CZ2001578A3 - Piezoelektrický ovladač - Google Patents

Piezoelektrický ovladač Download PDF

Info

Publication number
CZ2001578A3
CZ2001578A3 CZ2001578A CZ2001578A CZ2001578A3 CZ 2001578 A3 CZ2001578 A3 CZ 2001578A3 CZ 2001578 A CZ2001578 A CZ 2001578A CZ 2001578 A CZ2001578 A CZ 2001578A CZ 2001578 A3 CZ2001578 A3 CZ 2001578A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
piezoelectric
electrodes
electrode
piezoelectric actuator
outer electrode
Prior art date
Application number
CZ2001578A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ301214B6 (cs
Inventor
Rudolf Heinz
Alexander Hedrich
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Publication of CZ2001578A3 publication Critical patent/CZ2001578A3/cs
Publication of CZ301214B6 publication Critical patent/CZ301214B6/cs

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)

Description

Oblast techniky
Vynález se týká piezoelektrického ovladače vícevrstvou strukturou keramických piezoelektrických vrstev a vnitřních elektrod, uspořádaných mezi těmito vrstvami, s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod přes vnější elektrody, přes které je možné přivádět elektrické napětí.
Dosavadní stav techniky
Všeobecně je známo, že při využití takzvaného piezoelektrického efektu může být z materiálu s vhodnou krystalickou strukturou sestaven piezoelektrický element. Při dotyku vnějšího elektrického napětí nastává mechanická reakce piezoelektrického elementu, kterou v závislosti na krystalické struktuře a oblasti dotyku elektrického napětí představuje tlak nebo tah v předem daném směru. Struktura tohoto piezoelektrického ovladače zde může být provedena ve více vrstvách (vícevrstvé ovladače), přičemž elektrody, přes které je přiváděno elektrické napětí, jsou vždy uspořádány mezi těmito vrstvami.
Takové piezoelektrické ovladače mohou být upraveny například pro pohon ovládacích ventilů u vstřikovacích systémů paliva v motorových vozidlech. Při provozu piezoelektrického ovladače je zde třeba také dbát zejména toho, aby díky mechanickým napětím nevznikaly ve struktuře vrstev žádné rušivé praskliny v oblasti vnějších připojovacích elektrod. Protože vždy na jedné straně jsou kontaktující vnitřní elektrody integrovány do struktury vrstev na způsob hřebene, musí být elektrody, které následují za sebou ve směru struktury vrstev, vždy kontaktovány střídavě na protilehlých stranách. Při činnosti piezoelektrického ovladače, to znamená při dotyku napětí mezi vnitřními elektrodami, ležícími ve struktuře vrstev proti sobě, se vyskytují v oblasti vnitřních elektrod i v oblasti kontaktování na vnějších elektrodách různé mechanické síly, které mohou vést k mechanickému napětí a tím k trhlinám ve vnějších elektrodách.
Podstata vynálezu
Tuto nevýhodu odstraňuje piezoelektrický ovladač s vícevrstvou strukturou keramických piezoelektrických vrstev a vnitřních elektrod uspořádaných mezi těmito vrstvami, s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod přes vnější elektrody, přes které je možné přivádět elektrické napětí, podle vynálezu, jehož podstatou je, že jako první vnější elektroda je vždy na jedné boční ploše umístěna vodivá plocha, která je v kontaktu s vnitřními elektrodami a druhá vnější elektroda provedená na způsob sítě, tkaniny nebo zvlněná je uspořádána na první elektrodě, přičemž druhá vnější elektroda je alespoň bodovým způsobem kontaktována s první elektrodou, a přičemž mezi kontaktními spoji leží roztažitelné oblasti, a přičemž v oblastech piezoelektrických vrstev, které mají vždy na protilehlé straně kontaktované vnitřní elektrody je upravena pasivní zóna bez vnitřní elektrodové vrstvy, a že keramický piezoelektrický materiál alespoň v pasivní zóně a materiál druhé vnější elektrody mají téměř stejné koeficienty tepelné roztažnosti.
První vnější elektroda může být tenká, například několik gm tlustá vrstva z Ni, Ni+Cu nebo Ni+PbSn, která ulpívá přímo na povrchu piezoelektrického ovladače. Druhá vnější elektroda je zde ♦ · · · • ···♦ * f • · ···· • · · · * * • ·· · Μ uspořádána pro ochranu proti příčným trhlinám, které mohou přerušit vedení proudu ve vnější elektrodě. Příčné trhliny mohou vznikat na první vnější elektrodě delaminací ve vnitřních elektrodách v důsledku tahových napětí v piezoelektrických vrstvách v pasivních zónách. Díky uspořádání síťové druhé vnější elektrody se příčné trhliny zastaví a přemostí se eventuálně přerušené vedení proudu v první vnější elektrodě.
Kromě toho dochází při rychlých změnách teploty, například mezi - 40 °C až +160 °C v piezoelektrickém ovladači eventuelně také k odtrhávání mezi první vnější elektrodou a piezokeramikou v důsledku příliš velkých smykových napětí, pokud se koeficienty tepelné roztažnosti piezokeramických materiálů a materiálů vnějších elektrod od sebe příliš odlišují. Zejména druhá vnější elektroda by pak působila díky větší tloušťce (cca 100 gm) ve srovnání s první vrstvou (cca 5 gm) velké smykové síly.
Obzvlášť výhodným způsobem mohou být snížena mechanická napětí v piezoelektrickém ovladači tehdy, pokud keramické piezoelektrické vrstvy a druhé elektrody vykazují přibližně souhlasné koeficienty tepelné roztažnosti od cca 1 * 10'6 * 1/K do 10 * 10'6 * 1/K. Jako materiál pro výrobu keramických piezoelektrických vrstev přitom připadá v úvahu olovnatý zirkoničitan titanitanu a pro druhé vnější elektrody slitiny železa a niklu, například invar. Pro zlepšení možnosti pájení mohou být tyto materiály povlečeny tenkou (například 5 až 10 gm) vrstvou mědi. Potom může být nanášena pájecí vrstva Sn Pb, aby se druhá vnější elektroda připájela na první.
Tyto a další znaky přednostních provedení vynálezu vycházejí z patentových nároků a také z popisu a obrázků, přičemž jednotlivé • · ♦ • ♦··· • ·* · « ··
znaky je možné uskutečnit vždy samy o sobě nebo ve více formách kombinací jak u provedení vynálezu tak i v jiných oblastech působnosti a mohly by výhodně představovat samy o sobě provedení schopná ochrany, pro něž je zde ochrana nárokována.
Přehled obrázků na výkresech
Příklad provedení piezoelektrického ovladače podle vynálezu je blíže vysvětlen podle obrázků, na kterých znamená obr. 1 řez piezoelektrickým ovladačem s vícevrstvou strukturou vrstev z piezokeramiky, s vnitřními elektrodami a s vnější elektrodou na způsob sítě na první ploché vnější elektrodě, obr. 2 půdorys síťové vnější elektrody podle obr. 1 a obr. 3 detailní řez strukturou vrstev a vnější elektrody v pasivních zónách piezoelektrických vrstev s trhlinami, vzniklými díky mechanickým smykovým a příčným napětím, která se tam vyskytují.
Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 je znázorněn piezoelektrický ovladač £, který je sestaven způsobem samo o sobě známým z piezoelektrických fólií keramických materiálů s vhodnou krystalickou strukturou, takže při využití takzvaného piezoelektrického efektu nastává při dotyku vnějšího elektrického napětí na vnitřních elektrodách 2 a 3. mechanická reakce piezoelektrického ovladače 1_. Z obr. 2 je patrný boční pohled na toto uspořádání.
· ·♦·· « ·· • · · · · · t • · · · I · • ·· · ··
S vnitřními elektrodami 2 a 3, je v kontaktu první plochá vnější elektroda 6, která je zase kontaktována s druhou vnější elektrodou 7 na způsob sítě přes bodové kontakty 8. například pájením nebo svařováním. První vnější elektroda 6 může být tenká vrstva, tlustá například několik μτη, z Ni, Ni+Cu nebo Ni+PbSn, která ulpívá přímo na povrchu piezoelektrického ovladače L·
Na detailním řezu podle obr. 3 je struktura vrstev a jsou zřetelně patrné bočně přiléhající vnější elektrody 6 a 7 podle obr. 1 a 2. Je zde vyznačena pasivní zóna 10, v níž se elektrické pole podle šipek 11 nijak silně neprojevuje, takže roztahování piezoelektrického ovladače 1 nenastává volně, ale je vynuceno tahovým napětím v keramickém materiálu piezoelektrického ovladače 1_. Tak mohou vznikat delaminace 12. které jsou zde vyznačeny na jednotlivých vnitřních elektrodách 3_. Delaminace 12 mohou přitom přecházet v trhlinu 13 v první vnější elektrodě 6. Trhlina 13 se ovšem druhou síťovou vnější elektrodou 7 zastaví a vodivě přemostí.
Na obr. 3 jsou dále vyznačeny také smykové trhliny 14. které mohou vznikat mezi keramickým materiálem struktury vrstev a první vnější elektrodou 6 díky různé teplotní roztažnosti piezokeramiky a druhé vnější elektrody 7. Relativně tenká první vnější elektroda 6 zde nemá velký vliv.

Claims (4)

  1. PATENTOVÉ
    1. Piezoelektrický ovladač
    - s vícevrstvou strukturou keramických piezoelektrických vrstev a vnitřních elektrod (2, 3), uspořádaných mezi těmito vrstvami,
    - s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod (2, 3) přes vnější elektrody (6, 7), přes které je možné přivést elektrické napětí, přičemž
    - jako první vnější elektroda (6) je vždy na jedné boční ploše umístěna vodivá plocha, která je v kontaktu s vnitřními elektrodami (2, 3) a druhá vnější elektroda (7) provedená na způsob sítě, tkaniny nebo zvlněná je uspořádána na první vnější elektrodě (6), přičemž druhá vnější elektroda (7) je alespoň bodovým způsobem kontaktována s první vnější elektrodou (6), a přičemž mezi kontaktními spoji leží roztažitelné oblasti a přičemž
    - v oblastech piezoelektrických vrstev, které mají vždy na protilehlé straně kontaktované vnitřní elektrody (2, 3) je upravena pasivní zóna (10) bez vnitřní elektrodové vrstvy, a že keramický piezoelektrický materiál alespoň v pasivní zóně (10) a materiál druhé vnější elektrody (7) mají téměř stejné koeficienty tepelné roztažnosti.
  2. 2. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím,
    - keramické piezoelektrické vrstvy a druhé vnější elektrody (7) mají koeficienty tepelné roztažnosti od cca 1 * 10'6 * 1/K do 10 * 10'6 * 1/K.
    • · · • ···· · *·*« · *·
    4t «· a
  3. 3. Piezoelektrický ovladač podle nároku 2, vyznačující se tím, že keramické piezoelektrické vrstvy jsou z olovnatého zírkoničitanu titanitanu.
  4. 4, Piezoelektrický ovladač podle nároku 2 nebo 3, vyznačující se tím, že
    - druhé vnější elektrody (7) jsou vyrobeny z železoniklové slitiny, popřípadě s měděným povlakem
CZ20010578A 1999-06-19 2000-06-19 Piezoelektrický ovladac CZ301214B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19928190A DE19928190A1 (de) 1999-06-19 1999-06-19 Piezoaktor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2001578A3 true CZ2001578A3 (cs) 2001-08-15
CZ301214B6 CZ301214B6 (cs) 2009-12-09

Family

ID=7911892

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20010578A CZ301214B6 (cs) 1999-06-19 2000-06-19 Piezoelektrický ovladac

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6507140B1 (cs)
EP (1) EP1110250B1 (cs)
JP (1) JP4996026B2 (cs)
KR (1) KR100692884B1 (cs)
CZ (1) CZ301214B6 (cs)
DE (2) DE19928190A1 (cs)
WO (1) WO2000079608A1 (cs)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10017975A1 (de) * 2000-04-11 2001-10-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Vielschichtaktor
JP3964184B2 (ja) * 2000-12-28 2007-08-22 株式会社デンソー 積層型圧電アクチュエータ
DE10207530A1 (de) * 2002-02-22 2003-09-11 Epcos Ag Piezoaktor mit strukturierter Außenelektrode
DE10327902A1 (de) * 2002-07-19 2004-06-24 Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering Außenelektrode an einem piezokeramischen Vielschichtaktor
DE10258255A1 (de) 2002-12-13 2004-06-24 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE10259949A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-01 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
EP2012374B1 (en) * 2003-09-24 2012-04-25 Kyocera Corporation Multi-layer piezoelectric element
US7633214B2 (en) * 2003-09-24 2009-12-15 Kyocera Corporation Multi-layer piezoelectric element
DE102004004737A1 (de) * 2004-01-30 2005-08-18 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
JP2006303044A (ja) 2005-04-18 2006-11-02 Denso Corp 積層型圧電体素子
JP4936306B2 (ja) * 2006-01-13 2012-05-23 日本碍子株式会社 積層型圧電素子およびその製造方法
CN101405882B (zh) 2006-03-31 2011-06-15 株式会社村田制作所 压电致动器
DE102006026643A1 (de) * 2006-06-08 2007-12-13 Robert Bosch Gmbh Piezoelekterischer Aktor
US7679273B2 (en) * 2006-07-31 2010-03-16 Delphi Technologies, Inc. Strain tolerant metal electrode design
JP5139448B2 (ja) * 2007-12-26 2013-02-06 京セラ株式会社 積層型圧電素子、これを用いた噴射装置及び燃料噴射システム
DE102008003840A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit flexiblen Außenelektroden
WO2009125553A1 (ja) * 2008-04-11 2009-10-15 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
DE102008062021A1 (de) * 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102014214018A1 (de) 2014-07-18 2016-01-21 Continental Automotive Gmbh Piezobauelement, Kontaktierungsbauelement zum elektrischen Kontaktieren eines Piezostapels und Verfahren zum Herstellen eines solchen Piezobauelements
DE102015102866B4 (de) * 2015-02-27 2023-02-02 Tdk Electronics Ag Keramisches Bauelement, Bauelementanordnung und Verfahren zur Herstellung eines keramischen Bauelements
DE102018104459A1 (de) * 2018-02-27 2019-08-29 Tdk Electronics Ag Vielschichtbauelement mit externer Kontaktierung
JP7211577B2 (ja) * 2018-02-28 2023-01-24 太陽誘電株式会社 圧電アクチュエータ、振動発生装置、及び電子機器

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3378393D1 (en) * 1982-05-11 1988-12-08 Nec Corp Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses
US4871938A (en) * 1988-06-13 1989-10-03 Digital Instruments, Inc. Positioning device for a scanning tunneling microscope
JPH02143474A (ja) * 1988-11-24 1990-06-01 Nec Corp 圧電素子の熱膨張特性安定化方法
JP2849615B2 (ja) * 1989-05-31 1999-01-20 株式会社トーキン 積層型圧電アクチュエータ
JP3039971B2 (ja) * 1989-09-19 2000-05-08 株式会社日立製作所 接合型圧電装置及び製造方法並びに接合型圧電素子
JPH04340778A (ja) * 1991-01-30 1992-11-27 Nec Corp 積層圧電アクチュエータ素子
JPH04343282A (ja) * 1991-05-21 1992-11-30 Nec Corp 圧電効果素子および電歪効果素子
CZ380591A3 (cs) * 1991-12-16 1993-07-14 Elektrotechnicky Ustav Sav Integrovaný senzor fyzikálnych a chemických veli čin
US5199004A (en) * 1992-05-28 1993-03-30 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Sealed acoustical element using conductive epoxy
JPH0620874A (ja) * 1992-07-03 1994-01-28 Hitachi Metals Ltd 可変静電容量素子
JPH06291587A (ja) * 1992-07-08 1994-10-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 圧電振動子
JP2915716B2 (ja) * 1992-08-26 1999-07-05 ティーディーケイ株式会社 電子部品
US5478978A (en) * 1993-02-25 1995-12-26 The Center For Innovative Technology Electrical switches and sensors which use a non-toxic liquid metal composition
US5406164A (en) * 1993-06-10 1995-04-11 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Multilayer piezoelectric element
EP0651449B1 (en) * 1993-11-01 2002-02-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Electronic component and method for producing the same
JPH07226544A (ja) * 1994-02-10 1995-08-22 Nippondenso Co Ltd 積層型圧電体
JPH07226644A (ja) * 1994-02-16 1995-08-22 Murata Mfg Co Ltd エネルギー閉じ込め型圧電共振子
DE19646676C1 (de) * 1996-11-12 1998-04-23 Siemens Ag Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren
DE19648545B4 (de) * 1996-11-25 2009-05-07 Ceramtec Ag Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden
DE19650900A1 (de) 1996-12-07 1998-06-10 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktuator
JPH118526A (ja) * 1997-04-25 1999-01-12 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子およびそれを用いた電子部品
DE19753930A1 (de) * 1997-12-05 1999-06-10 Ceramtec Ag Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren
DE19802302A1 (de) * 1998-01-22 1999-07-29 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
JPH11341838A (ja) * 1998-05-20 1999-12-10 Tokin Ceramics Corp 積層型圧電アクチュエータ
JP2001037262A (ja) * 1999-07-23 2001-02-09 Minolta Co Ltd 圧電変換素子及び圧電変換素子を使用したアクチエータ

Also Published As

Publication number Publication date
CZ301214B6 (cs) 2009-12-09
KR20010072510A (ko) 2001-07-31
DE50007677D1 (de) 2004-10-14
JP2003502870A (ja) 2003-01-21
DE19928190A1 (de) 2001-01-11
EP1110250B1 (de) 2004-09-08
EP1110250A1 (de) 2001-06-27
WO2000079608A1 (de) 2000-12-28
US6507140B1 (en) 2003-01-14
KR100692884B1 (ko) 2007-03-12
JP4996026B2 (ja) 2012-08-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ2001578A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
JP4546931B2 (ja) 目標破損個所を備えた圧電部材及び圧電部材を製造する方法並びに圧電部材の使用
US5237239A (en) Piezoelectric actuator
US6236146B1 (en) Piezoelectric actuator with a new type of contacting and a method for the production thereof
EP1808908B1 (en) Multilayer piezoelectric devices and method of producing the same
US8638025B2 (en) Piezo actuator with external electrode soldered to outer face
CZ2001576A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
JPH05267742A (ja) 圧電/電歪膜型素子
JP2000083388A (ja) 改善された電気的な接触接続を持つピエゾアクチュエ―タおよびこのようなピエゾアクチュエ―タの使用
US8106566B2 (en) Piezoelectric component with outer contacting, having gas-phase deposition, method for manufacturing component and use of component
US11393972B2 (en) Multi-layer piezoelectric ceramic component and piezoelectric device
US20060022558A1 (en) External electrode on a piezoceramic multi-layer actuator
US20100066212A1 (en) Piezoelectric component with directly structured external contacting, method for manufacturing the component and use of said component
US20070001031A1 (en) Multilayer piezoelectric element and fuel injector
US7276837B2 (en) Piezoelectric actuator
JP2003502873A (ja) 圧電式アクチュエータ
JPH07106653A (ja) 積層圧電素子
WO2009125553A1 (ja) 積層型圧電アクチュエータ
US20040169438A1 (en) Additional contact for an electric component and piezoelectric component in the form of a multilayer structure
JP3506609B2 (ja) 積層型圧電アクチュエータ
JP2006527486A (ja) ピエゾアクチュエータ
JP2007520065A (ja) ピエゾアクチュエータならびにピエゾアクチュエータを製作する方法
JPH04167580A (ja) 積層圧電アクチュエータ素子
JP2892672B2 (ja) 積層型変位素子
CN108028309B (zh) 电子陶瓷构件、尤其多层式压电致动器

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20150619