JP6293643B2 - ノズル装置及び処理装置 - Google Patents
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Description
以下に、出願当初の特許請求の範囲の内容を付記する。
[1]
第1の開口部と、
複数の第2の開口部と、
第1の方向に向かって延びる第1の部分と、前記第1の部分の一方の端部に接続され、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第2の部分と、を有する少なくとも一つの第1の分岐部を有し、前記第1の開口部と前記複数の第2の開口部とを接続し、前記第1の分岐部によって前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第1の開口部とそれぞれの前記第2の開口部との間における経路長及び前記第1の分岐部の数が同一である、第1の管路部と、
を具備し、
前記第1の部分の前記一方の端部の断面積が、前記第1の部分の他方の端部の断面積よりも狭い、
ノズル装置。
[2]
前記第1の分岐部の前記第1の部分の前記他方の端部は、他の前記第1の分岐部の前記第2の部分に接続され、
前記第1の部分の前記一方及び前記他方の端部の幅は、前記第1の部分が延びる方向からの平面視において、前記第1の部分と直交する他の前記第1の分岐部の前記第2の部分が延びる方向の長さであり、前記第1の部分の前記一方の端部の幅は、前記第1の部分の前記他方の端部の幅よりも短い、
[1]のノズル装置。
[3]
前記第1の部分の前記一方の端部の幅は、前記第1の部分の前記他方の端部の幅の8割以下である、[2]のノズル装置。
[4]
第1の開口部と、
複数の第2の開口部と、
第1の方向に向かって延びる第1の部分と、前記第1の部分の一方の端部に接続され、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第2の部分と、を有する少なくとも一つの第1の分岐部を有し、前記第1の開口部と前記複数の第2の開口部とを接続し、前記第1の分岐部によって前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第1の開口部とそれぞれの前記第2の開口部との間における経路長及び前記第1の分岐部の数が同一である、第1の管路部と、
を具備し、
前記第1の部分の幅は、前記第1の部分が延びる方向からの平面視において、前記第1の部分と直交する他の前記第1の分岐部の前記第2の部分が延びる方向の長さであり、前記第1の部分の前記一方の端部から他方の端部までの長さが、前記第1の部分の幅の5倍以上である、
ノズル装置。
[5]
第1の開口部と、
複数の第2の開口部と、
第1の方向に向かって延びる第1の部分と、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第2の部分と、前記第1の部分の一方の端部と前記複数の第2の部分とを接続する接合部と、前記第1の部分の前記一方の端部に面する位置で前記接合部に設けられ、前記一方の端部に対して突出し又は窪んだ振り分け部と、を有する少なくとも一つの第1の分岐部を有し、前記第1の開口部と前記複数の第2の開口部とを接続し、前記第1の分岐部によって前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第1の開口部とそれぞれの前記第2の開口部との間における経路長及び前記第1の分岐部の数が同一である、第1の管路部と、
を具備するノズル装置。
[6]
前記第1の部分の断面形状は、前記第1の部分が延びる方向からの平面視における前記第1の部分と直交する他の前記第1の分岐部の前記第2の部分が延びる方向の長さが、前記第1の方向と直交するとともに前記第2の部分が延びる方向とも直交する第2の方向における長さよりも短い、[1]乃至[5]のいずれか一つのノズル装置。
[7]
第3の開口部と、
複数の第4の開口部と、
前記第1の方向に向かって延びる第3の部分と、前記第3の部分の一方の端部に接続され、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第4の部分と、を有する少なくとも一つの第2の分岐部を有し、前記第3の開口部と前記複数の第4の開口部とを接続し、前記第2の分岐部によって前記第3の開口部から前記第4の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第3の開口部とそれぞれの前記第4の開口部との間における経路長及び前記第2の分岐部の数が同一である、第2の管路部と、
をさらに具備し、
前記第1の管路部は、前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において最も前記第2の開口部に近い前記第1の分岐部の前記第2の部分と、対応する前記第2の開口部とを接続する第1のノズル部をさらに有し、
前記第2の管路部は、前記第3の開口部から前記第4の開口部に向かう経路において最も前記第4の開口部に近い前記第2の分岐部の前記第4の部分と、対応する前記第4の開口部とを接続し、前記第1のノズル部と交差して接続される第2のノズル部をさらに有し、
前記第1のノズル部は、前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において、前記第2のノズル部に接続された部分よりも前記第1の開口部に近い位置に設けられ、前記第1のノズル部の断面積を縮小する第1の縮径部を有し、
前記第2のノズル部は、前記第3の開口部から前記第4の開口部に向かう経路において、前記第1のノズル部に接続された部分よりも前記第3の開口部に近い位置に設けられ、前記第2のノズル部の断面積を縮小する第2の縮径部を有する、
[1]乃至[6]のいずれか一つのノズル装置。
[8]
前記第2の部分は、前記第1の方向と90度よりも小さい角度で交差する方向に延びる、[1]乃至[7]のいずれか一つのノズル装置。
[9]
[1]乃至[8]のいずれか一つのノズル装置と、
流体を収容する収容部と、
前記第1の開口部に前記収容部の前記流体を供給する供給部と、
を具備する処理装置。
Claims (6)
- 第1の開口部と、
複数の第2の開口部と、
第1の方向に向かって延びる第1の部分と、前記第1の部分の一方の端部に接続され、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第2の部分と、を有する少なくとも一つの第1の分岐部を有し、前記第1の開口部と前記複数の第2の開口部とを接続し、前記第1の分岐部によって前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第1の開口部とそれぞれの前記第2の開口部との間における経路長及び前記第1の分岐部の数が同一である、第1の管路部と、
を具備し、
前記第1の部分の前記一方の端部の断面積が、前記第1の部分の他方の端部の断面積よりも狭く、
前記第1の部分の断面形状は、前記第1の部分が延びる方向からの平面視における前記第1の部分と直交する他の前記第1の分岐部の前記第2の部分が延びる方向の長さが、前記第1の方向と直交するとともに前記第2の部分が延びる方向とも直交する第2の方向における長さよりも短い、
ノズル装置。 - 第1の開口部と、
複数の第2の開口部と、
第1の方向に向かって延びる第1の部分と、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第2の部分と、前記第1の部分の一方の端部と前記複数の第2の部分とを接続する接合部と、前記第1の部分の前記一方の端部に面する位置で前記接合部に設けられ、前記一方の端部に対して窪んだ振り分け部と、を有する少なくとも一つの第1の分岐部を有し、前記第1の開口部と前記複数の第2の開口部とを接続し、前記第1の分岐部によって前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第1の開口部とそれぞれの前記第2の開口部との間における経路長及び前記第1の分岐部の数が同一である、第1の管路部と、
を具備するノズル装置。 - 第1の開口部と、
複数の第2の開口部と、
第1の方向に向かって延びる第1の部分と、前記第1の部分の一方の端部に接続され、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第2の部分と、を有する少なくとも一つの第1の分岐部を有し、前記第1の開口部と前記複数の第2の開口部とを接続し、前記第1の分岐部によって前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第1の開口部とそれぞれの前記第2の開口部との間における経路長及び前記第1の分岐部の数が同一である、第1の管路部と、
第3の開口部と、
複数の第4の開口部と、
前記第1の方向に向かって延びる第3の部分と、前記第3の部分の一方の端部に接続され、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第4の部分と、を有する少なくとも一つの第2の分岐部を有し、前記第3の開口部と前記複数の第4の開口部とを接続し、前記第2の分岐部によって前記第3の開口部から前記第4の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第3の開口部とそれぞれの前記第4の開口部との間における経路長及び前記第2の分岐部の数が同一である、第2の管路部と、
を具備し、
前記第1の部分の前記一方の端部の断面積が、前記第1の部分の他方の端部の断面積よりも狭く、
前記第1の管路部は、前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において最も前記第2の開口部に近い前記第1の分岐部の前記第2の部分と、対応する前記第2の開口部とを接続する第1のノズル部をさらに有し、
前記第2の管路部は、前記第3の開口部から前記第4の開口部に向かう経路において最も前記第4の開口部に近い前記第2の分岐部の前記第4の部分と、対応する前記第4の開口部とを接続し、前記第1のノズル部と交差して接続される第2のノズル部をさらに有し、
前記第1のノズル部は、前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において、前記第2のノズル部に接続された部分よりも前記第1の開口部に近い位置に設けられ、前記第1のノズル部の断面積を縮小する第1の縮径部を有し、
前記第2のノズル部は、前記第3の開口部から前記第4の開口部に向かう経路において、前記第1のノズル部に接続された部分よりも前記第3の開口部に近い位置に設けられ、前記第2のノズル部の断面積を縮小する第2の縮径部を有する、
ノズル装置。 - 第1の開口部と、
複数の第2の開口部と、
第1の方向に向かって延びる第1の部分と、前記第1の部分の一方の端部に接続され、前記第1の方向と交差する方向にそれぞれ延びる複数の第2の部分と、を有する少なくとも一つの第1の分岐部を有し、前記第1の開口部と前記複数の第2の開口部とを接続し、前記第1の分岐部によって前記第1の開口部から前記第2の開口部に向かう経路において少なくとも一回分岐され、前記第1の開口部とそれぞれの前記第2の開口部との間における経路長及び前記第1の分岐部の数が同一である、第1の管路部と、
を具備し、
前記第1の部分の前記一方の端部の断面積が、前記第1の部分の他方の端部の断面積よりも狭く、
前記第2の部分は、前記第1の方向と90度よりも小さい角度で交差する方向に延びる、
ノズル装置。 - 前記少なくとも一つの分岐部は、第1の分岐部と、第2の分岐部と、を含み、
前記第2の分岐部の前記第1の部分は、前記第1の分岐部の前記第2の部分に接続され、前記第1の分岐部の前記第1の部分が伸びる方向の反対方向に延びる、
請求項1乃至請求項4のいずれか一つのノズル装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一つのノズル装置と、
流体を収容する収容部と、
前記第1の開口部に前記収容部の前記流体を供給する供給部と、
を具備する処理装置。
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