JPH10332091A - 気体貯蔵ならびに計量分配装置 - Google Patents

気体貯蔵ならびに計量分配装置

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JPH10332091A
JPH10332091A JP9350093A JP35009397A JPH10332091A JP H10332091 A JPH10332091 A JP H10332091A JP 9350093 A JP9350093 A JP 9350093A JP 35009397 A JP35009397 A JP 35009397A JP H10332091 A JPH10332091 A JP H10332091A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 先行技術による物質移動の制限問題を事前に
除去する形態の改良貯蔵ならびに計量分配流体供給装置
を提供する。 【解決手段】 容器で、貯蔵され、そして前記容器から
選択的に計量分配されるべき気体に対する親和力を備え
る吸着剤材料のベッドを入れる内部容積がその中に形成
された容器からなる気体貯蔵ならびに計量分配装置であ
る。弁ヘッド、マスフロー制御器、減圧器アセンブリー
などを配設して、前記容器からの気体の排出に要する気
体の流れ連通を選択的に確立することができる。気体流
れ抵抗を減ずる構造部材、例えば気体透過性多孔質チュ
ーブ、不活性充填物、あるいは拡散不活性材料を容器の
内部容積に配置して、吸着剤のベッドからの気体の流れ
に対する抵抗を、前記容器からの気体の排出に要する前
記気体の流れ連通の確立中に減少させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は流体を、その流体成
分が中で固体吸着剤により吸着的に保持される容器もし
くは貯蔵用容器から選択的に計量分配し、また前記成分
を計量分配操作中に前記吸着剤から脱着的に剥離させる
貯蔵ならびに計量分配システムに総体的に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】広範な種類の工業プロセスならびに用途
において、要求のあり次第、流体を供給できる小型、ポ
ータブルかつ有用なプロセス流体の確実な供給源の必要
がある。このようなプロセスと用途は、半導体製造、イ
オン注入、フラットパネルディスプレーの製造、医療、
水処理、救急救命装置、溶接作業、液体や気体の搬送を
必要とする空間補給用を含む。
【０００３】米国特許第４，７４４，２２１号はアルシ
ンの貯蔵と続く搬送を、約−３０℃乃至約＋３０℃の温
度で、気孔の大きさが約５乃至約１５オングストローム
の範囲のゼオライトと接触させ、その後ゼオライトを最
高約１７５℃の高温に十分な時間をかけて加熱し、アル
シンをゼオライト材料から剥離させることでアルシンを
計量分配する方法を開示している。
【０００４】前記米国特許に開示された方法は、それが
ゼオライト材料の加熱手段でゼオライトを、所望の量の
ゼオライトから先に吸着したアルシンを脱着するだけの
十分な温度に加熱する構造と配置にする必要のある手段
の設置を要する点で不都合である。
【０００５】加熱ジャケットもしくは他の手段を、アル
シン含有ゼオライトを入れる容器の外側に用いること
は、前記容器が典型的例として相当な熱容量を有し、従
って著しい遅延時間を計量分配作業に導入する点に問題
がある。さらにアルシンの加熱はその分解の原因とな
り、その結果水素ガスの生成をもたらし、プロセスシス
テムに爆発の危険を導く。またこのようなアルシンの熱
媒介による分解がプロセスシステムにおける気体圧力に
かなりの増大を引き起こし、システムの耐用年数と作業
効率の見地から極めて不利となる。
【０００６】内部に配置された加熱コイルもしくは他の
加熱素子をゼオライトのベッドそれ自体に設置すること
はゼオライトのベッドを均一に加熱してアルシンガスを
所望の均一度に前記手段を用いて放出させることが困難
であるから問題である。
【０００７】ゼオライトのベッドを通過する加熱キャリ
ヤーガスをその収納容器内で用いると、前述の欠点を克
服できるが、アルシンの前記加熱キャリヤーガス脱着の
達成に必要な温度が好ましくない高温もしくはアルシン
ガスの最終用途に別の形で不適当になることがあって、
冷却もしくは他の処理で最終用途用の計量分配ずみ気体
を条件に整える必要がある。
【０００８】米国特許第５，５１８，５２８号は、気
体、例えば水素化物ガス、ハロゲン化物ガス、有機金属
族Ｖ化合物などの貯蔵ならびに計量分配用の気体貯蔵な
らびに計量分配装置で、前記米国特許第４，７４４，２
２１号に開示された気体供給法の様々な欠点を克服する
装置を説明している。
【０００９】米国特許第５，５１８，５２８号の気体貯
蔵ならびに計量分配装置は、気体の貯蔵ならびに計量分
配用で、固相物理的吸着剤を入れる貯蔵ならびに計量分
配用容器を備え、気体を前記容器に対し選択的に流出・
流入させる配置にした吸着・脱着装置からなる。吸着物
気体を吸着剤に物理的に吸着させる計量分配アセンブリ
ーが貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通して連
結され、その容器の外側に容器の内圧以下の圧力を供給
して、吸着物の前記固相物理的吸着剤からの脱着と、脱
着ずみ気体の計量分配アセンブリーを通る流れを起こさ
せる。加熱手段を用いて脱着プロセスを増進させるが、
しかし上述のように、加熱が吸着／脱着システムにとっ
て様々な不利益を必然的に伴うので、従って、米国特許
第５，５１８，５２８号のシステムを、吸着物気体を吸
着剤から差圧媒介により剥離させて少くとも部分的に実
施する脱着と併行することが好ましい。
【００１０】米国特許第５，５１８，５２８号の貯蔵な
らびに計量分配用容器は技術上、高圧ガスボンベを使用
する先行技術に対しては技術上かなりの利点を具体化し
ている。従来の高圧ガスボンベは損傷をうけているか、
あるいは機能不全の減圧器アセンブリーからの漏れと、
ボンベ内の内部気体圧が許容限度を超えた場合、破壊
と、ボンベからの気体の好ましくない大量の放出にもな
りやすい。このような過圧は、例えば気体の内部分解か
ら誘導され、ボンベ内の気体圧力の急速な増加に繋がり
得る。
【００１１】米国特許第５，５１８，５２８号の気体貯
蔵ならびに計量分配用容器はこのようにして貯蔵ずみ吸
着物気体の圧力をキャリヤー吸着剤、例えばゼオライト
もしくは活性化炭素材料上に前記吸着物気体を逆に吸着
させることで低下させる。
【００１２】米国特許第５，５１８，５２８号の貯蔵な
らびに計量分配用容器は垂直方向に細長い、例えば高さ
の直径（各々を同一の寸法単位で測定）に対するアスペ
クト比が、例えば３対６の範囲の特性をもつボンベもし
くは気体容器からなる。このような貯蔵ならびに計量分
配用容器と関連する計量分配流れの回路構成は幅広く変
化することができるが、多孔質焼結金属のフリットを流
れ導管の容器との接合点に具備することが普通である。
このフリットは物理的濾過遮断ベッドを、吸着剤のベッ
ドからの粒状固形物の出口に対し、気体の容器からの脱
着／計量分配中に挿入する。
【００１３】気体は貯蔵ならびに計量分配用容器からそ
の一端だけにある前記フリットを通して排出されるの
で、計量分配ずみ気体の搬送速度は逃散気体分子を物質
移動制限する場合、妨害されることがある。容器の底に
貯蔵された気体は容器の上部への通路を吸着的／脱着的
に「仕事」をする必要がある。このような通路に沿っ
て、気体を吸着剤のベッド（容器の下端と、外部気体流
れの回路構成と連結される容器の上端の間）の付近に存
在する数多い気体吸着部位の付近での排出を遅らせる
か、あるいは妨げることができる。
【００１４】従って、高排出速度で、しかもいくつかの
事例での標準的作業中でも、気体の貯蔵ならびに計量分
配用容器の搬送容量が物質移動制限されることもあり、
最適どころではなくなる。
【００１５】
【発明が解決しようとうする課題】従って、本発明の目
的は前記米国特許第５，５１８，５２８号の上述の物質
移動の制限問題を事前に除去する該米国特許に開示され
た形態の改良貯蔵ならびに計量分配流体供給装置を提供
することである。
【００１６】本発明の他の目的ならびに利点は後述の開
示からさらに十分明白になるであろう。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明は吸着性流体の貯
蔵ならびに計量分配用で、前記吸着性流体に対し吸着親
和力を有する固相物理的吸着剤を入れる構成と配置にし
た貯蔵ならびに計量分配用容器からなり、また前記吸着
性流体を前記容器に対し選択的に流入ならびに流出させ
る装置に関するものである。前記流体に対し吸着親和力
を有する固相物理的吸着剤を前記貯蔵ならびに計量分配
用容器内に内部気体圧力で配置する。前記吸着性流体を
前記吸着剤上に物理的に吸着させる。計量分配アセンブ
リーは前記貯蔵ならびに計量分配用容器と気体流れ連通
して連結され、また前記流体を炭素吸着剤から熱および
／または差圧媒介吸着してから吸着ずみ流体の選択的必
要に応じて計量分配するような構成と配置にしたもので
あり、そのアセンブリーを次のように構成ならびに配置
する。 （Ｉ）前記貯蔵ならびに計量分配用容器の外側に内圧以
下の圧力を供給して、流体を炭素吸着剤材料から脱着
し、その脱着ずみ流体を前記容器から計量分配アセンブ
リーを通して流出させること、および／または（II) 熱
脱着ずみ流体をそれに通して流すことと、（III)前記ア
ンブリーが前記炭素吸着剤材料を加熱する手段からな
り、前記流体をそれから脱着して、脱着ずみ流体が前記
容器から計量分配アセンブリーに流入させることであ
る。
【００１８】本発明の一実施態様では、流体貯蔵ならび
に搬送用容器の流体排出特性を前記貯蔵／計量分配用容
器内の「流路化」吸着剤のベッドに貯蔵ずみ流体を容器
から関連する外部計量分配流れ回路構成に流出させる強
化流路を設けて改良する。
【００１９】このような実施態様の一実施例では、流体
透過性流れ導管が前記貯蔵ならびに計量分配用容器の内
部容積内に配設される。前記流れ導管は流体透過性、例
えば多孔質もしくは有孔性壁面を備え気体貯蔵ならびに
計量分配用容器の下部からその容器の出口の上部に延長
する（用語「出口」はここでは容器を前記計量分配アセ
ンブリーに接合する入口もしくは開口部をいう）。
【００２０】前記計量分配アセンブリーを前記貯蔵／計
量分配用容器に接合して、導管、流路、減圧弁、カップ
リング、弁および／または容器に接合される他の構造部
材からなり、計量分配ずみ流体をそこから前記容器のル
ーカス外部へ搬送する。
【００２１】前記貯蔵ならびに計量分配用容器の内部容
積内に配設された流れ導管はこのようにして、容器内に
入っている気体が計量分配に必要な沿って流れる非吸着
性流路を、このような非吸着性（吸着剤を含まない）流
路に沿って吸着剤に接触することなく提供できる。
【００２２】その結果、内部に配置された流れ導管は脱
着ずみ流体と、それに隣接して僅かな量の間隙流体も導
管の流体透過性壁体を通して流出して、その流体が容器
の出口まで妨害もなく流れるようになる。この流れ導管
の流体透過性壁体を多孔性材料、例えば金属、セラミッ
ク、複合材料などで形成できるし、あるいは穿孔、開口
部、巣などを中に備える連続的な中実壁体にすることも
できる。
【００２３】流体透過性導管は、流体透過性特性を備
え、細長い容器の断面一杯に拡がる容器の内部容積内に
配置され、供給管路としてまた容器からの脱着物ならび
に間隙流体の流路化された吸着剤を含まない流れを起こ
すことに役立つ。
【００２４】前記流体透過性導管は脱着流体の流れを容
器の出口に流す低圧力低下流路を提供する。
【００２５】好ましい実施例では、有効壁つき導管は容
器の内部容積内の中央に配置され、容器の内部容積の下
端から上方方向に容器の上端まで延長する。このような
配置により、吸着物流体の拡散対流性の大量流れが気体
貯蔵ならびに計量分配用容器の中心に向って半径方向に
移動し、その後気体は流体透過性導管を上昇して容器出
口に至る。
【００２６】本発明のこのような実施態様の他の実施例
では、容器の内部容積内にある吸着物気体の強化流れ流
路が適量の不活性材料（例えば化学的不活性ガラスビー
ズ）を吸着剤材料と混合して設けられる。
【００２７】本明細書で用いられる用語「不活性」は、
前記容器中に吸着的に貯蔵され、かく容器から吸着的に
計量分配される流体の非吸着性であり、かつ前記流体と
は無反応性であることを意味する。不活性材料は互いに
連通するボイド容積からなり、様々な非吸着性流体流れ
流路をそれを通して形成する間隙空間をつくる充填特性
を備える。
【００２８】不活性充填材料を離散した付着のベッドに
局在化させるか、あるいは吸着剤材料によって散在させ
ることができる。不活性材料はさらに容器の内部容積の
上部、吸着剤材料のベッドの真上に離して配設して、流
体の吸着剤材料からの遊離を、脱着ずみ流体用に充填容
積もしくは溜めを設けることで強化できる。
【００２９】ボンベの上部に充填材料を用いることも、
吸着剤の量のレベリングに使用効果があり、ボンベ容積
の変動や、あるいは吸着剤充填容量の変動に関係なく、
容器が常に一定量の吸着物流体を充填することになる。
【００３０】差圧だけに限っての操作が一般に好ましい
が、続いて計量分配することになる流体の吸着ならびに
脱着に関して、本発明の装置はいくつかの事例では、貯
蔵ならびに計量分配用容器に関連して固相物理的吸着剤
の選択加熱用に機能的に配置されたヒーターが有利に用
いられて、吸着物流体の固相物理的吸着剤からの熱強化
脱着を実施できる。
【００３１】問題の流体にとって吸着親和力をもつ適当
であればどのような吸着剤材料も用いることができる
が、好ましい固相物理的吸着剤は、結晶性アルミノ珪酸
塩組成物と、他のいわゆる分子篩、シリカ、アルミナ、
マクロ網状重合体、多孔質珪藻土、炭素などを含むが、
結晶性アルミノ珪酸塩組成物（ゼオライト）と、炭素吸
着剤材料が最も好ましい。好ましい炭素材料は高度の均
質球状粒子形状の、いわゆるビーズ活性化炭素を含む。
【００３２】さらに詳述すれば、一実施態様での本発明
は気体貯蔵ならびに計量分配装置に関するもので、 ・その中に貯蔵され、その容器から選択計量分配される
べき気体に対する親和力を有する吸着剤材料のベッドを
入れる内部容積を形成される容器と、 ・前記気体の前記容器からの排出のための気体流れ連通
を選択的に確立する手段と、 ・容器の内部容積内に配置して前記容器からの気体の排
出のための気体流れ連通の確立中に吸着剤材料のベッド
からの気体の流れに対する抵抗を減ずる手段と、からな
る。
【００３３】前記気体の容器からの排出のための気体流
れ連通を選択的に確立する手段は、開放と閉鎖の両流れ
位置の間を選択的に作動できる弁、または気体の容器か
らの流れの速度を制御するマスフロー制御器もしくは他
の適当な流量制御器と原料容器からの気体計量分配の技
術上一般に用いられる流量制御装置から適切になること
ができる。
【００３４】容器の内部容積内に配置され、容器からの
気体の排出のための気体流れ連通の確立中に、気体の吸
着剤材料のベッドからの流れに対する抵抗を減ずる手段
は、容器の内部容積内にあって、気体流れに対し透過性
のある不活性充填材料、または吸着剤材料のベッドに拡
散された不活性材料、例えばガラスビーズもしくは他の
適当な分離および／または不連続材料、あるいは気体の
容器からの排出で吸着剤のベッドからの気体を流すに要
する吸着剤のベッド中に配置された透過性拡散チュー
ブ、もしくは適当であればどのような手段であってもよ
く、それにより吸着剤のベッドを通る気体の流れに対す
る抵抗をこのような手段を欠く対応装置に関して減ずる
手段から適切になることができる。
【００３５】とりわけ好ましい実施態様では、本発明は
気体貯蔵ならびに計量分配装置に関するものであって、 ・その中に貯蔵されかつその容器から選択計量分配され
るべき気体に対する親和力を有する吸着剤材料のベッド
を入れる内部容積を形成する垂直方向に直立する円筒状
容器と、 ・前記気体の容器からの充填空積排出のための気体流れ
連通を選択的に確立し、前記容器の上端にある気体排出
口と、該気体排出口に連結された気体流量制御器を備え
る手段と、 ・前記気体排出口と連結され、かつ容器の内部容積内に
下方方向に延長して、気体の容器からの排出のための気
体流れ連通の確立中に吸着剤材料のベッドからの気体の
流れに対する抵抗を減ずる気体流れに対し透過性のある
多孔質チューブと、 からなる。
【００３６】本発明の他の実施態様と特徴を下記する開
示から十分に明らかになるであろう。
【００３７】
【発明の実施の形態】米国特許第５，５１８，５２８号
の開示と、１９９６年５月２０日に出願された米国特許
願第０８／６５０，６３４号の開示をこの明細書でその
全体を参考として取入れる。
【００３８】次の開示では、本発明を吸着物流体として
の気体に関して記述することになるが、しかしながら、
本発明は液体類、気体類、蒸気類ならびに多相流体類に
広範に利用でき、また流体混合物と、同様に単一成分流
体類の貯蔵ならびに計量分配も企図している。
【００３９】ここで図面を参照すると、図１は貯蔵なら
びに計量分配用容器１２からなる貯蔵ならびに計量分配
装置１０の略図である。この貯蔵ならびに計量分配用容
器は、例えば細長い特性をもつ通常型気体ボンベ容器か
らなる。このような容器の内部容積内に適当な吸着剤１
６のベッド１４を配置する。
【００４０】前記吸着剤１６は貯蔵され、その後前記容
器１２から計量分配されるべき流体に対し吸着親和力を
備え、かつ吸着物を適切に脱着できる適当であればどの
ような種類の吸着上有効な材料からもなることができ
る。実施例は結晶性アルミノ珪酸塩組成物例えば、ボイ
ドの大きさが約４乃至１３オングスクトロームの範囲の
微孔アルミノ珪酸塩組成物と、炭素吸着剤材料、例えば
高度に均一性を有する球状粒子形状、例えばＢＡＣ−Ｍ
Ｐ、ＢＡＣ−ＬＰおよびＢＡＣ−Ｇ−７０Ｒビーズ炭素
材料（米国．ニューヨーク州．ニューヨークのクレハ．
コーポレーション．オブ．アメリカ社製）、珪素、アル
ミナ、マクロ網状重合体、多孔質珪藻土などを含む。
【００４１】前記吸着剤材料は、流体貯蔵ならびに計量
分配装置の性能に有害に影響することもある微量成分の
全くないことを確める適切な加工と処理を施せる。例え
ば、前記吸着剤を、例えば弗化水素酸で洗浄処理にかけ
て、それを、例えば金属および酸化物の遷移金属種のよ
うな十分に微量成分のないようにする。
【００４２】図示のように気体ボンベ容器１２はその上
端で従来の装置の圧力監視ならびに流量制御素子からな
る気体制御器アセンブリーに接続される。容器の内部容
積１１内に多孔質金属チューブ２０が配置される。この
多孔質チューブは前記貯蔵ならびに計量分配用容器の内
部容積内にこの容器の内部容積の下部領域から前記気体
制御器アセンブリー１８とのその接合部に垂直方向で上
方方向に延長して中心方向に配置される。このチューブ
２０は一連の開口部２２をその中にその全長に亘って備
える。前記チューブの吸着剤材料１６の吸着剤のベッド
１４に配置された部分が吸着剤の粒子に関し適当に大き
さをとった開口部をその中に備えて、該開口部を吸着剤
のベッド粒子で栓をしたり、あるいは閉塞したりしない
ようにする。
【００４３】図１の実施例における多孔質金属チューブ
を適当であればどのような大きさにも、また所定の最終
用途に用いられる特定の気体貯蔵ならびに計量分配装置
に適した寸法にすることができる。
【００４４】図１の実施例で示された多孔質金属チュー
ブの替わりとして、チューブが多孔質焼結金属部材や、
細長いフリット部材もしくは、計量分配されている流体
に、吸着剤素材を通って延長し、また吸着剤がその中に
全くない上方方向に延長する流路を提供するならば他の
流体透過性構造のものであってもよい。このような吸着
剤のない流路にあっては気体は、吸着剤からの妨害もな
く流れることができ、それにより流体がこのような流路
に入る半径方向の流れを流体は、容器から外部の計量分
配位置への気体の流体力学的流れに影響する容器の外部
の比較的低い圧力を含む加えられた差圧の下で、容器の
内部容積内の吸着剤からの気体の現場脱着を用いて、流
体を流体／吸着剤収納容器の出口に対し上方方向に移動
させる。
【００４５】図１に示された気体容器１２は垂直方向に
細長い特性のもので、例えば高さの直径に対するアスペ
クト比（各々を同一の寸法単位で測定する）の約３乃至
約６であっても差支えない。しかしながら容器が本発明
の幅広い実施の中で、広範に変動する形態（大きさ、形
状および寸法）のものであってもよい。
【００４６】図６は本発明の他の実施例による貯蔵なら
びに計量分配用容器１１２の内部容積１１１内の上部領
域にある不活性充填材料１３０からなる貯蔵ならびに計
量分配装置１１０の概略斜視図である。
【００４７】不活性充填材料、例えば多孔質気泡材料、
焼結ガラスマトリックスもしくは他の不活性充填材料
は、脱着物気体の、その気体にとっての吸着親和力を有
する吸着剤１１６を含むベッド１１４から容器の入口１
０６までの流れに対する吸着剤のない充填空積を設ける
ことに役立つ。
【００４８】容器の入口１０６が周知の方法で減圧器ア
センブリー１１８と連結されると、そこで手動的もしく
は自動的に調整して、容器から減圧器アセンブリーによ
り下流の計量分配位置に至る差圧媒介の気体の流れを起
こすことができる。
【００４９】容器１１２の上部にある充填材料１３０の
使用も吸着剤１１６の量のレベリングに使用価値があ
り、そのため容器容積もしくは吸着剤充填量の変化に関
係なく、貯蔵ならびに計量分配用容器は一定量の吸着物
気体を常に充填することになる。
【００５０】容器内の吸着剤材料１１５も強化して、図
３に示されたように、計量分配条件下にあって吸着剤材
料１１６からの脱着物気体の改良流出量を供給できる。
【００５１】図３は図２の貯蔵ならびに計量分配用容器
１１２にある吸着剤１１６からなる。図示のように、ベ
ッド１１４は、ガラスビーズ１５０の形になった不活性
気体と吸着剤粒子１４８との散在混合物からなる。
【００５２】この実施例における不活性充填材料は、こ
のように吸着剤材料のベッド全体に拡がって適当な細か
く分離した形状で均一に散在する。吸着剤材料も同様に
微粒もしくは他の分離粒状の形、例えばペレットもしく
はビーズ特性のものにできる。
【００５３】ガラスビーズ充填材料は適切な大きさと形
状にして吸着剤のベッドに有意の間隙接続するボイド容
積を導入される。このような間隙接続されたボイド容積
は、従って吸着剤のベッドからの吸着物流体の強化流出
量に必要な吸着剤のベッド１１４を通る流路を供給す
る。
【００５４】このようにして、不活性充填材料の存在に
より脱着ならびに計量分配条件の下で、吸着物流体の上
昇流がこのような不活性充填材料強化を欠く対応するベ
ッドに関して強化される。
【００５５】充填材料の不在の時、吸着剤はその粒子だ
けで囲まれた間隙容積をもち、従ってその最初の脱着の
後、流体の分子と著しい吸着的相互作用を示すような方
法で充填されることになるはずである。吸着剤の反復相
互作用は従って有意のマスフロー抵抗を形成し、流体の
貯蔵中、気体を残量の形で保持するには好ましいが、計
量分配の状態にある時は、流体の貯蔵ならびに計量分配
用容器からの好ましい流出物を遅らせることに役立つ。
【００５６】従って、本発明の気体貯蔵ならびに計量分
配用容器の内部容積の「流路化」が計量分配条件下にあ
って、本発明の流出量強化に欠ける先行技術による貯蔵
ならびに計量分配用容器でできる以上に急速かつ大量の
計量分配ずみ流体の流出を可能にする。本発明の流出強
化は本明細書で具体的に示されているように、様々な特
定用途のため種々の形にして具体化できる。
【００５７】図４は本発明のさらに他の実施例による中
央流れ強化多孔質主チューブと連通する多孔質分岐チュ
ーブの「スパイダー」装置からなる貯蔵ならびに計量分
配用容器２００の概略斜視図である。
【００５８】図４で示す貯蔵ならびに計量分配用容器２
００は内部容積２０４が中に形成される円筒状の容器壁
体２０２からなる。この内部容積２０４内に容器に貯蔵
され、また容器から選択的に計量分配されるべき流体に
とって吸着親和力をもつ吸着剤のベッド２０６を配置す
る。
【００５９】前記吸着剤のベッドに、中心ボア２１０を
中に備えて、脱着物流体を上方方向に排出口と容器の計
量分配アセンブリー（図４には図示せず）へ流す主たる
細長い垂直方向に延長する主流れチューブ２１２からな
る。この主流れチューブは多孔質焼結金属構造で、その
周囲壁面がその構造を通して計量分配されるべく流体の
中心ボア２１０に透過できるもので差支えない。
【００６０】図示のように、前記主流れチューブ２１２
に、各々がそれから外側方向に拡がる一連の分岐供給チ
ューブ２１４を配設する。この分岐供給チューブ２１４
は多孔質金属製もしくは他の流体透過性材料製にして、
脱着ずみ流体がその中を流れるようにする。前記分岐供
給チューブ２１４の各々は、ボアが前記主流れチューブ
２１２の中心ボア２１０と連通する中空構造にしてあ
る。各分岐供給チューブは、半径方向に延長するのが特
徴で、ボンベ容器の全横断面に拡がる脱着物を拾い上げ
させる。
【００６１】この半径方向に拡がった供給チューブ２１
４の真下に離れて交互に配置され、図のように「しだれ
枝」もしくは外側方向でかつ下方方向にアーチ形形状の
分岐供給チューブの配列である。各分岐供給チューブ２
１６も中空構造になっていて、その中空ボア（図示せ
ず）も前記主流れチューブ２１２の中心ボア２１０と流
体流れ連通して取囲む流体透過壁体を備える。
【００６２】前記分岐供給チューブが適当であればどの
ような大きさ、形状、そして軸方向もしくは半径方向に
分布していてもよく、また他の流体透過性流路導管装置
を利用し、また様々の形で多岐管集配して脱着物流体
の、吸着剤のベッドの容積から貯蔵ならびに計量分配装
置の計量分配構成部材と接続する容器入口への流れを搬
送できる。
【００６３】
【実施例】本発明の特徴と利点は次の実施例からさらに
十分に明白になると思う。
【００６４】実施例１：本発明により構成された気体貯
蔵ならびに計量分配用ボンベを備える試験装置を以下に
述べるように組立てて、その効力に対する試験を行っ
た：
【００６５】試験装置：試験装置は図５で示されるよう
に組立てられた。吸着物気体は原料供給管路３０４によ
りマニホールドと流れ連通に接合された選択的に開口／
閉鎖できる弁３０２を備えた原料容器３００から供給さ
れるＳＦ６であった。このマニホールドには、ヘリウム
（供給源は図示せず）を原料管路３２４により供給し
た。マニホールドには前記吸着物気体の圧力制御器ＰＲ
が入っていた。気体貯蔵ならびに計量分配用ボンベ３０
６はマニホールド管路３１４に連結した排出弁３１２を
備えた。気体貯蔵ならびに計量分配用ボンベ３１０はマ
ニホールド管路３１６に連結した排出弁３１２を備え
た。マニホールド内の気体流量をマスフロー制御器３１
８（ＭＦＣ−１）と３２０（ＭＦＣ−２）により制御し
た。前記マニホールドは一連の自動弁（ＡＶ−１、ＡＶ
−２など）を備え、また手動流量弁（ＭＶ−２）を図示
のように配置した。マニホールドからの排出気体を排出
管路３２２に入れ、排出気体清浄装置３２６とプロセス
スクラバー３２８に流して試験装置での排出気体清浄と
処理を行う。
【００６６】気体ボンベ：２つのレクチャーボトルサイ
ズの気体貯蔵ならびに搬送用ボンベ３０６と３１０が試
験用に準備された。各ボンベは図５に略図で示すように
試験装置マニホールドアセンブリーに垂直方向に取付け
られると、全長は１１．５インチ（弁を含まず約２９．
２ｃｍ）、外径が２インチ（約５．０８ｃｍ）、内部容
積が０．４４リットルとなった。
【００６７】ボンベ３０６は長さ１０．５インチ（約２
６．７ｃｍ）×０．３７５インチ（約０．９５ｃｍ）
（内径が０．２５インチ（約５．０８ｃｍ））の多孔質
フリットチューブを備え、それをボンベ弁の内端に取付
けた。ボンベ２はそれに比べて短い２インチ（約５．０
８ｃｍ）×外径０．３７５インチ（約０．９５ｃｍ）
（内径０．１２５インチ（約０．３２ｃｍ））の多孔質
フリットチューブを備えた。
【００６８】両ボンベとも炭素系吸着剤（クレハ．ケミ
カル．インダストリー社から市販されているクレハビー
ズ活性炭素「Ｇ−ＢＡＣ」）を充填した。ボンベのヘリ
ウム漏れ検査の後、ボンベを１８０℃の温度で１２時間
の間、１×１０−４ｍｍＨｇの減圧にかけてガス抜きし
た。ボンベ３０６内の吸着剤の重量がガス抜きの後、２
１４ｇであり、ボンベ３１０の吸着剤の重量が２２２ｇ
であることがわかった。
【００６９】吸着：両ボンベは図５に示されているよう
に試験マニホールドに接続された。マニホールドのヘリ
ウム漏れ検査の後、６×１０−５ｍｍＨｇに排気した。
ＳＦ６をマスフロー制御器により両ボンベ内に導入し
た。流量は１００乃至２００ｓｃｃｍの範囲内であっ
た。ボンベ圧力を精度が０．１ｍｍＨｇの２つの圧力変
換器で測定した。
【００７０】ボンベ圧力が室温で所望のレベルに達した
時、ＳＦ６流れを止めた。ボンベ圧力を安定させた後、
ボンベに導入されるＳＦ６の量を気体流量と吸着時間と
を用いて測定し、その後吸着剤上のＳＦ６の吸着量が最
終ボンベ圧力で測定された。下記する表１は３つの異な
る圧力での吸着量を要約する。
【００７１】高流動性脱着：ボンベにＳＦ６を所望の圧
力になるまで充填した後、ボンベを開口して真空ポンプ
を３０秒間、６×１０−５ｍｍＨｇのベース圧力にして
入れた。ボンベの圧力が吸入排出してから安定した時、
吸入排出前後の差圧を記録した。差圧に対する脱着され
たＳＦ６の量がその後、吸着試験で生成された吸着デー
タで推断の基礎とし、それぞれのボンベの脱着速度の測
定に用いられた。脱着の結果を下記する表２に要約し
た。両ボンベの脱着試験を同一条件の下で行った。両ボ
ンベをマニホールドの同一位置に接続して、装置からの
脱着速度に対する潜在的干渉を排除した。
【００７２】真空ポンプの入口における圧力レベルも脱
着試験中記録し、下表３に要約する。
【００７３】低流動性脱着：低流動性脱着試験では、ボ
ンベ内のＳＦ６ガスが低流動性マスフロー制御器（１０
ｓｃｃｍ）を通して真空ポンプに脱着された。ボンベ圧
力と気体流量の両方がボンベに対し測定され、図６にグ
ラフで表示した。図６はボンベ圧力（ｍｍＨｇで表示）
と、脱着流量（標準ｃｍ３で表示）を、内部容積内に配
置された長いフリット多孔質チューブを備える気体貯蔵
ならびに計量分配用ボンベ（曲線Ａ）と、内部容積内に
配置された短いフリット多孔質チューブを備える気体貯
蔵ならびに計量分配用ボンベ（曲線Ｂ）の分で示す脱着
時間の関数として示すグラフである。
【００７４】結 果：高流動性脱着試験では、長いフ
リットボンベは、ボンベから脱着された気体の量に基く
ものとして、前記短い方のフリットボンベよりも６０％
に当たる高い脱着速度を示した。さらに長い方のフリッ
トのボンベで気体の脱着中、真空ポンプ入口での高圧は
さらに、長い方のフリットのボンベがより多量のＳＦ６
を脱着したことを示唆した。すべての他の構成材料が同
一であるので、差異はフリットの長さが原因となってい
た。これらのデータは長い方のフリットの気体貯蔵なら
びに計量分配用ボンベが吸着剤媒体の気孔空間における
気体移動速度を短い方のフリット（多孔質チューブ）を
備えるボンベに関して増大させるという結論を裏書きす
る。
【００７５】低流動性脱着試験では、前記２つのボンベ
の間の流量差が最小であることがわかった。低流動範囲
にある気体流量は吸着剤孔から気相になる気体脱着速度
による方が、吸着剤粒子の気孔空間における気体移動に
よるよりも一層限定される。
【００７６】
【表１】 ─────────────────────────────── ボンベの圧力 吸着量（g/100g） （温度21〜22℃におけるmmHgで示す） ─────────────────────────────── ０ ０ ９．３ ５．８ ３０．４ １１．９ １２２ ２４．４ ───────────────────────────────
【００７７】
【表２】 ─────────────────────────────────── 長フリット 短フリット ───────────────────────── 開始 最終 脱着 脱着 最終 脱着 脱着 脱着速度差＊ 圧力 圧力 容積 速度 圧力 容量 速度 (mmHg) (l) （l/分） (mmHg) (ml) (ml/分） ％ ─────────────────────────────────── 111(22℃に 84 1.61 3.21 92 1 2 61 おける） 81(21℃に 64 1.5 3 69 0.995 1.99 51 おける） 71(20℃に 58 1.39 2.78 62 0.89 1.78 56 おける） 平均 56 ─────────────────────────────────── ＊（長フリット流量−短フリット流量）×１００／短フリット流量
【００７８】
【表３】 ──────────────────────────── 脱着中の真空度（ｍｍＨｇ） ──────────────────────────── 開始圧力 長フリット 短フリット ──────────────────────────── １１１（２２℃における） ３．０ ２．９ ８０（２１℃における） ２．９ ２．６ ７１（２０℃における） ２．８ ２．７ ────────────────────────────
【００７９】このようにして、本発明を特定の特性、実
施態様ならびに実施例を参照して本明細書で示し、説明
してきたが、本発明は本明細書中の開示と一致する広範
な種類の他の実施例、特性ならびに実施し易いことと、
また従って本発明が前述の開示の精神と範囲内で広く解
決でき、また説明できることがわかるであろう。
【００８０】
【発明の効果】以上述べた通り本発明によると、先行技
術による物質移動の制限の問題を事前に除去する形態を
改良した流体の貯蔵ならびに計量分配供給装置を提供す
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による多孔質チューブを貯蔵
ならびに計量分配用容器の中心に配置し、また前記容器
の上端にある出口に固定された流量制御計量分配アセン
ブリーに接続することを特徴とする貯蔵ならびに計量分
配用容器とその関連流れ回路構成の概略斜視図である。
【図２】本発明の他の実施例による貯蔵ならびに計量分
配用容器の内部容積に入れる不活性充填材料からなる貯
蔵ならびに計量分配装置の概略斜視図である。
【図３】図２の貯蔵ならびに計量分配用容器内の吸着剤
のベッドの一部分で、不活性材料と吸着剤との間隙混合
物を示す断面図である。
【図４】本発明の更に他の実施例による中心流量強化多
孔質主チューブと連通する多孔質分岐チューブの「スパ
イダー」装置からなる貯蔵ならびに計量分配用容器の概
略斜視図である。
【図５】本発明により構成された気体貯蔵ならびに計量
分配装置の評価の試験装備の概略図である。
【図６】ボンベ圧力（ｍｍＨｇで表示）と脱着流量（標
準ｃｍ３で表示）を、内部容積内に配置された長いフリ
ット多孔質チューブを備える気体貯蔵ならびに計量分配
用ボンベ（曲線Ａ）と、内部容積内に配置された短いフ
リットの多孔質チューブを備える気体貯蔵ならびに計量
分配用ボンベ（曲線Ｂ）の分で示す脱着時間の関数とし
て示すグラフ図である。
【符号の説明】
１０ 貯蔵ならびに計量分配装置 １１ 内部容積 １２ 貯蔵ならびに計量分配用容器 １４ 吸着剤のベッド １６ 適当な吸着剤 １８ 気体制御アセンブリー ２０ 多孔質金属チューブ ２２ 開口部 １０６ 入口 １１０ 貯蔵ならびに計量分配装置 １１１ 内部容積 １１２ 貯蔵ならびに計量分配用容器 １１４ 吸着剤のベッド １１５ 吸着剤材料 １１６ 吸着剤材料 １１８ 制御器アセンブリー １３０ 内部充填材料 １４８ 吸着剤粒子 １５０ ガラスビーズ ２００ 貯蔵ならびに計量分配用容器 ２０２ 容器壁体 ２０４ 内部容積 ２０６ 吸着剤のベッド ２０８ 流体透過性流出物チューブ ２１０ 中心ボア ２１２ 主流れチューブ ２１４ 分岐供給チューブ ２１６ 交互配列分岐供給チューブの配列 ３００ 原料容器 ３０２ 選択開閉弁 ３０４ 供給管路 ３０６ 気体貯蔵／計量分配（搬送）用ボンベ ３０８ 排出弁 ３１０ 気体貯蔵／計量分配（搬送）用ボンベ ３１２ 排出弁 ３１４ マニホールド管路 ３１６ マニホールド管路 ３１８ マスフロー制御器 ３２０ マスフロー制御器 ３２２ 排出管路 ３２４ 原料供給管路 ３２６ 排出気体清浄器装置 ３２８ システムスクラバー

Claims (15)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】・その中に貯蔵されかつ選択的に計量分配
    されるべき気体に対する親和力を有する吸着剤材料のベ
    ッドを入れるための内部容積を形成する容器と、 ・前記気体の前記容器からの排出のための気体流れ連通
    を選択的に確立する手段と、 ・前記容器の内部容積内に配置して、前記容器からの気
    体の排出用の前記気体流れ連通の確立中に吸着剤材料層
    からの気体の流れに対する抵抗を減ずる手段と、からな
    ることを特徴とする気体貯蔵ならびに計量分配装置。
  2. 【請求項２】 前記気体の容器からの排出のための気体
    の流れ連通を選択的に確立する手段が開閉流れ位置の間
    で選択的に作動できる弁からなることを特徴とする請求
    項１記載の装置。
  3. 【請求項３】 前記気体の容器からの排出に必要な気体
    流れの連通を選択的に確立する手段が、前記気体の容器
    からの流れの速度を制御するマスフロー制御器からなる
    ことを特徴とする請求項２記載の装置。
  4. 【請求項４】 前記容器の内部容積内に配置され、吸着
    剤材料のベッドからの気体の流れに対する抵抗を、前記
    容器からの気体の排出に要する前記気体の流れ連通の確
    立中に減少させる前記手段は、容器の内部容積内に充填
    され、気体流れに対し透過性を有する不活性充填材料か
    らなることを特徴とする請求項１記載の装置。
  5. 【請求項５】 前記容器の内部容積内に配置され、吸着
    剤材料のベッドからの気体の流れに対する抵抗を、前記
    容器からの気体の排出に要する前記気体の流れ連通の確
    立中に減少させる前記手段は、前記吸着剤材料のベッド
    に分散させられた不活性材料からなることを特徴とする
    請求項１記載の装置。
  6. 【請求項６】 前記不活性気体がガラスビーズからなる
    ことを特徴とする請求項５記載の装置。
  7. 【請求項７】 前記容器の内部容積内に配置され、吸着
    剤材料のベッドからの気体の流れに対する抵抗を、前記
    容器からの気体の排出に要する前記気体の流れ連通の確
    立中に減少させる前記手段は、容器からの気体が排出に
    要する吸着剤のベッドからの気体を流すに必要な吸着剤
    ベッドに配置された透過性拡散チューブからなることを
    特徴とする請求項１記載の装置。
  8. 【請求項８】 前記容器は前記気体の排出に必要な排出
    口を備えることを特徴とする請求項７記載の装置。
  9. 【請求項９】 前記拡散チューブはその一端で前記排出
    口に接続され、かつ他端で吸着剤材料ベッド内に延長す
    る直線状の多孔質チューブからなることを特徴とする請
    求項８記載の装置。
  10. 【請求項１０】 前記容器は、気体の上端排出用に配置
    された垂直方向に細長い円筒状容器であることを特徴と
    する請求項１記載の装置。
  11. 【請求項１１】 前記容器は、気体の上端排出用に配置
    された垂直方向に細長い円筒状容器であり、また前記多
    孔質チューブは排出口から前記吸着剤材料のベッドの下
    部部分に垂直方向で下方方向に伸びることを特徴とする
    請求項１記載の装置。
  12. 【請求項１２】 前記多孔質チューブは焼結多孔質金属
    構造のものであることを特徴とする請求項１１記載の装
    置。
  13. 【請求項１３】 前記多孔質チューブは前記容器と全長
    に亘ってほぼ同一の広がりを有することを特徴とする請
    求項１２記載の装置。
  14. 【請求項１４】 前記吸着剤のベッドにある活性炭素吸
    着剤材料をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の
    装置。
  15. 【請求項１５】 ・中に貯蔵され、かつ選択的に計量分
    配されるべき気体に対し親和力を有する吸着剤材料のベ
    ッドを入れる内部容積を形成する垂直方向に直立する円
    筒状容器と、 ・前記容器からの気体の上部排出に要する気体の流れ連
    通を選択的に確立し、前記容器の上部に気体排出口と、
    前記気体排出口に連通された気体流量制御器を備える手
    段と、 ・前記気体排出口に連結され、前記容器の内部容積に下
    方方向に延長して、前記吸着剤材料のベッドからの気体
    の流れに対する抵抗を、前記容器からの気体の排出に要
    する前記気体の流れ連通の確立中に減少させる気体流れ
    に透過性のある多孔質チューブと、からなることを特徴
    とする気体貯蔵ならびに計量分配装置。
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MY (1) MY115564A (ja)
SG (1) SG79223A1 (ja)
TW (1) TW386890B (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007187312A (ja) * 2005-12-19 2007-07-26 Bluecher Gmbh ガス吸着蓄積装置
JP2008304056A (ja) * 2007-05-03 2008-12-18 Air Products & Chemicals Inc ガスの貯蔵と送給を行うための装置及び方法
JP2012052669A (ja) * 2005-03-16 2012-03-15 Advanced Technology Materials Inc 固体原料から試薬を送出するためのシステム
US9991095B2 (en) 2008-02-11 2018-06-05 Entegris, Inc. Ion source cleaning in semiconductor processing systems

Families Citing this family (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1109350C (zh) * 1999-01-22 2003-05-21 大庆石油管理局第四采油厂 放射性同位素运送分装操作系统
GB9902925D0 (en) * 1999-02-09 1999-03-31 Boc Group Plc Improved metal foam containers
GB9917616D0 (en) * 1999-07-27 1999-09-29 Boc Group Plc Improved metal foam container
DE19948532A1 (de) * 1999-10-08 2001-04-12 Messer Austria Gmbh Gumpoldski Verfahren und Behälter zum Aufbewahren von Gasen
US6360546B1 (en) * 2000-08-10 2002-03-26 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing system featuring externally adjustable regulator assembly for high flow dispensing
US6879876B2 (en) 2001-06-13 2005-04-12 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid handling system with electronic information storage
US6932945B2 (en) * 2001-06-19 2005-08-23 Air Products And Chemicals, Inc. Adsorbent based gas delivery system with integrated purifier
US6764755B2 (en) 2001-12-17 2004-07-20 Advanced Technology Materials, Inc. Channelized sorbent media, and methods of making same
US6991671B2 (en) * 2002-12-09 2006-01-31 Advanced Technology Materials, Inc. Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel
US6743278B1 (en) * 2002-12-10 2004-06-01 Advanced Technology Materials, Inc. Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent
US8002880B2 (en) 2002-12-10 2011-08-23 Advanced Technology Materials, Inc. Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent
US6911065B2 (en) * 2002-12-26 2005-06-28 Matheson Tri-Gas, Inc. Method and system for supplying high purity fluid
DE10306344B8 (de) * 2003-02-15 2013-11-21 Pharmpur Gmbh Gasspeicher zur Speicherung einer vorgegebenen Gasmenge und Freigabe des Gases für eine medizinische Applikation
JP2006107972A (ja) * 2004-10-07 2006-04-20 Toyota Motor Corp ガス供給装置および方法
US7819981B2 (en) * 2004-10-26 2010-10-26 Advanced Technology Materials, Inc. Methods for cleaning ion implanter components
KR20120101737A (ko) * 2005-05-03 2012-09-14 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 유체 저장 및 분배 시스템, 및 이를 포함하는 유체 공급 방법
CN103170447B (zh) 2005-08-30 2015-02-18 先进科技材料公司 使用替代的氟化含硼前驱体的硼离子注入和用于注入的大氢化硼的形成
EP2792406A1 (en) * 2006-01-30 2014-10-22 Advanced Technology Materials, Inc. A fluid storage and dispensing apparatus
SG171606A1 (en) * 2006-04-26 2011-06-29 Advanced Tech Materials Cleaning of semiconductor processing systems
JP5319525B2 (ja) 2006-07-10 2013-10-16 アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド 情報記憶素子を有する材料貯蔵槽を管理するためのシステムおよび方法
US8539781B2 (en) * 2007-06-22 2013-09-24 Advanced Technology Materials, Inc. Component for solar adsorption refrigeration system and method of making such component
US20100293997A1 (en) * 2007-12-04 2010-11-25 Francois Chantant Method and apparatus for cooling and/or liquefying a hydrocarbon stream
US8598022B2 (en) 2009-10-27 2013-12-03 Advanced Technology Materials, Inc. Isotopically-enriched boron-containing compounds, and methods of making and using same
US8679231B2 (en) 2011-01-19 2014-03-25 Advanced Technology Materials, Inc. PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same
RU2516082C2 (ru) * 2011-11-30 2014-05-20 Федеральное государственное военное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Военный авиационный инженерный университет" (г.Воронеж) Министерства обороны Российской Федерации Баллон для растворенного ацетилена
CN104254487A (zh) * 2011-12-05 2014-12-31 蓝波股份有限公司 用于控制气体从裂口增压容纳系统逃逸的速率的方法
WO2013181295A1 (en) 2012-05-29 2013-12-05 Advanced Technology Materials, Inc. Carbon adsorbent for hydrogen sulfide removal from gases containing same, and regeneration of adsorbent
CN104736223A (zh) * 2012-10-09 2015-06-24 巴斯夫欧洲公司 用于储存气体物质的吸着储存器
US9273829B2 (en) 2012-10-09 2016-03-01 Basf Se Sorption store for storing gaseous substances
EP3033567A2 (en) * 2013-08-15 2016-06-22 Basf Se Sorption store with improved heat transfer
WO2015056092A1 (en) * 2013-10-16 2015-04-23 Pangaea Energy Limited Polymer composite pressure vessels using absorbent technology
JP6293643B2 (ja) 2014-11-05 2018-03-14 株式会社東芝 ノズル装置及び処理装置
US9822999B2 (en) 2015-02-12 2017-11-21 Rocky Research Systems, devices and methods for gas distribution in a sorber
EA036536B1 (ru) * 2015-03-13 2020-11-20 Сенерджи Солюшнс Инк. Увеличенная вместимость резервуаров высокого давления для хранения газа
DE102015213061A1 (de) * 2015-07-13 2017-01-19 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Speicherelement für Gase
CN105564775B (zh) * 2016-02-25 2018-03-23 无锡兴安邦石油化工设备有限公司 一种防爆油桶
TW201924766A (zh) * 2017-10-05 2019-07-01 美商紐麥特科技公司 電子氣體之原位純化
KR200495877Y1 (ko) * 2020-11-09 2022-09-08 주식회사 토단 마트료시카 인형 접기용 종이
CN113639195B (zh) * 2021-08-16 2023-05-12 江苏集萃安泰创明先进能源材料研究院有限公司 一种储氢瓶

Family Cites Families (82)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US240423A (en) * 1881-04-19 Alexander james
US1608155A (en) * 1920-08-02 1926-11-23 American Solvent Recovery Corp Means for transporting and storing gases
US1714245A (en) * 1927-12-23 1929-05-21 American Signs Corp Gas-purifying trap and method of restoring same
US2225990A (en) * 1937-12-22 1940-12-24 Guy J Henry Dehydrator
US2283043A (en) * 1940-08-07 1942-05-12 Sanozone Corp Air drier
US2356334A (en) * 1941-12-18 1944-08-22 Hooker Electrochemical Co Means for storing and concentrating anhydrous hydrogen chloride
US2450289A (en) * 1944-04-15 1948-09-28 Little Inc A Gas treating apparatus
US2663626A (en) * 1949-05-14 1953-12-22 Pritchard & Co J F Method of storing gases
US2626675A (en) * 1949-12-02 1953-01-27 Nat Tank Co Sorbing tower
US2698061A (en) * 1950-03-28 1954-12-28 Jaubert George Francois Filtering and adsorbing apparatus
BE561654A (ja) * 1953-09-25 1900-01-01
US3287432A (en) * 1957-04-11 1966-11-22 Texaco Inc Selective sorption process
US3093564A (en) * 1957-10-21 1963-06-11 Westinghouse Electric Corp Gas handling systems for radioactive gases
US3080307A (en) * 1957-10-21 1963-03-05 Westinghouse Electric Corp Radioactive fluid handling system
NL241272A (ja) * 1958-07-14
US2997371A (en) * 1958-12-01 1961-08-22 Standard Oil Co Recovering of bf3 from admixture with hydrocarbons
US3116132A (en) * 1960-01-22 1963-12-31 Olin Mathieson Process for the adsorption and desorption of diborane
US3006153A (en) * 1960-08-29 1961-10-31 Union Carbide Corp Method and apparatus for storing and transporting ozone
NL297067A (ja) * 1962-09-04 1900-01-01
US3252270A (en) * 1962-10-01 1966-05-24 Pall Corp Apparatus and method for removal of oil entrained in air
US3144200A (en) * 1962-10-17 1964-08-11 Clyde E Taylor Process and device for cryogenic adsorption pumping
US3264803A (en) * 1963-01-21 1966-08-09 Gen Electric Sorption vacuum pump
US3415069A (en) * 1966-10-31 1968-12-10 Nasa High pressure helium purifier
BE719504A (ja) * 1967-08-17 1969-01-16
US3469375A (en) * 1967-10-16 1969-09-30 Nasa Sorption vacuum trap
US3490205A (en) * 1967-11-30 1970-01-20 Nasa High pressure gas filter system
US3675392A (en) * 1970-01-30 1972-07-11 Ite Imperial Corp Adsorption-desorption method for purifying sf{11
GB1385922A (en) * 1971-03-31 1975-03-05 Yatsurugi Y Kuratomi T Preparation and use of 4-5a zeolite
US3713273A (en) * 1971-05-03 1973-01-30 R Coffee Method and apparatus for storing gases and fueling internal combustion engines
US3925248A (en) * 1971-05-11 1975-12-09 Collo Rheincollodium Koln Gmbh Filter medium for gases
US3719026A (en) * 1971-06-01 1973-03-06 Zeochem Corp Selective sorption of non-polar molecules
US3776283A (en) * 1972-06-15 1973-12-04 Gulf Research Development Co Vapor recovery system
US3788036A (en) * 1972-07-26 1974-01-29 D Stahl Pressure equalization and purging system for heatless adsorption systems
NL7301204A (ja) * 1973-01-29 1974-07-31
US4023701A (en) * 1974-03-04 1977-05-17 Dockery Denzel J Breathing apparatus for underwater use
JPS5272373A (en) * 1975-12-15 1977-06-16 Chiyoda R & D Adsorption and separation apparatus
DE2558690A1 (de) * 1975-12-24 1977-07-14 Ind Gmbh & Co Kg Druckgasbehaelter fuer geloestes explosives gas, vorzugsweise acetylen
GB1594454A (en) * 1976-12-23 1981-07-30 Boc Ltd Gas separation
US4343770A (en) * 1977-12-19 1982-08-10 Billings Energy Corporation Self-regenerating system of removing oxygen and water impurities from hydrogen gas
US4263018A (en) * 1978-02-01 1981-04-21 Greene & Kellogg Pressure swing adsorption process and system for gas separation
DE2855476A1 (de) * 1978-12-22 1980-07-03 Daimler Benz Ag Metallhydridspeicher und verfahren zu seiner herstellung
NL8005645A (nl) * 1980-10-13 1982-05-03 Euratom Werkwijze voor het omkeerbaar opsluiten van gassen of dampen in een natuurlijk of synthetisch zeoliet.
DE3139781A1 (de) * 1981-10-07 1983-04-21 Nyby Uddeholm AB, 64480 Torshälla Verfahren und vorrichtung zur reinigung eines dampffoermige schadstoffe enthaltenden gases
DE3216917A1 (de) * 1982-05-06 1983-11-24 Thyssen Industrie Ag, 4300 Essen Wasserstoff-hydridspeicher
US4477265A (en) * 1982-08-05 1984-10-16 Air Products And Chemicals, Inc. Argon purification
JPS59183196A (ja) * 1983-04-01 1984-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 金属水素化物用容器
JPS6071040A (ja) * 1983-09-27 1985-04-22 Takeda Chem Ind Ltd 有害ガス吸着剤
SU1181692A1 (ru) * 1983-11-14 1985-09-30 Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени химико-технологический институт им.Д.И.Менделеева Способ очистки газов от примесей фосфина и арсина
US4552571A (en) * 1984-04-05 1985-11-12 Vbm Corporation Oxygen generator with two compressor stages
JPS61133116A (ja) * 1984-11-30 1986-06-20 Nippon Paionikusu Kk ガス精製装置
GB8513866D0 (en) * 1985-06-01 1985-07-03 Protector Safety Ltd Filter cartridge
FR2580376B1 (fr) * 1985-04-12 1988-03-11 Applic Gaz Sa Recipient pour gaz liquide, incorpore ou non dans un appareil d'utilisation
FR2580947B1 (fr) * 1985-04-25 1989-09-01 Air Liquide Procede et installation d'epuration par adsorption sur charbon actif, et pot adsorbeur correspondant
US4673415A (en) * 1986-05-22 1987-06-16 Vbm Corporation Oxygen production system with two stage oxygen pressurization
US4869733A (en) * 1986-05-22 1989-09-26 Vbm Corporation Super-enriched oxygen generator
US4713100A (en) * 1986-06-30 1987-12-15 Seitetsu Kagaku Co., Ltd. Adsorption apparatus
US4729474A (en) * 1986-07-25 1988-03-08 Flambeau Corporation Satchel-style tackle box
JPH06104177B2 (ja) * 1986-10-02 1994-12-21 大阪瓦斯株式会社 高純度ガス貯蔵用圧力容器
US5151395A (en) * 1987-03-24 1992-09-29 Novapure Corporation Bulk gas sorption and apparatus, gas containment/treatment system comprising same, and sorbent composition therefor
US4761395A (en) * 1987-03-24 1988-08-02 Advanced Technology Materials, Inc. Process and composition for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom
US4749384A (en) * 1987-04-24 1988-06-07 Union Carbide Corporation Method and apparatus for quick filling gas cylinders
US4738693A (en) * 1987-04-27 1988-04-19 Advanced Technology Materials, Inc. Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification
US4723967A (en) * 1987-04-27 1988-02-09 Advanced Technology Materials, Inc. Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification
US4744221A (en) * 1987-06-29 1988-05-17 Olin Corporation Zeolite based arsine storage and delivery system
DE3729517A1 (de) * 1987-09-03 1989-03-16 Siemens Ag Adsorptionseinrichtung zur gastrennung
DE3842930A1 (de) * 1988-12-21 1990-06-28 Bayer Ag Verfahren zur adsorptiven sauerstoffanreicherung von luft mit mischungen aus ca-zeolith a molekularsieben mittels vakuum-swing-adsorption
DE3843313A1 (de) * 1988-12-22 1990-06-28 Wacker Chemitronic Verfahren zur entfernung von gasfoermigen kontaminierenden, insbesondere dotierstoffverbindungen aus halogensilanverbindungen enthaltenden traegergasen
FR2652346B1 (fr) * 1989-09-22 1991-11-29 Air Liquide Procede de preparation de disilane.
JPH03127606A (ja) * 1989-10-09 1991-05-30 Hitachi Ltd 充填塔構造
DE3943249C2 (de) * 1989-12-29 1993-11-18 Seitz Filter Werke Geschlossenes Filterelement
US5202096A (en) * 1990-01-19 1993-04-13 The Boc Group, Inc. Apparatus for low temperature purification of gases
FR2659030B1 (fr) * 1990-03-02 1993-01-08 Air Liquide Enceinte et installation d'absorption pour separation des melanges gazeux.
US5002596A (en) * 1990-05-21 1991-03-26 Chrysler Corporation Fuel vapor canister
US5135551A (en) * 1990-08-10 1992-08-04 Fielding James L Muffler with replaceable filters
US5238469A (en) * 1992-04-02 1993-08-24 Saes Pure Gas, Inc. Method and apparatus for removing residual hydrogen from a purified gas
US5224350A (en) * 1992-05-11 1993-07-06 Advanced Extraction Technologies, Inc. Process for recovering helium from a gas stream
GB9220975D0 (en) * 1992-10-06 1992-11-18 Air Prod & Chem Apparatus for supplying high purity gas
US5385689A (en) * 1993-06-29 1995-01-31 Novapure Corporation Process and composition for purifying semiconductor process gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom
DE4439782B4 (de) * 1993-11-05 2005-07-28 Sanyo Electric Co., Ltd., Moriguchi Behälter, der mit einer Anzahl von Pulvern von wasserstoffabsorbierenden Legierungen gepackt ist, und Formkörper
US5417742A (en) * 1993-12-03 1995-05-23 The Boc Group, Inc. Removal of perfluorocarbons from gas streams
US5518528A (en) * 1994-10-13 1996-05-21 Advanced Technology Materials, Inc. Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds
US5681370A (en) * 1995-11-17 1997-10-28 Mcmahon; James P. Air dryer system

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012052669A (ja) * 2005-03-16 2012-03-15 Advanced Technology Materials Inc 固体原料から試薬を送出するためのシステム
JP2007187312A (ja) * 2005-12-19 2007-07-26 Bluecher Gmbh ガス吸着蓄積装置
JP4609424B2 (ja) * 2005-12-19 2011-01-12 ブリュッヒャー ゲーエムベーハー ガス吸着蓄積装置
JP2008304056A (ja) * 2007-05-03 2008-12-18 Air Products & Chemicals Inc ガスの貯蔵と送給を行うための装置及び方法
US9991095B2 (en) 2008-02-11 2018-06-05 Entegris, Inc. Ion source cleaning in semiconductor processing systems

Also Published As

Publication number Publication date
DE69700437D1 (de) 1999-09-23
JP3205533B2 (ja) 2001-09-04
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