CZ2001578A3 - Piezoelektrický ovladač - Google Patents
Piezoelektrický ovladač Download PDFInfo
- Publication number
- CZ2001578A3 CZ2001578A3 CZ2001578A CZ2001578A CZ2001578A3 CZ 2001578 A3 CZ2001578 A3 CZ 2001578A3 CZ 2001578 A CZ2001578 A CZ 2001578A CZ 2001578 A CZ2001578 A CZ 2001578A CZ 2001578 A3 CZ2001578 A3 CZ 2001578A3
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- piezoelectric
- electrodes
- electrode
- piezoelectric actuator
- outer electrode
- Prior art date
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 7
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 2
- 229910000863 Ferronickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 abstract 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 3
- 229910020658 PbSn Inorganic materials 0.000 description 2
- 101150071746 Pbsn gene Proteins 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910020816 Sn Pb Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- VJPLIHZPOJDHLB-UHFFFAOYSA-N lead titanium Chemical compound [Ti].[Pb] VJPLIHZPOJDHLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Description
Oblast techniky
Vynález se týká piezoelektrického ovladače vícevrstvou strukturou keramických piezoelektrických vrstev a vnitřních elektrod, uspořádaných mezi těmito vrstvami, s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod přes vnější elektrody, přes které je možné přivádět elektrické napětí.
Dosavadní stav techniky
Všeobecně je známo, že při využití takzvaného piezoelektrického efektu může být z materiálu s vhodnou krystalickou strukturou sestaven piezoelektrický element. Při dotyku vnějšího elektrického napětí nastává mechanická reakce piezoelektrického elementu, kterou v závislosti na krystalické struktuře a oblasti dotyku elektrického napětí představuje tlak nebo tah v předem daném směru. Struktura tohoto piezoelektrického ovladače zde může být provedena ve více vrstvách (vícevrstvé ovladače), přičemž elektrody, přes které je přiváděno elektrické napětí, jsou vždy uspořádány mezi těmito vrstvami.
Takové piezoelektrické ovladače mohou být upraveny například pro pohon ovládacích ventilů u vstřikovacích systémů paliva v motorových vozidlech. Při provozu piezoelektrického ovladače je zde třeba také dbát zejména toho, aby díky mechanickým napětím nevznikaly ve struktuře vrstev žádné rušivé praskliny v oblasti vnějších připojovacích elektrod. Protože vždy na jedné straně jsou kontaktující vnitřní elektrody integrovány do struktury vrstev na způsob hřebene, musí být elektrody, které následují za sebou ve směru struktury vrstev, vždy kontaktovány střídavě na protilehlých stranách. Při činnosti piezoelektrického ovladače, to znamená při dotyku napětí mezi vnitřními elektrodami, ležícími ve struktuře vrstev proti sobě, se vyskytují v oblasti vnitřních elektrod i v oblasti kontaktování na vnějších elektrodách různé mechanické síly, které mohou vést k mechanickému napětí a tím k trhlinám ve vnějších elektrodách.
Podstata vynálezu
Tuto nevýhodu odstraňuje piezoelektrický ovladač s vícevrstvou strukturou keramických piezoelektrických vrstev a vnitřních elektrod uspořádaných mezi těmito vrstvami, s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod přes vnější elektrody, přes které je možné přivádět elektrické napětí, podle vynálezu, jehož podstatou je, že jako první vnější elektroda je vždy na jedné boční ploše umístěna vodivá plocha, která je v kontaktu s vnitřními elektrodami a druhá vnější elektroda provedená na způsob sítě, tkaniny nebo zvlněná je uspořádána na první elektrodě, přičemž druhá vnější elektroda je alespoň bodovým způsobem kontaktována s první elektrodou, a přičemž mezi kontaktními spoji leží roztažitelné oblasti, a přičemž v oblastech piezoelektrických vrstev, které mají vždy na protilehlé straně kontaktované vnitřní elektrody je upravena pasivní zóna bez vnitřní elektrodové vrstvy, a že keramický piezoelektrický materiál alespoň v pasivní zóně a materiál druhé vnější elektrody mají téměř stejné koeficienty tepelné roztažnosti.
První vnější elektroda může být tenká, například několik gm tlustá vrstva z Ni, Ni+Cu nebo Ni+PbSn, která ulpívá přímo na povrchu piezoelektrického ovladače. Druhá vnější elektroda je zde ♦ · · · • ···♦ * f • · ···· • · · · * * • ·· · Μ uspořádána pro ochranu proti příčným trhlinám, které mohou přerušit vedení proudu ve vnější elektrodě. Příčné trhliny mohou vznikat na první vnější elektrodě delaminací ve vnitřních elektrodách v důsledku tahových napětí v piezoelektrických vrstvách v pasivních zónách. Díky uspořádání síťové druhé vnější elektrody se příčné trhliny zastaví a přemostí se eventuálně přerušené vedení proudu v první vnější elektrodě.
Kromě toho dochází při rychlých změnách teploty, například mezi - 40 °C až +160 °C v piezoelektrickém ovladači eventuelně také k odtrhávání mezi první vnější elektrodou a piezokeramikou v důsledku příliš velkých smykových napětí, pokud se koeficienty tepelné roztažnosti piezokeramických materiálů a materiálů vnějších elektrod od sebe příliš odlišují. Zejména druhá vnější elektroda by pak působila díky větší tloušťce (cca 100 gm) ve srovnání s první vrstvou (cca 5 gm) velké smykové síly.
Obzvlášť výhodným způsobem mohou být snížena mechanická napětí v piezoelektrickém ovladači tehdy, pokud keramické piezoelektrické vrstvy a druhé elektrody vykazují přibližně souhlasné koeficienty tepelné roztažnosti od cca 1 * 10'6 * 1/K do 10 * 10'6 * 1/K. Jako materiál pro výrobu keramických piezoelektrických vrstev přitom připadá v úvahu olovnatý zirkoničitan titanitanu a pro druhé vnější elektrody slitiny železa a niklu, například invar. Pro zlepšení možnosti pájení mohou být tyto materiály povlečeny tenkou (například 5 až 10 gm) vrstvou mědi. Potom může být nanášena pájecí vrstva Sn Pb, aby se druhá vnější elektroda připájela na první.
Tyto a další znaky přednostních provedení vynálezu vycházejí z patentových nároků a také z popisu a obrázků, přičemž jednotlivé • · ♦ • ♦··· • ·* · « ··
znaky je možné uskutečnit vždy samy o sobě nebo ve více formách kombinací jak u provedení vynálezu tak i v jiných oblastech působnosti a mohly by výhodně představovat samy o sobě provedení schopná ochrany, pro něž je zde ochrana nárokována.
Přehled obrázků na výkresech
Příklad provedení piezoelektrického ovladače podle vynálezu je blíže vysvětlen podle obrázků, na kterých znamená obr. 1 řez piezoelektrickým ovladačem s vícevrstvou strukturou vrstev z piezokeramiky, s vnitřními elektrodami a s vnější elektrodou na způsob sítě na první ploché vnější elektrodě, obr. 2 půdorys síťové vnější elektrody podle obr. 1 a obr. 3 detailní řez strukturou vrstev a vnější elektrody v pasivních zónách piezoelektrických vrstev s trhlinami, vzniklými díky mechanickým smykovým a příčným napětím, která se tam vyskytují.
Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 je znázorněn piezoelektrický ovladač £, který je sestaven způsobem samo o sobě známým z piezoelektrických fólií keramických materiálů s vhodnou krystalickou strukturou, takže při využití takzvaného piezoelektrického efektu nastává při dotyku vnějšího elektrického napětí na vnitřních elektrodách 2 a 3. mechanická reakce piezoelektrického ovladače 1_. Z obr. 2 je patrný boční pohled na toto uspořádání.
· ·♦·· « ·· • · · · · · t • · · · I · • ·· · ··
S vnitřními elektrodami 2 a 3, je v kontaktu první plochá vnější elektroda 6, která je zase kontaktována s druhou vnější elektrodou 7 na způsob sítě přes bodové kontakty 8. například pájením nebo svařováním. První vnější elektroda 6 může být tenká vrstva, tlustá například několik μτη, z Ni, Ni+Cu nebo Ni+PbSn, která ulpívá přímo na povrchu piezoelektrického ovladače L·
Na detailním řezu podle obr. 3 je struktura vrstev a jsou zřetelně patrné bočně přiléhající vnější elektrody 6 a 7 podle obr. 1 a 2. Je zde vyznačena pasivní zóna 10, v níž se elektrické pole podle šipek 11 nijak silně neprojevuje, takže roztahování piezoelektrického ovladače 1 nenastává volně, ale je vynuceno tahovým napětím v keramickém materiálu piezoelektrického ovladače 1_. Tak mohou vznikat delaminace 12. které jsou zde vyznačeny na jednotlivých vnitřních elektrodách 3_. Delaminace 12 mohou přitom přecházet v trhlinu 13 v první vnější elektrodě 6. Trhlina 13 se ovšem druhou síťovou vnější elektrodou 7 zastaví a vodivě přemostí.
Na obr. 3 jsou dále vyznačeny také smykové trhliny 14. které mohou vznikat mezi keramickým materiálem struktury vrstev a první vnější elektrodou 6 díky různé teplotní roztažnosti piezokeramiky a druhé vnější elektrody 7. Relativně tenká první vnější elektroda 6 zde nemá velký vliv.
Claims (4)
- PATENTOVÉ1. Piezoelektrický ovladač- s vícevrstvou strukturou keramických piezoelektrických vrstev a vnitřních elektrod (2, 3), uspořádaných mezi těmito vrstvami,- s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod (2, 3) přes vnější elektrody (6, 7), přes které je možné přivést elektrické napětí, přičemž- jako první vnější elektroda (6) je vždy na jedné boční ploše umístěna vodivá plocha, která je v kontaktu s vnitřními elektrodami (2, 3) a druhá vnější elektroda (7) provedená na způsob sítě, tkaniny nebo zvlněná je uspořádána na první vnější elektrodě (6), přičemž druhá vnější elektroda (7) je alespoň bodovým způsobem kontaktována s první vnější elektrodou (6), a přičemž mezi kontaktními spoji leží roztažitelné oblasti a přičemž- v oblastech piezoelektrických vrstev, které mají vždy na protilehlé straně kontaktované vnitřní elektrody (2, 3) je upravena pasivní zóna (10) bez vnitřní elektrodové vrstvy, a že keramický piezoelektrický materiál alespoň v pasivní zóně (10) a materiál druhé vnější elektrody (7) mají téměř stejné koeficienty tepelné roztažnosti.
- 2. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím,- keramické piezoelektrické vrstvy a druhé vnější elektrody (7) mají koeficienty tepelné roztažnosti od cca 1 * 10'6 * 1/K do 10 * 10'6 * 1/K.• · · • ···· · *·*« · *·4t «· a
- 3. Piezoelektrický ovladač podle nároku 2, vyznačující se tím, že keramické piezoelektrické vrstvy jsou z olovnatého zírkoničitanu titanitanu.
- 4, Piezoelektrický ovladač podle nároku 2 nebo 3, vyznačující se tím, že- druhé vnější elektrody (7) jsou vyrobeny z železoniklové slitiny, popřípadě s měděným povlakem
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19928190A DE19928190A1 (de) | 1999-06-19 | 1999-06-19 | Piezoaktor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CZ2001578A3 true CZ2001578A3 (cs) | 2001-08-15 |
CZ301214B6 CZ301214B6 (cs) | 2009-12-09 |
Family
ID=7911892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CZ20010578A CZ301214B6 (cs) | 1999-06-19 | 2000-06-19 | Piezoelektrický ovladac |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6507140B1 (cs) |
EP (1) | EP1110250B1 (cs) |
JP (1) | JP4996026B2 (cs) |
KR (1) | KR100692884B1 (cs) |
CZ (1) | CZ301214B6 (cs) |
DE (2) | DE19928190A1 (cs) |
WO (1) | WO2000079608A1 (cs) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10017975A1 (de) * | 2000-04-11 | 2001-10-25 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Vielschichtaktor |
JP3964184B2 (ja) * | 2000-12-28 | 2007-08-22 | 株式会社デンソー | 積層型圧電アクチュエータ |
DE10207530A1 (de) * | 2002-02-22 | 2003-09-11 | Epcos Ag | Piezoaktor mit strukturierter Außenelektrode |
DE10327902A1 (de) * | 2002-07-19 | 2004-06-24 | Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering | Außenelektrode an einem piezokeramischen Vielschichtaktor |
DE10258255A1 (de) | 2002-12-13 | 2004-06-24 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
DE10259949A1 (de) * | 2002-12-20 | 2004-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor |
EP2012374B1 (en) * | 2003-09-24 | 2012-04-25 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
US7633214B2 (en) * | 2003-09-24 | 2009-12-15 | Kyocera Corporation | Multi-layer piezoelectric element |
DE102004004737A1 (de) * | 2004-01-30 | 2005-08-18 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung |
JP2006303044A (ja) | 2005-04-18 | 2006-11-02 | Denso Corp | 積層型圧電体素子 |
JP4936306B2 (ja) * | 2006-01-13 | 2012-05-23 | 日本碍子株式会社 | 積層型圧電素子およびその製造方法 |
CN101405882B (zh) | 2006-03-31 | 2011-06-15 | 株式会社村田制作所 | 压电致动器 |
DE102006026643A1 (de) * | 2006-06-08 | 2007-12-13 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelekterischer Aktor |
US7679273B2 (en) * | 2006-07-31 | 2010-03-16 | Delphi Technologies, Inc. | Strain tolerant metal electrode design |
JP5139448B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-02-06 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム |
DE102008003840A1 (de) | 2008-01-10 | 2009-07-16 | Robert Bosch Gmbh | Piezoaktor mit flexiblen Außenelektroden |
WO2009125553A1 (ja) * | 2008-04-11 | 2009-10-15 | 株式会社村田製作所 | 積層型圧電アクチュエータ |
DE102008062021A1 (de) * | 2008-08-18 | 2010-03-04 | Epcos Ag | Piezoaktor in Vielschichtbauweise |
DE102014214018A1 (de) | 2014-07-18 | 2016-01-21 | Continental Automotive Gmbh | Piezobauelement, Kontaktierungsbauelement zum elektrischen Kontaktieren eines Piezostapels und Verfahren zum Herstellen eines solchen Piezobauelements |
DE102015102866B4 (de) * | 2015-02-27 | 2023-02-02 | Tdk Electronics Ag | Keramisches Bauelement, Bauelementanordnung und Verfahren zur Herstellung eines keramischen Bauelements |
DE102018104459A1 (de) * | 2018-02-27 | 2019-08-29 | Tdk Electronics Ag | Vielschichtbauelement mit externer Kontaktierung |
JP7211577B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2023-01-24 | 太陽誘電株式会社 | 圧電アクチュエータ、振動発生装置、及び電子機器 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3378393D1 (en) * | 1982-05-11 | 1988-12-08 | Nec Corp | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
US4871938A (en) * | 1988-06-13 | 1989-10-03 | Digital Instruments, Inc. | Positioning device for a scanning tunneling microscope |
JPH02143474A (ja) * | 1988-11-24 | 1990-06-01 | Nec Corp | 圧電素子の熱膨張特性安定化方法 |
JP2849615B2 (ja) * | 1989-05-31 | 1999-01-20 | 株式会社トーキン | 積層型圧電アクチュエータ |
JP3039971B2 (ja) * | 1989-09-19 | 2000-05-08 | 株式会社日立製作所 | 接合型圧電装置及び製造方法並びに接合型圧電素子 |
JPH04340778A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-11-27 | Nec Corp | 積層圧電アクチュエータ素子 |
JPH04343282A (ja) * | 1991-05-21 | 1992-11-30 | Nec Corp | 圧電効果素子および電歪効果素子 |
CZ380591A3 (cs) * | 1991-12-16 | 1993-07-14 | Elektrotechnicky Ustav Sav | Integrovaný senzor fyzikálnych a chemických veli čin |
US5199004A (en) * | 1992-05-28 | 1993-03-30 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Sealed acoustical element using conductive epoxy |
JPH0620874A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-28 | Hitachi Metals Ltd | 可変静電容量素子 |
JPH06291587A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電振動子 |
JP2915716B2 (ja) * | 1992-08-26 | 1999-07-05 | ティーディーケイ株式会社 | 電子部品 |
US5478978A (en) * | 1993-02-25 | 1995-12-26 | The Center For Innovative Technology | Electrical switches and sensors which use a non-toxic liquid metal composition |
US5406164A (en) * | 1993-06-10 | 1995-04-11 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Multilayer piezoelectric element |
EP0651449B1 (en) * | 1993-11-01 | 2002-02-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic component and method for producing the same |
JPH07226544A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Nippondenso Co Ltd | 積層型圧電体 |
JPH07226644A (ja) * | 1994-02-16 | 1995-08-22 | Murata Mfg Co Ltd | エネルギー閉じ込め型圧電共振子 |
DE19646676C1 (de) * | 1996-11-12 | 1998-04-23 | Siemens Ag | Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren |
DE19648545B4 (de) * | 1996-11-25 | 2009-05-07 | Ceramtec Ag | Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden |
DE19650900A1 (de) | 1996-12-07 | 1998-06-10 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktuator |
JPH118526A (ja) * | 1997-04-25 | 1999-01-12 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子およびそれを用いた電子部品 |
DE19753930A1 (de) * | 1997-12-05 | 1999-06-10 | Ceramtec Ag | Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren |
DE19802302A1 (de) * | 1998-01-22 | 1999-07-29 | Bosch Gmbh Robert | Piezoelektrischer Aktor |
JPH11341838A (ja) * | 1998-05-20 | 1999-12-10 | Tokin Ceramics Corp | 積層型圧電アクチュエータ |
JP2001037262A (ja) * | 1999-07-23 | 2001-02-09 | Minolta Co Ltd | 圧電変換素子及び圧電変換素子を使用したアクチエータ |
-
1999
- 1999-06-19 DE DE19928190A patent/DE19928190A1/de not_active Ceased
-
2000
- 2000-06-19 KR KR1020017001954A patent/KR100692884B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-06-19 EP EP00949090A patent/EP1110250B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-19 WO PCT/DE2000/001930 patent/WO2000079608A1/de active IP Right Grant
- 2000-06-19 CZ CZ20010578A patent/CZ301214B6/cs not_active IP Right Cessation
- 2000-06-19 JP JP2001505073A patent/JP4996026B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-06-19 US US09/763,257 patent/US6507140B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-06-19 DE DE50007677T patent/DE50007677D1/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CZ301214B6 (cs) | 2009-12-09 |
KR20010072510A (ko) | 2001-07-31 |
DE50007677D1 (de) | 2004-10-14 |
JP2003502870A (ja) | 2003-01-21 |
DE19928190A1 (de) | 2001-01-11 |
EP1110250B1 (de) | 2004-09-08 |
EP1110250A1 (de) | 2001-06-27 |
WO2000079608A1 (de) | 2000-12-28 |
US6507140B1 (en) | 2003-01-14 |
KR100692884B1 (ko) | 2007-03-12 |
JP4996026B2 (ja) | 2012-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CZ2001578A3 (cs) | Piezoelektrický ovladač | |
JP4546931B2 (ja) | 目標破損個所を備えた圧電部材及び圧電部材を製造する方法並びに圧電部材の使用 | |
US5237239A (en) | Piezoelectric actuator | |
US6236146B1 (en) | Piezoelectric actuator with a new type of contacting and a method for the production thereof | |
EP1808908B1 (en) | Multilayer piezoelectric devices and method of producing the same | |
US8638025B2 (en) | Piezo actuator with external electrode soldered to outer face | |
CZ2001576A3 (cs) | Piezoelektrický ovladač | |
JPH05267742A (ja) | 圧電/電歪膜型素子 | |
JP2000083388A (ja) | 改善された電気的な接触接続を持つピエゾアクチュエ―タおよびこのようなピエゾアクチュエ―タの使用 | |
US8106566B2 (en) | Piezoelectric component with outer contacting, having gas-phase deposition, method for manufacturing component and use of component | |
US11393972B2 (en) | Multi-layer piezoelectric ceramic component and piezoelectric device | |
US20060022558A1 (en) | External electrode on a piezoceramic multi-layer actuator | |
US20100066212A1 (en) | Piezoelectric component with directly structured external contacting, method for manufacturing the component and use of said component | |
US20070001031A1 (en) | Multilayer piezoelectric element and fuel injector | |
US7276837B2 (en) | Piezoelectric actuator | |
JP2003502873A (ja) | 圧電式アクチュエータ | |
JPH07106653A (ja) | 積層圧電素子 | |
WO2009125553A1 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
US20040169438A1 (en) | Additional contact for an electric component and piezoelectric component in the form of a multilayer structure | |
JP3506609B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータ | |
JP2006527486A (ja) | ピエゾアクチュエータ | |
JP2007520065A (ja) | ピエゾアクチュエータならびにピエゾアクチュエータを製作する方法 | |
JPH04167580A (ja) | 積層圧電アクチュエータ素子 | |
JP2892672B2 (ja) | 積層型変位素子 | |
CN108028309B (zh) | 电子陶瓷构件、尤其多层式压电致动器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | Patent lapsed due to non-payment of fee |
Effective date: 20150619 |