JP4546931B2 - 目標破損個所を備えた圧電部材及び圧電部材を製造する方法並びに圧電部材の使用 - Google Patents
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Description
・目標破損個所を用いて、圧電部材における亀裂形成及び亀裂成長(特に長手方向亀裂の)をコントロールすること及び制限することが可能になる。
・目標破損個所が電極層の取付け下で実現されることによって、最大可能な圧電活性容量を有する圧電部材が得られる。
・亀裂のコントロールによって、圧電部材の電極層の電気的な接触接続が簡単になる。
・目標破損個所を備えた圧電部材を製造する方法は、ピエゾアクチュエータのための現存の製造方法に組み込むことができる。
図2Aは、内部に亀裂が生ぜしめられている電極層を備えた目標破損個所を示す断面図であり、
図2Bは、境界面に亀裂が生ぜしめられている電極層を備えた目標破損個所を示す断面図であり、
図3は、モノリシックの多層構造形式のアクチュエータ体を備えたピエゾアクチュエータの形の、圧電部材を示す断面図である。
Claims (17)
- 積層された複数のピエゾエレメント(10,11)から成るモノリシックの圧電部材(1)であって、
積層された前記ピエゾエレメント(10,11)がそれぞれ、
1つの電極層(101,111)と、
1つの別の電極層(102,112)と、
両電極層(101,102;111,112)の間に配置された1つのピエゾセラミック層(103,113)とを有しており、
積層された前記ピエゾエレメント(10,11)のうちの少なくとも1つのピエゾエレメント(10)が、
ピエゾエレメント(10)の機械的な過負荷時に、他の部分より亀裂抵抗が小さいか又は固着強度が小さいことに基づいて所定の亀裂(110)を形成することになる少なくとも1つの目標破損個所(100)を有しており、
該目標破損個所(100)を電極層(101)が有していることを特徴とする、目標破損個所を備えた圧電部材。 - 目標破損個所(100)が電極層(101)によって形成されているか又は電極層(101)とピエゾセラミック層(103)との間の境界面(108)によって形成されている、請求項1記載の圧電部材。
- 目標破損個所(100)が電極層(101)によって形成されていて、該電極層(101)の亀裂抵抗が、別の電極層(111)の別の亀裂抵抗よりも小さい、請求項2記載の圧電部材。
- 目標破損個所(100)が、電極層(101)とピエゾセラミック層(103)との間における境界面(108)によって形成されていて、該境界面(108)における電極層(101)とピエゾセラミック層(103)との間における固着強度が、別の境界面(109)における別の電極層(102)と別のピエゾセラミック層(103)との間における別の固着強度よりも小さい、請求項2記載の圧電部材。
- 電極層(101)の電極材料と別の電極層(102)の別の電極材料とが互いに異なっている、請求項1から4までのいずれか1項記載の圧電部材。
- 電極材料と別の電極材料とが、化学的な組成及び/又は組織構造において互いに異なっている、請求項5記載の圧電部材。
- 電極材料と別の電極材料とをそれぞれ形成する導電性の電極物質の化学的な組成が、互いに異なっている、請求項6記載の圧電部材。
- 電極材料と別の電極材料とをそれぞれ形成する導電性の電極物質の化学的な組成が、導電性の電極物質への添加剤によって互いに異なっている、請求項6又は7記載の圧電部材。
- 電極層(101)の電極構造と別の電極層(102)の別の電極構造とが、互いに異なっている、請求項1から8までのいずれか1項記載の圧電部材。
- 電極構造が特定の電極層厚さであり、かつ別の電極構造が別の電極厚さである、請求項9記載の圧電部材。
- 複数のピエゾエレメント(10)が、所定の積層方向(21)で配置されていて、モノリシックの積層体形状のアクチュエータ体(20)を形成している、請求項1から10までのいずれか1項記載の圧電部材。
- ピエゾエレメント(10)と少なくとも1つの別のピエゾエレメント(11)とが、所定の積層方向(21)で配置されていて、モノリシックの積層体形状のアクチュエータ体(20)を形成しており、別のピエゾエレメント(11)が、少なくとも2つの別の電極層(111)と、該別の電極層(111)の間に配置された少なくとも1つの別のピエゾセラミック層(113)とを有している、請求項1から11までのいずれか1項記載の圧電部材。
- 複数のピエゾエレメント(10)と複数の別のピエゾエレメント(11)とが次のように、すなわち、
隣接したピエゾエレメント(200,201)がそれぞれ少なくとも1つの共通の電極層(202,203)を有するように、
かつ共通の電極層(202,203)がアクチュエータ体(20)の積層方向(21)で交互に、アクチュエータ体(20)の互いに電気絶縁された少なくとも2つの側部の表面区分(203,205)へと案内されているように、
配置されていて、モノリシックの積層体形状のアクチュエータ体(20)を形成している、請求項12記載の圧電部材。 - 複数のピエゾエレメント(10)が複数の目標破損個所(100)を備えたアクチュエータ体(20)を形成していて、この場合目標破損個所(100)アクチュエータ体(20)の積層方向(21)に沿って、それぞれ亀裂(110)が形成される機械的な過負荷に関しての勾配を有している、請求項1から13までのいずれか1項記載の圧電部材。
- アクチュエータ体(20)の少なくとも1つのピエゾエレメント(10)の目標破損個所(100)が、次のように、すなわちピエゾエレメント(10)内に生じる亀裂(110)がアクチュエータ体(20)を少なくとも2つの部分積層体(22,23)に分割し、かつ1つの共通の側部の表面区分(204)へと案内されている各部分積層体(22)の電極層(221)が、電気的な部分接続エレメント(222)を用いて電気的に接触接続されたままになるように、構成されている、請求項11から14までのいずれか1項記載の圧電部材。
- 電気的な部分接続エレメント(222)が、各部分積層体(22,23)との接触接続のために、少なくとも1つの導電性のワイヤ(223)を有している、請求項15記載の圧電部材。
- 電気的な部分接続エレメント(222)が、導電性のシートを有している、請求項15又は16記載の圧電部材。
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