CZ2001576A3 - Piezoelektrický ovladač - Google Patents

Piezoelektrický ovladač Download PDF

Info

Publication number
CZ2001576A3
CZ2001576A3 CZ2001576A CZ2001576A CZ2001576A3 CZ 2001576 A3 CZ2001576 A3 CZ 2001576A3 CZ 2001576 A CZ2001576 A CZ 2001576A CZ 2001576 A CZ2001576 A CZ 2001576A CZ 2001576 A3 CZ2001576 A3 CZ 2001576A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
piezoelectric actuator
contact
která
electrical connections
actuator according
Prior art date
Application number
CZ2001576A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ301223B6 (cs
Inventor
Rudolf Heinz
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Publication of CZ2001576A3 publication Critical patent/CZ2001576A3/cs
Publication of CZ301223B6 publication Critical patent/CZ301223B6/cs

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. external electrodes

Description

Piezoelektrický ovladač
Oblast techniky
Vynález se týká piezoelektrického ovladače s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami uspořádanými mezi těmito vrstvami, s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod přes vnější elektrody, kterými je možné přivádět elektrické napětí.
Dosavadní stav techniky
Všeobecně je známo, že při využití takzvaného piezoelektrického efektu může být z materiálu s vhodnou krystalickou strukturou sestaven piezoelektrický element. Při dotyku vnějšího elektrického napětí nastává mechanická reakce piezoelektrického elementu, kterou v závislosti na krystalické struktuře a oblasti dotyku elektrického napětí představuje tlak nebo tah v předem daném směru. Struktura tohoto piezoelektrického ovladače může být provedena ve více vrstvách (vícevrstvé ovladače), přičemž elektrody, přes které je přiváděno elektrické napětí, jsou uspořádány mezi vrstvami.
Takové piezoelektrické ovladače mohou být například upraveny pro pohon ovládacích ventilů u systémů vstřikování paliva v motorových vozidlech. Při provozu piezoelektrických ovladačů je zejména třeba dbát na to, aby také v důsledku mechanických napětí ve struktuře vrstev nevznikaly žádné praskliny v oblasti vnějších připojovacích elektrod. Protože na jedné straně jsou kontaktující vnitřní elektrody integrovány do struktury vrstev hřebenovým • · • · · · ···· · · způsobem, musí být elektrody, následující za sebou ve směru struktury těchto vrstev, kontaktovány střídavým způsobem na straně protilehlé. Při ovládání piezoelektrického ovladače, to znamená při dotyku napětí mezi vnitřními elektrodami, ležícími ve struktuře vrstev proti sobě, se vyskytují v oblasti vnitřních elektrod i v oblasti kontaktování na vnějších elektrodách různé mechanické síly, které mohou vést k mechanickým napětím a tím k prasklinám ve vnějších elektrodách.
Podstata vynálezu
Tyto nevýhody odstraňuje piezoelektrický ovladač s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami, uspořádanými mezi těmito vrstvami, se vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod přes vnější elektrody, kterými je možné přivádět elektrické napětí, podle vynálezu, jehož podstatou je, Že vnější elektroda je umístěna na způsob sítě nebo tkaniny v rozložení vždy na boční ploše a je alespoň bodově kontaktována vždy s vnitřními elektrodami a mezi kontaktováním leží roztažitelná oblast, a přičemž přívod elektrického napětí se děje přípojkami, které mají rovněž mezi oblastmi kontaktních ploch nebo bodů roztažitelné oblasti a/nebo přiléhají na elastické falcované oblasti.
U obzvlášť výhodné formy provedení vynálezu je jako první vrstva vnější elektrody uspořádána například kovová vrstva, vždy na jedné straně boční plochy, která je kontaktována vždy s vnitřními elektrodami. Vrstva na způsob sítě nebo tkaniny jako druhá vnější elektroda je pak uspořádána přes první vrstvu, přičemž je alespoň bodovým způsobem kontaktována s první vrstvou a přičemž i zde leží mezi kontakty roztažitelná oblast. Přívod elektrického napětí je pak proveden také v tomto případě přípojkami na druhé vnější elektrodě,
9« Φ · · · ΦΦΦ· « φ φ φ • Φ Φ Φ · Φ «·φ • Φ ΦΦ ·Φ · «φ ♦· · která má v oblasti kontaktní plochy nebo mezi kontaktními body rovněž roztažitelnou oblast.
Síťové nebo tkaninové vnější elektrody slouží k zamezení příčných trhlin, které se mohou vyskytnout, jak už bylo v úvodu zmíněno, u vnitřních elektrod díky delaminaci. Síťové nebo tkaninové vnější elektrody mohou být přitom výhodným způsobem připájeny pouze bodově, takže při roztahování piezoelektrického ovladače nevznikají ve vnějších elektrodách žádná velká smyková napětí, což by mohlo mít za následek odtrhávání elektrod.
U další formy provedení mohou být přípojky elektrického napětí realizovány přes pájený kontakt, který je uspořádán na oblasti struktury vrstev piezoelektrického ovladače, která tím, že vnitřní elektrody nedosahují až k okraji piezoelektrického ovladače, nevykazuje žádné aktivní podélné prodloužení.
U jiné formy provedení mohou být přípojky elektrického napětí realizovány výhodným způsobem přes pájený, svařovaný nebo zalemovaný kontakt, který se nachází na falcované oblasti síťové nebo tkaninové vnější elektrody. Přitom je možné, že přípojky jsou provedeny plochým drátem, který je uspořádán uvnitř falcované oblasti.
Dále je možné, že přípojky elektrického napětí jsou provedeny drátem, který se táhne v přímce přes falcovanou oblast po celé délce piezoelektrického ovladače nebo také drátem, zvlněným bočně nebo svisle, čímž vznikají pájené, svařované nebo zalemované kontakty, které se nacházejí jako body na tkaninových vnějších elektrodách.
• · · ♦ · · «··· · ft · » • · · · « · · · t ·· ·« ·· · ·· *··
Dále mohou být přípojky elektrického napětí provedeny také hřebenovou elektrodou a pájeným nebo svařovaným kontaktem, který se bodovým způsobem nachází na zejména elastickém hřebeni a druhé vnější elektrodě.
Tento a další znaky dalších přednostních provedení vynálezu vycházejí kromě patentových nároků také z popisu a obrázků, přičemž jednotlivé znaky jsou uskutečnitelné samy nebo ve formě více kombinací u různých provedení vynálezu, i v jiných oblastech použití a výhodně mohou představovat samy o sobě provedení schopná patentové ochrany, pro které je zde tato ochrana požadována.
Přehled obrázků na výkresech
Příklady provedení piezoelektrického ovladače podle vynálezu jsou vysvětleny na základě obrázků, na kterých znamená obr. 1 řez piezoelektrickým ovladačem s vícevrstvou strukturou vrstev z piezokeramiky a s vnitřními elektrodami i se síťovou vnější elektrodou na první ploché vnější elektrodě, obr. 2 půdorys síťové vnější elektrody podle obr. 1 přípojkami elektrického napětí, obr. 3 detailní řez strukturou vrstev v oblasti elektrických přípojek, obr. 4 obměna příkladu podle obr. 3 s elektrickými přípojkami, ležícími na falcované oblasti, • · 9 * 9 9 9999 9 9 9 9
9 9 9 99 9 «9 9 ·· «· · 9· ··· obr. 5 obměna příkladu podle obr. 4 s připojovacím drátem přiléhajícím ve falcované oblasti, obr. 6 příklad provedení u kterého je síťová vnější elektroda spojena s první vnější elektrodou třmenovým pájením, obr. 7 příklad provedení u kterého je síťová vnější elektroda spojena s připojovacím drátem zalemováním, obr. 8 příklad provedení u kterého je síťová vnější elektroda na celé délce piezoelektrického ovladače spojena s připojovacím drátem třmenovým pájením nebo zalemováním na falcované oblasti, obr. 9, 10 pohledy na zvlněné připojovací dráty pro elektrické a 11 přípojky a obr. 12 dva pohledy na elektrické připojovací dráty na způsob a 13 hřebene.
Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 je znázorněn piezoelektrický ovladač 1, který je sestaven samo o sobě známým způsobem z piezoelektrické fólie keramického materiálu s vhodnou krystalickou strukturou, takže za využití takzvaného piezoelektrického efektu při dotyku vnějšího elektrického napětí na vnitřních elektrodách 2 a 3. přes elektrické přípojky 4 a 5 nastává mechanická reakce piezoelektrického ovladače L Na obr. 2 je boční pohled na toto uspořádání a z obr. 3 je patrný řez v oblasti připojovacích drátů 4 a 5, • · · · · · *»** · · · · ♦ · · · · · · ·· » ·· ·· ·· · «· ···
S vnitrními elektrodami 2 a 3 je v kontaktu první plochá vnější elektroda 6, která je zase kontaktována s druhou síťovou vnější elektrodou 7 přes bodové kontakty 8., například pájením nebo svářením. První vnější elektroda 6 může být tenká, například několik pm tlustá vrstva z Ni, Ni+Cu nebo Ni+PbSn, která je uchycena přímo na povrchu piezoelektrického ovladače L Připojovací dráty 4 a 1 jsou spojeny se síťovou vnější elektrodou 7 na kontaktním místě 9 pájením nebo svařováním. Pro odstranění možnosti odlomení pájeného místa 9 je v piezoelektrickém ovladači 1 upravena podle obr, 1 pasivní patková oblast 10. u které nejsou vnitřní elektrody 2 a 3 vedeny až k vnějším elektrodám 6 a 7 a proto se nevyskytují žádné mechanické reakce na základě piezoelektrického efektu. Nevýhody, které jsou zmíněny v úvodním popisu díky eventuelnímu tvoření trhlin, jsou tak v patkové oblasti 10 odstraněny.
Z obr. 4 je patrný příklad provedení, u kterého je oblast vnější elektrody Z k upevnění připojovacího drátu 4 nebo Z falcována a tím je odstraněno ztužení na pájeném místě 9 a tvoření trhlin. Získá se tak přes výšku h elastická falcovaná oblast 11 v níž se může piezoelektrický ovladač 1 roztahovat, aniž by tomu vyztužený připojovací drát 4 nebo 5 bránil. Výhodné by zde bylo zejména přivaření připojovacího drátu 4 nebo 5., protože pájka by tak nemohla po dráze h stékat, což by v jiném případě mohlo vést k určitému ztužení. Pasivní patková oblast, jaká je upravena podle obr. 1 až 3, zde může odpadnout.
U modifikace formy provedení znázorněné na obr. 5 podle obr. 4 je připojovací drát 4 nebo 5. ve vnitřní falcované oblasti 11 přivařen.
Podle příkladu provedení z obr, 6 je upraven plochý přivařený připojovací drát 4 nebo 5., který umožňuje díky své malé šířce provést • φ ♦ * *♦·♦ · * ·«· topnými deskami 12 třmenové připájení síťové vnější elektrody na první vnější elektrodu.
Z obr. 7 je patrná forma provedení, u které je připojovacím drátem 4 nebo 5. zalemována kolejnička 13. přiložená přes falcovanou oblast U..
Obr. 8 znázorňuje obměnu upevnění připojovacího drátu 4 a 5, u níž je přes celou délku piezoelektrického ovladače 1 veden průchozí drát. Při lokálním pájení nebo svařování na falcovacím místě 11 je výskyt únavy materiálu mezi dráty 4 a 5 a vnější elektrodou 7 také zde odstraněn.
U příkladu provedení podle obr. 9 a 10 jsou připojovací dráty 4 a
5. zvlněné, takže je tak zmenšena překážka v roztahování vnější elektrody 7. Dráty 4 a i jsou v podélném směru piezoelektrického ovladače 1 přivařeny nebo přiletovány na větším počtu malých míst 14. Dráty 4 a 5. jsou podle obr. 9 a 10 zvlněny kolmo k rovině vnější elektrody 7, takže i zde je možné třmenové pájení, zmíněné na základě obr, 6, pro naletování síťové vnější elektrody 7 na piezoelektrický ovladač 1, respektive na první plochou vnější elektrodu 6 bez velkých překážek. Drát 4 nebo £ přivařený nejprve na vnější elektrodu 7 může být použit jako držák a k vystředění při třmenovém pájení.
Zvlněný připojovací drát 4 nebo i naletovaný nebo přivařený naplocho na síťovou vnější elektrodu 7, znázorňuje obr. 11. Zde je také upraveno bodové kontaktování na místech 14. čímž není bráněno schopnosti roztahování vnější elektrody 7. Třmenové pájení vnější elektrody může být provedeno také zde, nejjednodušeji pokud je na ni nejprve umístěn připojovací drát 4 nebo 5..
• - · · · · · ·· φ * · 4 « · · 44·· · · · · · ♦ · Φ Φ * ·«· ·· «· 44 4 φ· «φφ
Další případ provedení znázorňují obr. 12 a 13, na nichž je umístěna zvláštní forma připojovacího drátu 15, u níž jsou k dispozici elastické patky 16. které dosahují hřebenovým způsobem ke kontaktním místům 17. na kterých jsou připájeny nebo přivařeny.

Claims (8)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Piezoelektrický ovladač
    - s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami (2, 3) uspořádanými mezi těmito vrstvami,
    - s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod (2, 3) přes vnější elektrody (6,7), kterými je možné přivádět elektrické napětí, přičemž
    - vnější elektroda (7) je umístěna na způsob sítě nebo tkaniny, v rozložení vždy na boční ploše a je alespoň bodově kontaktována vždy s vnitřními elektrodami (2, 3) a mezi kontaktováním leží roztažitelná oblast, a přičemž
    - přívod elektrického napětí se děje přípojkami (4, 5, 13,15), které mají rovněž mezi oblastmi kontaktních ploch nebo bodů (8, 14, 17) roztažitelné oblasti a/nebo přiléhají na elastické falcované oblasti (11).
  2. 2. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím, v ze
    - jako první vnější elektroda (6) je vždy na boční ploše umístěna vodivá plocha, která je vždy kontaktována s vnitřními elektrodami (2, 3) a druhá vnější elektroda (7) je uspořádána na způsob sítě nebo tkaniny na první (6), přičemž druhá vnější elektroda je alespoň bodově kontaktována s první (6) a přičemž mezi kontaktováním (8, 14, 17) leží roztažitelná oblast,
  3. 3. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že
    - přípojky (4, 5) elektrického napětí jsou provedeny přes pájkový kontakt (9), který je uspořádán na oblasti (10) struktury vrstev • · · * · · · «· · • · ♦ · · · ···· β · « ·
    10 ·· ·· ·· * ·· ··· piezoelektrického ovladače (1), která tím, že vnitřní elektrody (2, 3) nedosahují až k okraji piezoelektrického ovladače (1) nevykazuje téměř žádné podélné protažení.
  4. 4. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že
    - přípojky (4, 5) elektrického napětí jsou provedeny pres pájený, svařovaný nebo zalemovaný kontakt, který se nachází na falcované oblasti (11) druhé vnější elektrody (7).
  5. 5. Piezoelektrický ovladač podle nároku 4, vyznačující se tím, v
    ze
    - přípojky elektrického napětí jsou provedeny plochým drátem (4,5), který je uspořádán ve falcované oblasti (11).
  6. 6. Piezoelektrický ovladač podle nároku 4 nebo 5, vyznačující se tím, že
    - přípojky elektrického napětí jsou provedeny drátem (4, 5), který se táhne přes falcovanou oblast (11), rozprostírající se po celé délce piezoelektrického ovladače.
  7. 7. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z nároků 1 nebo 2, vyznačující se tím, že
    - přípojky elektrického napětí jsou provedeny přes bočně nebo svisle zvlněný drát (4, 5) a přes pájený, svařovaný nebo zalemovaný kontakt (14), který je bodově uspořádán na druhé vnější elektrodě (7).
  8. 8. Piezoelektrický ovladač podle jednoho z nároků 1 nebo 2, vyznačující se tím, že
    - přípojky elektrického napětí jsou provedeny drátem (15) • · · · « · ·♦♦· · · · · ····«·» · · · ·· ·· ·· · ·· φφφ na způsob hřebene a přes pájený nebo svařovaný kontakt (17), který se nachází na elastických ozubech (16) a na druhé vnější elektrodě (7).
CZ20010576A 1999-06-19 2000-05-26 Piezoelektrický ovladac CZ301223B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19928189A DE19928189A1 (de) 1999-06-19 1999-06-19 Piezoaktor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2001576A3 true CZ2001576A3 (cs) 2001-08-15
CZ301223B6 CZ301223B6 (cs) 2009-12-16

Family

ID=7911891

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20010576A CZ301223B6 (cs) 1999-06-19 2000-05-26 Piezoelektrický ovladac

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6411018B1 (cs)
EP (1) EP1110249B1 (cs)
JP (1) JP5108190B2 (cs)
KR (1) KR100716442B1 (cs)
CZ (1) CZ301223B6 (cs)
DE (2) DE19928189A1 (cs)
WO (1) WO2000079607A1 (cs)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19913271A1 (de) * 1999-03-24 2000-09-28 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
US20010026114A1 (en) * 2000-03-29 2001-10-04 Tokin Ceramics Corporation Multilayer piezoelectric actuator with electrodes reinforced in conductivity
DE10017975A1 (de) * 2000-04-11 2001-10-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Vielschichtaktor
JP3964184B2 (ja) * 2000-12-28 2007-08-22 株式会社デンソー 積層型圧電アクチュエータ
DE10112738C1 (de) * 2001-03-16 2002-06-20 Benteler Automobiltechnik Gmbh Instrumententräger
WO2002089226A2 (de) * 2001-04-30 2002-11-07 Siemens Aktiengesellschaft Weiterkontaktierung für ein elektrisches bauteil sowie piezoelektrisches bauteil in vielschichtbauweise
WO2003094252A2 (de) 2002-05-06 2003-11-13 Epcos Ag Piezoaktor und verfahren zu dessen herstellung
DE10234787C1 (de) * 2002-06-07 2003-10-30 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, monolithischer Vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven Material
DE10327902A1 (de) * 2002-07-19 2004-06-24 Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering Außenelektrode an einem piezokeramischen Vielschichtaktor
DE10241992B4 (de) * 2002-09-11 2005-05-04 Siemens Ag Piezoelektrischer Aktor
DE10259949A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-01 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
US20040130081A1 (en) * 2003-01-06 2004-07-08 Hein David A. Piezoelectric material to damp vibrations of an instrument panel and/or a steering column
JP2005183478A (ja) * 2003-12-16 2005-07-07 Ibiden Co Ltd 積層型圧電素子
US7082655B2 (en) * 2003-12-18 2006-08-01 Ge Inspection Technologies, Lp Process for plating a piezoelectric composite
JP5167576B2 (ja) * 2005-04-22 2013-03-21 Tdk株式会社 積層型圧電素子
US7385337B2 (en) * 2004-06-18 2008-06-10 Tdk Corporation Multilayer piezoelectric element
DE102004043525B4 (de) * 2004-09-08 2011-02-24 Epcos Ag Piezoaktor und Verwendung des Piezoaktors
JP4466321B2 (ja) 2004-10-28 2010-05-26 Tdk株式会社 積層型圧電素子
DE102005018322B4 (de) * 2005-04-20 2007-03-08 Siemens Ag Piezoaktor und Verfahren zu seiner Herstellung
JP4936306B2 (ja) * 2006-01-13 2012-05-23 日本碍子株式会社 積層型圧電素子およびその製造方法
DE102006007306B3 (de) * 2006-02-16 2007-09-13 Siemens Ag Elektrische Anordnung mit einer Drahtverbindungsanordnung und Verfahren zum Herstellen einer derartigen elektrischen Anordnung
DE102006006077B4 (de) * 2006-02-09 2009-04-09 Continental Automotive Gmbh Piezokeramischer Vielschicht-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Vielschicht-Aktors und Einspritzsystem
DE102006035038A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-31 Epcos Ag Federelement sowie Piezoaktor mit dem Federelement
US7679273B2 (en) * 2006-07-31 2010-03-16 Delphi Technologies, Inc. Strain tolerant metal electrode design
DE102006040316B4 (de) * 2006-08-29 2012-07-05 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Piezokeramischer Flächenaktuator und Verfahren zur Herstellung eines solchen
CN101159308A (zh) * 2007-02-01 2008-04-09 昆山攀特电陶科技有限公司 多层压电式微位移致动器
DE102007037866A1 (de) 2007-08-10 2009-02-12 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor
CN101778684B (zh) * 2007-09-07 2015-11-25 E.I.内穆尔杜邦公司 包含银以及至少两种含非银的单质的多元素合金粉末
DE102007049145A1 (de) 2007-10-12 2009-04-16 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor und Verfahren zu dessen Herstellung
CN101897049B (zh) * 2007-11-14 2013-12-18 怡德乐纳斯公司 具有结合焊带的平面弹簧组件及其制造方法
JPWO2009125553A1 (ja) * 2008-04-11 2011-07-28 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
DE102008062021A1 (de) * 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008058011A1 (de) * 2008-11-19 2010-02-25 Continental Automotive Gmbh Als Stapel ausgebildetes elektronisches Bauelement
DE102009013125A1 (de) * 2009-03-13 2010-09-23 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zum Befestigen einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor
DE102010022925B4 (de) 2010-06-07 2019-03-07 Tdk Electronics Ag Piezoelektrisches Vielschichtbauelement und Verfahren zur Ausbildung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Vielschichtbauelement
DE102010030432A1 (de) 2010-06-23 2011-12-29 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor
DE102010061946A1 (de) 2010-11-25 2012-05-31 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrisches Aktormodul und Brennstoffeinspritzventil
DE102011007325A1 (de) * 2011-04-13 2012-10-18 Robert Bosch Gmbh Speichereinheit zum Speichern elektrischer Energie mit einem niederohmig kontaktierten Energiespeicher
DE102011090038A1 (de) 2011-12-28 2013-07-04 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements
DE102013106223A1 (de) 2013-06-14 2014-12-18 Epcos Ag Vielschichtbauelement mit einer Außenkontaktierung, einer Weiterkontaktierung und einem Verbindungselement
DE102013108753A1 (de) * 2013-08-13 2015-02-19 Epcos Ag Vielschichtbauelement mit einer Außenkontaktierung und Verfahren zur Herstellung eines Vielschichtbauelements mit einer Außenkontaktierung
DE102015112044A1 (de) * 2015-07-23 2017-01-26 Epcos Ag Halterung für ein piezoelektrisches Bauelement
DE102015226143A1 (de) * 2015-12-21 2017-06-22 Robert Bosch Gmbh Vielschichtaktor

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4012588A (en) * 1975-08-29 1977-03-15 Science Accessories Corporation Position determining apparatus and transducer therefor
JPS59135784A (ja) 1983-01-24 1984-08-04 Nippon Soken Inc 積層型圧電体
DE3330538A1 (de) * 1983-08-24 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisches stellglied
JPS61272984A (ja) * 1985-05-28 1986-12-03 Nec Corp 電歪効果素子
JPH04167579A (ja) * 1990-10-31 1992-06-15 Nec Corp 電歪効果素子およびその製造方法
DE4201937C2 (de) * 1991-01-25 1997-05-22 Murata Manufacturing Co Piezoelektrisches laminiertes Stellglied
US5459371A (en) * 1993-03-12 1995-10-17 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Multilayer piezoelectric element
JPH07226541A (ja) * 1994-02-09 1995-08-22 Brother Ind Ltd 積層型圧電素子
JP3239670B2 (ja) 1995-02-27 2001-12-17 株式会社デンソー 積層圧電体
JPH08250777A (ja) * 1995-03-10 1996-09-27 Chichibu Onoda Cement Corp 連結積層型圧電アクチュエータ素子
DE19646676C1 (de) * 1996-11-12 1998-04-23 Siemens Ag Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren
DE19646511C1 (de) * 1996-11-12 1998-05-14 Marco Systemanalyse Entw Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement
DE19648545B4 (de) * 1996-11-25 2009-05-07 Ceramtec Ag Monolithischer Vielschichtaktor mit Außenelektroden
JPH10223936A (ja) * 1997-02-10 1998-08-21 Minolta Co Ltd 積層型圧電素子の製造方法
JPH10284763A (ja) * 1997-03-31 1998-10-23 Chichibu Onoda Cement Corp 圧電アクチュエータ
DE19715488C1 (de) * 1997-04-14 1998-06-25 Siemens Ag Piezoaktor mit neuer Kontaktierung und Herstellverfahren
JPH11135851A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Kyocera Corp 積層型圧電アクチュエータ
DE19856201A1 (de) * 1998-12-05 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor

Also Published As

Publication number Publication date
JP5108190B2 (ja) 2012-12-26
DE19928189A1 (de) 2001-04-19
WO2000079607A1 (de) 2000-12-28
DE50013299D1 (de) 2006-09-21
EP1110249A1 (de) 2001-06-27
KR20010072483A (ko) 2001-07-31
US6411018B1 (en) 2002-06-25
EP1110249B1 (de) 2006-08-09
CZ301223B6 (cs) 2009-12-16
JP2003502869A (ja) 2003-01-21
KR100716442B1 (ko) 2007-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ2001576A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
US8638025B2 (en) Piezo actuator with external electrode soldered to outer face
CZ2002196A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
JP4112054B2 (ja) モノリシックの積層型アクチュエータ
US6522052B2 (en) Multilayer-type piezoelectric actuator
US8822807B2 (en) Method for producing a thermoelectric component and thermoelectric component
JP4996026B2 (ja) 圧電アクチュエータ
JP4843143B2 (ja) 圧電アクチュエータ
CZ152099A3 (cs) Piezoelektrický akční člen s novou úpravou styku a způsob jeho výroby
US6414418B1 (en) Piezoelectric actuator
JP2003502873A (ja) 圧電式アクチュエータ
US20060125353A1 (en) Piezo actuator
WO2009130863A1 (ja) 積層型圧電アクチュエータ
US7679273B2 (en) Strain tolerant metal electrode design
WO2009125553A1 (ja) 積層型圧電アクチュエータ
US20040051423A1 (en) Piezo-actuator
US10431397B2 (en) Switching contact and a method of producing the latter
JPH09270539A (ja) 積層型圧電アクチュエータ
JP6185661B2 (ja) 外部接続部,延長接続部,および結合部材を有する多層デバイス

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20150526