JPS6078611A - 吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化炭素α回収率を向上する方法 - Google Patents

吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化炭素α回収率を向上する方法

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JPS6078611A
JPS6078611A JP58187478A JP18747883A JPS6078611A JP S6078611 A JPS6078611 A JP S6078611A JP 58187478 A JP58187478 A JP 58187478A JP 18747883 A JP18747883 A JP 18747883A JP S6078611 A JPS6078611 A JP S6078611A
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adsorption tower
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tower
pressure
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桜谷 敏和
Tetsuya Fujii
徹也 藤井
Shigeo Matsui
松井 滋夫
Shuichi Kawagoe
秀一 川越
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OSAKA OXGEN IND Ltd
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OSAKA OXGEN IND Ltd
Osaka Oxygen Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、圧力変動式吸着分離方法(P、SA法)によ
って、転炉又は高炉等の排ガス、主として二酸化炭素、
−酸化炭素、窒素及び水素ガスを含む一酸化炭素を分離
精製する目的で、該混合ガス成分に対して選択吸着性を
有する吸着成分、例えばゼオライト系吸着剤を充填した
吸着塔を用いて効率よく上記混合ガス中の一酸化炭素の
分離又は精製する際の一酸化炭素収率を上昇させろ方法
に関1−ろ。
本発明によれば転炉又は高炉等の排ガスを出発原料とし
て使用して、技術的にみても容易に一酸化炭素濃度の上
昇が可能でありかっ、従来のPSA法による一酸化炭素
精製法に比べて一酸化炭素収率は著しく高くなる特徴が
あるので極めて経済的な方法と云える。
周知の如く、−酸化炭素は一般に天然ガス、プロ・Sン
または製油所ガス乞活性炭を通して脱硫1−だのち、水
蒸気およびco2と混合腰ソーダーで洗浄・脱水の工程
をへて深冷分離塔法により工業的規模で現在製造されて
いる。
しかしながら、この方法ハ量産を目的とした高純度ガス
の製造には最適と考えられるが、本方式にば、低温と高
圧を必要とするために液化設備が高価になる欠点がある
。しかるに吸着法による一酸化炭素の分離・精製法は使
用する装置自身の経済性や、吸着塔内に充填する吸着剤
の再生可能な点よりみて好ましい方法の一つと考えられ
ろ。本発明方法に従って一酸化炭素、含有の製鉄所排ガ
スの精製を行えば、従来法の低温分離法の如き、低温や
高圧操作を必要とせず、また吸着剤の再生処理も簡便に
行うことが出来、非常に低廉に経済的に行うことができ
、さらに装置や設備は複雑なものを要せず、コントロー
ルが容易であり、技術的、経済的に非常に有利に一酸化
炭素精製法得ることが容易で、而も高い収率が可能なた
め、非常に大きな利点となる等、今迄の方法に比較して
多くの利点がある混合ガス中の特定成分の濃縮や分離精
製を目的として各種吸着剤を使用する吸着法が広く行わ
れてきた。特にモレキュラーシーブ(M−8)’a?使
用する分子節作用を利用して、分子の大きさの異なる気
体状混合物を選択吸着゛させることにより、特定成分を
吸着除去或いは吸着させたのち脱着回収をはかるガス分
離または万ス精製法は工業的に広汎に利用されている。
本願発明では、はぼ均圧を行いパージ工程からのガスを
他の塔の加圧(吸着)に利用すること?特徴とし、GO
の濃度を増加させることを目的としている。
本発明は前述の如くガス吸着現象の差異を利用して、−
酸化炭素を効率よく濃縮するものであるが、発明者はこ
れに伴う吸着塔の吸着・減圧・排気・パージ・加圧の諸
工程を鋭意検討1〜るとともに関連する各種ガスの濃縮
実験を実施した結果下記の方式が最適であるとの結論に
達した。
原料加圧−吸着(1)−はぼ均圧−並流パージ−向流排
気−吸着(Ill−吸着(1111゜なお、これの細部
説明は後述しである。
以下に本発明の詳細な説明1−る。
本発明は主成分として一酸化炭素ガス及び窒素ガスまた
は一酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス及び窒素ガスから成
る原料ガスがら圧力変動式吸着分離方法により一酸化炭
素ガス又は−酸化炭素ガスを濃縮及び分離精製する方法
において、ゼオライト系吸着剤からなる吸着剤を収納し
た2つ以上の吸着塔を用いその方法は (1)原料ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程、(1
1)さらに原料ガス乞吸着塔に流して、吸着塔出口にお
ける易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易吸着成分
の濃度に達するまで又は両者の濃度が等しくなる点の少
し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させる吸着工程、(
iill 吸着工程終了後、その吸着塔と真空脱着が終
った吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からガスを後者の
吸着塔に導入して後者のei剤に吸着させる吸着(Il
l、このとき前者の吸着塔の圧力を後者の吸着塔とほぼ
同圧にする。
(1■)はぼ均圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入し
て難吸着成分をパージ1−る/ξ−ジ工程、このときの
吸着塔出口より放出される・ξ−ジガスを真空脱着が終
った吸着塔に導入し吸着剤に吸着させる吸着fllDの
工程を行なっても良い。
ポンプを用いて脱着させ製品ガス乞回収する回収工程、
及び fvll 製品回収が終った吸着塔と、吸着工程が終っ
た吸着塔とを連結しで、後者の吸着塔からのガスによる
加圧工程(吸着■)、 (vl)任意な工程として他の吸着塔のパージ工程から
のガスによる吸着fllD工程、から成り、定期的に吸
着塔間の流れを変えて、全ての吸着塔において上記操作
を繰返丁ことを特徴とした方法に関1−る。
本発明の工程(1)は吸着塔に原料ガスを導入する吸着
塔の加圧工程である。本発明では回収すべきガスは易吸
着成分であるので高い吸着圧は必要ではA <、1kg
10hG程度の吸着圧で一1分であり、それより低い吸
着圧であっても良い。
工程ft1l&i吸着(1)工程である、吸着塔出口に
おける易吸着成分(−酸化炭素ガス、二酸化炭素ガス)
の濃度が吸着塔入口における易吸着成分の濃度と等しく
なった点というのは、吸着剤の破過点ケ意味する。回収
すべき成分が難吸着成分(例えば空気から酸素ガスを分
111fiする場合においては酸素ガス)であるならば
、高純度の難吸着成分2得るためには破過点よりも上の
水準で吸着工程ビ終了することが望ましい。しかし本発
明では、回収すべき成分は易吸着成分であるから破過点
または破過点に達する少し前まで吸着を行う。
工程(tiDは吸着fl)工程が終った吸着塔と真空脱
着が終った吸着塔とを連結し、好ましくは並流方向に前
者の吸着塔からガスを後者の吸着塔に導入し、前者の吸
着塔と、後者の吸着塔の圧力とほぼ同圧にする。この工
程では、吸着塔に収納されている吸着剤間の空間中のガ
スが放出され、真空脱着が終った吸着塔の吸着(n)加
圧に使用される。前者の吸着塔の圧力がほぼ後者の吸着
塔の圧力と同圧になるまでこの操作を維持する。
工程(1■)はほぼ均圧した吸着塔に並流に製品ガスを
導入して吸着塔内に残っている難吸着成分(窒素ガス等
)をパージする。又このとき吸着塔出口のパージガス濃
度は製品ガス濃度に吸着塔内に残つている難吸着成分が
加わるのみで製品ガス濃度より少し低下するのみで原料
混合ガス濃度よりも充分に一酸化炭素に富んだ部分(製
品ガス濃度に近い部分)この部分を回収利用して連続的
に一酸化炭素ガスを濃縮する際の、他塔の加圧用ガス(
吸着(■))として使用することができる。
工程(■)はパージ工程が終った吸着塔を真空ポンプ2
用いて好ましくは60〜60Torrまで真空にし、吸
着剤に吸着されていた成分(−酸化炭素ガス等)を脱着
させ製品ガスとして回収する。
工程(vDは製品回収が終った吸着塔と吸着工程が終っ
た吸着塔とを連結し、後者の吸着塔からのガスによって
前者の吸着塔を加圧吸着させる吸着(11)。
この場合、後者の吸着塔の圧力が大気圧以下の圧力でガ
スの導入を中止するので前者の吸着塔の圧力は大気圧に
達しない。
工程tvl h、他の吸着塔のパージ工程からのガスに
よる吸着flll)からなる。
本発明で使用される吸着剤としては、活性炭、又は合成
ゼオライト等であるが合成又は天然ゼオライトを粉砕し
て適当な結合剤を加えて成形し、焼結したものも又使用
できる。
パージ工程からのガスを他の吸着塔の加圧に使用する時
の利点が得られる。
大気圧以下での圧力で均圧することにより、難吸着成分
の残存を少なくし、・ξ−ジ工程をより効果的に活用で
き、製品GO濃度の増加をもたらす。
第6番目および第4番目の発明は、吸着工程が終った後
、次工程前に吸着塔内の圧力をある圧力捷で減圧させ、
減圧fi+工程が附加されている。この工程は吸着塔内
の吸着塔出口側の難吸着成分の多い部分を吸着塔外へ廃
棄するためである。この場合吸着圧(ゲージ圧)のZ−
%程度の圧力に低下させるまで、ガスを廃棄するのが好
ましい。
以下本発明の代表的な具体例である転炉排ガス中の窒素
ガスを除去し、−酸化炭素ガスを分離回収する方法に基
づいて、本発明の詳細な説明するが本発明の方法は、こ
れらの具体例に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
図は本発明を実施する装置のフローシートである。 特許出願人 川崎製鉄株式会社 同 大阪酸素工業株式会社 代理人 弁理士湯浅恭三:、) (外4名) 手続補正書 昭和59年i”’月)21日 特許庁長官 若杉和夫 殿 1、事件の表示 昭和58年特許願第187478号 2、発明の名称 吸着法を使用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一酸化
炭素を濃縮する方法 ろ、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 名称(125)川崎製鉄株式会社 (外1名) 4代 理 人 5補正の対象 明細書の〔特許請求の範囲〕と〔発明の詳細な説明〕の
欄6、補正の内容 7uRnmF> +; i”+ −、,17ハ ”、 
i、 ::、y8.)(]、) 特許請求の範囲を次の
ように訂正する。 1 吸着法を使用して少なくとも一酸化炭素を含む混合
ガス中の一酸化炭素を濃縮する方法において、該混合ガ
ス中の一酸化炭素に対して選択性を有する吸着物質を充
填した2つ以上の吸着塔を使用し、その方法は (1)原料ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程、 (11)さらに原料ガスを吸着塔に流して、吸着塔出口
におけろ易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易吸着
成分の濃度に達するまで又は両者の濃度が等しくなる点
の少し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させる吸着(1
1工程、 曲)吸着(1)工程終了後その吸着塔と真空脱着が終っ
た吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からのガスを後者の
吸着塔に導入し、曲者の吸着塔の圧力を後者の吸着塔圧
力とほぼ同圧にする均圧−[程、 (1い はぼ均圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入し
て難吸着成分をパージするパージ工程、 (V) パージ工程を終った吸着塔を大気圧以下に排気
して吸着剤に吸着されている易吸着成分を脱着させ製品
ガスを回収する回収工程、及び (vl)製品ガス回収が終った吸着塔と吸着工程が終っ
た吸着塔とを連結して後者の吸着塔からのガスを前者の
吸着塔に導入する吸着用工程、 から成り、定期的(C吸着塔間の流れを変えて、上記操
作を繰返すことを特徴とした方法。 2 吸着法を使用して少なくとも一酸化炭素を含む混合
ガス中の一酸化炭素を濃縮する方法において、該混合ガ
ス中の一酸化炭素に対して選択性を有する吸着物質を充
填した2つ以上の吸着塔を使用し、その方法は (1)原料ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程、 (11)さらに原料ガスを吸着塔に流して、吸着塔出口
における易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易吸着
成分の濃度に達するまで又は両者の濃度が等しくなる点
の少し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させる吸着(1
)工程、 曲)吸着(I)工程終了後その吸着塔と真空脱着が終っ
た吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からのガスを後者の
吸着塔に導入し、前者の吸着塔の圧力を後者の吸着塔圧
力とほぼ同圧にする均圧]I程、 (1い はぼ均圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入し
て難吸着成分をパージするパージ工程、吸着塔上部より
流出してくるガスを工程(vl)カ終った吸着塔に導入
してその吸着塔の加圧に使用」し CV) パージ工程を終った吸着塔を大気圧以下に排気
して吸着剤に吸着されている易吸着成分を脱着させ製品
ガスを回収する回収工程、 (vl)製品ガス回収が終った吸着塔と吸着工程が終っ
た吸着塔とを連結して後者の吸着塔からのガスを前者の
吸着塔に導入する吸着(lI)工程、及び (viD 他の吸着塔のパージ工程からのガスによる吸
着qll)工程、 から成り、定期的に吸着塔間の流れを変えて、上記操作
を繰返すことを特徴とした方法。」(2)明細書第10
頁第3〜6行全部を削除する。 (3)明細書第12頁第1〜6行全部を下記に訂正する
。 「(V)パージ工程を終った吸着塔を大気圧以下に排気
して吸着剤に吸着されている易吸着成分を脱着させ製品
ガスを回収する回収工程、及び (vl)製品ガス回収が終った吸着塔と吸着工程が終っ
た吸着塔とを連結して後者の吸着塔からのガスを前者の
吸着塔に導入する吸着叶工程、」 (4)明細書第13頁末行〜第14貞第4行全部を下記
1(訂正する。 「のパージガス純度は製品ガスに吸着塔内に残っている
難吸着成分が加わるのみで製品ガスの純度に近く、原料
ガスよりも充分に一酸化炭素に富んでいる。これを回収
利用して連続的に一酸」 (5)明細書第14頁第7〜8行全部を下記に訂正する
。 「 工程(V)は、パージ工程が終った吸着塔を真空ポ
ンプ、エゼクタ−、ブロワ−等を用いて、大気圧以下に
排気して好ましくはろ0OTorr以下、最も好ましく
はろ00〜30Torrの範囲まで・真空に7I (6)明細書第15頁第8〜14行全部を削除する、(
力 明細書第15頁末行の次に新行で始まる下記を挿入
する。 「 第1図は吸着法により連続的に転炉JIFガスから
難吸着成分である窒素ガスを除去し、易吸着成分の一酸
化炭素ガスを分離濃縮ずろフローシートである。 吸着塔A、Bは、易吸着成分を選択的に吸着する吸着剤
が収納されている。吸着塔A。 Bを真空ポンプ(Jl)を用いて減圧排気を300To
rr 以下好ましくは3 Q Torr まで行い、今
吸着塔Aに原料ガスを加圧導入、真空状態より昇圧させ
るためバルブ(]、)を開くことによって行う、この時
バルブ(21(31(4)(5)(6)(7)(8)(
9K]0)は、すべて閉である。 吸着塔Bはこのステップでは、まだ真空状態を保持して
いる。吸着塔Aは昇圧後、吸着圧力0.1 kl?/ 
Gから3.0kg/’G、好ましくは0.2kg/ G
から1.0kg/ Gの吸着圧力を保つ様にバルブ(3
)は開かれ、難吸着ガスはガスホルダー(J3)に回収
される。一定時間或は一定量の吸着工程終了後原料供給
バルブ(31及び出ロバルプ(3)は閉じ、次いでバル
ブ(5)を開き吸着塔Bへの連結パイプにより、吸着塔
Aの塔内圧力を吸着塔Bとほぼ同圧にさせ、吸着塔Bに
放圧されたガスを吸着させる。吸着塔Aが、吸着塔Bと
ほぼ同圧になると、吸着塔内の空隙(吸着剤間の空間)
にたまっている難吸着成分ガスを追出すために製品ガス
タンク(]2)よりバルブ(力を開いて吸着塔Aの下部
よりパージ工程を行う。このときの吸着塔出口のパージ
ガス純度は製品ガスに吸着塔内に残っている難吸着成分
ガスが加わったものであり製品ガス純IWより少し低下
するのみである。このパージガスを吸着塔Bに先の均圧
工程に引き続き導入し吸着剤に易吸着成分を吸着させる
。この時点で吸着塔Bは大気圧近くまでパージ加圧され
た状態になっている。 パージ工程が終了するとバルブ(5)及び(7)は閉じ
ら」し吸着塔下部よりバルブ(9)を開にし真空ポンプ
を用いて減圧排気を行い吸着剤に吸着している易吸着成
分を脱涜すせろ。こσ)際の排気圧力は300 Tor
r 以下好ましくは30 Torr まで行って易吸着
成分であるCOを製品ガスとして回収するものである。 上記操作をそれぞれの吸着塔において順次繰返すことに
よって連続的に吸着剤に易吸着成分であるCOガスを分
離精製することが出来る。なお(13)は廃ガスタンク
である、実施例J 以下、本発明をさらに具体的に説明するために、事前に
脱二酸化炭素ガス処理を行なった転炉排ガス(CO:8
5.3チ、N2: 5.7%、CO2:0.15%、H
,: 8.55%)の精製9分離を試みた。 工程として既述の如く、「原料加圧−吸着(I)(並流
)−均圧−バージ(並流)−真空排気(向流)−吸着(
社)−吸着GJD Jの精製ザイクルをもとにして実施
した。 活性化したゼオライ)’ (166kg) (1/8“
ペレット)を充填したSGP管製の吸着塔(145X2
.3m)を真空排気して60 Torrの真空に保った
後、上気の排ガス(CO:85.3チ、N2:5.7係
、CO2: 0.15%、N2 ’ 8.55チ)を線
速2 cit/ seeで塔の下部より導入して混合ガ
スの精製を実施した。この場合、供給ガス量26.62
NM’であり、製品ガス量は、12.63NM3、収率
56,1%、CO濃度995%を得た。ここで残留窒素
濃度は0.2%以下であった。 従来の吸着工程終了後、吸着塔を真空脱着の終った吸着
塔に連結し、前者の吸着塔の圧力を大気圧近傍に至る迄
降下させるにとどめる減圧工程を採用した方法では、残
留窒素濃度は0.8酌后であったものが本願方法を用い
ることにより残留窒素濃度を上記の様に02係以下にま
で減少させることが出来た。」(8)明+n(1書を次
のように訂正する。 頁 行 訂正前 訂正後 9 35 利点がある混合 利点がある。混合ガス ガ
ス 30 11 結果下 結果−酸化炭素の純度を向上させ
る には下 1017 主成分として 少なくとも 10 末 −酸化炭素ガス 〔削除〕 又は 11.1〜2 ゼオライト系吸 ゼオライしく合成着剤
 又は天然)系吸着 剤 負性 訂正前 訂正後 129〜10 全ての吸着塔に 〔削除〕おいて 1215 1 ky 1〜3kg 1411 製品回収 製品ガス回収 J4 末 合成 天然あるいは合成

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 吸着法を利用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一
    酸化炭素を濃縮する方法において、該混合ガス中の一酸
    化炭素に対して選択性を有する吸着物質を充填した2つ
    以上の吸着塔を使用し、その方法は (1)原料ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程、 (11) さらに原料ガス?吸着塔に流して、吸着塔出
    口における易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易吸
    着成分の濃度に達するまで又は両者の濃度が等しくなる
    点の少し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させろ吸着(
    1)工程、 (lii) 吸着(1)工程終了後その吸着塔と真空脱
    着が終った吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からガスを
    後者の吸着塔に導入し、前者の吸着塔の圧力を後者の吸
    着塔圧力とほぼ同圧にする均圧工程、 (1v)はぼ均圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入し
    て難吸着成分をパ〜′)fるパージ工程、 fvl 吸着剤に吸着されている易吸着成分を真空ポン
    プを用いて脱着させ製品ガスを回収する回収工程、およ
    び (vil 與品回収が終った吸着塔と吸着工程が終った
    吸着塔とを連結して後者の吸着塔からのガスによる吸着
    (Ill工程、 から成り、定期的に吸着塔間の流れを変えて、全ての吸
    着塔において上記操作を繰返1−ことを特徴とした方法
    。 2 吸着法を利用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一
    酸化炭素を濃縮する方法において。 該混合ガス中の一酸化炭素に対して選択性を有する吸着
    物質を充填した2つ以」−の吸着塔を使用し、その方法
    は fil 原料ガスにより吸着塔を加圧する加圧工程、 (1)) さらに原料ガスケ吸着塔に流して、吸着塔出
    口における易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易吸
    着成分の濃度に達するまで又は両者の濃度が等しくなる
    点の少し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させる吸着(
    1)工程、 l1i1 吸着(11工程終了後その吸着塔と真空脱着
    が終った吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からガスを後
    者の吸着塔に導入し、前者の吸着塔の圧力を後者の吸着
    塔圧力とほぼ同圧にする均圧工程、 (1■)はぼ均圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入し
    て難吸着成分乞パージするパージ工程、吸着塔上部より
    流出してくるガスを工程(■1)が終った吸着塔に導入
    してその吸着塔の加圧に使用し くv)吸着剤に吸着されている易吸着成分を真空ポンプ
    を用いて脱着させ製品ガスを回収する回収工程、 (vl)製品回収が終った吸着塔と吸着工程が終った吸
    着塔と乞連結して後者の吸着塔からのガスによる吸着(
    11)工程、及び (vil 他の吸着塔の・ξ−ジ工程からのガスによる
    吸着+11工程、 から成り、定期的に吸着塔間の流れを変えて、全ての吸
    着塔において」二記操作を繰返1−ことを特徴とした方
    法。 3 吸着法を利用して一酸化炭素ケ含む混合ガス中の一
    酸化炭素ヲ濃縮する方法において、該混合ガス中の一酸
    化炭素に対して選択性を有する吸着物質を充填した2つ
    以上の吸着塔を使用し、その方法は (1)原料ガスにより吸着塔乞加圧する加圧工程、 (11) さらに原料ガスを吸着塔に流(〜で、吸着塔
    出口における易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易
    吸着成分の濃度に達1−るまで又は両者の濃度が等しく
    なる点の少し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させる吸
    着(11工程、 (iiil 吸着工程終了後、吸着塔内の圧力をある圧
    力まで減圧する減圧(11工程、 (1v)減圧(1)工程終了後その吸着塔と真空脱着が
    終った吸着塔とを連結し、前者の吸着塔からガスを後者
    の吸着塔に導入し、前者の吸着塔の圧力を後者の吸着塔
    圧力とほぼ同圧にする均圧工程、 (■)均圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入して難吸
    着成分をパー′)するパージ工程、(vil 吸着剤に
    吸着されている易吸着成分を真空ポンプを用いて脱着さ
    せ製品ガスを回収する回収工程、及び Ml 製品回収が終った吸着塔と吸着工程が終った吸着
    塔とを連結して後者の吸着塔からのガスによる吸着1l
    l)工程、 から成り、定期的に吸着塔間の流れを変えて、全ての吸
    着塔において上記操作を繰返すことを特徴とした方法。 4 吸着法を利用して一酸化炭素を含む混合ガス中の一
    酸化炭素を濃縮1−る方法において、該混合ガス中の一
    酸化炭素に対して選択性を有′fる吸着物質を充填した
    2つ以上の吸着塔を使用し、その方法は (1)原料ガスにより吸着塔を加圧1−る加圧工程、 輸) さらに原料ガスを吸着塔に流して、吸着塔出口に
    おける易吸着成分の濃度が吸着塔入口における易吸着成
    分の濃度に達1−るまで又は両者の濃度が等しくなる点
    の少し前まで吸着剤に易吸着成分を吸着させろ吸着+1
    1工程、 (titl 吸着工程終了後、吸着塔内の圧力をある圧
    力まで減圧する減圧(11工程、 (1v)減圧(11工程終了後その吸着塔と真空脱着が
    終った吸着塔とを連結I〜、前者の吸着塔からガスを後
    者の吸着塔に導入し、前者の吸着塔の圧力を後者の吸着
    塔圧力とほぼ同圧にする均圧工程、 (■)はぼ均圧した吸着塔に製品ガスを並流に導入して
    難吸着成分をパージする・e−ジ工程、吸着塔上部より
    流出してくるガスを工程Mlが終った吸着塔に導入して
    その吸着塔の加圧に使用し くvl)吸着剤に吸着されている易吸着成分を真空ポン
    プを用いて脱着させ製品ガス乞回収する回収工程、 (vl) 製品回収が終った吸着塔と吸着工程が終った
    吸着塔とを連結して後者の吸着塔からのガスによる吸着
    (Ill工程、及び (V+11 )他の吸着塔のパージ工程からのガスによ
    る吸着(Ill)工程、 から成ジ、定期的に吸着塔間の流れを変えて、全ての吸
    着塔において上記操作を繰返すことを特徴とした方法。
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