JP2010519749A - ピエゾ積層体およびピエゾ積層体の製造方法 - Google Patents
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- 交互に順次重なり合う複数のピエゾ圧電層(2)および複数の内部電極層(3,4)と、少なくとも1つの安全層(9,40,50)とを有するピエゾ積層体において、
前記内部電極層(3,4)は、ピエゾ積層体(1)の外側面(5,6)に配置された2つの外部電極(7,8)と交互に電気的に接続されており、
前記安全層(9,40,50)は、前記複数の内部電極層(3,4)の1つの代わりに、順次重なり合う2つのピエゾ圧電素子(2)の間に配置されており、
前記安全層は、内部の中断部(13,44,45,53)を有するように構造化されており、
該中断部は以下のように構成されている、すなわち前記安全層(9,40,50)が2つの前記外部電極(7,8)と接触接続しておりかつ導電性である場合に、前記安全層(9,40,50)が2つの外部電極(7,8)の間における電気的コンタクトを形成しないように構成されている、
ことを特徴とするピエゾ積層体。 - 前記安全層(9,40,50)は、実質的に前記ピエゾ積層体(1)の横断面全体に亘って延在している、
ことを特徴とする請求項1記載のピエゾ積層体。 - 前記中断部は、少なくとも1つのスリット(13,44,45,53)として前記安全層(9,40,50)内に形成されている、
ことを特徴とする請求項1または2記載のピエゾ積層体。 - 前記安全層(9,40,50)は、電気絶縁性材料から製造されている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のピエゾ積層体。 - 前記安全層(9,40,50)は、初めは導電性であり、導電性成分の放散によって電気絶縁性になる、
ことを特徴とする請求項1〜4記載のピエゾ積層体。 - 前記安全層(9,40,50)の強度は、前記内部電極層(3,4)の強度よりも小さい
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載のピエゾ積層体。 - 交互に順次重なり合う複数のピエゾ圧電層(2)および複数の内部電極層(3,4)と、少なくとも1つの安全層(9,40,50)とを有するピエゾ積層体の製造方法において、
前記内部電極層(3,4)は、ピエゾ積層体(1)の外側面(5,6)に配置された2つの外部電極(7,8)と交互に電気的に接続され、
前記安全層(9,40,50)は、前記複数の内部電極層(3,4)の1つの代わりに、順次重なり合う2つのピエゾ圧電素子(2)の間に配置され、
前記安全層は、内部の中断部(13,44,45,53)を有するように構造化され、
該中断部は以下のように構成されている、すなわち前記安全層(9,40,50)が2つの前記外部電極(7,8)と接触接続しておりかつ導電性である場合に、前記安全層(9,40,50)が2つの外部電極(7,8)の間における電気的コンタクトを形成しないように構成されている、
ことを特徴とする製造方法。 - 前記安全層(9,40,50)は、実質的に前記ピエゾ積層体(1)の横断面全体に亘って伸長する、
ことを特徴とする請求項7記載の製造方法。 - 前記中断部として、少なくとも1つのスリット(13,44,45,53)を前記安全層(9,40,50)内に形成する、
ことを特徴とする請求項7または8記載の製造方法。 - 前記安全層(9,40,50)は、電気絶縁性材料から製造される、
ことを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項記載の製造方法。 - 前記安全層(9,40,50)は、初めは導電性であり、導電性成分の放散によって電気絶縁性になる、
ことを特徴とする請求項10記載の製造方法。 - 前記安全層(9,40,50)の強度は、前記内部電極層(3,4)の強度よりも小さい
ことを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項記載の製造方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011530162A (ja) * | 2008-08-01 | 2011-12-15 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 破断規制層を有する圧電アクチュエータ |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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NL2012419B1 (en) * | 2014-03-13 | 2016-01-06 | Novioscan B V | High voltage MEMS, and a portable ultrasound device comprising such a MEMS. |
DE102015101311B4 (de) * | 2015-01-29 | 2019-12-05 | Tdk Electronics Ag | Verfahren zur Herstellung von piezoelektrischen Vielschichtbauelementen |
US10648852B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-12 | Exo Imaging Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers |
US10656007B2 (en) | 2018-04-11 | 2020-05-19 | Exo Imaging Inc. | Asymmetrical ultrasound transducer array |
TWI793447B (zh) | 2019-09-12 | 2023-02-21 | 美商艾克索影像股份有限公司 | 經由邊緣溝槽、虛擬樞軸及自由邊界而增強的微加工超音波傳感器(mut)耦合效率及頻寬 |
KR20230162679A (ko) * | 2021-03-31 | 2023-11-28 | 엑소 이미징, 인크. | 고조파 특성들을 갖는 압전 트랜시버들을 갖는 이미징 디바이스들 |
US11951512B2 (en) | 2021-03-31 | 2024-04-09 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
US11819881B2 (en) * | 2021-03-31 | 2023-11-21 | Exo Imaging, Inc. | Imaging devices having piezoelectric transceivers with harmonic characteristics |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006518934A (ja) * | 2003-02-24 | 2006-08-17 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電気的な多層構成部材及び層スタック |
WO2006087871A1 (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 積層型圧電素子 |
WO2006131106A2 (de) * | 2005-06-09 | 2006-12-14 | Epcos Ag | Piezoelektrisches vielschichtbauelement |
WO2008072746A1 (ja) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
JP2010507222A (ja) * | 2006-10-20 | 2010-03-04 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータユニット及びその製造方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE68926166T2 (de) * | 1989-11-14 | 1996-12-12 | Battelle Memorial Institute | Verfahren zur Herstellung einer piezoelektrischen Stapelantriebsvorrichtung |
JPH04299588A (ja) * | 1991-03-28 | 1992-10-22 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
JP2001102646A (ja) | 1999-09-28 | 2001-04-13 | Tokin Ceramics Corp | 積層型圧電セラミックス |
JP2005085817A (ja) | 2003-09-04 | 2005-03-31 | Mitsubishi Electric Corp | 薄膜半導体装置およびその製造方法 |
FR2864897A1 (fr) | 2004-01-13 | 2005-07-15 | Oreal | Composition de revetement des fibres keratiniques comprenant un polymere sequence et une cire collante |
JP4655493B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2011-03-23 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子、圧電アクチュエータ並びに圧電素子及び圧電アクチュエータの製造方法 |
DE102004031402A1 (de) * | 2004-06-29 | 2006-02-09 | Siemens Ag | Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils |
DE102005025717A1 (de) | 2004-08-14 | 2006-02-23 | Solvay Barium Strontium Gmbh | Strontiumcarbonat-Dispersion und daraus erhältliches redispergierbares Pulver |
DE102005002980B3 (de) * | 2005-01-21 | 2006-09-07 | Siemens Ag | Monolithischer Vielschichtaktor und Verfahren zu seiner Herstellung |
EP1978568B1 (en) * | 2007-02-19 | 2011-10-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Piezoceramic multilayer actuator and method of manufacturing the same |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006518934A (ja) * | 2003-02-24 | 2006-08-17 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電気的な多層構成部材及び層スタック |
WO2006087871A1 (ja) * | 2005-02-15 | 2006-08-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 積層型圧電素子 |
WO2006131106A2 (de) * | 2005-06-09 | 2006-12-14 | Epcos Ag | Piezoelektrisches vielschichtbauelement |
JP2008546206A (ja) * | 2005-06-09 | 2008-12-18 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 圧電多層素子 |
JP2010507222A (ja) * | 2006-10-20 | 2010-03-04 | 京セラ株式会社 | 圧電アクチュエータユニット及びその製造方法 |
WO2008072746A1 (ja) * | 2006-12-15 | 2008-06-19 | Kyocera Corporation | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011530162A (ja) * | 2008-08-01 | 2011-12-15 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 破断規制層を有する圧電アクチュエータ |
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