JP2011099562A - 吸着剤前処理を利用した吸着型気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法 - Google Patents
吸着剤前処理を利用した吸着型気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011099562A JP2011099562A JP2010280915A JP2010280915A JP2011099562A JP 2011099562 A JP2011099562 A JP 2011099562A JP 2010280915 A JP2010280915 A JP 2010280915A JP 2010280915 A JP2010280915 A JP 2010280915A JP 2011099562 A JP2011099562 A JP 2011099562A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adsorbent
- physical
- gas
- dispensing
- physical adsorbent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
- B01D53/0407—Constructional details of adsorbing systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
- B01J20/10—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising silica or silicate
- B01J20/16—Alumino-silicates
- B01J20/18—Synthetic zeolitic molecular sieves
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/02—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material
- B01J20/20—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof comprising inorganic material comprising free carbon; comprising carbon obtained by carbonising processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
- B01J20/28002—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
- B01J20/28004—Sorbent size or size distribution, e.g. particle size
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J20/00—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof
- B01J20/28—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties
- B01J20/28014—Solid sorbent compositions or filter aid compositions; Sorbents for chromatography; Processes for preparing, regenerating or reactivating thereof characterised by their form or physical properties characterised by their form
- B01J20/28016—Particle form
- B01J20/28019—Spherical, ellipsoidal or cylindrical
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C11/00—Use of gas-solvents or gas-sorbents in vessels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/102—Carbon
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/104—Alumina
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/106—Silica or silicates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/20—Organic adsorbents
- B01D2253/202—Polymeric adsorbents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/30—Physical properties of adsorbents
- B01D2253/302—Dimensions
- B01D2253/308—Pore size
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/50—Carbon oxides
- B01D2257/502—Carbon monoxide
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/50—Carbon oxides
- B01D2257/504—Carbon dioxide
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2259/00—Type of treatment
- B01D2259/45—Gas separation or purification devices adapted for specific applications
- B01D2259/4525—Gas separation or purification devices adapted for specific applications for storage and dispensing systems
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2220/00—Aspects relating to sorbent materials
- B01J2220/50—Aspects relating to the use of sorbent or filter aid materials
- B01J2220/66—Other type of housings or containers not covered by B01J2220/58 - B01J2220/64
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0302—Fittings, valves, filters, or components in connection with the gas storage device
- F17C2205/0338—Pressure regulators
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17C—VESSELS FOR CONTAINING OR STORING COMPRESSED, LIQUEFIED OR SOLIDIFIED GASES; FIXED-CAPACITY GAS-HOLDERS; FILLING VESSELS WITH, OR DISCHARGING FROM VESSELS, COMPRESSED, LIQUEFIED, OR SOLIDIFIED GASES
- F17C2205/00—Vessel construction, in particular mounting arrangements, attachments or identifications means
- F17C2205/03—Fluid connections, filters, valves, closure means or other attachments
- F17C2205/0388—Arrangement of valves, regulators, filters
- F17C2205/0391—Arrangement of valves, regulators, filters inside the pressure vessel
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/40—Capture or disposal of greenhouse gases of CO2
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/30—Hydrogen technology
- Y02E60/32—Hydrogen storage
Abstract
【解決手段】気体貯蔵及び計量分配システム10は、(i)計量分配容器内に保持され、続いて選択的に容器12から放出される可吸着計量分配用気体に、及び(ii)異質可吸着体に対する吸着親和性を有する物理的吸着剤16を保持するための計量分配容器12を有し、異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤は、そこから異質可吸着体の少なくとも一部を脱着させるように処理される。処理済み吸着剤16は容器12内に充填され、計量分配用気体の容器12からの脱着及び放出による選択的計量分配が可能な高純度形態で、容器12が計量分配気体を含有するに、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している容器12が密封させるために、可吸着計量分配気体が容器12に導入される。
【選択図】図1
Description
いて流体成分を脱着的に遊離させることにより、流体を容器又は貯蔵容器から選
択的に計量分配する貯蔵と計量分配システムの製造に関するものである。
望がある。
・ディスプレイ製造、医療介入及び治療、水処理、救急呼吸装置、溶接作業、液
体及び気体の宇宙配送などがある。
特許第5,518,528号は、気体を貯蔵及び計量分配するための気体貯蔵及び
計量分配システムを開示する。前記トム他の特許に記載されている気体貯蔵及び
計量分配システムは、水素化物気体、ハロゲン化物気体、族V有機金属化合物等
の気体貯蔵及び計量分配用の吸着・脱着装置を備え、固相物理的吸着媒体を保持
し、また気体を容器に選択的に流出入させるため構成・配置した貯蔵と計量分配
用容器と、前記貯蔵と計量分配用容器に内部気体圧力で配置した固相物理的吸着
媒体と、前記固相物理的吸着媒体に物理的に吸着された吸着済み気体と、前記貯
蔵と計量分配用容器に気体流れと連通して連結された計量分配アセンブリーを含
む。
部位との間に圧力差を付与、例えば、貯蔵と計量分配容器を真空状態にしたり計
量分配用気体を利用したい所望の部位に気体を噴出することによって達成される
。このような計量分配形態の結果、貯蔵と計量分配容器の内部気体圧力は大気圧
又はそれ以下の圧力に設定可能である。
圧ガス・シリンダと比べ、本技術分野において実質的な技術の進歩を具現化する
ものである。従来の高圧ガス・シリンダは、調節アセンブリーの破損や故障など
による漏れ及び気体の内部分解に伴うシリンダ内の急激な内部気体圧力の上昇に
よる破裂の危険性を有しており、シリンダの破裂又はシリンダから望まれない大
量の気体の放出が起こることが考えられる。
体、例えばゼオライトや活性炭物資に貯蔵されている吸着済み気体を可逆的吸着
させることにより、その内部圧力を軽減している。
いては、例えば、マイクロ電子デバイス構造の製造などを含む多数の最終用途に
おいて、貯蔵されている気体の計量分配を高純度で行うことが好ましい。
ムは、吸着剤に吸着的に保持されている余剰の、つまり「天然」の汚染物質によ
って妨害される。これは材料の吸着特性に起因するもので、ある程度までは市販
されているすべての吸着剤が有する特性であり、特定の吸着組成物、その製造方
法、貯蔵の過程、運送及び環境上の露出などにより異質の吸着可能種の範囲又は
濃度が変化する。
気の水分及び外気、又は製造者から本来提供された吸着剤が入っている容器内の
ガス種に晒されることにより、それらの異質吸着体が吸着剤に吸着して、吸着剤
を汚染する。
器に充填され、計量分配用気体(例えば、容器に貯蔵されその後選択的に容器か
ら計量分配される気体)が吸着と充填のために吸着剤に導入されると、異質可吸
着体の存在により吸着剤の吸着容量が悪影響を受ける場合がある。さらに、後の
計量分配工程において当該異質可吸着体が脱着することで、異質可吸着体の存在
により計量分配される気体の純度が低減する結果となる。
持している容器がアルシンなどの水素化物気体で充填された場合(例えば、ヒ素
ドープされた半導体基盤を生成するためのイオン注入工程における後の計量分配
)、当初提供された活性炭の吸着剤/一酸化炭素のレベルが20-50ppmv、そし
てそれに相当する二酸化炭素のレベルが100ppmvを越えることに誘導されて、
計量分配されたアルシン気体は比較的高いレベルの一酸化炭素及び二酸化炭素の
不純物を含む場合がある。
ルの不純物を含む気体のオンデマンド型計量分配を可能にするシステムを提供す
ることができれば、気体貯蔵及び計量分配システムの分野において実質的な技術
の進歩が具現化される。
す問題を解決し、高純度気体の選択的計量分配を可能にする、前記トム他の特許
第5,518,528に記載されている一般的な気体貯蔵及び計量分配システムを提供す
ることである。
分に明白になるであろう。
吸着計量分配用気体に、及び(ii)着体に対する吸着親和性を有する物理的吸着
剤を保持するための計量分配容器を有する、気体貯蔵及び計量分配システムの製
造方法に関する。
前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着
体が吸着している物理的吸着剤を処理する工程と、
物理的吸着剤を前記容器に充填する工程と、
計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために物理的吸着剤を保
持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、
計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱着により計量分配用気体が選択的に計
量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を
含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量
分配容器を密封する工程と、を具備することを特徴とする気体貯蔵及び計量分配
システムの製造方法である。
から脱着させる物理的吸着剤を処理する工程は、
(a) 異質可吸着体を熱的に脱着させるように物理的吸着剤を加熱する工程
、
(b) 異質可吸着体を物理的吸着剤から流れている非吸着気体に脱着させる
ように非可吸着気体を物理的吸着剤と接触させて流し込む工程、及び
(c) 異質可吸着体を物理的吸着剤から真空脱離させるように物理的吸着剤
を真空状態にする工程の少なくとも一つの工程を具備することを特徴とする。
脱着させる物理的吸着剤を処理する工程は、上記(a) −(c)のうち二つの工程を
具備することを特徴とする。
途に必要又は望ましい組合せ、あるいは順列で実施されてもよい。
一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程の開始から、(
2)計量分配用気体が選択的に計量分配可能な状態で前記計量分配容器が計量分
配用気体を含有するように、計量分配容器を密封する工程の終了までの期間中、
物理的吸着剤が大気ガス、最も好ましくは酸素及び水蒸気との接触から隔離され
ていることを特徴とする。
しくは、異質可吸着体を物理的吸着剤から除去する処理は、計量分配用気体が選
択的に計量分配可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を含有するよう
に、計量分配容器が密封されるまで、前記吸着剤を650℃以上に加熱する工程
中及びその後も、吸着剤が酸素と水蒸気との接触から隔離されていることを特徴
とする。
から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を前記容器
に充填する工程の前及び/又は後に行われてもよく、例えば、流れている不活性
気体のガス流で物理的吸着剤を加熱する予備充填工程、及び真空状態で容器内の
物理的吸着剤を加熱する事後充填工程を具備することを特徴とする。
しては適当な種類でよく、例えば、アルミナ、シリカ、結晶性アルミノ珪酸塩、
マクロ網状ポリマー、珪藻土、炭素などが使用される。本発明の一般的な実施に
おいては、ビード活性炭吸着剤の使用が特に好ましい。
露出などにより、異質可吸着体は幅広い種類のものが考えられる。吸着剤上の好
ましくない吸着済み成分の気体種の具体例としては、水蒸気、酸素、水素、酸化
炭素、窒素、炭化水素、ハロゲン、及びこれらの組合せ、並びにこれら種を一つ
以上含有する組成物を含むが、これに限定されない。
なわち一酸化炭素と二酸化炭素を含む。
着体が一酸化炭素と二酸化炭素を含み、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%
のアルシン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填さ
れた場合に、20ppmv以下、好ましくは10ppmv以下、さらに好ましくは1ppmv
以下の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさ、及び/又は物理的吸着剤の重量
に基づく50重量%のアルシン気体で、圧力700トル及び22°Cの条件下で
物理的吸着剤が充填された場合に、50ppmv以下、好ましくは20ppmv以下、さ
らに好ましくは10ppmv以下の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせること
を特徴とする。
も一部を吸着剤から脱着させるように異質吸着体が吸着している物理的吸着剤を
処理する工程は、前記容器内に物理的吸着剤を充填する前に、異質吸着体の脱着
の達成に十分な時間、物理的吸着剤を約300℃乃至約800℃まで加熱する工
程を備えることを特徴とする。
するように流し込まれてもよく、容器に充填された物理的吸着剤に対して、物理
的吸着剤を加熱する工程及び/又は物理的吸着剤を真空状態にする工程を行って
もよい。
分配用気体は、処理済の吸着剤が適応する吸着親和性を有する適切な種類であれ
ばよく、例えば、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、BCl3、BF3
、B2D6、タングステン六フッ化物、(CH3)3Sb、フッ化水素、塩化水素、GeF4
、SiF4、重水素水素化物、ヨウ化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、ス
チビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、及びNF3からなる群より選ば
れる気体などが含まれる。
て選択的に計量分配される可吸着計量分配用気体に、及び(ii)異質可吸着体に
対する吸着親和性を有するビード活性炭物理的吸着剤を保持するための計量分配
容器を有し、
物理的吸着剤を第一温度範囲の約300℃乃至約800℃まで加熱し、第一温
度範囲を約1〜15時間維持し、及び前記加熱中に不活性気体を物理的吸着剤に
接触するように流し込む工程を具備する、前記異質可吸着体の少なくとも一部を
吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理す
る工程と、
物理的吸着剤を前記容器に充填する工程と、
前記容器内の物理的吸着剤を第二温度範囲の約100℃乃至約250℃まで加
熱し、第二温度範囲を約1〜10時間維持し、前記加熱中に容器内の物理的吸着
剤を真空状態にする工程と、
物理的吸着剤を第二温度範囲以下に冷却する工程と、
計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために物理的吸着剤を保
持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、
計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱着により計量分配用気体が選択的に計
量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を
含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量
分配容器を密封する工程と、を具備することを特徴とする気体貯蔵及び計量分配
システムの製造方法に関する。
ン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合
に、1ppmv以下の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさ、1ppmv以下の二酸化
炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする。
らに十分に明白になるであろう。
べて援用される。
1996年5月21日発行のグレンM.トム他(Glenn M. Tom, et al.)の米国特
許第5,518,528号、1998年1月6日発行のグレンM.トム他(Glenn M.
Tom, et al.)の米国特許第5,704,967号、1998年1月6日発行のグレ
ンM.トム他(Glenn M. Tom, et al.)の米国特許第5,704,965号、1998
年1月13日発行のグレンM.トム他(Glenn M. Tom, et al.)の米国特許第5,7
07,424号、1997年10月14日発行のジェームズV.マクマナス(James
V. McManus)の米国特許第5,676,735号、1997年5月20日出願のグ
レンM.トム(Glenn M. Tom)の米国特許出願第08/859,172号、及び199
7年4月11日出願のグレンM.トム他(Glenn M. Tom, et al.)の米国特許出願第
08/809,019号。
を含む吸着剤が、上記グレンM.トム他の米国特許第5,518,528号に記載さ
れている種類の気体の貯蔵と計量分配アセンブリーの製造方法の一部として処理
されることにより、その後の気体貯蔵及び計量分配システムの使用において、気
体貯蔵及び計量分配容器から当該異質可吸着体を効率的に除去し高純度の計量分
配作業を可能にする発見に基づいている。
システムが使用する、その製造時に吸着剤上に存在している可吸着成分を含む。
異質可吸着体としては、空気、酸素、窒素、水蒸気、水素、一酸化炭素や二酸化
炭素などの酸化炭素、NxOyなどの酸化窒素、炭化水素、ハロゲン、及び周囲環境
種など、物理的吸着剤に接触・吸着可能な組成物が挙げられる。
貯蔵と計量分配容器から計量分配される気体に対する吸着剤の可吸着面積を多く
するために、物理的吸着剤は異質可吸着体を脱着するように処理される
処理する工程は、あらゆる好適な脱着技術の組合せが可能であり、例えば、(i)
物理的吸着剤を加熱してそこから異質可吸着体を熱的に脱着する工程、(ii)吸
着剤に対する吸着親和性が実質的にゼロの非活性気体又はその他の気体成分・種
などの非可吸着気体を物理的吸着剤に接触するように流し込み、異質吸着体を物
理的吸着剤から流れている非吸着気体に脱着させる工程、(iii)異質吸着体を
物理的吸着剤から真空脱離するために物理的吸着剤を真空状態にする工程、又は
これら脱着工程の組合せが可能である。
つ以上行うことが好ましい。例えば、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触するよ
うに流し込みながら同時に加熱することも可能である。
製造中に、物理的吸着剤を前記容器に充填する工程の前及び/又は後に行うこと
が可能である。
的に脱着し、同時に非可吸着気体を物理的吸着剤に接触するように流し込み、続
いて、吸着剤が当該加熱処理による高温から冷却されながら非活性気体層下又は
その他の非吸着状態で維持されることが好ましい。冷却後、吸着剤は気体貯蔵及
び計量分配容器に充填される。あるいは、かかる冷却工程を省略し、高温の吸着
剤を貯蔵と計量分配容器に充填して容器の壁が熱媒体として吸着剤の冷却効果を
もたらすようにすることも可能である。
なくとも一部を吸着剤から脱着させるように物理的吸着剤を処理する工程の開始
から、(2)計量分配用気体が選択的に計量分配可能な状態で前記計量分配容器
が計量分配用気体を含有するように、計量分配容器を密封する工程の終了までの
期間中、物理的吸着剤が計量分配用気体以外の可吸着気体との接触から隔離され
ている。好ましくは、物理的吸着剤が酸素や水蒸気などの大気ガスとの接触から
隔離されている。
的吸着剤から除去する処理は、計量分配用気体が選択的に計量分配可能な状態で
前記計量分配容器が計量分配用気体を含有するように、計量分配容器が密封され
るまで、前記吸着剤を650℃以上に加熱する工程中及びその後も、吸着剤が酸
素、水蒸気などとの接触から隔離されている。
吸着体を除去するために加熱し、同時に容器の内容量を真空状態にしてもよい。
て、気体の貯蔵と計量分配容器からの当該異質可吸着体の除去を最大限にするた
めに、かかる予備充填及び事後充填工程の組合せを実行してもよい。
吸着された後、容器は従来の方法で密閉される。例えば、容器上にバルブヘッド
・アセンブリーを装着したり、あるいは容器をフロー・マニホールドやその他の
計量分配装置に連結してもよく、かかるマニホールドを選択的に作動させること
によって、吸着済みの製品ガス(以下、「計量分配用気体」という)の脱着を含
む、貯蔵と計量分配容器から気体のオンデマンド型計量分配が可能になる。
であればよく、例えば、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、BCl
3、BF3、B2D6、タングステン六フッ化物、(CH3)3Sb、フッ化水素、塩化水
素、GeF4、SiF4、重水素水素化物、ヨウ化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニ
ア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、及びNF3からなる群よ
り選ばれる気体などが含まれる。
し、そこから選択的に計量分配する便宜的な手段及び方法を提供するものであり
、当該容器を低圧に維持することにより、半導体業界において気体の貯蔵及び輸
送に標準装置として使用されてきた高圧ガス・シリンダーと比較して、技術の進
歩を具現化するものである。
圧力、例えば、圧力が≦1.25気圧、好ましくは圧力が≦1.0、もっとも好
ましくは圧力が約0.15乃至0.8気圧の範囲内である。
の低圧範囲を超えるより高い圧力でも動作可能である。但し、かかる低圧貯蔵及
び計量分配システムは、例えば、イオン注入工程などの減圧において流体が採用
される場合に特に効果的である。このような最終用途において、本発明のシステ
ムは流体の貯蔵と計量分配を低圧で可能にする。
る高圧流体容器に必要不可欠な工程を省くことができる。特に、有害ガスが関連
する場合、高圧容器の使用はガス漏れの危険性を伴い、作業員及び/又は財物に
危害が加えられる可能性を有する。一方、本発明の低圧システムにおいては、気
体はほぼ大気圧レベルで貯蔵され、素早く制御可能な状態で計量分配される。
剤に吸着されたアルシン、ホウ素三フッ化物、ゲルマンなどの計量分配される流
体を含む炭素密閉容器、例えばガス・シリンダーを備える。水素化物気体などの
気体を計量分配する場合、活性炭素の吸着剤や分子篩の吸着剤は吸着気体の蒸気
圧を1気圧に効率良く低減させる。
現は、吸着剤が吸着質量における主要成分として元素状態で存在する炭素を有し
ていることを意味する。
チレン・ジビニルベンゼンなどの合成炭化水素樹脂の熱分解により成形される炭
素、セルロース系炭化物、木炭、及びココナツの殻、ピッチ、木材、石油、石炭
などの自然源素材により成形される活性炭などが含まれる。
性を有する炭素が好適な炭素吸着剤として使用される。もっとも好ましくは、俗
にいうビード炭素の活性炭が使用され、極めて均一な直径を有する球状の粒子で
あるビードは、約0.1乃至1センチ、好ましくは約0.25乃至2ミリの範囲
内の直径を有する。
ニューヨーク州、ニューヨークの米国クレハ・コーポレーション(Kreha Corpora
tion of America)が市販しているBAC-MP、BAC-LP、及びBAC-G-70Rと指定されて
いるビード炭素材、ペンシルベニア州、フィラデルフィアのローム&ハ‐ス・カ
ンパニー(Rohm & Haas Company)が市販しているアンバーソーブ(登録商標)(A
mbersorb®)563、アンバーソーブ(Ambersorb®)564、アンバーソーブ
(Ambersorb®)348F、アンバーソーブ(Ambersorb®)575、アンバーソ
ーブ(Ambersorb®)572、アンバーソーブ(Ambersorb®)1500、などの
アンバーソーブ(Ambersorb®)炭質の吸着剤、ガルゴン・カーボン・コーポレ
ーション(Calgon Carbon Corporation)が市販しているカルゴン・フィルトラソ
ーブ400(登録商標)(Calgon Filtrasorb 400®)及びBPL GACの炭素吸着剤、
及びドイツのBlucher GmbH, Erkrath社が市販しているビード活性炭吸着剤など
がある。上記アンバーソーブの素材は通常50オングストロームより実質的に大
きい気孔容積を有しており、このような大きい気孔容積を有する素材よりも、約
40オングストロームを越えない気孔を有する素材のほうが好ましい。
する特定の吸着済み流体種に適切な大きさ、形状及び配座であればよい。吸着剤
は、例えば、ビード、顆粒 、ペレット、タブレット、パウダー、粒子、粒流物
、布又は織物素材、蜂の巣状のマトリクス・モノリス、炭素吸着剤とその他の成
分の合成物、又は上記配座が細分あるいは粉砕された形状のものを含む。
ンダーに連結されるシリンダー・バルブ又はその他の流量計量分配アセンブリー
(レギュレーター、モニター、センサー、流量案内手段、圧力コントローラー、
質量流量コントローラー、配管、バルブ、計測器、自動起動・停止装置、など)
を有効に有し、シリンダーが吸着剤を保持しており、シリンダーが1気圧になる
ように水素化物気体などの計量分配用気体が充填される。
低い圧力の圧力差を活用することにより、圧力差脱着による本発明の貯蔵及び計
量分配システムからの流体を容易に流すことができる。
どの試薬ガスを、例えば600トルの減圧で保持することができる。リンを含む
成分を注入するためのイオン注入室は真空状態、あるいは貯蔵と計量分配容器の
内容量圧力より低い、例えば100トル以下の低圧で維持される。この結果、イ
オン注入室と、吸着済みホスフィン気体を含む貯蔵と計量分配容器間のガスフロ
ー・コミュニケーションが確立されていれば、ホスフィン気体は吸着剤から脱離
してイオン注入室へ流れることになる。よって、貯蔵と計量分配システムはホス
フィン気体の流れを接続された配管、バルブ及び計測器に通し、所望の流量で容
易にコントロールできる。質量流量コントローラーなどの装置を活用すれば、継
続的な計量分配により吸着容器の圧力は低下するので一定の流量が確保できる。
配アセンブリーは物理的吸着剤を加熱してそこから異質可吸着体を熱的に脱着さ
せる手段を具備してもよい。かかる加熱手段として、吸着媒体から吸着剤を熱脱
着させるために吸着剤の加熱に作用的に関連している適当な熱伝達又は熱変換装
置、機構又は器材などを挙げることができる。よって、本発明は吸着剤に貯蔵さ
れている吸着済み流体を熱及び/又は圧力を介して計量分配することを目指す。
積、及び表面積特性は、本発明の一般的な実施において幅広く応用できる。当該
分野の技術者は、水銀有孔性技術や特定の吸着剤候補に貯蔵されそこから計量分
配される特定の流体に関する親和性の研究により、本発明の貯蔵と計量分配シス
テムの最終用途に適切な吸着特性を容易に判断できる。
る貯蔵と計量分配工程に悪影響を与える可能性を有する、容器の壁内に存在する
外部ガス発生種を含むいかなる汚染物質又は種の非存在をも確保するために、必
要であれば貯蔵と計量分配容器は消毒される。この目的のために、容器及びその
内面を焼成、溶剤脱脂、あるいはその他の消毒や処理工程を行い、後に充填され
る吸着剤のために適当に消毒された容器を提供することが好ましい。
理され、計量分配用気体を前処理を行った吸着剤と共に容器に注入することによ
り、吸着剤は吸着され後に計量分配されるべき気体と共に充填される。
着剤の温度を個別に観測することができる。注入工程の終点を判断するために圧
力も観測される。
計量分配用気体を容器に段階的に注入し、システムの平衡をもたらすことが好ま
しい。
終温度と圧力条件まで容器を冷却することが好ましい。
体を導入して内部の吸着剤による吸着のために実行される。注入手順に続き、容
器は、注入マニホールドから取り外された後、計量分配が行われる場所で配管、
連結及び計量分配回路構成に接続されて使用できるように出荷、保存又は準備さ
れる。
量分配に現在使用されている高圧力ガス・シリンダーに代わる安全性が大幅に向
上した選択肢を提供する。本発明は、0psigで可吸着気体をシリンダーから他の
容器への移動、貯蔵及び送出を可能にする。計量分配用気体は、吸着剤の気孔、
表面及びミクロ・キャビティに物理的に吸着しており、これによって貯蔵及び計
量分配用気体の圧力を大幅に低減させている。
により、500sccm以上の流速が容易に達成できるように脱着気体の送出率
を増加することが可能である。しかし、吸着容器と外部計量分配部位の減圧との
圧力差だけで、高率の気体送出は断熱的工程(負過状態の吸着剤に熱や熱エネル
ギーなどの補足的投入を行わない状態)で達成できる。外部の計量分配部位とは
、例えば、イオン注入室、分子線エピタキシャル成長法装置、又はCVD反応装置
などの半導体又はその他の工業プロセスや製造工程施設などである。
に本発明の貯蔵及び計量分配システムを一つ以上配置する形態で容易に提供され
る。このような複数の吸着容器を有するガス・キャビネットにおいては、各容器
をマニホールドして、一つ以上の容器から可吸着気体を選択的に送出することも
可能である。かかるキャビネットは、その使用において、容器及び/又はガスキ
ャビネットの内部部品の過熱を防ぐために、個別の熱電対あるいはその他の温度
センサー・観測装置及び部品を備えることができる。
的増加用の可溶性連結加熱要素、スプリンクラー装置、排熱センサー、有毒ガス
を感知すると装置を停止する有毒ガス・モニター、気体洗浄装置又は大量吸着装
置、及び余剰圧力・温度調整手段を備えてもよい。このような貯蔵と送出システ
ム装置において、15psigの圧力で500sccmの気体送出速度は容易に達成でき
る。
配システム10の概略図である。
、これは内容量を囲む円筒型壁14を有する従来のガス・シリンダーの形状であ
ってもよい。
素材、あるいはその他の適切な吸着媒体が配置される。吸着剤は通常細粒状、例
えばペレット、ビード、顆粒などで採用され、標準的な有孔性(例えばBrunnaue
r-Emmit-Teller)の方法により観測される、広範囲の表面積を有する吸着剤のベ
ッドを提供する。
ヘッド・アセンブリー20が接合された頸状部18を有しており、本実施例にお
いては、単一ブロック・バルブ本体24を含み、バルブ本体のバルブの手動開閉
用のハンドル26が当該バルブ本体に連結されている。バルブ本体24は、バル
ブ本体24のバルブを開くためにハンドル26が回されると、吸着剤から脱離さ
れた気体を気体の貯蔵と計量分配容器内に計量分配するため、例えば、VCRコ
ネクターなどのカップリング26を備えている。
の気圧より低い場合、例えば、下流のイオナイザーが非常に低い圧力条件にある
イオン注入工程に応用される場合、気体は気体の貯蔵と計量分配容器から放出さ
れる。
をマニホールド又は流体回路に接合することも可能であり、かかる流量回路は、
容器12内の吸着剤ベッドから吸着可能な気体を脱離するポンプ、送風機、排出
装置、エダクター、圧縮機、ファン、クライオポンプ、圧力増加回路、又はその
他の流体圧縮機を備える。
に、容器12又は内部の吸着剤を直接的にあるいは間接的に加熱してもよい。例
えば、容器12を図示しない加熱ジャケット内に配置してもよく、又、同様に図
示しない加熱コイルを容器内の吸着ベッド全体に配置してもよい。
するために、あらゆる適当な計量分配様式(圧力差及び/又は加熱による脱離)
で、容器12内の物理的吸着剤からの可吸着気体の選択的な計量分配が可能にな
る。
物理的吸着剤を処理する吸着処理システムの概略図である。
ン64に接続され、ヘリウム、アルゴン、クリプトン、窒素などの不活性気体を
含む容器などの不活性気体供給源50を有する。不活性気体供給ライン64は、
処理される吸着剤の容器60とフロー・リレーションシップで接続されている。
めに、後に可吸着気体を充填され密閉される気体貯蔵及び計量分配容器であって
もよく、又、製品ガスの貯蔵と計量分配システムの気体の貯蔵と計量分配容器へ
処理済の吸着剤が移送される別の容器を備えてもよい。
る加熱炉は吸着剤から異質か吸着体を熱脱着させるために容器60とその吸着剤
を予め定められた温度まで加熱するように構成・準備されている。加熱炉は従来
の方法で構成されてもよく、例えば、容器60とその内容物を約100℃乃至約
1500℃の範囲内の温度まで選択的に加熱するように準備されてもよい。
気体を放出するための流動制御バルブ70を有する不活性気体排出ライン68が
さらに接続されている。
プに接合された真空ライン72が接続されている。
処理システム及び第3図に示される処理工程のフローチャートを参照しながら説
明する。
この容器に充填される(第3図のステップ105)吸着剤を提供する(第3図の
ステップ102)を実行することにより達成される。
テップ103及び104)。この具体的実施例では、容器60は加熱炉内に位置
しており、加熱炉を作動することによって容器は加熱される。同時に、流動制御
バルブ66は、不活性気体を供給源50からライン64を通じて容器60に流し、
そこからライン68に放出するために開放され、バルブ70は、不活性気体及び
加熱された吸着剤から脱着されたその他の混入異質可吸着体の流れを供給するた
めに開放される。不活性気体の加熱及び流れは、異質可吸着体とその流出物の放
出ライン68のシステムからの脱着を可能にする。
了後、バルブ66及び77は閉鎖され、加熱炉は停止されるか、あるいは次のス
テップにおいてより低い温度状態で選択的に維持される。
に残っている異質可吸着体の真空脱着を実行する。これは加熱炉62の加熱によ
り選択的に補強されてもよい。
成される。
テップ106)、計量分配用気体は吸着剤に吸着され、後の計量分配作業のため
に保持される。
(第3図のステップ107)。この密閉作業は、気体の貯蔵と計量分配システム
の後の使用に備えるために、機械的な工程、例えばバルブの閉鎖、又は容器の流
体隔離、あるいはバルブヘッド・アセンブリー、プラグ、蓋もしくはその他の密
閉部品の取付けが行われる。密閉作業は、本発明における特定の気体貯蔵及び計
量分配システムに製造に適切あるいは望ましく、真空状態又は不活性気体環境に
おいて実行可能である。
含み、異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質吸可着
体が吸着している物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤の重量に基づく
50重量%のアルシン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着
剤が充填された場合に、20ppmv以下の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさ
せるように有効的に実行される。
吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理す
る工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシン気体で、圧力70
0トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、50ppmv以下の
二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせるように有効的に実行される。
吸着している物理的吸着剤を処理する工程は、前記容器内に物理的吸着剤を充填
する前に、異質可吸着体の脱着の達成に十分な時間、物理的吸着剤を約300乃
至約800℃まで加熱する工程を適当に具備してももよく、さらに選択的に、物
理的吸着剤の加熱中に不活性気体、例えばヘリウムを物理的吸着剤に接触するよ
うに流し込むこともできる。
少を示す、活性炭吸着剤用の熱重量分析(TGA)の図表示である。図中のTGA
スペクトルはアルゴン雰囲気におけるビード活性炭素材で得たものである。重量
減少曲線が示すとおり、約100℃までの温度にある素材の重量は、水蒸気の段
階的な脱着により減少する。その後は、温度が上昇するにつれて、約650℃の
温度までは吸着剤の重量は基本的に一定である。650℃を超える温度では、CO
やCO2などの酸素系族が吸着剤から脱着・除去されることによって重量減少が大
幅に増加する。
着体が残っている場合、加熱作業の温度が重量減少変更ゼロになる時点を大幅に
超えることを確保することが重要である。最初の重量減少(100℃までの温度
)及びその後の温度上昇に伴う不変(600℃まで)に基づき、吸着剤からすべ
ての異質可吸着体が除去されたと推測可能であるが、それにもかかわらず、吸着
剤から残余の異質可吸着体を除去するために、十分な時間と範囲において650
℃を超えて加熱し続けることによって計量分配用気体の純度は顕著に向上する。
業における吸着剤(及び計量分配用気体)を汚染するような可吸着成分が存在し
ない周囲環境を維持することが重要である。
例においては、(i)計量分配容器内に保持され続いて選択的に計量分配される
可吸着計量分配用気体に、及び(ii)異質吸着体に対する吸着親和性を有するビ
ード活性炭物理的吸着剤を保持するための計量分配容器を有し、
物理的吸着剤を第一温度範囲の約300乃至約800℃まで加熱し、第一温度
範囲を約1〜15時間維持し、及び前記加熱中に不活性気体を物理的吸着剤に接
触するように流し込む工程を備える、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着
剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する工
程と、
物理的吸着剤を前記容器に充填する工程と、
前記容器内の物理的吸着剤を第二温度範囲の約100℃乃至約250℃まで加
熱し、第二温度範囲を約1〜10時間維持し、前記加熱中に容器内の物理的吸着
剤を真空状態にする工程と、
物理的吸着剤を第二温度範囲以下に冷却する工程と、
計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために物理的吸着剤を保
持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、
計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱離により計量分配用気体が選択的に計
量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を
含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量
分配容器を密封する工程と、を具備することを特徴とする。
量に基づく50重量%のアルシン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で
物理的吸着剤が充填された場合に、20ppmv以下の一酸化炭素レベルをアルシン
内で生じさせ、異質吸着体が二酸化炭素を含み、物理的吸着剤の重量に基づく5
0重量%のアルシン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤
が充填された場合に、50ppmv以下の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせ
るように実行される。
従い物理的吸着剤を効率的に処理することにより異質可吸着体を脱着させ、物理
的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシン気体で、圧力700トル及び22
℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、1ppmv以下の一酸化炭素レベル
をアルシン内で生じさ、10ppmv以下の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさ
せる処理済吸着剤をもたらすことが可能である。
ろう。
ステンレスの試料シリンダー内に多量のクレハBAC活性炭素材(ニューヨーク
州、ニューヨークのクレハ・コーポレーション)を充填し、それを第2図に概略
的に示す構成を有する処理システムの加熱炉内に入れた。処理システムの加熱炉
は、加熱炉処理後に行われる処理用のグローブ・ボックスに連結されている。
した後、吸着剤は不活性環境下で貯蔵と計量分配容器(気体容器)内に注入され
、続いて真空状態で5時間の脱気作業を150℃で行った。次に、アルシン気体
を圧力700トル及び22℃の条件下になるように容器に充填した。
器内においていかなる前処理も行われていない吸着剤の対応するバッチに同時に
加えられる充填と同じである。
ID)が装備されている気体クロマトグラフの中を通るように流された。下記表
Aに示すとおり、未処理の吸着剤を含む制御容器からのアルシン気体に比べて、
前処理が行われた吸着剤を含む容器からのアルシン気体内のCO及びCO2のレベル
は大幅に低減された。
に移送された対応試験においては、加熱炉とグローブ・ボックス間の外気接触に
より、吸着剤は大量のCO2を吸着し、表Aの前処理吸着剤サンプルと同様の加
工及び処理状況下にありながらも、CO2濃度は4.9ppmvであった。この
外気に露出された素材は、(外気露出から隔離された)表Aの前処理吸着剤のC
O2濃度よりも37倍以上のCO2濃度を示した。
発明の応用はこれらに限定されるものではなく、当該分野の技術者が容易に想像
できるその他の多数の変更例、変形例及び実施例の範囲に及び、かつ、包含する
ものである。よって、本明細書に開示される発明は、特許請求の精神と範囲内に
おいて他のすべての変更例、変形例及び実施例を包含するように幅広く検討及び
解釈されるものとする。
Claims (57)
- (i)計量分配容器内に保持され、続いて選択的に放出され
る可吸着計量分配用気体に、及び(ii)異質可吸着体に対する吸着親和性を有す
る物理的吸着剤を保持するための計量分配容器を有する気体貯蔵及び計量分配シ
ステムの製造方法であって、
前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように、異質可吸
着体が吸着している物理的吸着剤を処理する工程と、
物理的吸着剤を前記容器に充填する工程と、
計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために、物理的吸着剤を
保持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、
計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱着により計量分配用気体が選択的に計
量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を
含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量
分配容器を密封する工程と、を具備することを特徴とする気体貯蔵及び計量分配
システムの製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着するた
めに物理的吸着剤を処理する工程は、
(a) 異質可吸着体を熱的に脱着させるように、物理的吸着剤を加熱する工
程、
(b) 異質可吸着体を物理的吸着剤から流れている非可吸着気体に脱着させ
るように、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触させて流し込む工程、及び
(c) 異質可吸着体を物理的吸着剤から真空脱着させるように、物理的吸着
剤を真空状態にする工程の少なくとも一つの工程を具備することを特徴とする請
求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させる
ように、物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を加熱してそこから異質
可吸着体を熱的に脱着させる工程を具備することを特徴とする請求項1記載の製
造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させる
ように物理的吸着剤を処理する工程は、異質可吸着体を物理的吸着剤から流れて
いる非吸着気体に脱着するように、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触するよう
に流し込む工程を具備することを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させる
ように物理的吸着剤を処理する工程は、異質吸着体を物理的吸着剤から真空脱着
させるように物理的吸着剤を真空状態にする工程を具備することを特徴とする請
求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させる
ように物理的吸着剤を処理する工程は、
(a) 異質可吸着体を熱的に脱着させるように物理的吸着剤を加熱する工程
、
(b) 異質可吸着体を物理的吸着剤から流れている非可吸着気体に脱着させ
るように、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触させて流し込む工程、及び
(c) 異質吸着体を物理的吸着剤から真空脱着させるように物理的吸着剤を
真空状態にする工程の少なくとも二つの工程を具備することを特徴とする請求項
1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させる
ように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を加熱する工程と、非可吸
着気体を物理的吸着剤と接触させて流し込む工程とを具備することを特徴とする
請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させる
ように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を加熱する工程と、物理的
吸着剤を真空状態にする工程とを具備することを特徴とする請求項1記載の製造
方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させる
ように物理的吸着剤を処理する工程は、非可吸着気体を物理的吸着剤に接触させ
て流し込む工程と、その後、異質可吸着体を物理的吸着剤から真空脱着させるよ
うに物理的吸着剤を真空状態にする工程とを具備することを特徴とする請求項1
記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させ
るように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を加熱する工程と、異質
可吸着体を物理的吸着剤から流れている非可吸着気体に脱着させるように非可吸
着気体を物理的吸着剤と接触させて流し込む工程と、物理的吸着剤を真空状態に
する工程とを具備することを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させ
るように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を前記容器に充填する工
程の前に行われることを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させ
るように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を前記容器に充填する工
程の後に行われることを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させ
るように物理的吸着剤を処理する工程は、物理的吸着剤を前記容器に充填する工
程の前後に行われることを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 物理的吸着剤は、アルミナ、シリカ、結晶性アルミノ珪酸
塩、マクロ網状ポリマー、珪藻土、及び炭素からなる群より選択されることを特
徴とする請求項1の製造方法。 - 物理的吸着剤が炭素であることを特徴とする請求項1記載
の製造方法。 - 物理的吸着剤がビード活性炭であることを特徴とする請求
項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体が、水蒸気、酸素、水素、酸化炭素、窒
素、炭化水素、ハロゲン、及びこれら種を一つ以上含有する組成物からなる群よ
り選択される気体種を含むことを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体が酸化炭素を含むことを特徴とする請求
項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体は少なくとも一酸化炭素及び二酸化炭素
の少なくと一を含むことを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体は一酸化炭素を含み、前記異質可吸着体
の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように、異質可吸着体が吸着している
物理的吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%の
アルシン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填され
た場合に、20ppmv以下の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特
徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体は二酸化炭素を含み、前記異質可吸着体
の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように、異質可吸着体が吸着している
物理的吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%の
アルシン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填され
た場合に、50ppmv以下の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特
徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させ
るように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する前記工程は、前記
容器内に物理的吸着剤を充填する前に、異質可吸着体の脱着の達成に十分な時間
、物理的吸着剤を約300乃至約800℃まで加熱する工程を具備することを特
徴とする請求項1記載の製造方法。 - 物理的吸着剤を加熱する前記工程において、不活性気体が
物理的吸着剤と接触させて流し込まれることを特徴とする請求項21記載の製造
方法。 - 前記不活性気体はヘリウムであることを特徴とする請求項
22記載の製造方法。 - 容器に充填された後の物理的吸着剤は、物理的吸着剤を加
熱する工程及び物理的吸着剤を真空状態にする工程からなる群より選ばれる少な
くとも一つの工程にさらされることをを特徴とする請求項21記載の製造方法。 - 容器に充填された後の物理的吸着剤は、真空状態で加熱さ
れることを特徴とする請求項21記載の製造方法。 - 容器に充填された後の物理的吸着剤は、物理的吸着剤を加
熱する工程及び物理的吸着剤を真空状態にする工程からなる群より選ばれた少な
くとも一の工程にさらされることを特徴とする請求項22記載の製造方法。 - 容器に充填された後の物理的吸着剤は真空状態で加熱され
ることを特徴とする請求項22記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体は、シラン、ジボラン、アルシン、
ホスフィン、塩素、BCl3、BF3、B2D6、タングステン六フッ化物、(CH3)3Sb
、フッ化水素、塩化水素、GeF4、SiF4、重水素水素化物、ヨウ化水素、臭化水素
、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、
及びNF3からなる群より選ばれる気体を含むことを特徴とする請求項1記載の製
造方法。 - 可吸着計量分配用気体は水素化物気体を含むことを特徴と
する請求項1記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体はアルシンを含むことを特徴とする
請求項1記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体はホスフィンを含むことを特徴とす
る請求項1記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体は三フッ化物ホウ素を含むことを特
徴とする請求項1記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体はジボランを含むことを特徴とする
請求項1記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体は重水素スチビンを含むことを特徴
とする請求項1記載の製造方法。 - (i)配容器内に保持され、続いて選択的に放出れる可吸
着量分配用気体に、及び(ii)着体に対する吸着親和性を有するビード活性炭物
理的吸着剤を保持するための計量分配容器を有する気体貯蔵及び計量分配システ
ムの製造方法であって、
物理的吸着剤を第一温度範囲の約300乃至約800℃へ加熱し、前記第一の
温度範囲を約1〜15時間維持し、及び前記加熱中に不活性気体を物理的吸着剤
に接触させて流し込む工程を具備する、前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸
着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸着剤を処理する
工程と、
物理的吸着剤を前記容器に充填する工程と、
前記容器内の物理的吸着剤を第二温度範囲の約100℃乃至約250℃まで加
熱し、第二温度範囲を約1〜10時間維持し、前記加熱中に容器内の物理的吸着
剤を真空状態にする工程と、
物理的吸着剤を第二温度範囲以下に冷却する工程と、
計量分配用気体を物理的吸着剤に物理的に吸着させるために物理的吸着剤を保
持している計量分配容器内に可吸着計量分配用気体を導入する工程と、
計量分配用気体の物理的吸着剤からの脱着により計量分配用気体が選択的に計
量分配可能及び容器から放出可能な状態で前記計量分配容器が計量分配用気体を
含有するように、物理的吸着剤に吸着された計量分配用気体を保持している計量
分配容器を密封する工程と、を具備することを特徴とする気体貯蔵及び計量分配
システムの製造方法。 - 異質可吸着体は、水蒸気、酸素、水素、酸化炭素、窒素、
炭化水素、ハロゲン、及びこれら種を一つ以上含有する組成物からなる群より選
ばれる気体種を含むことを特徴とする請求項35記載の製造方法。 - 異質可吸着体は酸化炭素を含むことを特徴とする請求項3
5記載の製造方法。 - 異質可吸着体は少なくとも一酸化炭素及び二酸化炭素を含
むことを特徴とする請求項35記載の製造方法。 - 異質可吸着体は一酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少
なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的
吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシ
ン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合
に、20ppmv以下の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とす
る請求項35記載の製造方法。 - 異質可吸着体は二酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少
なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的
吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシ
ン気体で、圧力700トル及び22°Cの条件下で物理的吸着剤が充填された場
合に、50ppmv以下の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴と
する請求項35記載の製造方法。 - 異質可吸着体は一酸化炭素と二酸化炭素を含み、前記異質
可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着し
ている物理的吸着剤を処理する前記工程と、前記容器内の物理的吸着剤を第二温
度範囲の約100℃乃至約250℃まで加熱し、第二温度範囲を約1〜10時間
、前記加熱中に容器内の物理的吸着剤を真空状態にする工程との両方を行うこと
により、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシン気体で、圧力700
トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に、1ppmv以下の一酸
化炭素レベルをアルシン内で生じさ、10ppmv以下の二酸化炭素レベルをアルシ
ン内で生じさせることを特徴とする請求項35記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体は、シラン、ジボラン、アルシン、
ホスフィン、塩素、BCl3、BF3、B2D6、タングステン六フッ化物、(CH3)3Sb
、フッ化水素、塩化水素、GeF4、SiF4、重水素水素化物、ヨウ化水素、臭化水素
、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素、
及びHF3からなる群より選ばれる気体を含むことを特徴とする請求項35記載の
製造方法。 - 可吸着計量分配用気体は水素化物気体を含むことを特徴と
する請求項35記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体はアルシンを含むことを特徴とする
請求項35記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体はホスフィンを含むことを特徴とす
る請求項35記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体は三フッ化物ホウ素を含むことを特
徴とする請求項35記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体はジボランを含むことを特徴とする
請求項35記載の製造方法。 - 可吸着計量分配用気体は重水素スチビンを含むことを特徴
とする請求項35記載の製造方法。 - (1)前記異質可吸着体の少なくとも一部を吸着剤から脱
着させるように物理的吸着剤を処理する工程の開始から、(2)計量分配用気体
が選択的に計量分配可能な状態で、前記計量分配容器が計量分配用気体を含有す
るように、計量分配容器を密封する工程の終了までの期間中、物理的吸着剤が大
気ガスとの接触から隔離されていることを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 前記期間中、物理的吸着剤は酸素との接触から隔離されて
いることを特徴とする請求項50記載の製造方法。 - 吸着剤として活性炭材料が使用され、異質可吸着体を物理
的吸着剤から除去する処理は、吸着剤を650℃以上の温度へ加熱する工程を具
備することを特徴とする請求項1記載の製造方法。 - 計量分配用気体が選択的に計量分配可能な状態で、前記計
量分配容器が前記計量分配用気体を含有するように計量分配容器が密封されるま
で、前記吸着剤を650℃以上の温度へ加熱する工程中及びその後も、吸着剤が
酸素と水蒸気との接触から隔離されていることを特徴とする請求項52記載の製
造方法。 - 異質可吸着体は一酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少
なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的
吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシ
ン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤がと充填された場
合に、5ppmv以下の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とす
る請求項1記載の製造方法。 - 異質可吸着体は二酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少
なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的
吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシ
ン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合
に、10ppmv以下の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とす
る請求項1記載の製造方法。 - 異質可吸着体は一酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少
なくとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的
吸着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシ
ン気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合
に、1ppmv以下の一酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする
請求項35記載の製造方法。 - 異質吸着体は二酸化炭素を含み、前記異質可吸着体の少な
くとも一部を吸着剤から脱着させるように異質可吸着体が吸着している物理的吸
着剤を処理する前記工程は、物理的吸着剤の重量に基づく50重量%のアルシン
気体で、圧力700トル及び22℃の条件下で物理的吸着剤が充填された場合に
、1ppmv以下の二酸化炭素レベルをアルシン内で生じさせることを特徴とする請
求項35記載の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/143,809 US6083298A (en) | 1994-10-13 | 1998-08-31 | Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000567292A Division JP2002523707A (ja) | 1998-08-31 | 1999-08-30 | 吸着剤前処理を利用した吸着型気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011099562A true JP2011099562A (ja) | 2011-05-19 |
JP2011099562A5 JP2011099562A5 (ja) | 2012-02-09 |
Family
ID=22505743
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000567292A Pending JP2002523707A (ja) | 1998-08-31 | 1999-08-30 | 吸着剤前処理を利用した吸着型気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法 |
JP2010280915A Pending JP2011099562A (ja) | 1998-08-31 | 2010-12-16 | 吸着剤前処理を利用した吸着型気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000567292A Pending JP2002523707A (ja) | 1998-08-31 | 1999-08-30 | 吸着剤前処理を利用した吸着型気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6083298A (ja) |
EP (1) | EP1109613A4 (ja) |
JP (2) | JP2002523707A (ja) |
KR (1) | KR100618072B1 (ja) |
AU (1) | AU5904799A (ja) |
MY (1) | MY133994A (ja) |
TW (1) | TW565467B (ja) |
WO (1) | WO2000012196A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200049794A (ko) * | 2017-09-25 | 2020-05-08 | 누맷 테크놀로지스, 인코포레이티드 | 고 반응성 가스의 흡착제-지원 안정화 |
JP7012189B1 (ja) | 2021-09-02 | 2022-01-27 | 東京瓦斯株式会社 | ガス供給方法 |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6083298A (en) * | 1994-10-13 | 2000-07-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment |
US6500238B1 (en) * | 2000-08-10 | 2002-12-31 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and dispensing system |
JP2003080019A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-18 | Morikawa Co Ltd | 吸着された有機化合物の脱着装置および脱着方法 |
US6592653B2 (en) * | 2001-11-12 | 2003-07-15 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and delivery system utilizing low heels carbon sorbent medium |
US6620225B2 (en) * | 2002-01-10 | 2003-09-16 | Advanced Technology Materials, Inc. | Adsorbents for low vapor pressure fluid storage and delivery |
US6716271B1 (en) * | 2002-10-29 | 2004-04-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Apparatus and method for inhibiting decomposition of germane |
US6991671B2 (en) * | 2002-12-09 | 2006-01-31 | Advanced Technology Materials, Inc. | Rectangular parallelepiped fluid storage and dispensing vessel |
DE10306344B8 (de) * | 2003-02-15 | 2013-11-21 | Pharmpur Gmbh | Gasspeicher zur Speicherung einer vorgegebenen Gasmenge und Freigabe des Gases für eine medizinische Applikation |
JP2005024068A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Toyo Tanso Kk | ハロゲンガス又はハロゲン含有ガスの供給装置 |
EP2327921B1 (en) * | 2003-12-03 | 2021-06-09 | Chemviron Carbon Limited | Process for loading CO2 on active carbon in a fluid dispenser |
US7253413B2 (en) * | 2004-11-15 | 2007-08-07 | Smiths Detection Inc. | Gas identification system |
KR101297917B1 (ko) | 2005-08-30 | 2013-08-27 | 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 대안적인 불화 붕소 전구체를 이용한 붕소 이온 주입 방법,및 주입을 위한 대형 수소화붕소의 형성 방법 |
KR101389910B1 (ko) * | 2006-01-30 | 2014-05-26 | 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 나노기공 탄소 재료 및 나노기공 탄소 재료를 이용하는 시스템과 이용 방법 |
DE202008000810U1 (de) * | 2007-11-04 | 2008-12-24 | BLüCHER GMBH | Sorptionsfiltermaterial |
US8598022B2 (en) | 2009-10-27 | 2013-12-03 | Advanced Technology Materials, Inc. | Isotopically-enriched boron-containing compounds, and methods of making and using same |
US8858819B2 (en) | 2010-02-15 | 2014-10-14 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for chemical mechanical planarization of a tungsten-containing substrate |
CN102091591A (zh) * | 2010-12-29 | 2011-06-15 | 广东工业大学 | 一种硅藻土改性吸附材料及其制备方法和应用 |
US8679231B2 (en) | 2011-01-19 | 2014-03-25 | Advanced Technology Materials, Inc. | PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same |
US9073005B2 (en) * | 2011-06-09 | 2015-07-07 | Sri International | Falling microbead counter-flow process for separating gas mixtures |
US20180119888A1 (en) * | 2015-05-12 | 2018-05-03 | Entegris, Inc. | Valve assemblies and fluid storage and dispensing packages comprising same |
CN105664662B (zh) * | 2016-03-31 | 2018-07-13 | 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司 | 在线更换吸附材料的净化柱及手套箱 |
US11635170B2 (en) * | 2017-11-17 | 2023-04-25 | Rasirc, Inc. | Method, system, and device for storage and delivery of process gas from a substrate |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60179140A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-09-13 | ベルクヴエルクスフエルバント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 負荷された乾燥粉末状炭素含有吸着剤の再生方法及び装置 |
JPS63156542A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-29 | Kuraray Chem Kk | 活性炭再生法 |
JPS63315146A (ja) * | 1987-06-16 | 1988-12-22 | Koko Res Kk | 炭素質吸着体の再生方法 |
JPH0852318A (ja) * | 1994-05-26 | 1996-02-27 | Corning Inc | 電気的に加熱可能な活性炭ボディおよびその製造方法並びに使用方法 |
WO1997012669A1 (de) * | 1995-10-04 | 1997-04-10 | Süd-Chemie AG | Verfahren zum regenerieren von gebrauchten anorganischen adsorbentien sowie verwendung der regenerate |
WO1997044118A1 (en) * | 1996-05-20 | 1997-11-27 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent |
Family Cites Families (78)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US240423A (en) * | 1881-04-19 | Alexander james | ||
US1608155A (en) * | 1920-08-02 | 1926-11-23 | American Solvent Recovery Corp | Means for transporting and storing gases |
US1714245A (en) * | 1927-12-23 | 1929-05-21 | American Signs Corp | Gas-purifying trap and method of restoring same |
US2283989A (en) * | 1938-06-04 | 1942-05-26 | Guy J Henry | Method of charging and conditioning dehydrators |
US2356334A (en) * | 1941-12-18 | 1944-08-22 | Hooker Electrochemical Co | Means for storing and concentrating anhydrous hydrogen chloride |
US2450289A (en) * | 1944-04-15 | 1948-09-28 | Little Inc A | Gas treating apparatus |
US2663626A (en) * | 1949-05-14 | 1953-12-22 | Pritchard & Co J F | Method of storing gases |
BE561650A (ja) * | 1953-09-25 | 1900-01-01 | ||
US3287432A (en) * | 1957-04-11 | 1966-11-22 | Texaco Inc | Selective sorption process |
US3080307A (en) * | 1957-10-21 | 1963-03-05 | Westinghouse Electric Corp | Radioactive fluid handling system |
US3093564A (en) * | 1957-10-21 | 1963-06-11 | Westinghouse Electric Corp | Gas handling systems for radioactive gases |
NL241272A (ja) * | 1958-07-14 | |||
US2997371A (en) * | 1958-12-01 | 1961-08-22 | Standard Oil Co | Recovering of bf3 from admixture with hydrocarbons |
US3037338A (en) * | 1958-12-30 | 1962-06-05 | Union Carbide Corp | Method for molecular sieve adsorption and desorption |
US3116132A (en) * | 1960-01-22 | 1963-12-31 | Olin Mathieson | Process for the adsorption and desorption of diborane |
US3006153A (en) * | 1960-08-29 | 1961-10-31 | Union Carbide Corp | Method and apparatus for storing and transporting ozone |
NL297067A (ja) * | 1962-09-04 | 1900-01-01 | ||
US3144200A (en) * | 1962-10-17 | 1964-08-11 | Clyde E Taylor | Process and device for cryogenic adsorption pumping |
US3264803A (en) * | 1963-01-21 | 1966-08-09 | Gen Electric | Sorption vacuum pump |
US3415069A (en) * | 1966-10-31 | 1968-12-10 | Nasa | High pressure helium purifier |
US3469375A (en) * | 1967-10-16 | 1969-09-30 | Nasa | Sorption vacuum trap |
FR2064540A5 (en) * | 1969-09-23 | 1971-07-23 | Sigma Plastique | Moulding of packing for lpg storage bottles |
US3675392A (en) * | 1970-01-30 | 1972-07-11 | Ite Imperial Corp | Adsorption-desorption method for purifying sf{11 |
GB1385922A (en) * | 1971-03-31 | 1975-03-05 | Yatsurugi Y Kuratomi T | Preparation and use of 4-5a zeolite |
US3713273A (en) * | 1971-05-03 | 1973-01-30 | R Coffee | Method and apparatus for storing gases and fueling internal combustion engines |
US3719026A (en) * | 1971-06-01 | 1973-03-06 | Zeochem Corp | Selective sorption of non-polar molecules |
US3788036A (en) * | 1972-07-26 | 1974-01-29 | D Stahl | Pressure equalization and purging system for heatless adsorption systems |
US4023701A (en) * | 1974-03-04 | 1977-05-17 | Dockery Denzel J | Breathing apparatus for underwater use |
JPS5272373A (en) * | 1975-12-15 | 1977-06-16 | Chiyoda R & D | Adsorption and separation apparatus |
US4099936A (en) * | 1976-12-16 | 1978-07-11 | Union Carbide Corporation | Process for the purification of silane |
GB1594454A (en) * | 1976-12-23 | 1981-07-30 | Boc Ltd | Gas separation |
US4158639A (en) * | 1977-11-14 | 1979-06-19 | Autoclave Engineers, Inc. | Method of storing gases |
US4343770A (en) * | 1977-12-19 | 1982-08-10 | Billings Energy Corporation | Self-regenerating system of removing oxygen and water impurities from hydrogen gas |
US4263018A (en) * | 1978-02-01 | 1981-04-21 | Greene & Kellogg | Pressure swing adsorption process and system for gas separation |
NL8005645A (nl) * | 1980-10-13 | 1982-05-03 | Euratom | Werkwijze voor het omkeerbaar opsluiten van gassen of dampen in een natuurlijk of synthetisch zeoliet. |
DE3139781A1 (de) * | 1981-10-07 | 1983-04-21 | Nyby Uddeholm AB, 64480 Torshälla | Verfahren und vorrichtung zur reinigung eines dampffoermige schadstoffe enthaltenden gases |
US4477265A (en) * | 1982-08-05 | 1984-10-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Argon purification |
JPS6071040A (ja) * | 1983-09-27 | 1985-04-22 | Takeda Chem Ind Ltd | 有害ガス吸着剤 |
SU1181692A1 (ru) * | 1983-11-14 | 1985-09-30 | Московский ордена Ленина и ордена Трудового Красного Знамени химико-технологический институт им.Д.И.Менделеева | Способ очистки газов от примесей фосфина и арсина |
JPS60208699A (ja) * | 1984-03-30 | 1985-10-21 | Sekisui Chem Co Ltd | 金属水素化物反応容器の製造方法 |
US4552571A (en) * | 1984-04-05 | 1985-11-12 | Vbm Corporation | Oxygen generator with two compressor stages |
JPS61133116A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-20 | Nippon Paionikusu Kk | ガス精製装置 |
FR2580947B1 (fr) * | 1985-04-25 | 1989-09-01 | Air Liquide | Procede et installation d'epuration par adsorption sur charbon actif, et pot adsorbeur correspondant |
US4673415A (en) * | 1986-05-22 | 1987-06-16 | Vbm Corporation | Oxygen production system with two stage oxygen pressurization |
US4869733A (en) * | 1986-05-22 | 1989-09-26 | Vbm Corporation | Super-enriched oxygen generator |
JPH06104177B2 (ja) * | 1986-10-02 | 1994-12-21 | 大阪瓦斯株式会社 | 高純度ガス貯蔵用圧力容器 |
US5151395A (en) * | 1987-03-24 | 1992-09-29 | Novapure Corporation | Bulk gas sorption and apparatus, gas containment/treatment system comprising same, and sorbent composition therefor |
US5094830A (en) * | 1987-03-24 | 1992-03-10 | Novapure Corporation | Process for removal of water and silicon mu-oxides from chlorosilanes |
US4761395A (en) * | 1987-03-24 | 1988-08-02 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process and composition for purifying arsine, phosphine, ammonia, and inert gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom |
US4749384A (en) * | 1987-04-24 | 1988-06-07 | Union Carbide Corporation | Method and apparatus for quick filling gas cylinders |
US4723967A (en) * | 1987-04-27 | 1988-02-09 | Advanced Technology Materials, Inc. | Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification |
US4738693A (en) * | 1987-04-27 | 1988-04-19 | Advanced Technology Materials, Inc. | Valve block and container for semiconductor source reagent dispensing and/or purification |
US4744221A (en) * | 1987-06-29 | 1988-05-17 | Olin Corporation | Zeolite based arsine storage and delivery system |
DE3729517A1 (de) * | 1987-09-03 | 1989-03-16 | Siemens Ag | Adsorptionseinrichtung zur gastrennung |
SU1544475A1 (ru) * | 1987-12-07 | 1990-02-23 | Предприятие П/Я Г-4567 | Способ получени сорбента дл очистки газов |
SU1583151A1 (ru) * | 1988-05-23 | 1990-08-07 | Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности "Гиредмет" | Способ очистки газов от арсина |
DE3842930A1 (de) * | 1988-12-21 | 1990-06-28 | Bayer Ag | Verfahren zur adsorptiven sauerstoffanreicherung von luft mit mischungen aus ca-zeolith a molekularsieben mittels vakuum-swing-adsorption |
DE3843313A1 (de) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Wacker Chemitronic | Verfahren zur entfernung von gasfoermigen kontaminierenden, insbesondere dotierstoffverbindungen aus halogensilanverbindungen enthaltenden traegergasen |
FR2652346B1 (fr) * | 1989-09-22 | 1991-11-29 | Air Liquide | Procede de preparation de disilane. |
JPH03127606A (ja) * | 1989-10-09 | 1991-05-30 | Hitachi Ltd | 充填塔構造 |
US5202096A (en) * | 1990-01-19 | 1993-04-13 | The Boc Group, Inc. | Apparatus for low temperature purification of gases |
FR2659030B1 (fr) * | 1990-03-02 | 1993-01-08 | Air Liquide | Enceinte et installation d'absorption pour separation des melanges gazeux. |
US5238469A (en) * | 1992-04-02 | 1993-08-24 | Saes Pure Gas, Inc. | Method and apparatus for removing residual hydrogen from a purified gas |
US5224350A (en) * | 1992-05-11 | 1993-07-06 | Advanced Extraction Technologies, Inc. | Process for recovering helium from a gas stream |
GB9220975D0 (en) * | 1992-10-06 | 1992-11-18 | Air Prod & Chem | Apparatus for supplying high purity gas |
JPH06233915A (ja) * | 1993-02-10 | 1994-08-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 燃焼排ガスの脱硝設備 |
US5385689A (en) * | 1993-06-29 | 1995-01-31 | Novapure Corporation | Process and composition for purifying semiconductor process gases to remove Lewis acid and oxidant impurities therefrom |
US5417742A (en) * | 1993-12-03 | 1995-05-23 | The Boc Group, Inc. | Removal of perfluorocarbons from gas streams |
US6083298A (en) * | 1994-10-13 | 2000-07-04 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process for fabricating a sorbent-based gas storage and dispensing system, utilizing sorbent material pretreatment |
US5707424A (en) * | 1994-10-13 | 1998-01-13 | Advanced Technology Materials, Inc. | Process system with integrated gas storage and delivery unit |
US5704967A (en) * | 1995-10-13 | 1998-01-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent |
US5518528A (en) * | 1994-10-13 | 1996-05-21 | Advanced Technology Materials, Inc. | Storage and delivery system for gaseous hydride, halide, and organometallic group V compounds |
JP3807634B2 (ja) * | 1995-10-18 | 2006-08-09 | 住友重機械工業株式会社 | 炭素質触媒の再生方法及び再生器 |
US5858067A (en) * | 1996-05-20 | 1999-01-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Ex situ degassing and sorbate loading system for manufacture of sorbent-based fluid storage and dispensing apparatus |
US5761910A (en) * | 1996-05-20 | 1998-06-09 | Advanced Technology Materials, Inc. | High capacity gas storage and dispensing system |
US5837027A (en) * | 1996-05-20 | 1998-11-17 | Advanced Technology Materials, Inc. | Manufacturing process for gas source and dispensing systems |
JPH1066823A (ja) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Mitsui Petrochem Ind Ltd | 気相化学蒸着装置 |
US5676735A (en) * | 1996-10-31 | 1997-10-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Reclaiming system for gas recovery from decommissioned gas storage and dispensing vessels and recycle of recovered gas |
-
1998
- 1998-08-31 US US09/143,809 patent/US6083298A/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-08-05 TW TW088113376A patent/TW565467B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-08-25 MY MYPI99003632A patent/MY133994A/en unknown
- 1999-08-30 WO PCT/US1999/019868 patent/WO2000012196A1/en active IP Right Grant
- 1999-08-30 EP EP99946692A patent/EP1109613A4/en not_active Withdrawn
- 1999-08-30 JP JP2000567292A patent/JP2002523707A/ja active Pending
- 1999-08-30 KR KR1020017002536A patent/KR100618072B1/ko active IP Right Grant
- 1999-08-30 AU AU59047/99A patent/AU5904799A/en not_active Abandoned
-
2010
- 2010-12-16 JP JP2010280915A patent/JP2011099562A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60179140A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-09-13 | ベルクヴエルクスフエルバント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 負荷された乾燥粉末状炭素含有吸着剤の再生方法及び装置 |
JPS63156542A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-29 | Kuraray Chem Kk | 活性炭再生法 |
JPS63315146A (ja) * | 1987-06-16 | 1988-12-22 | Koko Res Kk | 炭素質吸着体の再生方法 |
JPH0852318A (ja) * | 1994-05-26 | 1996-02-27 | Corning Inc | 電気的に加熱可能な活性炭ボディおよびその製造方法並びに使用方法 |
WO1997012669A1 (de) * | 1995-10-04 | 1997-04-10 | Süd-Chemie AG | Verfahren zum regenerieren von gebrauchten anorganischen adsorbentien sowie verwendung der regenerate |
WO1997044118A1 (en) * | 1996-05-20 | 1997-11-27 | Advanced Technology Materials, Inc. | Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200049794A (ko) * | 2017-09-25 | 2020-05-08 | 누맷 테크놀로지스, 인코포레이티드 | 고 반응성 가스의 흡착제-지원 안정화 |
JP2020534998A (ja) * | 2017-09-25 | 2020-12-03 | ヌマット テクノロジーズ,インコーポレイテッド | 高反応性ガスの吸着剤による安定化 |
JP7299879B2 (ja) | 2017-09-25 | 2023-06-28 | ヌマット テクノロジーズ,インコーポレイテッド | 高反応性ガスの吸着剤による安定化 |
KR102613700B1 (ko) | 2017-09-25 | 2023-12-14 | 누맷 테크놀로지스, 인코포레이티드 | 고 반응성 가스의 흡착제-지원 안정화 |
JP7012189B1 (ja) | 2021-09-02 | 2022-01-27 | 東京瓦斯株式会社 | ガス供給方法 |
JP2023036188A (ja) * | 2021-09-02 | 2023-03-14 | 東京瓦斯株式会社 | ガス供給方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2000012196A1 (en) | 2000-03-09 |
EP1109613A1 (en) | 2001-06-27 |
KR100618072B1 (ko) | 2006-08-30 |
EP1109613A4 (en) | 2004-06-30 |
US6083298A (en) | 2000-07-04 |
WO2000012196A9 (en) | 2001-07-19 |
MY133994A (en) | 2007-11-30 |
KR20010073040A (ko) | 2001-07-31 |
JP2002523707A (ja) | 2002-07-30 |
AU5904799A (en) | 2000-03-21 |
TW565467B (en) | 2003-12-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011099562A (ja) | 吸着剤前処理を利用した吸着型気体貯蔵及び計量分配システムの製造方法 | |
JP3916788B2 (ja) | 気体化合物の貯蔵と送出のシステム | |
TW434038B (en) | Adsorption-desorption apparatus and process for supplying a fluid reagent | |
US5704967A (en) | Fluid storage and delivery system comprising high work capacity physical sorbent | |
US9518971B2 (en) | Recovery of Xe and other high value compounds | |
KR100858077B1 (ko) | 가스 공급 장치, 이온 주입 장치, 가스 시약 공급 방법, 흡탈착 방법 및 반도체 제조 설비 | |
US5985008A (en) | Sorbent-based fluid storage and dispensing system with high efficiency sorbent medium | |
US6716271B1 (en) | Apparatus and method for inhibiting decomposition of germane | |
JP5700570B2 (ja) | 吸着性流体の貯蔵ならびに計量分配用の吸着・脱着装置及び流体試薬の供給方法 | |
JP2009008265A5 (ja) | ||
US20220128196A1 (en) | Adsorbent-type storage and delivery vessels with high purity delivery of gas, and related methods | |
US20220112986A1 (en) | Storage and Delivery Veseel for Storing GeH4, Using a Zeolitic Adsorbent | |
JP2001248793A (ja) | 吸着式気体貯蔵容器及びその活性化方法 | |
KR20010012803A (ko) | 고용량의 가스 저장 및 분배 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120828 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20121011 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20121016 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130730 |