JP2007309524A5

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Publication number: JP2007309524A5
Application number: JP2007168433A
Authority: JP
Filing date: 2007-06-27
Publication date: 2009-06-18
Anticipated expiration: 2015-10-13

Claims

気体の貯蔵と計量分配用の吸着・脱離装置であって、
貯蔵用に前記気体を物理的に吸着し、かつ、計量分配用に前記気体を脱離することができる固相物理的収着媒体を保持する貯蔵と計量分配用容器を備え、
前記固相物理的収着媒体上に存在し得る水、金属、および酸化物よりなる遷移金属種が、25℃の温度下で１年後に前記貯蔵と計量分配用容器内の収着済み気体を５重量％以上分解するには不十分な濃度にある、吸着・脱離装置。
気体の貯蔵と計量分配用の吸着・脱離装置であって、
貯蔵用に前記気体を物理的に吸着し、かつ、計量分配用に前記気体を脱離することができる固相物理的収着媒体を保持する貯蔵と計量分配用容器を備え、
前記物理的収着媒体の重量に基づく、水、金属、および酸化物よりなる遷移金属種からなる群より選ばれた微量成分の前記固相物理的収着媒体濃度が、25℃の温度下で１週間後に前記貯蔵と計量分配用容器内の内部圧力が10％以上上昇するように収着済み気体を分解するには不十分である、吸着・脱離装置。
気体の貯蔵と計量分配用の吸着・脱離装置であって、
貯蔵用に前記気体を物理的に吸着し、かつ、計量分配用に前記気体を脱離することができる固相物理的収着媒体を保持する貯蔵と計量分配用容器を備え、
前記固相物理的収着媒体は、前記貯蔵と計量分配用容器内の物理的に吸着可能な気体を分解するには十分な濃度の水、金属、および酸化物よりなる遷移金属種からなる群より選ばれた微量成分を実質的に含まない、吸着・脱離装置。
前記固相物理的収着媒体上に存在し得る水および酸化物よりなる遷移金属種が、25℃の温度下で１年後に前記貯蔵と計量分配用容器内の前記収着済み気体を５重量％以上分解するには不十分な濃度にある、請求項１記載の装置。
前記濃度が、25℃の温度下で１年後に前記貯蔵と計量分配用容器内の前記収着済み気体を１重量％以上分解するには不十分である、請求項１記載の装置。
前記濃度が、25℃の温度下で１週間後に前記貯蔵と計量分配容器内の内部圧力が５％以上上昇するように前記収着済み気体を分解するには不十分である、請求項２記載の装置。
前記貯蔵と計量分配用容器に気体が流れるように連通して連結された、前記容器から前記気体を計量分配するための計量分配アセンブリーをさらに備える、請求項１乃至６のいずれか１項記載の装置。
前記固相物理的収着媒体が、前記物理的収着媒体の重量に基づき、水と、酸化物よりなる遷移金属種からなる群より選ばれた微量成分を350重量ppm以下含む、請求項１乃至７のいずれか１項記載の装置。
前記固相物理的収着媒体が、前記物理的収着媒体の重量に基づき、水と、酸化物よりなる遷移金属種からなる群より選ばれた微量成分を100重量ppm以下含む、請求項１乃至７のいずれか１項記載の装置。
前記固相物理的収着媒体が、前記物理的収着媒体の重量に基づき、水と、酸化物よりなる遷移金属種からなる群より選ばれた微量成分を１重量ppm以下含む、請求項１乃至７のいずれか１項記載の装置。
前記酸化物よりなる遷移金属種は、酸化物、硫化物と硝酸塩からなる群より選ばれる、請求項１乃至１０のいずれか１項記載の装置。
前記固相物理的収着媒体に気体が吸着される、請求項１乃至１１のいずれか１項記載の装置。
前記収着済み気体が水素化物気体である、請求項１２記載の装置。
前記収着済み気体がハロゲン化物気体である、請求項１２記載の装置。
前記収着済み気体がＶ族有機金属気体である、請求項１２記載の装置。
前記収着済み気体が、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、BCl₃、BF₃、B₂D₆、六弗化タングステンおよび（CH₃）₃Sb、弗化水素、塩化水素、沃化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素ならびにNF₃からなる群より選ばれる、請求項１２記載の装置。
前記収着済み気体がアルシンである、請求項１２記載の装置。
前記収着済み気体がホスフィンである、請求項１２記載の装置。
前記収着済み気体が三弗化硼素である、請求項１２記載の装置。
前記固相物理的収着媒体を加熱して、前記収着済み気体を前記固相物理的収着媒体から熱強化脱離させるように動作的に配置されたヒーターをさらに備える、請求項１乃至１９のいずれか１項記載の装置。
前記固相物理的収着媒体が炭素を含む、請求項１乃至２０のいずれか１項記載の装置。
前記貯蔵と計量分配容器中に、前記気体の異物を吸着する化学吸着材料をさらに備える、請求項１乃至２１のいずれか１項記載の装置。
前記容器が、イオン注入装置と気体が流れるように連通して連結される、請求項１乃至２２のいずれか１項記載の装置。
前記気体を、計量分配後に保持するための保持機構、
前記気体を、計量分配後に移動させるためのポンプ、および
前記容器から計量分配される前記気体の圧力を監視するための圧力モニター、
のうちの少なくとも一つをさらに備える、請求項１乃至２３のいずれか１項記載の装置。
請求項１乃至２４のいずれか１項記載の装置内で、前記固相物理的収着媒体に気体を吸着し、かつ／または、前記固相物理的収着媒体から気体を脱離することを含む、方法。
固相物理的収着媒体に気体を吸着し、かつ／または、前記固相物理的収着媒体から気体を脱離することを含む方法であって、
前記固相物理的収着媒体が、
（i）前記固相物理的収着媒体上に存在し得る水、金属、および酸化物よりなる遷移金属種が、25℃の温度下で１年後に収着済み気体を５重量％以上分解するには不十分な濃度にあること、
（ii）前記物理的収着媒体の重量に基づく、水、金属、および酸化物よりなる遷移金属種からなる群より選ばれた微量成分の前記固相物理的収着媒体濃度が、25℃の温度下で１週間後に、前記固相物理的収着媒体を含む気体の貯蔵と計量分配用容器内の内部圧力が10％以上上昇するように前記収着済み気体を分解するには不十分であること、および
（iii）前記固相物理的収着媒体は、物理的に吸着可能な気体を分解するには十分な濃度の水、金属、および酸化物よりなる遷移金属種からなる群より選ばれた微量成分を実質的に含まないこと、
のうちの少なくとも一の特徴を備える、方法。
前記前記固相物理的収着媒体が特徴（i）を備える、請求項２６記載の方法。
前記前記固相物理的収着媒体が特徴（ii）を備える、請求項２６記載の方法。
前記前記固相物理的収着媒体が特徴（iii）を備える、請求項２６記載の方法。
前記前記固相物理的収着媒体が特徴（i）および（ii）を備える、請求項２６記載の方法。
前記前記固相物理的収着媒体が特徴（i）および（iii）を備える、請求項２６記載の方法。
前記前記固相物理的収着媒体が特徴（ii）および（iii）を備える、請求項２６記載の方法。
前記前記固相物理的収着媒体が特徴（i）、（ii）および（iii）を備える、請求項２６記載の方法。
前記固相物理的収着媒体に気体を吸着することを含む、請求項２６乃至３３のいずれか１項記載の方法。
前記固相物理的収着媒体から気体を脱離することを含む、請求項２６乃至３４のいずれか１項記載の方法。
前記固相物理的収着媒体から脱離された気体を半導体材料または半導体装置の製造のために用いることを含む、請求項３５記載の方法。
前記固相物理的収着媒体が炭素を含む、請求項２６乃至３６のいずれか１項記載の方法。
前記気体が、シラン、ジボラン、アルシン、ホスフィン、塩素、BCl₃、BF₃、B₂D₆、六弗化タングステンおよび（CH₃）₃Sb、弗化水素、塩化水素、沃化水素、臭化水素、ゲルマン、アンモニア、スチビン、硫化水素、セレン化水素、テルル化水素ならびにNF₃からなる群より選ばれる、請求項２６乃至３７のいずれか１項記載の方法。