CZ301223B6 - Piezoelektrický ovladac - Google Patents

Piezoelektrický ovladac Download PDF

Info

Publication number
CZ301223B6
CZ301223B6 CZ20010576A CZ2001576A CZ301223B6 CZ 301223 B6 CZ301223 B6 CZ 301223B6 CZ 20010576 A CZ20010576 A CZ 20010576A CZ 2001576 A CZ2001576 A CZ 2001576A CZ 301223 B6 CZ301223 B6 CZ 301223B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
piezoelectric actuator
contact
outer electrode
electrode
connections
Prior art date
Application number
CZ20010576A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ2001576A3 (cs
Inventor
Heinz@Rudolf
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Publication of CZ2001576A3 publication Critical patent/CZ2001576A3/cs
Publication of CZ301223B6 publication Critical patent/CZ301223B6/cs

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices, e.g. external electrodes

Abstract

Piezoelektrický ovladac je proveden s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitrními elektrodami (2, 3) usporádanými mezi nimi. Jako první vnejší elektroda (6) je vždy na jedné bocní ploše umístena vodivá plocha, která je vždy kontaktována s vnitrními elektrodami (2, 3) a druhá vnejší elektroda (7) ve tvaru síte nebo tkaniny je usporádána na první vnejší elektrode (6). Druhá vnejší elektroda (7) je alespon bodove kontaktována s první vnejší elektrodou (6). Mezi kontaktními plochami nebo body (8, 14, 17) leží roztažitelná oblast. Prívod elektrického napetí je proveden prípojkami (4, 5, 13, 15), které rovnež mají mezi oblastmi kontaktních ploch nebo bodu (8, 14, 17) roztažitelné oblasti a/nebo které priléhají na elastické prehnuté oblasti (11) nebo prípojky (4, 5) elektrického napetí jsou provedeny pres pájený kontakt (9), který je usporádán na patkové oblasti (10) struktury vrstev piezoelektrického ovladace (1), která tím, že vnitrní elektrody (2, 3) nedosahují až k okraji piezoelektrického ovladace (1) nevykazuje témer žádné podélné protažení.

Description

Oblast techniky
Vynález se týká piezoelektrického ovladače s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami uspořádanými mezi těmito vrstvami, s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod přes vnější elektrody, kterými je možné přivádět elektrické napětí.
Dosavadní stav techniky
Všeobecně je známo, že při využití takzvaného piezoelektrického efektu může být z materiálu s vhodnou krystalickou strukturou sestaven piezoelektrický element. Při přiložení vnějšího elekt15 rického napětí nastává mechanická reakce piezoelektrického elementu, kterou v závislosti na krystalické struktuře a oblasti přiložení elektrického napětí představuje tlak nebo tah v předem daném směru. Struktura tohoto piezoelektrického ovladače muže být provedena ve více vrstvách (vícevrstvé ovladače), přičemž elektrody, přes které je přiváděno elektrické napětí, jsou uspořádány mezi vrstvami.
Takové piezoelektrické ovladače, které jsou například známé ze spisu DE 33 30 538 Al, mohou být například upraveny pro pohon ovládacích ventilů u systémů vstřikování paliva v motorových vozidlech. Při provozu piezoelektrických ovladačů je zejména třeba dbát na to, aby také v důsledku mechanických napětí ve struktuře vrstev nevznikaly žádné praskliny v oblasti vnějších připojovacích elektrod. Protože na jedné straně jsou kontaktující vnitřní elektrody integrovány do struktury vrstev ve tvaru hřebenu, musí být elektrody, následující za sebou ve směru struktury těchto vrstev, kontaktovány střídavým způsobem na straně protilehlé. Při ovládání piezoelektrického ovladače, to znamená při přiložení napětí mezi vnitřní elektrody, ležící ve struktuře vrstev proti sobě, se vyskytují v oblasti vnitřních elektrod i v oblasti kontaktování na vnějších elektro30 dách různé mechanické síly, které mohou vést k mechanickým napětím a tím k prasklinám ve vnějších elektrodách.
Podstata vynálezu
Výše uvedené nedostatky odstraňuje piezoelektrický ovladač s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami uspořádanými mezi nimi se vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod přes vnější elektrody, kterými je přivedítelné elektrické napětí, přičemž jedna vnější elektroda ve tvaru sítě nebo tkaniny je rozloženě umístěna vždy na jedné boční ploše a je alespoň bodově kontaktována vždy s vnitřními elektrodami a mezi kontaktováními leží roztažiteiná oblast, a jako první vnější elektroda je vždy na jedné boční ploše umístěna vodivá plocha, která je vždy kontaktována s vnitřními elektrodami, a druhá vnější elektroda ve tvaru sítě nebo tkaniny je uspořádána na první vnější elektrodě, přičemž druhá vnější elektroda je alespoň bodově kontaktována s první vnější elektrodou, a přičemž mezi kontaktními plochami nebo body leží roztažiteiná oblast, podle vynálezu, jehož podstatou je, že přívod elektrického napětí je proveden přípojkami, které rovněž mají mezi oblastmi kontaktních ploch nebo bodů roztažitelné oblasti a/nebo přiléhají na elastické přehnuté oblasti nebo přípojky elektrického napětí jsou provedeny přes pájený kontakt, který je uspořádán na oblasti struktury vrstev piezoelektrického ovladače, která tím, že vnitřní elektrody nedosahují až k okraji piezoelektrického ovladače, nevy50 kazuje téměř žádné podélné protažení.
Podle vynálezu je tedy jako první vrstva vnější elektrody uspořádána například kovová vrstva vždy na jedné straně boční plochy, která je kontaktována vždy s vnitřními elektrodami. Vrstva ve tvaru sítě nebo tkaniny jako druhá vnější elektroda je pak uspořádána přes první vrstvu, přičemž je alespoň bodovým způsobem kontaktována s první vrstvou, a přičemž i zde leží mezi kontakty roztažitelná oblast. Přívod elektrického napětí je pak proveden také v tomto případě přípojkami na druhé vnější elektrodě, která má v oblasti kontaktní plochy nebo mezi kontaktními body rovněž roztažitelnou oblast.
Síťové nebo tkaninové vnější elektrody slouží k zamezení příčných trhlin, které se mohou vyskytnout, jak už bylo v úvodu zmíněno, u vnitřních elektrod díky delaminaci, neboli oddělování vrstev od sebe. Síťové nebo tkaninové vnější elektrody mohou být přitom výhodným způsobem připájeny pouze bodově, takže při roztahování piezoelektrického ovladače nevznikají ve vnějších elektrodách žádná velká smyková napětí, což by mohlo mít za následek odtrhávání elekio trod.
U jiné formy provedení mohou být přípojky elektrického napětí realizovány výhodným způsobem pájeným, svařovaným nebo zalemovaným kontaktem, který se nachází na přehnuté oblasti síťové nebo tkaninové vnější elektrody. Přitom je možné, že přípojky jsou provedeny plochým drátem, který je uspořádán uvnitř přehnuté oblasti.
Dále je možné, že přípojky elektrického napětí jsou provedeny drátem, který se rozkládá v přímce po přehnuté oblasti po celé délce piezoelektrického ovladače, nebo také drátem, zvlněným bočně nebo svisle, čímž vznikají pájené, svařované nebo zalemované kontakty, které se nacházejí jako body na vnějších elektrodách ve formě tkaniny.
Dále mohou být přípojky elektrického napětí provedeny také elektrodou ve tvaru hřebenu a pájeným nebo svařovaným kontaktem, který se ve formě bodu nachází na zejména elastickém hřebenu a druhé vnější elektrodě.
Tento a další znaky dalších přednostních provedení vynálezu vycházejí kromě patentových nároků také z popisu a obrázků, přičemž jednotlivé znaky jsou uskutečnitelné samy o sobě nebo ve formě více kombinací u různých provedení vynálezu, i v jiných oblastech použití a výhodně mohou představovat samy o sobě provedení schopná patentové ochrany, pro které je zde tato ochrana požadována.
Přehled obrázků na výkresech
Příklady provedení piezoelektrického ovladače podle vynálezu jsou vysvětleny na základě obrázků, na kterých znázorňují obr. 1 řez piezoelektrickým ovladačem s vícevrstvou strukturou vrstev z piezokeramického materiálu a s vnitřními elektrodami i se síťovou vnější elektrodou na první ploché vnější elektrodě, obr. 2 půdorys síťové vnější elektrody podle obr, 1 s přípojkami elektrického napětí, obr. 3 detailní řez strukturou vrstev v oblasti elektrických přípojek, obr. 4 obměna příkladu podle obr. 3 s elektrickými přípojkami, ležícími na přehnuté oblasti, obr. 5 obměna příkladu podle obr. 4 s připojovacím drátem přiléhajícím v přehnuté oblasti, obr. 6 příklad provedení, u kterého je síťová vnější elektroda spojena s první vnější elektrodou třmenovým pájením, obr. 7 příklad provedení, u kterého je síťová vnější elektroda spojena s připojovacím drátem zalemováním, obr. 8 příklad provedení, u kterého je síťová vnější elektroda na celé délce piezoelektrického ovladače spojena s připojovacím drátem třmenovým pájením nebo zalemováním na přehnuté oblasti, obr. 9, 10 a 11 pohledy na zvlněné připojovací dráty pro elektrické přípojky a obr. 12 a 13 dva pohledy na elektrické připojovací dráty ve tvaru hřebene.
ío Příklady provedení vynálezu
Na obr. 1 je znázorněn piezoelektrický ovladač 1, který je sestaven o sobě známým způsobem z piezoelektrické fólie keramického materiálu s vhodnou krystalickou strukturou, takže na využití takzvaného piezoelektrického efektu při přiložení vnějšího elektrického napětí na vnitřní elektrois dy 2 a 3 přes elektrické přípojky 4 a 5 nastává mechanická reakce piezoelektrického ovladače L
Na obr. 2 je boční pohled na toto uspořádání a z obr. 3 je patrný řez v oblasti připojovacích drátů tvořících přípojky 4 a 5.
S vnitřními elektrodami 2 a 3 je v kontaktu první plochá vnější elektroda 6, která je zase kon20 taktována s druhou vnější elektrodou 7 ve tvaru sítě přes kontaktní body 8, například pájením nebo svářením. První vnější elektrodou 6 může být tenká, například několik gm tlustá vrstva z Ni, Ni+Cu nebo Ni+PbSn, která je uchycena přímo na povrchu piezoelektrického ovladače i.
Připojovací dráty tvořící přípojky 4 a 5 jsou spojeny se síťovou vnější elektrodou 7 na kontaktním místě tvořícím pájený kontakt 9 pájením nebo svařováním. Pro odstranění možnosti odlome25 ní pájeného kontaktu 9 je v piezoelektrickém ovladači i upravena podle obr. 1 pasivní patková oblast 10, u které nejsou vnitřní elektrody 2 a 3 vedeny až k vnějším elektrodám 6 a 7 a proto se nevyskytují žádné mechanické reakce na základě piezoelektrického efektu. Nevýhody, které jsou zmíněny v úvodu popisu díky eventuálnímu tvoření trhlin, jsou tak v patkové oblasti 10 odstraněny.
Z obr, 4 je patrný příklad provedení, u kterého je oblast vnější elektrody 7 k upevnění připojovacího drátu tvořícího přípojku 4, 5 falcována neboli přehnuta, a tím je odstraněno vyztužení na pájeném kontaktu 9, a tudíž tvoření trhlin. Získá se tak na výšce h elastická přehnutá oblast 11, v níž se může piezoelektrický ovladač 1 roztahovat, aniž by tomu vyztužující připojovací drát tvořící přípojku 4, 5 bránil. Výhodné by zde bylo zejména přivaření připojovacího drátu tvořícího přípojku 4 nebo 5, protože pájka by tak nemohla po dráze h stékat, což by v jiném případě mohlo vést k určitému vyztužení. Pasivní patková oblast, jaká je upravena podle obr. 1 až 3, zde může odpadnout.
U modifikace formy provedení znázorněné na obr. 5 podle obr. 4 je připojovací drát tvořící přípojku 4 nebo 5 ve vnitřní přehnuté oblasti H přivařen.
Podle příkladu provedení z obr. 6 je upraven plochý přivařený připojovací drát, jako přípojka 4 nebo 5, který umožňuje díky své malé šířce provést topnými deskami 12 třmenové pripájení dru45 hé vnější elektrody 7 ve tvaru sítě na první vnější elektrodu 6.
Z obr. 7 je patrná forma provedení, u které je připojovacím drátem tvořícím přípojku 4 nebo 5 zalemována kolejnička tvořící přípojku 13, položená po přehnuté oblasti li·
Obr. 8 znázorňuje obměnu upevnění připojovacího drátu tvořícího přípojku 4 a 5, u níž je po celé délce piezoelektrického ovladače i veden průchozí drát. Při lokálním pájení nebo svařování na přehnutém místě H je i zde odstraněn výskyt únavy materiálu mezi dráty tvořícími přípojky 4 a 5 a vnější elektrodou 7.
U příkladu provedení podle obr. 9 a 10 jsou připojovací dráty tvořící přípojky 4 a 5 zvlněné, takže je tak zmenšena překážka v roztahování vnější elektrody 7. Dráty tvořící přípojky 4 a 5 jsou v podélném směru piezoelektrického ovladače 1 přivařeny nebo přiletovány na větším počtu malých míst neboli kontaktních bodů 14. Dráty tvořící přípojky 4 a 5 jsou podle obr. 9 a 10 zvlněny kolmo k rovině druhé vnější elektrody 7, takže i zde je možné třmenové pájení, zmíněné podle obr. 6, pro naletování druhé vnější elektrody 7 ve tvaru sítě na piezoelektrický ovladač 1, respektive na první plochou vnější elektrodu 6, bez velkých překážek. Drát tvořící přípojku 4 nebo 5 přivařeny nejprve na druhou vnější elektrodu 7 může být použit jako držák a k vystředění při třmenovém pájení.
io
Zvlněný připojovací drát tvořící přípojku 4 nebo 5 naletovaný nebo přivařený naplocho na druhou vnější elektrodu 7 ve tvaru sítě, znázorňuje obr. 11. Zde je také upraveno bodové kontaktování na kontaktních místech či plochách 14, čímž není bráněno schopnosti roztahování druhé vnější elektrody 7. Třmenové pájení druhé vnější elektrody 7 může být provedeno také zde, nejjednodu15 seji pokud je na ni nejprve umístěn připojovací drát tvořící přípojku 4 nebo 5.
Další příklad provedení znázorňují obr. 12 a 13, na nichž je umístěna zvláštní forma připojovacího drátu tvořícího přípojku 15, u níž jsou k dispozici elastické patky ve tvaru elastických ozubů 16, které dosahují ve tvaru hřebene ke kontaktním místům nebo kontaktním bodům Γ7 ve formě pájeného nebo svařovaného kontaktu, na kterých jsou připájeny nebo přivařeny.

Claims (6)

  1. 25 PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Piezoelektrický ovladač
    30 - s vícevrstvou strukturou piezoelektrických vrstev a s vnitřními elektrodami (2, 3) uspořádanými mezi nimi, s vzájemným bočním kontaktováním vnitřních elektrod (2, 3) přes vnější elektrody (6, 7), kterými je přivedítelné elektrické napětí, přičemž
    - jedna vnější elektroda (7) ve tvaru sítě nebo tkaniny je rozloženě umístěna vždy na jedné boční ploše a je alespoň bodově kontaktována vždy s vnitřními elektrodami (2, 3) a mezi kontaktováními leží roztažitelná oblast, a
    40 - jako první vnější elektroda (6) je vždy na jedné boční ploše umístěna vodivá plocha, která je vždy kontaktována s vnitřními elektrodami (2, 3) a druhá vnější elektroda (7) ve tvaru sítě nebo tkaniny je uspořádána na první vnější elektrodě (6), přičemž druhá vnější elektroda (7) je alespoň bodově kontaktována s první vnější elektrodou (6), a přičemž mezi kontaktními plochami nebo body (8,14, 17) leží roztažitelná oblast, vyznačující se tím, že přívod elektrického napětí je proveden přípojkami (4, 5, 13, 15), které rovněž mají mezi oblastmi kontaktních ploch nebo bodů (8, 14, 17) roztažitelné oblasti a/nebo které přiléhají na elastické přehnuté oblasti (11)
    55 nebo přípojky (4, 5) elektrického napětí jsou provedeny přes pájený kontakt (9), který je uspořádán na oblasti struktury vrstev piezoelektrického ovladače (1), která tím, že vnitřní elektrody (2,
    3) nedosahují až k okraji piezoelektrického ovladače (1) nevykazuje téměř žádné podélné prota5 žení.
  2. 2. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím, že přípojky (4, 5, 13) elektrického napětí jsou provedeny pres pájený, svařovaný nebo zalemoto váný kontakt, který se nachází na přehnuté oblasti (11) druhé vnější elektrody (7).
  3. 3. Piezoelektrický ovladač podle nároku 2, vyznačující se tím, že přípojky (4, 5) elektrického napětí jsou provedeny plochým drátem, který je uspořádán 15 uvnitř v přehnuté oblasti (11).
  4. 4. Piezoelektrický ovladač podle nároku 2 nebo 3, vyznačující se tím, že
    - přípojky (4, 5) elektrického napětí jsou provedeny drátem, který se rozkládá po přehnuté 20 oblasti (II), rozprostírající se po celé délce piezoelektrického ovladače (1).
  5. 5. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím, že
    - přípojky (4, 5) elektrického napětí jsou provedeny bočně nebo svisle zvlněným drátem 25 apájeným, svařovaným nebo zalemovaným kontaktem, který je jako kontaktní bod (14) uspořádán na druhé vnější elektrodě (7).
  6. 6. Piezoelektrický ovladač podle nároku 1, vyznačující se tím, že
    30 - přípojky (15) elektrického napětí jsou provedeny drátem ve tvaru hřebene a pájeným nebo svařovaným kontaktem jako kontaktním bodem (17), který se nachází na elastických ozubech (16) a na druhé vnější elektrodě (7).
CZ20010576A 1999-06-19 2000-05-26 Piezoelektrický ovladac CZ301223B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19928189A DE19928189A1 (de) 1999-06-19 1999-06-19 Piezoaktor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2001576A3 CZ2001576A3 (cs) 2001-08-15
CZ301223B6 true CZ301223B6 (cs) 2009-12-16

Family

ID=7911891

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ20010576A CZ301223B6 (cs) 1999-06-19 2000-05-26 Piezoelektrický ovladac

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6411018B1 (cs)
EP (1) EP1110249B1 (cs)
JP (1) JP5108190B2 (cs)
KR (1) KR100716442B1 (cs)
CZ (1) CZ301223B6 (cs)
DE (2) DE19928189A1 (cs)
WO (1) WO2000079607A1 (cs)

Families Citing this family (43)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19913271A1 (de) * 1999-03-24 2000-09-28 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
EP1143534B1 (en) * 2000-03-29 2004-05-26 Nec Tokin Ceramics Corporation Multilayer piezoelectric actuator with electrodes reinforced in conductivity
DE10017975A1 (de) * 2000-04-11 2001-10-25 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Vielschichtaktor
JP3964184B2 (ja) * 2000-12-28 2007-08-22 株式会社デンソー 積層型圧電アクチュエータ
DE10112738C1 (de) * 2001-03-16 2002-06-20 Benteler Automobiltechnik Gmbh Instrumententräger
DE50203457D1 (de) * 2001-04-30 2005-07-28 Siemens Ag Weiterkontaktierung für ein elektrisches bauteil sowie piezoelektrisches bauteil in vielschichtbauweise
EP1502310B1 (de) 2002-05-06 2008-11-12 Epcos Ag Piezoaktor und verfahren zu dessen herstellung
DE10234787C1 (de) * 2002-06-07 2003-10-30 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, monolithischer Vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven Material
DE10327902A1 (de) * 2002-07-19 2004-06-24 Ceramtec Ag Innovative Ceramic Engineering Außenelektrode an einem piezokeramischen Vielschichtaktor
DE10241992B4 (de) 2002-09-11 2005-05-04 Siemens Ag Piezoelektrischer Aktor
DE10259949A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-01 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
US20040130081A1 (en) * 2003-01-06 2004-07-08 Hein David A. Piezoelectric material to damp vibrations of an instrument panel and/or a steering column
JP2005183478A (ja) * 2003-12-16 2005-07-07 Ibiden Co Ltd 積層型圧電素子
US7082655B2 (en) * 2003-12-18 2006-08-01 Ge Inspection Technologies, Lp Process for plating a piezoelectric composite
US7385337B2 (en) 2004-06-18 2008-06-10 Tdk Corporation Multilayer piezoelectric element
JP5167576B2 (ja) * 2005-04-22 2013-03-21 Tdk株式会社 積層型圧電素子
DE102004043525B4 (de) * 2004-09-08 2011-02-24 Epcos Ag Piezoaktor und Verwendung des Piezoaktors
JP4466321B2 (ja) 2004-10-28 2010-05-26 Tdk株式会社 積層型圧電素子
DE102005018322B4 (de) * 2005-04-20 2007-03-08 Siemens Ag Piezoaktor und Verfahren zu seiner Herstellung
JP4936306B2 (ja) * 2006-01-13 2012-05-23 日本碍子株式会社 積層型圧電素子およびその製造方法
DE102006007306B3 (de) * 2006-02-16 2007-09-13 Siemens Ag Elektrische Anordnung mit einer Drahtverbindungsanordnung und Verfahren zum Herstellen einer derartigen elektrischen Anordnung
DE102006006077B4 (de) * 2006-02-09 2009-04-09 Continental Automotive Gmbh Piezokeramischer Vielschicht-Aktor, Verfahren zum Herstellen eines piezokeramischen Vielschicht-Aktors und Einspritzsystem
DE102006035038A1 (de) * 2006-07-28 2008-01-31 Epcos Ag Federelement sowie Piezoaktor mit dem Federelement
US7679273B2 (en) * 2006-07-31 2010-03-16 Delphi Technologies, Inc. Strain tolerant metal electrode design
DE102006040316B4 (de) 2006-08-29 2012-07-05 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Piezokeramischer Flächenaktuator und Verfahren zur Herstellung eines solchen
CN101159308A (zh) * 2007-02-01 2008-04-09 昆山攀特电陶科技有限公司 多层压电式微位移致动器
DE102007037866A1 (de) 2007-08-10 2009-02-12 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor
JP2011514432A (ja) * 2007-09-07 2011-05-06 イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー 銀および少なくとも2種の非銀含有元素を含有する多元素合金粉末
DE102007049145A1 (de) 2007-10-12 2009-04-16 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor und Verfahren zu dessen Herstellung
US7855490B2 (en) * 2007-11-14 2010-12-21 Interplex Nas, Inc. Planar spring assembly with attached solder strip and method for making same
JPWO2009125553A1 (ja) * 2008-04-11 2011-07-28 株式会社村田製作所 積層型圧電アクチュエータ
DE102008062021A1 (de) 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008058011A1 (de) * 2008-11-19 2010-02-25 Continental Automotive Gmbh Als Stapel ausgebildetes elektronisches Bauelement
DE102009013125A1 (de) * 2009-03-13 2010-09-23 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise und Verfahren zum Befestigen einer Außenelektrode bei einem Piezoaktor
DE102010022925B4 (de) 2010-06-07 2019-03-07 Tdk Electronics Ag Piezoelektrisches Vielschichtbauelement und Verfahren zur Ausbildung einer Außenelektrode bei einem piezoelektrischen Vielschichtbauelement
DE102010030432A1 (de) 2010-06-23 2011-12-29 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrischer Aktor
DE102010061946A1 (de) 2010-11-25 2012-05-31 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrisches Aktormodul und Brennstoffeinspritzventil
DE102011007325A1 (de) * 2011-04-13 2012-10-18 Robert Bosch Gmbh Speichereinheit zum Speichern elektrischer Energie mit einem niederohmig kontaktierten Energiespeicher
DE102011090038A1 (de) 2011-12-28 2013-07-04 Robert Bosch Gmbh Piezoelektrisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements
DE102013106223A1 (de) * 2013-06-14 2014-12-18 Epcos Ag Vielschichtbauelement mit einer Außenkontaktierung, einer Weiterkontaktierung und einem Verbindungselement
DE102013108753A1 (de) * 2013-08-13 2015-02-19 Epcos Ag Vielschichtbauelement mit einer Außenkontaktierung und Verfahren zur Herstellung eines Vielschichtbauelements mit einer Außenkontaktierung
DE102015112044A1 (de) * 2015-07-23 2017-01-26 Epcos Ag Halterung für ein piezoelektrisches Bauelement
DE102015226143A1 (de) * 2015-12-21 2017-06-22 Robert Bosch Gmbh Vielschichtaktor

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61272984A (ja) * 1985-05-28 1986-12-03 Nec Corp 電歪効果素子
EP0844678A1 (de) * 1996-11-25 1998-05-27 CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering Aussenelektrode für einen monolithischen Vielschichtaktor
DE19715488C1 (de) * 1997-04-14 1998-06-25 Siemens Ag Piezoaktor mit neuer Kontaktierung und Herstellverfahren
JPH10284763A (ja) * 1997-03-31 1998-10-23 Chichibu Onoda Cement Corp 圧電アクチュエータ

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4012588A (en) * 1975-08-29 1977-03-15 Science Accessories Corporation Position determining apparatus and transducer therefor
JPS59135784A (ja) 1983-01-24 1984-08-04 Nippon Soken Inc 積層型圧電体
DE3330538A1 (de) * 1983-08-24 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisches stellglied
JPH04167579A (ja) * 1990-10-31 1992-06-15 Nec Corp 電歪効果素子およびその製造方法
DE4201937C2 (de) * 1991-01-25 1997-05-22 Murata Manufacturing Co Piezoelektrisches laminiertes Stellglied
US5459371A (en) * 1993-03-12 1995-10-17 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Multilayer piezoelectric element
JPH07226541A (ja) * 1994-02-09 1995-08-22 Brother Ind Ltd 積層型圧電素子
JP3239670B2 (ja) 1995-02-27 2001-12-17 株式会社デンソー 積層圧電体
JPH08250777A (ja) * 1995-03-10 1996-09-27 Chichibu Onoda Cement Corp 連結積層型圧電アクチュエータ素子
DE19646511C1 (de) * 1996-11-12 1998-05-14 Marco Systemanalyse Entw Piezoaktuatorisches Antriebs- oder Verstellelement
DE19646676C1 (de) * 1996-11-12 1998-04-23 Siemens Ag Piezoaktor mit neuartiger Kontaktierung und Herstellverfahren
JPH10223936A (ja) * 1997-02-10 1998-08-21 Minolta Co Ltd 積層型圧電素子の製造方法
JPH11135851A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Kyocera Corp 積層型圧電アクチュエータ
DE19856201A1 (de) * 1998-12-05 2000-06-15 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61272984A (ja) * 1985-05-28 1986-12-03 Nec Corp 電歪効果素子
EP0844678A1 (de) * 1996-11-25 1998-05-27 CeramTec AG Innovative Ceramic Engineering Aussenelektrode für einen monolithischen Vielschichtaktor
JPH10284763A (ja) * 1997-03-31 1998-10-23 Chichibu Onoda Cement Corp 圧電アクチュエータ
DE19715488C1 (de) * 1997-04-14 1998-06-25 Siemens Ag Piezoaktor mit neuer Kontaktierung und Herstellverfahren

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010072483A (ko) 2001-07-31
KR100716442B1 (ko) 2007-05-10
DE50013299D1 (de) 2006-09-21
US6411018B1 (en) 2002-06-25
EP1110249B1 (de) 2006-08-09
CZ2001576A3 (cs) 2001-08-15
JP5108190B2 (ja) 2012-12-26
WO2000079607A1 (de) 2000-12-28
JP2003502869A (ja) 2003-01-21
EP1110249A1 (de) 2001-06-27
DE19928189A1 (de) 2001-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ301223B6 (cs) Piezoelektrický ovladac
US8638025B2 (en) Piezo actuator with external electrode soldered to outer face
US6522052B2 (en) Multilayer-type piezoelectric actuator
CZ2002196A3 (cs) Piezoelektrický ovladač
US6236146B1 (en) Piezoelectric actuator with a new type of contacting and a method for the production thereof
US8329110B2 (en) Electrically-heated catalyst
JP4996026B2 (ja) 圧電アクチュエータ
JP2007027135A (ja) 発熱反応性部材を有する反応性ヒューズ素子
US6414418B1 (en) Piezoelectric actuator
JP2009038139A (ja) 半導体装置およびその製造方法
US7276837B2 (en) Piezoelectric actuator
CN1314007A (zh) 用于柴油喷射装置的带防裂设施的压电式多层致动器及制造它的方法
WO2009125553A1 (ja) 積層型圧電アクチュエータ
US20040051423A1 (en) Piezo-actuator
EP1150363A2 (en) Multilayer piezoelectric actuator device having a conductive member attached to an external electrode thereof
US7679273B2 (en) Strain tolerant metal electrode design
US8434941B2 (en) Temperature measuring sensor and method of producing same
US10964459B2 (en) Electrical resistor, in particular for medical implants
US5831214A (en) Electrical circuit
JP6185661B2 (ja) 外部接続部,延長接続部,および結合部材を有する多層デバイス
JPH04121985A (ja) ヒータおよびヒータ装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20150526