器〜３５４０．の所望の範囲内の低酸素含有量の混合生
成ガスを得ることができる。

（作　用） この方法を実施するときには、第１の圧力を大気圧以上
の圧力から約１０気圧の圧力の範囲にすることができる
。一般にこの第１の圧力は少なくとも約１．５気圧の水
準に保たれる。この第１圧力の上限は約１０気圧の圧力
であるが、１０気圧よりも幾分低い圧力を使用するのが
好ましい。従って、例えば、′４１圧力の上限水準を約
７気圧以上にならないように制限するのが好ましく、５
気圧までに制限された圧力および４気圧のような低い圧
力が非常に満足なことがわかった。勿論、低い圧力を使
用することによって操作における或種の効率に影響のあ
ることが理解されよう。

生成物としての酸巽富化空気の除去と関連して、第２圧
力が第１圧力の０．７５倍よりも大きくない水準にある
ことは本発明の本質的なことである。第２圧力は第１圧
力の０６７倍以下であることが好ましく、第１圧力の０
．６７倍または０．６０倍の第２圧力を用いたときに満
足な結果が得られた。勿論、第２圧力にどのような圧力
水準を選択しようとも、大気圧よりも大きくなくてはな
らないということが理解されよう。

本発明を操作するときには、大気圧への排気工程に続い
て直ちに第２圧力水準への減圧および生成物の回収の行
われることに注意しなければならない。繰返される２つ
の工程の間で、ベットの中間的浄化または大気圧以下の
圧力への減圧は行われない。更に、吸着剤ベットを第１
圧力水準に最初に加圧することは、専ら該ベットに循環
空気を導入することによって行われる。追加的にガスを
導入してベットを補助的に加圧することはしない。

第１図に示された実施例は、これに限定されるものでは
ないが、平行して操作される設計Ａ、　ＢおよびＣの３
個の吸着剤塔を示している。供給空気は１０で圧縮され
、水冷却器４０内で循環系温度近くに冷却され、凝縮水
を除去するためのノックアウトドラム４１を通過し、管
１１を経由して選択された一つの塔の中を通って流れる
。それぞれの塔には吸着剤が２層充填されている。供給
端部の層は供給空気から水および少なくとも一部の２酸
化炭素を除去する。このような目的のために通常使用さ
れる任意の公知の吸着剤、例えばＡ型またはＸ型分子ふ
る込ゼオライト、アルミナ、シリカゲルおよび活性炭が
使用される。隣接する第２の層には、窒素を保有するた
めの公知の任意の選択吸着剤、例えば合成モルデナイト
、または種々の陽イオンと交換することのできるＡ型ま
たはＸ型分子ふるいゼオライトを使用することができる
。

塔Ａが流入供給空気を受取るためのものとすると、塔Ａ
け最初は大気圧である。弁１２が開かれ、弁１）と１４
が閉ぢられると、最初に設定され九大気圧以上の圧力水
準が塔内で得られるまで、塔Ａ内への圧縮空気の導入が
筆１工程として続けられる。

この圧力水準は約１０気圧まで、好ましくは１．５〜４
気圧の節囲内である。サイクル順序の次の工程でけ、弁
１２が閉ぢられ、弁１４が開かれ、こうして酸素の富化
された第１流出物を塔Ａから取り出し、管１５を経由し
て生成物貯蔵タンクとして役立つ捕集器１６を通り、該
タンクからは富化された生成ガスが使用のために管１８
を経由して取り出される。

塔Ａからの生成物の取り出しは、塔内の圧力が予定され
た大気圧以上の中間第２圧力水準に低下するまで続けら
れる。

所定の中間圧力水準に達したときに、弁１ｕｓｔ閉ぢら
れ、弁１）は開かれ、こうして塔Ａは大気圧に排気され
、残存ガスが脱吸着され、管」を経由して放出される。

次に塔ＡＶｉ、該塔に循環空気を再導入して操作工程順
を繰返す準備が整えられる。

代って塔ＢおよびＣの操作工程は、相殺的関係で塔ＡＩ
Ｃついて述べたと同じ順序で行われる。３−導糸の特電
の塔に組合されている弁の位置が匍秒操作サイクルに基
づいて表１に示されており、この場合に供給ガスは系に
連続的に導入され、富化されたガスが接糸２５≧ら連続
的に取り出される。

表　　　１ 時間　　塔　　　　　弁 １秒）　　　　Ａ　　Ｂ　　１）　　１２１）１４２２
２３２４３２３３３４０−３０　ＡｄＩ）２Ｄ１０Ｃ’
ＣＣ０（：！ｃ００３０−６０　Ｉ）ｍＡ（Ｉ１１２　
ＣＣＯＱＣＣＣＯＣ（イ）−９０Ｄ２．Ｉ）ＩＡｄ　（
１！　ＯＣＱ　（１！　ＯＯＣ！　ＣＣ＝閉鎖　　Ａ（
１＝吸着 ０＝開放　　ＤＩ　＝第１減圧 Ｄ２　＝　＠　２減圧 表１は９秒３工程サイクルを示したものであるが、（１
）窒紫吸渭、（２）中間圧力水準への減圧および（３）
大気圧への排気に均等に時間割りした約９〜１２０秒の
長時間または短時間操作サイクルを採用できることが理
解されよう。

前記３一工程サイクルは循環空気″ｆｒ２３〜３０４の
酸素含有量に富化するのに使用することができる。

この方法は３塔系について記載したが、貯蔵器を適当な
寸法にすることによって１個だけの塔または２個の塔で
も行うことができる。

笥２図に示した実施例は、幻〜５０４の酸素含有量を有
する富化生成ガスの製造に使用することができる。この
目的のために、サイクル中に追加工程を使用するが、ζ
こでは操業中の塔を浄化し、続いて排気工程を行う。各
塔内の吸着剤の充填は前記と同様である。

第２図の実施例の４個の塔にけＡ　−Ｄが付けられてい
る。塔ＡＫついては前記と同様に、この塔は最初大気圧
である。塔内の圧力は、弁１）および１４を閉ぢ、開い
た弁１２を通して凝縮水を除去した後、循環温度に近い
温度で圧縮供給空気を導入することによって、所定の大
気圧以上の圧力水準（１，５〜４気圧）に高められる。

次いで、弁１２および１）を閉ぢ、開いた弁１４を通し
て生成富化空気を取り出すことにより、圧力を大気圧以
上の中間圧力水準に低下させる。富化された生成ガスは
タンク１６に送られるか、または該ガスを生成する他の
塔から管１５を経由して送られる。このサイクルの第３
工程においては、塔Ａ内の圧力は、弁１２および１４を
閉ぢ、弁１）を通ってベットから残存ガスを排気するこ
とによ）大気圧に低下される。排気に続いて、サイクル
のｆａ１工糧と同様に、製品貯蔵タンク！６から取り出
され九富化空気で塔Ａを浄化するか、または富イヒ空気
を生成する他の塔から管１５を経由して、開いた弁１４
および１）により、供給空気導入方向く対して向流で塔
ムを通って排気される。

浄化工種によシ塔からは多量のＮ、が脱吸着され、吸着
物質移動区域を敏感にさせ、次の繰返しサイクルの吸着
工程において高酸素含有量の生成ガスが製造される。塔
Ｂ、ＯおよびＤの操作順序は同じであるが、これらの工
程は、製品製造工程および空気供給工程がサイクルを通
じて連続的に行われるように相殺的になっている。表２
には４−ベット系の弁操作順序が示されている。ここで
再び、操作は適当な寸法の製品貯蔵器を使用すゐことに
よ９１〜３個の塔で行うことができる。

表　　　２ 時間　　塔　　　　　　弁 （秒）　　ム−ＢＯＤ　　里竪４土ηｌＬ％盤競Ｊ１醪
５■遣０−３ＯＡ（ｌ　Ｐ　Ｄ２　Ｉ）１００００００
００００００３０−６０　Ｉ）Ｉ　Ａ（ｌ　Ｐ　Ｄ２０
０００００　Ｃ！　ＯＯＯＯ０６０−９０Ｄ２　Ｄｉ　
Ａｃｔ　Ｐ　　ＯＯＯＯＯＯＯＣＯＯＯ０９０−１２０
Ｐ　Ｄ２　Ｉ）Ｉ　Ａｄ　ＯＯＯＯＯＣ！　Ｏ（’　Ｏ
ＯＯＯＣ＝閉鎖　　Ａ（１＝吸着 ０−開放　　ｎｔ　＝第１減圧 Ｄ２　＝第２減圧 Ｐ＝浄化 ４工程サイクルおよび３工程サイクルにおいて、操作の
温度範囲は１０〜６０’Ｃである。また４工程テイクル
は、４工程のそれぞれに等しい時間を割当てて３０〜９
６０秒の範囲内で１２０秒よりも短時間または長時間で
行うことができる。

（実施例） 実施例１ ３一工程法で操作する実験操作において、使用し九各吸
着剤ベットは径４インチ（１０，１６ｃｒｒｔ　）、長
さ１６フイー）　（４，８８ｍ　）であった。各ベット
で００ｍおよび水を除去するための吸着剤の層はＸ型分
子ふるい１４ｄ−？ンド（６，３５に９）であり、窒素
保有層は同じゼオライト４２ポンド（１９に？）であっ
九。

塔は循環空気？、３　ｓａｐ　（２０７１）を導入する
ととｋよシ最初把大気圧から３気圧にされた。次に２５
容量チの酸素含有量を有すふ富化空気５．１８（！？（
１４４１）を取り出すことによシ、塔の圧力を３気圧か
ら１．７気圧に低下させた。最後に、排気し、サイクル
を繰返すことによシ塔の圧力を大気圧忙下げた。富化ガ
ス生成物中には供給空気の酸素の８５係が回収された。

実施例２ ４一工程法操作を使用する実験操作において、ベットの
寸法および吸着剤層は前記実施例と同じであった。最初
の吸着工程において、供給空気を７．３　ＳＯＦ　（２
０７１）で導入することにより、塔の圧力を大気圧から
３気圧に高めた。次に富化生成ガスを取シ出すことによ
って圧力を２気圧に低下させ、これに続いて塔を排気し
て圧力を１気圧にした。最後に、貯蔵器から取り出した
富化ガス生成物で吸着剤ベットを浄化した。得られた富
化生成物率はベット当り４．ＯＳａｙ　（１１），０１
）であり、富化空気純度は酸素２８．０ヂであった。富
化生成ガス中の供給空気からの酸素回収末は７３ｅ６で
あった。

或種の燃焼法においては、循環空気を用いて得られるよ
りも高い　温度の要求されることがわかった。このよう
に高い焔温度は使用する空気の酸素含有量を適当に増加
させて得られた。酸素含有ガスを使用するこの方法およ
びその他の方法に対して、使用する空気を通常の酸素２
１チから酸素５〜３５％のオーダーの水準に富化するこ
とによって、燃焼効率を２倍以上に高めることができる
。従乳このような酸素富化ガスは純粋な酸素を添加する
ことによって得られた。純酸素の混合は比較的高価であ
り、幾らかの浦在的使用者によシ危険なことと考えられ
ている。本発明は、循環空気から４５俤までの０８を含
有している工業的用途のための適度に富化されたガスを
直ちに得る簡単かつ経済的に魅力のある方法を提供する
ものである。通常の燃焼方法にこのような富化ガスを使
用する外に、化学的および生イビ学的反応器内で使用さ
れる種々の酸化方法に有効に使用される。

お〜２６４０．の酸素富化生成物は、第１図および表１
の３一工程法の操作によって循環空気から直ちに得るこ
とができるが、２６１０２以上で約３０〜４５４０３ま
での酸素富化生成流出物を製造し、この得られた流出生
成物を大気圧空気で希釈してＺ３−２６憾の範囲の所望
の酸素濃度の酸素富化生成物を得るために、第２図およ
び表２の方法を使用するのが経済的に一層有効であるこ
とがわかった。

実施例３ 第３図に示したように１本発明による酸表富化した生成
物を製造するための条件下で、第３図のグラフＢＩＣ示
したように酸素濃度を約２５１１から４８係に逐次増加
し、各一度でプロットした酸素回収幅で、多数の操作を
それぞれ行った。これらの操作はＣｏ、を含有していな
い乾燥空気を供給し、２１℃で４０ｐｓｉｇの到達操業
圧で行った。圧力降下水準を調節し、酸素の富化を高め
るために浄化時間を実験毎に増加した。

第３図のグラフＡけ、ベットにおける吸着剤１ｏｏｏｎ
ｏポンｒ当りに製造された含有酸素のボンドモルで表わ
したゼオライト吸着剤の使用量を記録したものである。

吸着工程からの酸素富化流出物と循環空気との混合を第
４図に図示した。循環空気Ｆ＃−を数気圧の所望圧に圧
縮され、第２図に示したような選択吸着系に供給され、
２６チ以上のｒｉ＆素濃度を有する酸素富化生成物Ｅが
得られる。吸着された廃ガスＷおよび浄化ガスは塔から
排気される。所望の酸素濃度の最小生成物Ｐを得るため
に、循環空気Ａ（酸素２１チ含有）を適当量混合して所
望の酸素濃度を得る。

表　　　３ ２５ｑＩｂ酸素−空気を得るための第４図０．２５　０
．８４　　０　　１．４２１．ＯＯ，５２２３３２０，
３００，７１０，５６０，８９０，４４０，４４１５１
１０，４００，５６０，７９０，７２０，２１０，４２
１２５３０，５００，４８０，８６０，６８０，１４０
，４３１１６９表３は、直接製造した２５１０．生成物
と比較して、循環空気を添加する（９）、４０および５
０４０．の酸素富化流出物を使用して２５１０．生成物
を製造するための＠３および４図による物質およびエネ
ルギー収支を示している。この表は幾つかの水準のｍ、
Ｒ１！に度で吸着工程で回収した酸素の量（Ｒ）、添加
した循環空気（Ａ／Ｐ）と２５チｏ２生成物を作るため
に使用した酸素富化流出物（Ｋ／Ｐ）の割合、生成物Ｐ
を製造するために使用した供給空気（Ｆ／Ｐ）の量、生
成物ポンドモル当シの必要な全エネルギー（ＫＷａ　）
、および２５４ＯＲ濃度の生成物を製造する際に使用し
た窒素保有吸着剤の量（ポンド）を示している。

表３かられかるように、２５％ｏｚ富化ガスの直接製造
法と比較して、４０チ酸素ガスを製造し２５％０．１に
希釈するために富化方法を使用すれば、総エネルギー要
求で５憾減少し、吸着剤量が関係゛減少される。

表３は、（資）〜５０４酸素濃度の酸素富化流出物を得
て、この流出物を循環空気で希釈して２ｓ　４　ｏ２Ｑ
度の最終がス生成物を得る条件の下で本発明方法を操作
することに特に関しているものであるが、本発明によっ
て製造された酸素富化ガス流に添加する循環空気の量を
変えることによって、約δ〜３５４０ａの範囲内でその
他の所望の生成物を同様に製造できることが理解される
。

【図面の簡単な説明】

第１図は酸素含有量る〜３０チのガス生成物を循環空気
から製造するために本発明を実施するのに適している系
のフローシート図、第２図はｎ〜父チ以上の酸素含有量
を有するガス生成物を循環空気から製造するために本発
明を実施するフローシート図、第３図は（ａ）種々の酸
素純度水準で吸着剤単位量当り供給空気から製造される
酸素の重量、および（ｂ）これらの０２純度水準で供給
空気からの酸素回収率を示す一連のグラフ図、第４図は
本発明の他の実施例の７０−シート図である。 １０・・・圧縮機、１１・・・管、１２．１）．１４・
・・弁、Ａ％Ｂ１Ｃ・・・塔。 代　理　人　　押　　１）　　良　　久［」　Ｌ１ｙｏ
２％　　ＦＩ６．３ ／　ｇｌ／　− 自発手続補正書 昭和６１年４月１２日

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、（１）選択的に窒素を保持する吸着剤のベットに供
   給空気を導入して該ベット内の圧力を大気圧から約１０
   気圧を超えない高い水準の第１圧力に高め、 （２）酸素の富化されたガスを生成物としてベットから
   取り出して回収することによつて、ベット圧を大気圧以
   上ではあるが第１圧力の０．７５倍以下の中間水準の第
   ２圧力に低下させ、前記取り出しは該ベットへの供給空
   気の最初の導入流方向と同じ流れ方向で行われ、 （３）この後、排気してベットを大気圧に回復させ、こ
   の排気は酸素富化生成ガスの前記取り出し流方向と逆の
   流れ方向で行われることを特徴とする適度に富化された
   酸素濃度の生成流を循環空気から取得する方法。 ２、供給空気のベットへの最初の導入を、該ベットが少
   くとも約１．５気圧の第１圧力水準に達するまで継続す
   る特許請求の範囲第１項に記載の方法。 ３、供給空気のベットへの最初の導入を、該ベットが約
   １．５〜約４気圧の範囲内の第１圧力水準に達するまで
   継続する特許請求の範囲第１項に記載の方法。 ４、第２圧力が第１圧力の約０．７倍以下である特許請
   求の範囲第１項に記載の方法。 ５、富化された生成ガスが２３〜２６％の酸素含有量を
   有している特許請求の範囲第３項に記載の方法。 ６、ベットを大気圧に排気した後に、該ベットへの供給
   空気の最初の流れ方向と同じ流れ方向で、酸素富化生成
   ガスの一部で該ベットを浄化し、サイクル工程（１）〜
   （３）および浄化工程を繰返し、富化生成ガスが２３〜
   ５０％の酸素含有量を有するようにする特許請求の範囲
   第１項に記載の方法。 ７、平行して段階的に操作される少なくとも２つの吸着
   剤ベットを有する塔からなる系の中で所定の操作を、該
   系への循環空気の供給および該系からの酸素富化生成ガ
   スの取り出しが連続的に行われるように実施する特許請
   求の範囲第１項または第６項に記載の方法。 ８、平行して段階的に操作される４個の吸着剤ベットを
   有する塔からなる系の中で所定の操作を、該系への循環
   空気の供給および該系からの酸素富化生成ガスの取り出
   しが連続的に行われるように実施する特許請求の範囲第
   ６項に記載の方法。 ９、所定の操作を４０〜９６０秒のサイクルで行い、そ
   の各々１／４が、順次（１）供給空気からの窒素の吸着
   、（２）酸素富化生成ガスをベットから取り出すことに
   よる該ベットの中間第２圧力水準への減圧、（３）該ベ
   ットの大気圧への排気、および（４）捕集した酸素富化
   生成ガスによる供給空気導入と逆方向での該ベットの浄
   化にそれぞれ割当てられる特許請求の範囲第８項に記載
   の方法。 １０、平行して段階的に操作される３個の吸着剤ベット
   を有する塔からなる系の中で所定の操作を、該系への循
   環空気の供給および該系からの酸素富化生成ガスの取り
   出しが連続的に行われるように実施する特許請求の範囲
   第１項に記載の方法。 １１、所定の操作を３０〜７２０秒のサイクルで行い、
   その各々１／３が、順次（１）供給空気からの窒素の吸
   着、（２）供給空気導入方向と同じ方向で酸素富化生成
   ガスを取り出すことによる該ベットの中間第２圧力水準
   への減圧、および（３）次のサイクルを開始するために
   供給空気導入方向と逆方向での該ベットの大気圧への排
   気にそれぞれ割当てられる特許請求の範囲第１０項に記
   載の方法。 １２、（ａ）選択的に窒素を保持する吸着剤ベット中に
   大気圧以上の圧力で循環空気を通過させて、該ベット内
   の圧力を大気圧から約１０気圧を超えない高い第１圧力
   水準に高め、 （ｂ）次に、該ベットから酸素富化生成ガスを取り出し
   かつ捕集することによつて、該ベットの圧力を大気圧以
   上ではあるが第１圧力の０．７５倍以下の中間第２圧力
   水準に低下させ、この取り出しは供給空気の該ベットへ
   の最初の導入方向と同じ流れ方向で行われ、 （ｃ）この後、該ベットを排気してその中を大気圧に回
   復させ、この排気は酸素富化生成ガスの前記取り出し方
   向と逆の流れ方向で行われ、 （ｄ）そして次に、工程（ａ）から始まる工程順序を繰
   返す前に、供給空気導入方向と逆方向で、該ベットを酸
   素富化生成ガスにより浄化する ことからなり、こうして約２５％Ｏ＿２から約５０％Ｏ
   ＿２までの範囲内の酸素濃度を有する富化生成ガスを得
   、この富化生成ガスを循環空気と混合することにより該
   ガスを２３〜３５％Ｏ＿２の範囲内の所望の酸素濃度に
   希釈することを特徴とする２３〜３５％Ｏ＿２の範囲内
   の酸素濃度を有する酸素富化生成ガスを循環空気から製
   造する方法。