JP2011054262A - 不揮発性メモリー装置、その駆動方法、それを含むメモリーシステム - Google Patents

不揮発性メモリー装置、その駆動方法、それを含むメモリーシステム Download PDF

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Abstract

【課題】新規な不揮発性メモリー装置、及びそれを含むメモリーシステムが提供される。
【解決手段】本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置は、高電圧を生成する高電圧発生器と、前記高電圧を受信し、選択されたメモリーブロックの複数のワードラインにワードライン電圧を提供する第1トランジスターと、を含み、前記高電圧は、負のワードライン電圧が前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供されるか否かによって、可変される。本発明による不揮発性メモリー装置は、信頼性を向上させることができる。
【選択図】図1

Description

本発明は、不揮発性メモリー装置、その駆動方法、及びそれを含むメモリーシステムに関する。
半導体メモリー装置は、一般的に、人工衛星から家庭用電子機器までの範囲に属するマイクロプロセッサーを基盤にするアプリケーション及びコンピュータのようなデジタルロジック回路設計において最も必須なマイクロ電子素子である。したがって、高い集積度、及び速い速度のための縮小(Scaling)を通じて得られるプロセスの向上、及び技術開発を含む半導体メモリーの製造技術の進歩は、他のデジタルロジックシステムの性能を向上させることに役に立つ。
半導体メモリー装置は、大きく揮発性半導体メモリー装置と不揮発性半導体メモリー装置に分かれる。不揮発性半導体メモリー装置は、電源が遮断されてもデータを保持し続けるすることができる。不揮発性メモリーに格納されるデータは、メモリー製造技術によって、固定(permanent)であるか、或いは再プログラム可能である。不揮発性半導体メモリー装置は、コンピュータ、航空電子工学、通信、そして家電技術産業のような広い範囲の応用分野でプログラム及びマイクロコードの格納のために使われる。
不揮発性メモリー装置の代表的な例としてフラッシュメモリー装置がある。最近では、メモリー装置に対する高集積要求が増加するにつれて、1つのメモリーセルにマルチビットを格納するマルチ・ビットメモリー装置が標準の製品になっている。
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、その目的は、新規な不揮発性メモリー装置、及びそれを含むメモリーシステムを提供することにある。
本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置は、高電圧を生成する高電圧発生器と、前記高電圧を受信し、選択されたメモリーブロックの複数のワードラインにワードライン電圧を提供する第1トランジスターと、を含み、前記高電圧は、負のワードライン電圧が前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供されるか否かによって、可変される。
実施形態において、前記第1トランジスターのウェルに印加されるウェル電圧を生成するウェル電圧発生器をさらに含み、負のワードライン電圧が前記選択されたメモリーブロックの前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供されるか否かによって、前記ウェル電圧が可変される。
実施形態において、負電圧ワードライン電圧が前記選択されたメモリーブロックの前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供される時、前記ウェル電圧は、負のレベルを有する。
実施形態において、前記アドレスデコーダーは、複数のメモリーブロック選択器を含み、各々のメモリーブロック選択器は、選択されたメモリーブロックのワードラインに前記ワードライン電圧を提供するためのメモリーブロック選択回路を制御するブロックワードラインと、活性化信号に応答して前記ブロックワードラインに前記高電圧を提供するプルアップ回路と、前記活性化信号に応答して前記第1トランジスターの前記ウェルから前記ブロックワードラインを電気的に遮断し、前記活性化信号の相補的な信号に応答して前記第1トランジスターの前記ウェルに前記ブロックワードラインを電気的に連結されるプルダウン回路を含む。
実施形態において、プログラム動作、読出し動作、検証読出し動作、或いは消去動作の内に負電圧が前記選択されたメモリーブロックの前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供されるか否かによって、前記高電圧と前記ウェル電圧とを可変するように前記高電圧発生器、及び前記ウェル電圧発生器を制御する制御ロジックをさらに含む。
実施形態において、前記負のワードライン電圧は、少なくとも1つのプログラム状態のためのプログラム検証動作で選択されたワードラインに提供される。
実施形態において、前記負のワードライン電圧は、消去されたメモリーセルを検証するための前記プログラム検証動作で前記選択されたワードラインに提供される。
実施形態において、前記負のワードライン電圧は、少なくとも1つのプログラム状態のための読出し動作で選択されたワードラインに提供される。
本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置の駆動方法は、高電圧を生成して、アドレスデコーダーでメモリーブロック選択器の第1トランジスターに前記高電圧を印加し、アドレス情報に基づいて選択されたワードラインに前記メモリーブロック選択器を通じて入力されたワードライン電圧を提供し、前記選択されたワードラインに提供される前記入力されたワードライン電圧が負電圧であるか否かによって、前記高電圧を可変することを含む。
実施形態において、前記第1トランジスターのウェルにウェル電圧を印加し、前記選択されたワードラインに前記入力されたワードライン電圧が負電圧であるか否かによって、前記ウェル電圧を可変することをさらに含む。
実施形態において、増加型パルスプログラム(以下、‘ISPP’)プログラムループ動作のプログラム実行区間で前記高電圧は、第1レベルを有し、前記ウェル電圧は、第3レベルを有し、前記ISPPプログラムループ動作の検証読出し区間で前記高電圧は、前記第1レベルより低い第2レベルを有し、前記ウェル電圧は、前記第3レベルより低い第4レベルを有する。
実施形態において、前記不揮発性メモリー装置の中の各々のメモリーセルは、消去状態及び複数のプログラム状態にプログラム可能であり、読出し動作は、前記プログラム状態の中の少なくとも1つで負の検証読出しで実行され、各々のISPPプログラムループで、検証読出し動作が前記負の検証読出しレベルに実行される時、1つの周期との間前記高電圧、及び前記ウェル電圧は、各々第1レベル、及び第3レベルを有し、検証読出し動作において、前記負の検証読出しレベルに実行される時、1つの周期との間に前記高電圧と前記ウェル電圧は、各々前記第1レベルより低い第2レベル、及び前記第3レベルより低い第4レベルを有する。
実施形態において、前記負の検証レベルで前記検証読出し動作がパスされた後に、前記負の検証読出しレベルの検証読出し動作は、次のISPPプログラムループで除去される。
実施形態において、前記不揮発性メモリー装置は、消去状態及び複数のプログラム状態にプログラムされ、検証読出し動作は、前記プログラム状態の中の少なくとも1つで負の検証レベルで実行され、各々のISPPプログラムループで、前記負の検証レベルの前記検証読出し動作がパスされる時まで、前記高電圧、及び前記ウェル電圧は、各々第2レベル、及び第3レベルを有し、前記負の検証レベルの前記検証読出し動作がパスされた後には、前記高電圧、及び前記ウェル電圧は、各々前記第2レベルより高い第1レベル、及び前記第3レベルより高い第4レベルを有する。
実施形態において、前記負の検証レベルの前記検証読出し動作がパスされた後には、前記負の検証レベルで検証読出し動作が 次の負のISPPプログラムループで除去される。
実施形態において、前記選択されたワードラインに提供される検証電圧の相異なるレベルと関連され、前記高電圧が相異なるレベルに可変され、そして前記ウェル電圧が相異なるレベルに可変される。
実施形態において、前記高電圧は、1以上の負の検証電圧を有するプログラム及び検証区間との間に、第1レベルに設定され、1つの負の検証電圧を有するプログラム及び検証区間との間に、第2レベルに設定され、負の検証電圧がないプログラム及び検証区間との間に、第3レベルに設定され、ここで前記第1レベルは、前記第2レベルより低いし、前記第2レベルは前記第3レベルより低い。
実施形態において、前記高電圧、及び前記ウェル電圧は、1以上の負の検証電圧を有するプログラム及び検証区間との間に各々第1レベルに設定され、1つの負の検証電圧を有するプログラム及び検証区間との間に各々第2レベルに設定され、負の検証電圧がないプログラム及び検証区間との間に各々第3レベルに設定され、ここで、前記第1レベルは、前記第2レベルより低いし、前記第2レベルは、前記第3レベルより低いし、前記ウェル電圧の相異なるレベルは、負電圧、或いは接地電圧である。
本発明の実施形態による装置は、複数のワードライン、及び複数のビットラインの交差する所に形成される複数のメモリーセルを有する複数のメモリーブロックと、入力アドレスに応答して前記メモリーブロックの中の何れか1つを選択し、前記入力アドレスに対応する前記選択されたメモリーブロックに選択されたワードラインにワードライン電圧を提供するアドレスデコーダーと、プログラム動作でメモリーセルアレイにプログラムなるデータを臨時に格納するか、或いは、読出し動作で前記メモリーセルアレイから読出されたデータを臨時に格納する入出力バッファーと、ワードライン電圧、高電圧、及びウェル電圧を生成する電圧発生器と、前記ウェル電圧のレベルによって、前記高電圧のレベルを調節するために前記電圧発生器を制御する制御ロジックと、を含む。
実施形態において、前記制御ロジックは、負電圧が前記選択されたメモリーブロックのワードラインに提供されるか否かによって、前記ウェル電圧のレベルを可変するために前記電圧発生器を制御する。
実施形態において、前記電圧発生器は、前記負電圧を生成する負電圧発生器を含む。
実施形態において、前記不揮発性メモリー装置を制御するメモリー制御器をさらに含み、前記不揮発性メモリー装置は、負電圧が選択されたワードラインに前記アドレスデコーダーを通じて提供されるか否かによって、前記アドレスデコーダーの第1トランジスターのウェルに印加されるウェル電圧のレベル、或いは前記第1トランジスターに提供される前記高電圧のレベルを調節するように制御する。
実施形態において、 前記メモリー制御器は、Universal Serial Bus(USB)、Multimedia Card(MMC)、Peripheral Component Interconnection(PCI)、PCI−Express(PCI−E)、Advanced Technology Attachment(ATA、Parallel−ATA、pATA)、Serial−ATA(SATA)、external SATA(eSATA)、Small Computer Small Interface(SCSI)、Enhanced Small Disk Interface(ESDI)、and Integrated Drive Electronics(IDE)から選択された標準化されたインターフェースプロトコルを具備するホストインターフェース回路を含む。
本発明による不揮発性メモリー装置は、信頼性を向上させることができる。
本発明による不揮発性メモリー装置の第1実施形態を示す図面である。 図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法を説明するための閾値電圧分布に対する第1実施形態を示す図面である。 図2に示す閾値電圧分布によるプログラム動作におけるウェル電圧と高電圧の制御方法に対する第1実施形態を示す図面である。 図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法に対する第1実施形態を示す流れ図である。 図2に示す閾値電圧分布によるプログラム動作におけるウェル電圧と高電圧の制御方法に対する第2実施形態を示す図面である。 図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法に対する第2実施形態を示す流れ図である。 図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法を説明するための閾値電圧分布に対する第2実施形態を示す図面である。 図7に示す閾値電圧分布によるプログラム動作におけるウェル電圧と高電圧の制御方法に対する実施形態を示す図面である。 図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法を説明するための閾値電圧分布に対する第3実施形態を示す図面である。 図9に示す閾値電圧分布によるプログラム動作におけるウェル電圧と高電圧の制御方法を示す第1実施形態を示す図面である。 図9に示す閾値電圧分布によるプログラム動作におけるウェル電圧と高電圧の制御方法を示す第2実施形態を示す図面である。 図9に示す閾値電圧分布によるプログラム動作におけるウェル電圧と高電圧の制御方法を示す第3実施形態を示す図面である。 図1に示す不揮発性メモリー装置の読出し動作のための閾値電圧分布を示す図面である。 本発明の実施形態による3−ビットMLC不揮発性メモリー装置のプログラム方法のための閾値電圧分布に対する実施形態を示す図面である。 本発明の実施形態による4−ビットMLC不揮発性メモリー装置のプログラム方法のための閾値電圧分布に対する実施形態を示す図面である。 図1に示すアドレスデコーダーの実施形態を示す図面である。 図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム動作における電圧制御方法に対する実施形態を示す図面である。 本発明による不揮発性メモリー装置の第2実施形態を示す図面である。 本発明による不揮発性メモリー装置の第3実施形態を示す図面である。 本発明の実施形態によるメモリーシステムに対する実施形態のブロック図である。 本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置を有するメモリーカードのブロック図である。 本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置を有するmoviNANDのブロック図である。 本発明の実施形態によるSSDのブロック図である。 本発明の実施形態によるコンピュータシステムのブロック図である。 SSDを利用したサーバーシステムに対する実施形態のブロック図である。 本発明の実施形態による電子機器のブロック図である。
以下、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が本発明の技術的思想を容易に実施できるように本発明の実施形態を添付された図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置を示す図面である。図1を参照すると、不揮発性メモリー装置100は、メモリーセルアレイ110、アドレスデコーダー120、入出力回路130、電圧発生器140、及び制御ロジック150を含む。本発明の制御ロジック150は、ワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、高電圧VPP、或いはウェル電圧VWLLを可変(varies)/調節(adjusts)/決定(determines)/制御/選択する。ここで、ウェル電圧VWLLは、アドレスデコーダー120のウェルに提供される電圧である。
図1に示す不揮発性メモリー装置は、ナンドフラッシュメモリー装置(NAND Flash Memory Device)である。しかし、本発明の不揮発性メモリー装置が必ずしもナンドフラッシュメモリー装置に限定される必要はない。本発明の不揮発性メモリー装置は、ノアフラッシュメモリー装置、抵抗変化メモリー装置(Resistive random Access Memory:RRAM)、相変化メモリー装置(Phase−Change Memory:PRAM)、磁気抵抗メモリー装置(Magnetroresistive random Access Memory:MRAM)、強誘電体メモリー装置(Ferroelectric random Access Memory:FRAM)、スピン注入磁化反転メモリー装置(Spin Transfer Torque random Access Memory:STT−RAM)等であり得る。また、本発明の不揮発性メモリー装置は、3次元アレイ構造(Three−Dimentional Array Structure)で具現されることができる。
メモリーセルアレイ110は、複数のワードラインWL0〜WLm−1、及び複数のビットラインBL0〜BLn−1が交差する所に形成された複数のメモリーセルを含む。ここで、m及びnは、自然数である。メモリーセルアレイ110は、複数のメモリーブロック(図示せず)を含む。図1では実施形態として、1つのメモリーブロックが示される。各々のメモリーブロックは、複数のページを含む。そして、ページの各々は、対応するワードラインに連結された複数のメモリーセルを含む。不揮発性メモリー装置100は、ブロック単位で消去動作を実行し、ページ単位で書込み動作、或いは読出し動作を実行することができる。
各々のメモリーセルは、1ビットのデータ、或いは2ビット以上のデータを格納することができる。1つのメモリーセルに1ビットのデータを格納することができるメモリーセルは、シングルレベルセル(Single Level Cell:SLC)と称する。1つのメモリーセルに2ビット以上のデータを格納することができるメモリーセルは、マルチレベルセル(Multi Level Cell:MLC)と称する。シングルレベルセルSLCは、閾値電圧によって、消去状態(Erase State)、或いはプログラム状態(Program State)を有する。マルチレベルセルMLCは、閾値電圧によって、消去状態と複数のプログラム状態との中の何れか1つを有する。
続いて、図1を参照すると、メモリーセルアレイ110は、セルストリング構造(Cell STring Structure)で具現される。各々のセルストリングは、ストリング選択ライン(Selection Line:SSL)に連結されるストリング選択トランジスターSST、複数のワードラインWL0〜WLm−1に各々連結する複数のメモリーセルMC0〜MCm−1、そして接地選択ライン(Ground Selection Line:GSL)に連結される接地選択トランジスターGSTを含む。ここで、ストリング選択トランジスターSSTは、ビットラインとストリングチャンネル(String Channel)との間に連結され、接地選択トランジスターGSTは、ストリングチャンネルと共通ソースライン(Common SourceLine:CSL)との間に連結される。
アドレスデコーダー120は、選択ラインSSL、GSL、及び複数のワードラインWL0〜WLm−1を通じてメモリーセルアレイ110に連結される。アドレスデコーダー120は、プログラム動作、或いは読出し動作においてアドレスADDRを受信し、入力されたアドレスADDRによって、複数のメモリーブロックの中の何れか1つのブロックを選択する。また、アドレスデコーダー120は、選択されたメモリーブロックで、入力されたアドレスADDRによって、ワードラインを選択する。ここで、選択されたワードラインには、プログラム動作或いは読出し動作が実行されるメモリーセルが連結する。
また、アドレスデコーダー120は、選択されたワードライン、非選択されたワードライン、そして、選択ラインSSL、GSLに、プログラム動作、或いは読出し動作で必要なバイアス電圧(例えば、プログラム電圧、パス電圧、ストリング選択電圧、接地選択電圧)を印加する。ここで、バイアス電圧は、制御ロジック150の制御によって、電圧発生器140から生成される。
入出力回路130は、複数のビットラインBL0〜BLn−1を通じてメモリーセルアレイ110に連結される。入出力回路130は、複数のページバッファーPB0〜PBn−1を含む。複数のページバッファーPB0〜PBn−1は、選択されたワードラインに連結したメモリーセルにプログラムされるデータを一時的に格納するか、或いは選択されたワードラインに連結されたメモリーセルから読出すデータを一時的に格納する。
プログラム動作において、プログラムセルに連結されたビットラインにはビットラインプログラム電圧(例えば、0V)が各々印加され、プログラム禁止セルに連結されたビットラインにはビットライン禁止電圧(例えば、高電圧)が各々提供される。一方、ビットライン禁止電圧は、ビットラインプリチャージ電圧と称することもある。
電圧発生器140は、制御ロジック150の制御によって、不揮発性メモリー装置100を駆動するための電圧を生成する。電圧発生器140は、高電圧レベル発生器142、低電圧レベル発生器144、負電圧レベル発生器146、及び電圧選択スイッチ148を含む。
高電圧レベル発生器142は、制御ロジック150の制御によって、駆動に必要な高電圧レベルを生成する。ここで、高電圧レベルは、プログラム電圧、パス電圧等として利用される。
低電圧レベル発生器144は、制御ロジック150の制御によって、駆動に必要な低電圧レベルを生成する。ここで、低電圧レベルは、読出し電圧、読出し検証電圧(read verify voltage)等として利用される。
負電圧レベル発生器146は、制御ロジック150の制御によって、駆動に必要な負電圧レベルを生成する。ここで負電圧レベルは、ワードライン電圧VWL、ウェル電圧VWLL等として利用される。ここで、ワードライン電圧VWLは、プログラム電圧、パス電圧(pass voltage)、読出し電圧、読出し検証電圧、消去電圧等になる。
一方、負電圧レベル発生器146は、少なくとも1つのワードラインに負のワードライン電圧VWLが印加されるか否かによって、アクティブにされることができる。即ち、少なくとも1つのワードラインに負のワードライン電圧VWLが印加できない時には、負電圧レベル発生器146は非活性化される。しかし、本発明の負電圧レベル発生器146が必ずしもこれに限定される必要はない。本発明の負電圧レベル発生器146は、ワードラインに負電圧が印加されるか否かに関係なく、アクティブにされることができる。
電圧選択スイッチ148は、高電圧レベル発生器142から生成された高電圧レベル、低電圧レベルから生成された低電圧レベル、及び負電圧レベル発生器146から生成された負電圧レベルを、制御ロジック150の制御によって、駆動に必要なワードライン電圧VWL、高電圧VPP、ウェル電圧VWLLとして選択し、選択された電圧をアドレスデコーダー120に提供する。
電圧選択スイッチ148は、ワードライン電圧VWLとして負電圧レベルを選択する時、ウェル電圧VWLLとして負電圧レベルを選択する。また、電圧選択スイッチ148は、ワードライン電圧VWLとして負電圧レベルを選択する時、高電圧VPPに可変されたレベルを選択する。例えば、可変されたレベルは、ワードライン電圧VWLとして負電圧レベルでないレベルを選択する時の高電圧VPPレベルより低い。
電圧選択スイッチ148は、ワードライン電圧VWLとして負電圧レベルを選択しない時、ウェル電圧VWLLとしてデフォルト(default)電圧(例えば、接地電圧)を選択できる。また、電圧選択スイッチ148は、ワードライン電圧VWLとして負電圧レベルを選択する時、ウェル電圧VWLLとして負電圧レベルを選択できる。ここで、ワードライン電圧VWLの負電圧レベルは、ウェル電圧VWLLの負電圧レベルと比較して同一であるか、或いは高いことである。
一方、負電圧レベル発生器146がアクティブにされる時、電圧選択スイッチ148のウェルに負電圧が提供される。即ち、少なくとも1つのワードラインに負のワードライン電圧VWLが印加される時、電圧選択スイッチ148のウェルに負電圧が提供される。
制御ロジック150は、不揮発性メモリー装置100の全般的な動作(例えば、プログラム/読出し/消去)を制御する。制御ロジック150は、外部から提供される制御信号CTRLによって、プログラム/読出し/消去動作を実行する。
制御ロジック150は、増加型パルスプログラム(Incremental step pulse program; ISPP)方式によって、プログラム動作を実行するように、アドレスデコーダー120、入出力回路130、及び電圧発生器140を制御する。
制御ロジック150は、プログラム動作、読出し動作、検証読出し動作、或いは消去動作において、少なくとも1つのワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、高電圧VPPが可変(vary)されるように高電圧発生器144を制御する。
また、制御ロジック150は、プログラム動作、読出し動作、検証読出し動作、或いは消去動作において、少なくとも1つのワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、ウェル電圧VWLLが可変されるようにウェル電圧発生器146を制御する。言い換えれば、制御ロジック150は、ウェル電圧VWLLによって、高電圧VPPが可変されるように電圧発生器140を制御する。
また、制御ロジック150は、複数の検証読出し動作において、相異なるウェル電圧のレベルを設定するための少なくとも2個のモードを含む。例えば、第1モードは、複数の検証読出し動作の中の少なくとも1つの検証読出し動作が完了する時まで第1レベルを有するウェル電圧を生成するが、その以後には第2レベルを有するウェル電圧を生成するように設定される。第2モードは、複数の検証読出し動作の中の少なくとも1つの検証読出し動作のみ第1レベルを有するウェル電圧を生成し、その他の区間では第2レベルを有するウェル電圧を生成するように設定される。一方、このようなモード設定は、使用者によって実行されるか、或いは制御ロジック150によって内部的に実行されることができる。
本発明による不揮発性メモリー装置100は、少なくとも1つのワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、高電圧VPP、或いはウェル電圧VWLLを可変させる。
本発明による不揮発性メモリー装置100は、少なくとも1つのワードラインに負電圧が印加される時、ウェル電圧VWLLを可変する。これで、素子(例えば、トランジスター)にDCパスが形成されることを防止する。例えば、素子は、ワードラインに連結されたN型ドーピング領域及びP型ドーピングされたウェルを含む。したがって、ワードラインに負電圧が印加される時、即ち、N型ドーピング領域に負電圧が印加される時、P型ド−ピングされたウェルに負電圧が提供されることによって、P型ウェルとN型ドーピング領域との間にDCパスが形成されることを防ぐ。
また、本発明による不揮発性メモリー装置100は、ウェル電圧VWLLと高電圧VPPの電圧差による素子(例えば、トランジスター)のジャンクション(Junction)破壊を防止できる。例えば、素子のウェルと高電圧VPPが印加されるドーピング領域との間に形成されたジャンクションは、最大高電圧VPPからウェル電圧VWLLを減じた電圧が印加される。本発明による不揮発性メモリー装置100では制御ロジック150の制御によって、高電圧VPP、及びウェル電圧VWLLが可変されることによって、素子のウェルと高電圧VPPが印加されるドーピング領域との間に形成されたジャンクションが破壊されない。
図2は、図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法を説明するための閾値電圧分布に対する第1実施形態を示す図面である。図2を参照すると、不揮発性メモリー装置100の閾値電圧分布は、大きく4つの状態を有する。
ここで、4つの状態は、消去状態E、第1プログラム状態P1、第2プログラム状態P2、第3プログラム状態P3である。メモリーセルが第1プログラム状態P1に到達したことを知るために、第1検証レベルVF1の検証読出し動作(以下、‘第1検証読出し動作’と称する)が実行される。ここで、第1検証レベルVF1は、負の値である。メモリーセルが第2プログラム状態P2に到達したことを知るために、第2検証レベルVF2の検証読出し動作(以下、‘第2検証読出し動作’と称する)が実行される。メモリーセルが第3プログラム状態P3に到達したことを知るために、第3検証レベルVF3の検証読出し動作(以下、‘第3検証読出し動作’と称する)が実行される。
図3は、図2に示す閾値電圧分布によるプログラム動作において、ウェル電圧と高電圧との制御方法に対する第1実施形態を示す図面である。図3を参照すると、不揮発性メモリー装置100は、増加型パルスプログラム(Incremental Step Pulse Program:ISPP)方式でプログラム動作を実行する。ここで、増加型パルスプログラム方式は、ループ回数が増加されることによって順次的に増加されたプログラム電圧Vpgmを選択されたワードラインSel.WLに印加する方式である。
続いて、図3を参照すると、プログラム電圧Vpgmが選択されたワードラインSel.WLに提供される時、ウェル電圧VWLLは、0Vであり、高電圧VPPは、第1レベルVPPHを有する。以後、第1検証読出し動作区間でウェル電圧VWLLは、負のレベルNWVを有し、高電圧VPPは、第2レベルVPPLを有する。ここで、第2レベルVPPLは、第1レベルVPPHより低い。以後、第2検証読出し動作区間でウェル電圧VWLLは、0Vを有し、高電圧VPPは、第1レベルVPPHを有する。以後、第3検証読出し動作区間でウェル電圧VWLLは、0Vを有し、高電圧VPPは、第1レベルVPPHを有する。
第1乃至第3検証読出し動作の中の少なくとも1つでフェイルが検出されれば、所定のレベルだけ増加されたプログラム電圧Vpgmが選択されたワードラインSel.WLに提供される。
一方、第1検証読出し動作区間で第1プログラム状態P1を目標にするメモリーセルが全てプログラムされた時、その次、負プログラムループの第1検証読出し動作区間でウェル電圧VWLLは、0Vであり、高電圧VPPは、第1レベルVPPHを有する。即ち、第1検証読出し動作がパスされる時まで、第1検証読出し区間のみで負のレベルNWVを有するウェル電圧VWLLと第2レベルVPPLを有する高電圧VPPが提供される。
一方、第1プログラム状態P1を目標にするメモリーセルが全てプログラムされたか判断するために、ページバッファー(図1参照)PB0〜PBn−1各々は、プログラム動作において、第1プログラム状態P1に対応するビット値(例えば、‘10’)を格納する。そして第1検証読出し動作において、第1プログラム状態P1に対応するビット値が格納されたページバッファーのみがパスビット(データ‘1’)、或いはフェイルビット(データ‘0’)を出力する。他のページバッファーは、第1検証読出し動作において、プログラム成功に関係なくパスビット(データ‘1’)を出力する。各ページバッファーPB0〜PBn−1から出力されるフェイルビットによって、第1検証読出し動作のパス、或いはフェイルが決定される。
一方、第1検証読出し動作がパスされる時、次のプログラムループでは第1検証読出し動作が実行できない。この時、点線の第1検証読出し区間は、プログラムループに含まれルか、或いは含まれない。
第2及び第3検証読出し動作も、上述した第1検証読出し動作と同一の方法に進行される。
上述した通り、第1検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLは、0Vである。しかし、第1検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLが必ずしも0Vである必要はない。第1検証読出し区間以外の区間にウェル電圧VWLLは、負のレベルNWLより高いレベルを有する。
本発明によるプログラム動作が必ずしも上述した方法に限定される必要はない。他の実施形態においてプログラム動作において、閾値電圧の状態は、消去状態Eで第1プログラム状態P1に、第1プログラム状態P1で第2プログラム状態P2に、第2プログラム状態P2で第3プログラム状態P3に順次的に変更できる。
図4は、図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法に対する第1実施形態を示す流れ図である。図1乃至図4を参照すると、不揮発性メモリー装置のプログラム方法は、次の通り進行される。
プログラム動作において、プログラムされるデータが入出力回路130(図1参照)の各ページバッファーPB0〜PBn−1にローディングされる(S110)。また、電圧発生器(図1参照、140)は、制御ロジック(図1参照、150)の制御によって、プログラム動作に必要なバイアス電圧(例えば、プログラム電圧、パス電圧、高電圧、ウェル電圧、検証読出し電圧等)を生成する。特に、アドレスデコーダー(図1参照、120)に提供される高電圧VPPは、第1レベルVPPHを有する。
制御ロジック150は、プログラムループ(i)を進行させる。制御ロジック150は、ページバッファーPB0〜PBn−1にローディングされるデータによって、ビットラインBL0〜BLn−1をセットアップさせる。以後、非選択されたワードラインにパス電圧が印加され、選択されたワードラインにプログラム電圧Vpgmが印加される(S120)。ここで、プログラム電圧Vpgmのレベルは、ループ回数(i)が増加されるたびに所定の値だけ増加される。
プログラム電圧Vpgmが印加される前に選択されたワードラインに所定の時間との間パス電圧が印加できる。以後、プログラム復旧動作(program recovery operation)が実行される。このようなプログラム復旧動作では、ワードラインWL0〜WLm−1及びストリング選択ラインSSLに印加されたバイアス電圧がディスチャージされ、ビットラインBL0〜BLn−1に印加された電圧がディスチャージされる。
以後、制御ロジック150は、アドレスデコーダー120のウェル電圧VWLLによって、調節された高電圧VPPが生成されるように電圧発生器(図1参照、140)を制御する。例えば、制御ロジック150は、ウェル電圧VWLLが負のレベルNWVを有する時、第2レベルVPPLを有する高電圧VPPを選択するように高電圧発生器142及び電圧選択スイッチ148を制御する。ここで、高電圧VPPの調節動作は、プログラム復旧動作の完了に同期して実行されるか、或いは検証読出し動作の開始に同期して実行される。
制御ロジック150は、第1検証レベルVF1を利用して第1プログラム状態P1を目標にするメモリーセルが正しくプログラムされたのか否かを判別するための第1検証読出し動作を実行し、第2検証レベルVF2を利用して第2プログラム状態P2を目標にするメモリーセルが正しくプログラムされたのか否かを判別するための第2検証読出し動作を実行し、第3検証レベルVF3を利用して第3プログラム状態P3を目標にするメモリーセルが正しくプログラムされたのか否かを判別するための第3検証読出し動作を実行する(S130)。
第1検証読出し動作において、第1検証レベルVF1は、負の値である。この時、アドレスデコーダー120のウェルには負のレベルNWVを有するウェル電圧VWLLが提供され、ブロックワードラインBWLには第2レベルVPPLを有する高電圧VPPが提供される。
一方、第1検証読出し動作がパスされた後には、アドレスデコーダー120のウェルには0Vのウェル電圧VWLLが提供され、ブロックワードラインBWLには第1レベルVPPHを有する高電圧VPPが提供される。
第1検証読出し動作が完了すると、第2検証読出し動作が実行される。第2検証読出し動作において、アドレスデコーダー120のウェルには0Vのウェル電圧VWLLが提供され、ブロックワードラインBWLには第1レベルVPPHを有する高電圧VPPが提供される。
第2検証読出し動作が完了すると、第3検証読出し動作が実行される。
第1乃至第3検証読出し動作全てがプログラムパスであるのかを判別する(S140)。制御ロジック150は、現在プログラムループで第1乃至第3検証読出し動作の中でパスされた検証読出し動作を次のプログラムループから除外させる。
もし、第1乃至第3検証読出し動作の全てがプログラムパスであると、プログラムループが終了される。反面に、第1乃至第3検証読出し動作の中の少なくとも1つがフェイルであると、制御ロジック150は、ループ回数(i)が最大値であるのかを判別する(S150)。もし、ループ回数(i)が最大であると、プログラム動作は、失敗に処理される。反面に、ループ回数(i)が最大値ではないと、ループ回数(i)が1だけ増加され、その次のプログラムループが進行される(S160)。
図5は、図2に示す閾値電圧分布によるプログラム動作において、ウェル電圧と高電圧の制御方法に対する第2実施形態を示す図面である。図5を参照すると、不揮発性メモリー装置100は、増加型パルスプログラム方式にプログラム動作を実行する。
続いて図5を参照すると、第1検証レベルVF1に対する第1検証読出し動作がパスされる時まで、ウェル電圧VWLLは、負のレベルNWVを有し、高電圧VPPは、第2レベルVPPHを有する。
以後、第1検証読出し動作がパスされた後には、ウェル電圧VWLLは、0Vを有し、高電圧VPPは、第1レベルVPPHを有する。ここで、第1レベルVPPHは、第2レベルVPPLより高い。
上述した通り、第1検証読出し動作がパスされた後には、ウェル電圧VWLLは、0Vである。しかし、第1検証読出し動作がパスされた後に、ウェル電圧VWLLが必ずしも0Vである必要はない。第1検証読出し動作がパスされた後に、ウェル電圧VWLLは、負のレベルNWLより高いレベルを有する。
図6は、図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法に対する第2実施形態を示す流れ図である。図1、図2、図5、及び図6を参照すると、不揮発性メモリー装置のプログラム方法は、次の通り進行される。
プログラム動作において、プログラムデータが入出力回路130(図1参照)の各ページバッファーPB0〜PBn−1にローディングされる。アドレスデコーダー120(図1参照)に提供されるウェル電圧VWLLは、負のレベルNWVに設定され、高電圧VPPは、第2レベルVPPLに設定される(S210)。
制御ロジック150(図1参照)は、プログラムループ(i)を進行させる。制御ロジック150は、ページバッファーPB0〜PBn−1にローディングされるデータによって、ビットラインBL0〜BLn−1をセットアップさせる。以後、非選択されたワードラインにパス電圧が印加され、選択されたワードラインにプログラム電圧Vpgmが印加される(S220)。ここで、プログラム電圧Vpgmのレベルは、ループ回数(i)が増加される度に所定の値だけ増加される。
プログラム電圧Vpgmが印加される前に選択されたワードラインに所定の時間との間パス電圧が印加できる。以後、プログラム復旧動作が実行される。このようなプログラム復旧動作では、ワードラインWL0〜WLm−1及びストリング選択ラインSSLに印加されたバイアス電圧がディスチャージされ、ビットラインBL0〜BLn−1に印加された電圧がディスチャージされる。
以後、制御ロジック150は、第1検証読出し動作が完了したか否かを判別する(S230)。
移転プログラムループで第1検証読出し動作が完了されないと、制御ロジック150は、第1検証レベルVF1を利用して第1プログラム状態P1を目標にするメモリーセルが正しくプログラムされたのか否かを判別するための第1検証読出し動作を実行する(S240)。
反面に、移転プログラムループで第1検証読出し動作が完了されると、制御ロジック150の制御によって、アドレスデコーダー120に提供されるウェル電圧VWLLは、0Vに設定され、高電圧VPPは、第1レベルVPPHに設定される(S245)。
この後に、第2検証レベルVF2を利用して第2プログラム状態P2を目標にするメモリーセルが正しくプログラムされたのか否かを判別するための第2検証読出し動作を実行して(S250)、第3検証レベルVF3を利用して第3プログラム状態P3を目標にするメモリーセルが正しくプログラムされたのか否かを判別するための第3検証読出し動作を実行する(S260)。
第1乃至第3検証読出し動作が全てプログラムパスされたのか否かを判別する(S270)。制御ロジック150は、現在のプログラムループで第1乃至第3検証読出し動作の中でパスされた検証動作を次のプログラムループから除外させる。一方、パスされた検証動作区間は、プログラムループに含まれるか、或いは含まれない。例えば、第1検証読出し動作がパスされた後には、図7に示したように点線の第1検証読出し区間は、プログラムループに含まれるか、或いは含まれない。
もし、第1乃至第3検証読出し動作が全てプログラムパスであると、プログラムループが終了される。反面に、第1乃至第3検証読出し動作の中の少なくとも1つがプログラムフェイルであると、制御ロジック150は、ループ回数(i)が最大値であるか否かを判別する(S280)。もし、ループ回数(i)が最大値であると、プログラム動作は、失敗として処理される。反面に、ループ回数(i)が最大値でないと、ループ回数(i)が1だけ増加されて、その次のプログラムループが進行される(S290)。
本発明は、プログラム動作において、消去されたメモリーセルに対する検証読出し動作にも適用可能である。
図7は、図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法を説明するための閾値電圧分布に対する第2実施形態を示す図面である。
図7を参照すると、第1乃至第3プログラム状態P1、P2、P3にプログラム動作を進行する時、消去状態Eに関して消去検証レベルVF0で検証読出し動作が実行される。ここで、消去検証レベルVF0は、負の値である。
メモリーセルが第1プログラム状態P1に到達したのか否かを知るために第1検証レベルVF1で検証読出し動作が実行される。メモリーセルが第2プログラム状態P2に到達したのか否かを知るために第2検証レベルVF2で検証読出し動作が実行される。メモリーセルが第1プログラム状態P1に到達したのか否かを知るために第1検証レベルVF1で検証読出し動作が実行される。
図8は、図7に示す閾値電圧分布によるプログラム動作において、ウェル電圧と高電圧の制御方法に対する実施形態を示す図面である。図8を参照すると、不揮発性メモリー装置100は、増加型パルスプログラム(Incremental Step Pulse Program:ISPP)方式でプログラム動作を実行する。
続いて図8を参照すると、プログラム電圧Vpgmが選択されたワードラインSel.WLに提供される時、ウェル電圧VWLLは、0Vであり、高電圧VPPは、第1レベルVPPHを有する。以後、消去検証レベルVF0の検証読出し区間で、ウェル電圧VWLLは、負のレベルをNWVを有し、高電圧VPPは、第2レベルVPPLを有する。ここで、第2レベルVPPLは、第1レベルVPPHより低い。以後、第1検証レベルVF1の検証読出し動作区間、第2検証レベルVF3の検証読出し動作区間、及び第3検証レベルVF3の検証読出し動作区間で、ウェル電圧VWLLは、0Vを有し、高電圧VPPは、第1レベルVPPHを有する。
3個の検証レベルVF1、VF2、VF3による検証読出し動作の中の少なくとも1つでフェイルが検出されれば、所定のレベルだけ増加されたプログラム電圧Vpgmが、選択されたワードラインSel.WLに提供される。反面に、3個の検証レベルVF1、VF2、VF3に対する検証読出し動作が全てでフェイルが検出されないと、プログラム動作は、終了される。
上述した通り、第1検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLは、0Vである。しかし、第1検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLが必ずしも0Vである必要はない。第1検証読出し区間以外の区間にウェル電圧VWLLは、負のレベルNWLより高いレベルを有する。
上述した図2及び図7に示す閾値電圧分布を見ると、負の値を有する1つの検証レベルが存在する。しかし、本発明が必ずしもこれに限定される必要はない。本発明は、負の値を有する複数の検証レベルでプログラム検証動作を実行するプログラム方法にも適用可能である。
図9は、図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム方法を説明するための閾値電圧分布に対する第3実施形態を示す図面である。図9を参照すると、消去状態E、第1プログラム状態P1、及び第2プログラム状態P2の一部が負の領域に存在する。この時、第1検証レベルVF1及び第2検証レベルVF2は、負の値である。
図10は、図9に示す閾値電圧分布によるプログラム動作において、ウェル電圧と高電圧との制御方法を示す第1実施形態である。
図10を参照すると、第1検証読出し動作がパスされる時まで、第1検証読出し区間でウェル電圧VWLLは、第1負のレベルNWV1を有し、高電圧VPPは、レベルVPPL1を有する。第1検証読出し動作がパスされた後には、第1検証読出し区間でウェル電圧VWLLは、0Vを有し、高電圧VPPは、レベルVPPHを有する。
第2検証読出し動作がパスされる時まで、第2検証読出し区間でウェル電圧VWLLは、第2負のレベルNWV2を有し、高電圧VPPは、レベルVPPL2を有する。ここで、第2負のレベルNWV2は、第1負のレベルNVW1より高く、レベルVPPL2は、レベルVPPL1より高い。第2検証読出し動作がパスされた後には、第2検証読出し区間でウェル電圧VWLLは、0Vを有し、高電圧VPPは、レベルVPPHを有する。
一方、パスされた検証動作区間は、次のプログラムループに含まれるか、或いは含まれない。例えば、第1検証読出し動作がパスされ、第2検証読出し動作がパスされる時まで、図10に示したように点線の第1検証読出し区間は、プログラムループに含まれるか、或いは含まれない。また、第2検証読出し動作がパスされ、第3検証読出し動作がパスされる時まで、点線の第1及び第2検証読出し区間は、プログラムループに含まれるか、或いは含まれない。
上述した通り、第1、或いは第2検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLは、0Vである。しかし、第1、或いは第2検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLが必ずしも0Vである必要はない。第1、或いは第2検証読出し区間以外の区間にウェル電圧VWLLは、第2負のレベルNWL2より高いレベルを有する。
図11は、図9に示す閾値電圧分布によるプログラム動作において、ウェル電圧と高電圧の制御方法を示す第2実施形態である。図11を参照すると、第1検証読出し動作がパスされる時まで、高電圧VPPは第1レベルVPP1を有する。この時、第1検証読出し区間でウェル電圧VWLLは、第1負のレベルNWV1を有し、第2検証読出し区間でウェル電圧VWLLは、第2負のレベルNWV2を有する。
第1検証読出し動作がパスされた後から第2検証読出し動作がパスされる時まで、高電圧VPPは、第2レベルVPP2を有する。この時、第2検証読出し区間でウェル電圧VWLLは、第2負のレベルNWV2を有する。
第2検証読出し動作がパスされた後から第3検証読出し動作がパスされる時まで、高電圧VPPは、第3レベルVPP3を有する。
一方、パスされた検証動作区間は、次のプログラムループに含まれるか、或いは含むできない。例えば、第1検証読出し動作がパスされ、第2検証読出し動作がパスされる時まで、図11に示したように点線の第1検証読出し区間は、プログラムループに含まれるか、或いは含まれない。また、第2検証読出し動作がパスされ、第3検証読出し動作がパスされる時まで、点線の第1及び第2検証読出し区間は、プログラムループに含まれるか、或いは含まれない。
上述した通り、第1検証読出し動作がパスされる時まで、第1、或いは第2検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLは、0Vであり、第2検証読出し動作がパスされる時まで第2検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLは、0Vである。しかし、第1検証読出し動作がパスされる時まで、第1、或いは第2検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLは、0Vであり、第2検証読出し動作がパスされる時まで、第2検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLは、0Vである必要はない。第1検証読出し動作がパスされる時まで、第1、或いは第2検証読出し区間以外の区間、及び第2検証読出し動作がパスされる時まで、第2検証読出し区間以外の区間でウェル電圧VWLLは、第2負のレベルNWL2より高いレベルを有する。
第1或いは第2検証読出し区間以外の区間にウェル電圧VWLLは、第2の負レベルNWL2より高いレベルを有する。
図12は、図9に示す閾値電圧分布によるプログラム動作において、ウェル電圧と高電圧の制御方法を示す第3実施形態である。図12を参照すると、第1検証読出し動作がパスされる時まで、高電圧VPPは、第1レベルVPP1を有し、ウェル電圧VWLLは、第1負のレベルNWV1を有する。
第1検証読出し動作がパスされた後から第2検証読出し動作がパスされる時まで、高電圧VPPは、第2レベルVPP2を有し、ウェル電圧VWLLは、第2負のレベルNWV2を有する。
第2検証読出し動作がパスされた後から第3検証読出し動作がパスされる時まで、高電圧VPPは、第3レベルVPP3を有する。
一方、パスされた検証動作区間は、次のプログラムループに含まれるか、或いは含まれない。例えば、第1検証読出し動作がパスされ、第2検証読出し動作がパスされる時まで、図11に示したように点線の第1検証読出し区間は、プログラムループに含まれるか、或いは含まれない。また、第2検証読出し動作がパスされ、第3検証読出し動作がパスされる時まで、点線の第1及び第2検証読出し区間は、プログラムループに含まれるか、或いは含まれない。
上述した通り、第2検証読出し動作がパスされた後には、ウェル電圧VWLLは、0Vである。しかし、第2検証読出し動作がパスされた後に、ウェル電圧VWLLが必ずしも0Vである必要はない。第2検証読出し動作がパスされた後に、ウェル電圧VWLLは、第2負のレベルNWL2より高いレベルを有する。
本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置100は、ワードラインに負電圧を印加するあらゆる動作(例えば、プログラム動作、読出し動作、消去動作、検証読出し動作等)に適用可能である。例えば、本発明は、ワードラインに電圧が印加されるLSB(Least Significant Bit)プログラム動作、或いはMSB(Most SignificantBit)プログラム動作でも適用可能である。
図13は、図1に示す不揮発性メモリー装置の読出し動作を説明するための閾値電圧分布を示す実施形態である。図13を参照すると、第1読出しレベルVR1は、負の値である。不揮発性メモリー装置100は、第1読出しレベルVR1に読出し動作において、ウェル電圧VWLL、或いは高電圧VPPを可変させる。
本発明は、3−ビットMLC不揮発性メモリー装置にも適用可能である。図14は、本発明の実施形態による3−ビットMLC不揮発性メモリー装置のプログラム方法を示すための閾値電圧分布に対する実施形態である。図14を参照すると、第1乃至第3プログラム状態P1、P2、P3に対する検証読出し動作、或いは読出し動作において、ワードラインに負電圧が印加される。この時、不揮発性メモリー装置100は、ワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、ウェル電圧VWLL、及び高電圧VPPを可変させる。
本発明は、4−ビットMLC不揮発性メモリー装置にも適用可能である。図15は、本発明の実施形態による4−ビットMLC不揮発性メモリー装置のプログラム方法を示すための閾値電圧分布に対する実施形態である。図15を参照すると、第1乃至第7プログラム状態P1〜P7に対する検証読出し動作、或いは読出し動作において、ワードラインに負電圧が印加される。この時、不揮発性メモリー装置100は、ウェル電圧VWLLによって、高電圧VPPを調節する。
図16は、図1に示すアドレスデコーダーの実施形態を示す図面である。図16を参照すると、アドレスデコーダー120は、プルアップ回路122、プルダウン回路124、及びブロック選択回路126を含む。しかし、本発明のアドレスデコーダーが必ずしもこれに限定される必要はない。
プルアップ回路122は、高電圧VPPとブロックワードラインBWLとの間に連結される。プルアップ回路122は、ブロック活性化信号ENに応答してブロックワードラインBWLに高電圧VPPを提供する。ここで、活性化信号ENは、アドレスADDRによって決定されるブロック選択信号、及び放電信号の組合により発生される。
プルアップ回路122は、デプレッショントランジスターNHD1、PMOSトランジスターHVP、及びインバータINV1を含む。デプレッショントランジスターNHD1は、高電圧VPPに連結されたドレーン、及びブロックワードラインBWLに連結されたゲートを含む。PMOSトランジスターHVPは、デプレッショントランジスターNHD1のソースに連結されたソース、ブロックワードラインBWLに連結されたドレーン、及びブロック活性化信号ENがインバッティングされる信号が入力されるゲートを含む。ここで、ブロック活性化信号ENの反転は、インバータINV1によって実行される。PMOSトランジスターHVPは、高電圧用トランジスターである。
プルアップ回路122は、ハイレベルのブロック活性化信号ENに応答してブロックワードラインBWLに高電圧VPPを提供する。ブロックワードラインBWLに高電圧VPPが提供される過程は、次の通りである。
ハイレベルのブロック活性化信号ENが入力されれば、インバータINV1は、ローレベルの信号を出力する。出力されたローレベルの信号に応答してPMOSトランジスターHVPは、ターンオンされる。この時、ブロックワードラインBWLの初期レベルが0Vであると仮定する。したがって、デプレッショントランジスターNHD1は、0Vのゲート電圧に応答してデプレッショントランジスターの閾値電圧(例えば、概略2V)をブロックワードラインBWLに提供する。その結果、ブロックワードラインBWLの電圧が上昇される。同時に上昇されたブロックワードラインBWLの電圧は、フィードバックされてデプレッショントランジスターNHD1のゲートに入力される。デプレッショントランジスターNHD1は、フィードバックされる電圧に応答してブロックワードラインBWLの電圧を上昇させる。デプレッショントランジスターNHD1は、ブロックワードラインBWLの電圧が急激に上昇されることを防止する。このような過程が反復されることによって、ブロックワードラインBWLの電圧は、高電圧VPPまで上昇される。
反面に、ローレベルのブロック活性化信号ENGが入力されれば、インバータINV1は、ハイレベルの信号を出力する。出力されたハイレベルの信号に応答してPMOSトランジスターHVPは、ターンオフされる。
プルダウン回路124は、ブロック活性化信号ENに応答してブロックワードラインBWLに高電圧VPPが提供される時、アドレスデコーダー120のウェルからブロックワードラインBWLを電気的に遮断させる。また、プルダウン回路124は、ブロック活性化信号ENの相補的な信号に応答してアドレスデコーダー120のウェルをブロックワードラインBWLに電気的に連結させる。即ち、プルダウン回路124は、ブロック活性化信号ENの相補的な信号に応答してブロックワードラインBWLにウェル電圧VWLLを提供する。
プルダウン回路124は、デプレッショントランジスターNHD0、PMOSトランジスターPM1、PM2、NMOSトランジスターNM1〜NM4、及びインバータINV2を含む。デプレッショントランジスターNHD0は、ブロックワードラインBWL、及びロードDNとの間に連結される。
デプレッショントランジスターNHD0は、ハイレベルのブロック活性化信号ENに応答してプルダウン回路124をブロックワードラインBWLから電気的に遮断させる。インバータINV1は、ハイレベルのブロック活性化信号ENに応答してローレベルの信号を出力する。ローレベルの信号に応答してPMOSトランジスターPM1がターンオンされる。PMOSトランジスターPM1のターンオンによって、高電圧VDDがNMOSトランジスターNM3のゲートに入力される。したがって、NMOSトランジスターNM3がターンオンされる。これにより、ロードDNに高電圧VDDが提供される。この時、デプレッショントランジスターNHD0の閾値電圧までロードDNの電圧がさらに上昇すると、デプレッショントランジスターNHD0は、遮断(shut―off)される。これで、プルダウン回路124は、ハイレベルのブロック活性化信号ENに応答してブロックワードラインBWLから電気的に遮断される。
一方、デプレッショントランジスターNHD0は、放電動作において、ブロックワードラインBWLの高電圧VPPが急激に放電されることを防止する。
図16に示したように、NMOSトランジスターNM1〜NM2、デプレッショントランジスターNHD0、ブロック選択回路126のブロック選択トランジスターBS1〜BSm+2は、ウェルを共有する。ここで、共有されたウェルにはウェル電圧VWLLが提供される。
プルダウン回路124は、ローレベルのブロック活性化信号ENに応答してブロックワードラインBWLにウェル電圧VWLLを提供する。ブロックワードラインBWLにウェル電圧VWLLが提供される過程は、次の通りである。
ローレベルのブロック活性化信号ENが入力されれば、インバータINV1は、ハイレベルの信号を出力する。インバータINV2は、出力されたハイレベルの信号を受信してローレベルの信号を出力する。出力されたローレベルの信号に応答してPMOSトランジスターPM2がターンオンされ、ターンオンされたPMOSトランジスターPM2によって高電圧VDDは、NMOSトランジスターNM4のゲートに提供される。したがって、NMOSトランジスターNM4がターンオンされる。したがって、ロードDNにウェル電圧VWLLが提供される。
ここで、ブロックワードラインBWLの電圧が0Vであると、ロードDNのウェル電圧VWLLは、デプレッショントランジスターNHD0によってブロックワードラインBWLに提供される。この時、ブロックワードラインBWLの電圧は、ウェル電圧VWLLである。ここで、ウェル電圧VWLLは、0Vより低いレベル電圧である。反面に、ブロックワードラインBWLの電圧が高電圧VPPであると、デプレッショントランジスターNHD0は、ブロックワードラインBWLの高電圧VPPを放電させる。結局、ブロックワードラインBWLの電圧は、ウェル電圧VWLLである。
ブロック選択回路126は、ブロックワードラインBWLに提供される高電圧VPPに応答して選択ラインGS、S0〜Sm−1、SSの各々を、選択されたメモリーブロックの接地選択ラインGSL、ワードラインWL0〜WLm−1、ストリング選択ラインSSLに連結させる。
図示しないが、複数のメモリーブロックは、選択ラインGS、SO〜Sm−1、SSを共有する。プログラム/読出し/消去動作において、ワードライン電圧発生器142(図1を参照)で生成されたワードライン電圧(例えば、プログラム電圧、パス電圧、読出し電圧、検証読出し電圧)は、選択ラインGS、S0〜Sm−1、SSに提供される。
ブロック選択回路126は、複数のブロック選択トランジスターBS1〜BSm+2を含む。ブロック選択トランジスターBS1〜BSm+2のゲートの全てがブロックワードラインBWLに連結される。また、ブロック選択トランジスターBS1〜BSm+2は、ウェルを共有する。ここで、共有されたウェルにはウェル電圧VWLLが提供される。
本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置100は、デプレッショントランジスターNHD0のジャンクション破壊を防止できる。デプレッショントランジスターNHD0のウェルとブロックワードラインBWLとの間に形成されたジャンクションに、高電圧VPPからウェル電圧VWLLを減じた電圧が印加される。したがって、制御ロジック150(図1参照)の制御によって、高電圧VPP、及びウェル電圧VWLLが調節されることによって、デプレッショントランジスターNHDのウェルとブロックワードラインBWL間に形成されたジャンクションは、破壊されない。
上述した通り、不揮発性メモリー装置100は、ワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、高電圧VPP、或いはウェル電圧VWLLを調節することによって、アドレスデコーダー120に含まれた少なくとも1つのトランジスターのジャンクション破壊を防止する。これに伴い、不揮発性メモリー装置100の信頼性が向上される。
図17は、図1に示す不揮発性メモリー装置のプログラム動作において、電圧制御方法に対する実施形態を示す図面である。図1、図16、及び図17を参照すると、プログラム動作において、電圧制御方法は、次の通り進行される。
まず、入力アドレスADDRによって選択されたメモリーブロックの場合に、活性化信号ENは、ハイレベルを有する。第1プログラムループ0のプログラム実行区間で制御ロジック150は、0Vのウェル電圧VWLLが生成されるようにウェル電圧発生器146(図1参照)を制御し、第1レベルVPPHを有する高電圧VPPが生成されるように高電圧発生器144を制御する。この時、アドレスデコーダー(図2参照、120)は、ハイレベルの活性化信号ENに応答して選択されたブロックワードラインBWLに第1レベルVPPHを有する電圧を提供する。
以後、第1プログラムループ0の検証読出し区間で制御ロジック150は、負のレベルNWVを有するウェル電圧VWLLが生成されるようにウェル電圧発生器146を制御し、第2レベルVPPLを有する高電圧VPPが生成されるように高電圧発生器144を制御する。ここで、第2レベルVPPLは、第1レベルVPPHより低い。また、第2レベルVPPLと負のレベルNWVの差は、デプレッショントランジスターNHD0)(図16参照)のジャンクション破壊電圧(例えば、30V)より大きくない。
この時、アドレスデコーダー120は、ハイレベルの活性化信号ENに応答して選択されたブロックワードラインSel.BWLに第2レベルVPPLを有する電圧を提供する。
一方、入力アドレスADDRによって非選択されたメモリーブロックの場合では、活性化信号ENは、ローレベルを有する。
第1プログラムループ0のプログラム実行区間で、ローレベルの活性化信号ENに応答して非選択されたブロックワードラインUnsel.BWLsに0Vのウェル電圧VWLLが提供される。
以後、第1プログラムループ0の検証読出し区間で、ローレベルの活性化信号ENに応答して非選択されたブロックワードラインUnsel.BWLsに負のレベルNWVを有するウェル電圧VWLLが提供される。
第1プログラムループ0で上述した過程は、次のプログラムループ1、2、...と同様に適用される。
上述した通り、不揮発性メモリー装置100は、検証読出し区間で負のレベルを有するウェル電圧印加される時、高電圧VPPのレベルを低くする。
図1に示す不揮発性メモリー装置100では電圧選択スイッチ148がアドレスデコーダー120に外部に形成された。しかし、本発明の電圧選択スイッチ148が必ずしもこれに限定される必要はない。本発明の電圧選択スイッチ222は、図18に示したように、アドレスデコーダー220の内部に含まれることができる。
図19は、本発明の実施形態による他の不揮発性メモリー装置を示すブロック図である。図19を参照すると、不揮発性メモリー装置300は、メモリーセルアレイ110、アドレスデコーダー120、入出力回路130、電圧発生器340、及び制御ロジック350を含む。
メモリーセルアレイ110、アドレスデコーダー120、入出力回路130は、図1に示すメモリーセルアレイ110、アドレスデコーダー120、入出力回路130と同一の構成、及び同一の機能を有する。
電圧発生器340は、高電圧発生器342、低電圧発生器344、及び負電圧発生器346を含む。高電圧発生器342は、プログラム/読出し/消去動作において、制御ロジック250の制御によって、必要な高電圧を生成する。低電圧発生器344は、プログラム/読出し/消去動作において、制御ロジック350の制御によって、必要な低電圧を生成する。負電圧発生器346は、プログラム/読出し/消去動作において、制御ロジック350の制御によって、必要な負電圧を生成する。このような負電圧は、ワードラインに提供されるワードライン電圧、或いはアドレスデコーダー120のウェルに提供されるウェル電圧される。
本発明の高電圧VPPは、ワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、可変される。また、高電圧VPPは、アドレスデコーダー120のウェルに負電圧が印加されるか否かによって、可変される。
図20は、本発明の実施形態によるメモリーシステムに対する実施形態を示すブロック図である。図20を参照すると、メモリーシステム10は、不揮発性メモリー装置12及びメモリー制御器14を含む。
不揮発性メモリー装置12は、図1に示す不揮発性メモリー装置100、図18に示す不揮発性メモリー装置200、及び図19に示す不揮発性メモリー装置300の中の何れか1つと同一に具現される。不揮発性メモリー装置12は、ワードラインに負電圧が印加されているのか可否によって、ウェル電圧、或いは高電圧を可変させる。
メモリー制御器14は、外部(例えば、ホスト)の要請によって、不揮発性メモリー装置12を制御する。例えば、メモリー制御器14は、不揮発性メモリー装置12のプログラム/読出し/消去動作を制御するように具現される。
メモリー制御器14、不揮発性メモリー装置12、及びホスト間にインターフェースを提供する。メモリー制御器14は、不揮発性メモリー装置14を制御するためのファームウェア(firmware)を駆動するように具現される。メモリー制御器14は、中央処理処置14_1、バッファー14_2、エラー訂正回路14_3、ROM14_4、ホストインターフェース14_5、及びメモリーインターフェース14_6を含む。
中央処理処置14_1は、メモリー制御器14の全般的な動作を制御する。
バッファー14_2は、中央処理処置14_1の動作メモリーとして利用される。ホストの書込み要請時に、ホストから入力されたデータは、バッファー14_2に一時的に格納される。また、ホストの読出し要請の時、不揮発性メモリー装置12から読出しされたデータは、バッファー14−2に一時的臨時に格納される。
エラー訂正回路14_3は、書込み要請時に、バッファー14_2に格納されたデータをエラー訂正コードによってデコーディングする。この時、デコーディングされたデータ、及び利用されたエラー訂正コード値は、不揮発性メモリー装置12に格納される。一方、エラー訂正回路14_3は、読出し要請時に、不揮発性メモリー装置12から読出しされたデータをエラー訂正コード値を利用して復元させる。ここで、エラー訂正コード値は、読出しされたデータに含まれる。
ROM14_4は、メモリー制御器14を駆動するために必要なデータが格納される。
ホストインターフェース14_5は、ホスト(Host)、及びメモリー制御器14との間のデータ交換を実行するためのプロトコルを含む。例えば、メモリー制御器14USB(Universal Serial Bus)プロトコル、MMC(multimedia card)プロトコル、PCI(peripheral component interconnection)プロトコル、PCI−E(PCI−express)プロトコル、ATA(Advanced Technology Attachment)プロトコル、Serial−ATAプロトコル、Parallel−ATAプロトコル、SCSI(small computer small interface)プロトコル、ESDI(enhanced small disk interface)プロトコル、そしてIDE(Integrated Drive Electronics)プロトコル等のような多様なインターフェースプロトコルの中の1つを通じて外部(ホスト)と通信するように構成される。
メモリーインターフェース14_6は、不揮発性メモリー装置12とメモリー制御器14との間のインターフェーシングする。
図21は、本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置を有するメモリーカードに対するブロック図である。図21を参照すると、メモリーカード20は、ナンドフラッシュメモリー装置12及びそれを制御するメモリー制御器14を含む。
ナンドフラッシュメモリー装置12は、図1に示す不揮発性メモリー装置100、図18に示す不揮発性メモリー装置200、図19に示す不揮発性メモリー装置300の中の何れか1つと同一に具現される。ナンドフラッシュメモリー装置12は、ワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、ウェル電圧、或いは高電圧を可変させる。
メモリー制御器14は、ホスト、及びナンドフラッシュメモリー装置12に連結される。ホストからの要請に応答して、メモリー制御器14は、ナンドフラッシュメモリー装置12をアクセスするように具現される。
メモリー制御器14は、ナンドフラッシュメモリー装置12を制御するためのファームウェア(firmware)を駆動するように具現される。メモリー制御器14は、RAM(random Access Memory)、プロセシングユニット(Processing Unit)、ホストインターフェース(Host interface)、及びナンドフラッシュインターフェースのようなよく知らされた構成要素を含む。ホストインターフェースは、ホストとメモリー制御器14との間でデータ交換を実行するためのカード(例えば、MMC)プロトコルを通じてホストとインターフェーシングする。
このようなメモリーカード20は、マルチメディアカード(Multimedia Card:MMC)、保安デジタル(Secure Digital:SD)、miniSD、メモリースティック(Memory Stick)、スマートメディア(SmartMedia(登録商標))、トランスフラッシュ(Trans Flash)カード等に適用可能である。
図22は、本発明の実施形態による不揮発性メモリー装置を有するmoviNANDを示すブロック図である。図22を参照すると、moviNAND30は、ナンドフラッシュメモリー装置32及び制御器14を含む。
ナンドフラッシュメモリー装置32は、単品のナンドフラッシュメモリーが1つのパッケージ(例えば、FBGA、Fine−pitch Ball Grid Array)に積層されることによって具現される。ここで、単品のナンドフラッシュメモリーの各々は、図1に示す不揮発性メモリー装置100、図18に示す不揮発性メモリー装置200、図19に示す不揮発性メモリー装置300の中の何れか1つと同一に具現される。ナンドフラッシュメモリー装置32は、ワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、ウェル電圧、或いは高電圧を可変させる。
一方、ナンドフラッシュメモリー装置32は、マルチレベルセル(Multi Level Cell)、或いはシングルレベルセル(Single Level Cell)を含む。
制御器14は、制御器コア14_2、ホストインターフェース14_4、及びナンドインターフェース14_6を含む。制御器コア14_2は、moviNAND30の全般的な動作を制御する。ホストインターフェース14_4は、制御器14とホストのMMC(Multi Media Card)インターフェーシングを実行する。ナンドインターフェース14_6は、ナンドフラッシュメモリー装置32と制御器14のインターフェーシングを実行する。
moviNAND30は、ホストから高電圧Vcc、Vccqの提供を受ける。ここで、高電圧Vcc:3Vは、ナンドフラッシュメモリー装置32及びナンドインターフェース14_6に供給され、高電圧Vccq:1.8V/3Vは、制御器14に供給される。
一方、本発明は、ソリッドステートドライブ(Solid State Drive:以下、‘SSD’と称する)に適用可能である。
図23は、本発明の実施形態によるSSDを示すブロック図である。図23を参照すると、SSD40は、複数のフラッシュメモリー装置42及びSSD制御器44を含む。
複数のフラッシュメモリー装置42の各々は、図1に示す不揮発性メモリー装置100、図18に示す不揮発性メモリー装置200、及び図19に示す不揮発性メモリー装置300の中の何れか1つと同一に具現される。フラッシュメモリー装置42の各々は、ワードラインに負電圧が印加されるか否かによって、ウェル電圧、或いは高電圧を可変させる。
SSD制御器44は、中央処理処置44_2、インターフェース44_4、キャッシュバッファー44_6、及びフラッシュインターフェース44_8を含む。
インターフェース44_4は、中央処理処置44_2の制御によって、ホストとATAプロトコル方式でデータを交換する。ここで、インターフェース44_4は、SATA(Serial Advanced Technology Attachment)インターフェース、PATA(Parallel Advanced Technology Attachment)インターフェース、ESATA(External SATA)インターフェース等の中の何れか1つである。
インターフェース44_4を通じてホストから入力されるデータやホストに転送されるデータは、中央処理処置44_2の制御によって、CPUバスを経由せずにキャシーバッファー44_6を通じて伝えられる。
キャッシュバッファー44_6は外部とフラッシュメモリー装置42との間の移動データを一時的に格納する。また、キャッシュバッファー44_6は、中央処理処置44_2によって運用されるプログラムを格納するのにも使われる。キャッシュバッファー44_6は、一種のバッファーメモリーと見做すことができ、SRAMとして具現されることができる。
フラッシュインターフェース44_8は、記憶装置として使われるフラッシュメモリー装置42とSSD制御器44との間のインターフェーシングを実行する。フラッシュインターフェース44_8は、ナンドフラッシュメモリー、One−NANDフラッシュメモリー、マルチレベルフラッシュメモリー、シングルレベルフラッシュメモリーを支援するように構成されることができる。
図24は、本発明の実施形態によるコンピュータシステムを示すブロック図である。図24を参照すると、コンピュータシステム50は、中央処理処置51、ROM52、RAM53、入出力装置54、そして、SSD40を含む。
中央処理処置51は、システムバスに連結される。ROM52は、コンピュータシステム50を駆動するのに必要なデータが格納される。このようなデータには開始命令シーケンス(Sequence)、或いは基本的な入/出力動作システム(例えば、BIOS)シーケンス等である。RAM53は、中央処理処置51が実行される時、発生されるデータが一時的に格納される。
入出力装置54は、例えば、キーボード、ポインティング装置(マウス)、モニター、モデム、等が入出力装置インターフェースを通じてシステムバスに連結される。
SSD40は、読出し可能な記憶装置として、図22に示すSSD40と同一に具現される。
図25は、SSDを利用したサーバーシステムに対する実施形態を示すブロック図である。図25を参照すると、サーバーシステム60は、サーバー62、及びサーバー62を駆動するのに必要なデータを格納するSSD40を含む。ここで、SSD40は、図23に示すSSD40と同一の構成を含む。
サーバー62は、応用通信モジュール62_1、データ処理モジュール62_2、アップグレードモジュール62_3、スケジューリングセンター62_4、ローカルリソースモジュール62_5、そしてリペア情報モジュール62_6を含む。
応用通信モジュール62_1は、サーバー62とネットワークに連結されたコンピュータシステムと通信、或いはサーバー62とSSD40が通信するように具現される。応用通信モジュール62_1は、ユーザーインターフェースを通じて提供されていたデータ、或いは情報をデータ処理モジュール62_2に電送する。
データ処理モジュール62_2は、ローカル資源モジュール62_5にリンクされる。ここで、ローカルリソースモジュール62_5は、サーバー62に入力されたデータ、或いは情報に基づいて使用者にリペアショップ(repair shops)/ディーラー(dealers)/技術的な情報の目録を提供する。
アップグレードモジュール62_3は、データ処理モジュール62_2とインターフェーシングする。アップグレードモジュール62_3は、SSD40から転送されたデータ、或いは情報に基づいて、ファームウェア、リセットコード、診断システムアップグレード、或いは他の情報を電子機器(appliance)にアップグレードする。
スケジュールリングセンター62_4は、サーバー62に入力されたデータ、或いは情報に基づいて使用者にリアルタイムのオプションを許す。
リペア情報モジュール62_5は、データ処理モジュール62_2とインターフェーシングする。リペア情報モジュール62_6は、使用者にリペア関連情報(例えば、オーディオ、ビデオ、或いは文書ファイル)を提供するために利用される。データ処理モジュール62_2は、SSD40から伝えられた情報に基づいて関連した情報をパッケージングする。その後、このような情報はSSD40に転送されるか、或いは使用者にディスプレーされる。
図26は、本発明の実施形態による電子機器のブロック図である。図26を参照すると、電子機器70は、プロセッサー71、ROM72、RAM73、そしてフラッシュインターフェース74、及びSSD40を含む。
プロセッサー71は、ファームウェアコード、或いは任意のコードを実行するためにRAM73をアクセスする。また、プロセッサー71は、開始命令シーケンス、或いは基本入出力動作システムシーケンスのような固定命令シーケンスを実行するためにROM72をアクセスする。フラッシュインターフェース74は、電子機器70とSSD75との間のインターフェーシングを実行する。
SSD75は、電子機器70に着脱が可能である。SSD40は、図23に示すSSD40と同一に具現される。
本発明の電子機器70は、セルラーフォン、個人デジタル補助器(Personal Digital Assistants:PDAs)、デジタルカメラ、カムコーダ、及び携帯用オーディオ再生装置(例えば、MP3)、PMP等であり得る。
本発明の実施形態によるメモリーシステム又は記憶装置は、多様な形態のパッケージを利用して実装できる。例えば、本発明の実施形態によるメモリーシステム又は記憶装置は、PoP(Package on Package)、Ball grid arrays(BGAs)、Chip scale packages(CSPs)、Plastic Leaded Chip Carrier(PLCC)、Plastic Dual In−Line Package(PDIP)、Die in Waffle Pack、Die in Wafer Form、Chip On Board(COB)、Ceramic Dual In−Line Package(CERDIP)、Plastic Metric Quad Flat Pack(MQFP)、Thin Quad Flatpack(TQFP)、Small Outline(SOIC)、Shrink Small Outline Package(SSOP)、Thin Small Outline(TSOP)、Thin Quad Flatpack(TQFP)、System In Package(SIP)、Multi Chip Package(MCP)、Wafer−level Fabricated Package(WFP)、Wafer−Level Processed Stack Package(WSP)、等のようなパッケージを利用して実装できる。
一方、本発明の詳細な説明では具体的な実施形態に関して説明したが、本発明の範囲から逸脱しない限度内でさまざまに変形できる。したがって、本発明の範囲は、上述した実施形態に限定されて決まってはならないし、後述する特許請求の範囲だけでなく、この発明の特許請求の範囲と均等なものによって、決まらなければならない。
100、200、300 不揮発性メモリー装置
110、210、310 メモリーセルアレイ
120、220、320 アドレスデコーダー
130、230、330 入出力回路
140、240、340 電圧発生器
142、342 高電圧発生器
144、344 低電圧発生器
146、246 負電圧発生器
148、222 電圧選択スイッチ
150、250、350 制御ロジック

Claims (23)

  1. 高電圧を生成する高電圧発生器と、
    前記高電圧を受信し、選択されたメモリーブロックの複数のワードラインにワードライン電圧を提供する第1トランジスターと、を含み、
    前記高電圧は、負のワードライン電圧が前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供されるか否かによって、可変される不揮発性メモリー装置。
  2. 前記第1トランジスターのウェルに印加されるウェル電圧を生成するウェル電圧発生器をさらに含み、
    負のワードライン電圧が前記選択されたメモリーブロックの前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供されるか否かによって、前記ウェル電圧が可変される請求項1に記載の不揮発性メモリー装置。
  3. 負電圧ワードライン電圧が前記選択されたメモリーブロックの前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供される時、前記ウェル電圧は、負のレベルを有する請求項2に記載の不揮発性メモリー装置。
  4. 前記アドレスデコーダーは、複数のメモリーブロック選択器を含み、各々のメモリーブロック選択器は、
    選択されたメモリーブロックのワードラインに前記ワードライン電圧を提供するためのメモリーブロック選択回路を制御するブロックワードラインと、
    活性化信号に応答して前記ブロックワードラインに前記高電圧を提供するプルアップ回路と、
    前記活性化信号に応答して前記第1トランジスターの前記ウェルから前記ブロックワードラインを電気的に遮断し、前記活性化信号の相補的な信号に応答して前記第1トランジスターの前記ウェルに前記ブロックワードラインを電気的に連結されるプルダウン回路を含む請求項2に記載の不揮発性メモリー装置。
  5. プログラム動作、読出し動作、検証読出し動作、或いは消去動作の内に負電圧が前記選択されたメモリーブロックの前記ワードラインの中の少なくとも1つに提供されるか否かによって、前記高電圧と前記ウェル電圧とを可変するように前記高電圧発生器、及び前記ウェル電圧発生器を制御する制御ロジックをさらに含む請求項2に記載の不揮発性メモリー装置。
  6. 前記負のワードライン電圧は、少なくとも1つのプログラム状態のためのプログラム検証動作で選択されたワードラインに提供される請求項1に記載の不揮発性メモリー装置。
  7. 前記負のワードライン電圧は、消去されたメモリーセルを検証するための前記プログラム検証動作で前記選択されたワードラインに提供される請求項6に記載の不揮発性メモリー装置。
  8. 前記負のワードライン電圧は、少なくとも1つのプログラム状態のための読出し動作で選択されたワードラインに提供される請求項1に記載の不揮発性メモリー装置。
  9. 不揮発性メモリー装置の駆動方法において、
    高電圧を生成して、アドレスデコーダーでメモリーブロック選択器の第1トランジスターに前記高電圧を印加し、
    アドレス情報に基づいて選択されたワードラインに前記メモリーブロック選択器を通じて入力されたワードライン電圧を提供し、
    前記選択されたワードラインに提供される前記入力されたワードライン電圧が負電圧であるか否かによって、前記高電圧を可変することを含む駆動方法。
  10. 前記第1トランジスターのウェルにウェル電圧を印加し、前記選択されたワードラインに前記入力されたワードライン電圧が負電圧であるか否かによって、前記ウェル電圧を可変することをさらに含む請求項9に記載の駆動方法。
  11. 増加型パルスプログラム(以下、‘ISPP’)プログラムループ動作のプログラム実行区間で前記高電圧は、第1レベルを有し、前記ウェル電圧は、第3レベルを有し、
    前記ISPPプログラムループ動作の検証読出し区間で前記高電圧は、前記第1レベルより低い第2レベルを有し、前記ウェル電圧は、前記第3レベルより低い第4レベルを有する請求項10に記載の駆動方法。
  12. 前記不揮発性メモリー装置の中の各々のメモリーセルは、消去状態及び複数のプログラム状態にプログラム可能であり、読出し動作は、前記プログラム状態の中の少なくとも1つで負の検証読出しで実行され、各々のISPPプログラムループで、検証読出し動作が前記負の検証読出しレベルに実行される時、1つの周期との間前記高電圧、及び前記ウェル電圧は、各々第1レベル、及び第3レベルを有し、検証読出し動作において、前記負の検証読出しレベルに実行される時、1つの周期との間に前記高電圧と前記ウェル電圧は、各々前記第1レベルより低い第2レベル、及び前記第3レベルより低い第4レベルを有する請求項10に記載の駆動方法。
  13. 前記負の検証レベルで前記検証読出し動作がパスされた後に、前記負の検証読出しレベルの検証読出し動作は、次のISPPプログラムループで除去される請求項12に記載の駆動方法。
  14. 前記不揮発性メモリー装置は、消去状態及び複数のプログラム状態にプログラムされ、検証読出し動作は、前記プログラム状態の中の少なくとも1つで負の検証レベルで実行され、各々のISPPプログラムループで、前記負の検証レベルの前記検証読出し動作がパスされる時まで、前記高電圧、及び前記ウェル電圧は、各々第2レベル、及び第3レベルを有し、前記負の検証レベルの前記検証読出し動作がパスされた後には、前記高電圧、及び前記ウェル電圧は、各々前記第2レベルより高い第1レベル、及び前記第3レベルより高い第4レベルを有する請求項10に記載の駆動方法。
  15. 前記負の検証レベルの前記検証読出し動作がパスされた後には、前記負の検証レベルで検証読出し動作が次のISPPプログラムループで除去される請求項14に記載の駆動方法。
  16. 前記選択されたワードラインに提供される検証電圧の相異なるレベルと関連され、前記高電圧が相異なるレベルに可変され、そして前記ウェル電圧が相異なるレベルに可変される請求項10に記載の駆動方法。
  17. 前記高電圧は、1以上の負の検証電圧を有するプログラム及び検証区間との間に、第1レベルに設定され、1つの負の検証電圧を有するプログラム及び検証区間との間に、第2レベルに設定され、負の検証電圧がないプログラム及び検証区間との間に、第3レベルに設定され、ここで、前記第1レベルは、前記第2レベルより低いし、前記第2レベルは、前記第3レベルより低い請求項16に記載の駆動方法。
  18. 前記高電圧、及び前記ウェル電圧は、1以上の負の検証電圧を有するプログラム及び検証区間との間に、各々第1レベルに設定され、1つの負の検証電圧を有するプログラム及び検証区間との間に、各々第2レベルに設定され、負の検証電圧がないプログラム及び検証区間との間に、各々第3レベルに設定され、ここで、前記第1レベルは、前記第2レベルより低いし、前記第2レベルは、前記第3レベルより低いし、前記ウェル電圧の相異なるレベルは、負電圧、或いは接地電圧である請求項16に記載の駆動方法。
  19. 複数のワードライン、及び複数のビットラインの交差する所に形成される複数のメモリーセルを有する複数のメモリーブロックと、
    入力アドレスに応答して前記メモリーブロックの中の何れか1つを選択し、前記入力アドレスに対応する前記選択されたメモリーブロックに選択されたワードラインにワードライン電圧を提供するアドレスデコーダーと、
    プログラム動作でメモリーセルアレイにプログラムされるデータを臨時に格納するか、或いは、読出し動作で前記メモリーセルアレイから読出されたデータを臨時に格納する入出力バッファーと、
    ワードライン電圧、高電圧、及びウェル電圧を生成する電圧発生器と、
    前記ウェル電圧のレベルによって、前記高電圧のレベルを調節するために前記電圧発生器を制御する制御ロジックと、を含む装置。
  20. 前記制御ロジックは、負電圧が前記選択されたメモリーブロックのワードラインに提供されるか否かによって、前記ウェル電圧のレベルを可変するために前記電圧発生器を制御する請求項19に記載の装置。
  21. 前記電圧発生器は、前記負電圧を生成する負電圧発生器を含む請求項19に記載の装置。
  22. 前記不揮発性メモリー装置を制御するメモリー制御器をさらに含み、前記不揮発性メモリー装置は、負電圧が選択されたワードラインに前記アドレスデコーダーを通じて提供されるか否かによって、前記アドレスデコーダーの第1トランジスターのウェルに印加されるウェル電圧のレベル、或いは前記第1トランジスターに提供される前記高電圧のレベルを調節するように制御する請求項19に記載の装置。
  23. 前記メモリー制御器は、Universal Serial Bus(USB)、Multimedia Card(MMC)、Peripheral Component Interconnection(PCI)、PCI−Express(PCI−E)、Advanced Technology Attachment(ATA、Parallel−ATA、pATA)、Serial−ATA(SATA)、external SATA(eSATA)、Small Computer Small Interface(SCSI)、Enhanced Small Disk Interface(ESDI)、and Integrated Drive Electronics(IDE)から選択された標準化されたインターフェースプロトコルを具備するホストインターフェース回路を含む請求項22に記載の装置。
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