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Stand der Technik
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Die
Erfindung geht von einem Piezoaktor aus, wie er beispielsweise aus
der Offenlegungsschrift
DE
199 28 189 A1 bekannt ist. Ein solcher Piezoaktor ist als
Multilayeraktor ausgebildet, das heißt, er besteht aus
einer Vielzahl von piezoaktiven keramischen Schichten. Zwischen
diesen Schichten sind metallische Innenelektroden flächenartig
ausgebildet, die wechselseitig in einen Bereich der Oberfläche
geführt sind. Dort sind die Innenelektroden mit wenigstens
zwei Außenelektroden kontaktiert, durch die eine elektrische
Spannung so an die Innenelektroden angelegt werden kann, dass zwischen
jeweils benachbarten Innenelektroden ein elektrisches Feld entsteht,
das die piezoaktiven Schichten durchsetzt. Je nach Stärke
des elektrischen Feldes, also je nach Höhe und Polarität
der angelegten elektrischen Spannung, ändert sich die Dicke
der piezokeramischen Schichten, was eine Längenänderung
des Piezoaktors als Ganzes bewirkt.
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Die
Außenelektroden bestehen hierbei aus einer Grundmetallisierung,
die direkt auf den Piezoaktor aufgebracht ist, und einer meist netz-
oder gewebeartigen, flexiblen Metallelektrode, die mit der Grundmetallisierung
verlötet wird. Der Grund hierfür ist, dass durch
die Längenänderung des Piezoaktors die direkt
aufgebrachte Grundmetallisierung einreißen kann, so dass
eine durchgängige Einleitung der elektrischen Spannung
in die Innenelektroden nicht mehr gewährleistet wäre.
Durch die flexible Metallelektrode, die an verschiedenen Punkten
mit der Grundmetallisierung verbunden ist, wird die elektrische
Spannung jedoch auch dann, wenn Risse in der Grundmetallisierung
auftreten, eingeleitet, so dass sämtliche Innenelektroden
mit der jeweiligen elektrischen Spannung versorgt werden.
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Bei
der Herstellung des Piezoaktors werden zunächst sogenannte
Grünfolien gestapelt, bis ein Piezostapel mit der gewünschten
Anzahl von Piezoschichten und zugehörigen Innenelektroden
gebildet ist. Der Piezostapel wird anschließend gesintert,
so dass sich eine harte Keramik ausbildet. Zur Aufbringung der Grundmetallisierung
muss zuvor die so genannte Sinterhaut entfernt werden, die sich
durch den Sinterprozess auf der Oberfläche des Piezostapels
bildet. Wird diese herstellungsbedingte, elektrisch isolierende
Schicht nicht entfernt, so wäre eine elektrische Kontaktierung
der Innenelektroden nicht oder nur ungenügend möglich.
Nach dem Entfernen der Sinterhaut wird die flächige Grundmetallisierung aufgebracht.
Dies kann mit unterschiedlichen Verfahren realisiert werden, wie
zum Beispiel Sputtern, galvanischer Abscheidung oder Aufdrucken
und Einbrennen einer Metallisierungspaste, wobei das Letztere das
prozesstechnisch Günstigste ist.
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Als
Metallbestandteil für die Grundmetallisierung kommt vorwiegend
Silber oder eine Silber-Palladium-Legierung zum Einsatz. Der Metallisierungspaste
werden zusätzlich noch andere Stoffe beigemischt, die als
Haftvermittler dienen und ohne die eine sichere Verbindung zwischen
der fertig gesinterten Piezokeramik und der Grundmetallisierung
nicht möglich wäre. Nach dem Einbrennen der so
erhaltenen Grundmetallisierung wird üblicherweise die flexible
Metallelektrode durch Löten aufgebracht. Dies ist jedoch
ein zusätzlicher, kostenintensiver und schwieriger Prozess-Schritt,
da nach dem Lötprozess ein intensiver Reinigungsprozess
mit organischen Lösemitteln notwendig ist, um die Flussmittelreste
zu entfernen. Dies verteuert den Piezoaktor und damit seine Anwendungsmöglichkeiten
im Bereich der Dieseldirekteinspritzung.
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Offenbarung der Erfindung
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Vorteile der Erfindung
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Der
erfindungsgemäße Piezoaktor mit den kennzeichnenden
Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil einer kostengünstigen
Herstellbarkeit in relativ wenigen Prozess-Schritten, wobei gegenüber dem
Stand der Technik insbesondere eine vereinfachte Ofentechnik zur
Anwendung kommen kann. Erfindungsgemäß ist auf der
PZT-Keramik des Piezostapels eine Grundmetallisierung mittels einer
Metallisierungspaste realisiert, die als eine Ag-Glas-Paste mehrere
verschiedene Ag-Pulver-Körnungen besitzt. Die neue erfindungsgemäße Rezeptur
der Metallisierungspaste für die Grundmetallisierung erfordert
in vorteilhafter Weise eine niedrige Einbrenntemperatur der Ag-Glas-Paste
von nur maximal 450°C und ermöglicht eine thermisch
und chemisch resistente, anorganische Bindung des Leitmaterials
Silber an die PZT-Keramik und an das Gewebe der flexiblen Metallelektrode
unter Verwendung einer sehr kostengünstigen Prozesstechnik
mit ausschließlich Luft-Atmosphäre.
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Durch
die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen
sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch
1 angegebenen Piezoaktors möglich.
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Besonders
vorteilhaft ist es, drei Ag-Pulver-Körnungen in der Metallisierungspaste
zu verwenden, ein grobes Ag-Pulver A, ein mittelgrobes Ag-Pulver
B und ein nanoskaliges Ag-Pulver C, wobei das sehr feine Ag-Pulver
C als Binder dient.
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Außerdem
ist es von Vorteil, für die Glas-Komponente der Metallisierungspaste
ein Pb-Zn-B-Sealglas oder ein Pb-B-Zn-Sn-Sealglas einzusetzen.
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Die
Rezeptur der Metallisierungspaste erlaubt durch das Niedrig-Temperatur-Einbrennen
von maximal 450°C auch den Einsatz verschiedenster Materialien
für die flexible Metallelektrode, die üblicherweise
nur aus versilberten Invar hergestellt werden kann. In vorteilhafter
Weise können alternativ verzunderungsbeständige,
hochtemperaturbeständige bzw. hochwarmfeste Stähle,
Zinnbronze oder Aluminium oder Aluminium-Legierungen eingesetzt
werden, die bei den niedrigen Einbrenntemperaturen nur sehr dünne
Oxidschichten ausbilden.
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Das
erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung eines
Piezoaktors, der eine Vielzahl von piezoaktiven Keramikschichten
und entsprechende metallische Innenelektroden aufweist, gemäß Anspruch 12
hat den Vorteil, dass die Grundmetallisierung und die flexible Metallelektrode
durch einen einzigen Prozess-Schritt mit dem Piezostapel durch einen
Einbrennvorgang verbunden werden, wobei das in besonders vorteilhafter
Weise das Brennen ausschließlich unter Luft-Atmosphäre
erfolgt. Die Prozesstechnik ist gegenüber bekannter Einbrennverfahren
deutlich vereinfacht, da auf eine Einbrennphase zur Bildung der
Grundmetallisierung unter Schutzgasatmosphäre, wie zum
Beispiel unter Stickstoff- oder Argonatmosphäre, ganz verzichtet
werden kann.
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Durch
die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen
sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch
12 angegebenen Verfahrens zur Herstellung eines Piezoaktors möglich.
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Die
bei den bekannten Einbrennverfahren üblichen Temperaturen
von ca. 700 bis 800°C sind aufgrund der neuen Rezeptur
der Metallisierungspaste für die Grundmetallisierung der
Außenelektroden auf dem Piezostapel keineswegs erforderlich, vielmehr
erfolgt das Brennen des Piezostapels bei einer Temperatur von maximal
450°C, die z. B. nur für ca. 10 min gehalten wird.
An die Ofentechnik sind insofern deutlich vereinfachte Anforderungen
zu stellen.
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Zeichnung
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In
der Zeichnung sind ein erfindungsgemäßer Piezoaktor
und verschiedene Prozess-Schritte des Verfahrens zu seiner Herstellung
dargestellt. Es zeigt
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1 schematisch
einen erfindungsgemäßen Piezoaktor in einer Aufsicht,
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2 eine
Seitenansicht des Piezoaktors bei einem ersten Prozess-Schritt,
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3, 4 und 5 die
darauf folgenden Prozess-Schritte bei der Herstellung des Piezoaktors,
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6 einen
Querschnitt durch einen erfindungsgemäßen Piezoaktor,
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7 ein
Diagramm mit dem Temperatur-Zeit-Verlauf beim Einbrennen der Außenelektrode nach
dem Stand der Technik und
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8 ein
Diagramm mit dem Temperatur-Zeit-Verlauf beim erfindungsgemäßen
Einbrennen der Außenelektrode.
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Ausführungsbeispiele
der Erfindung
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In 1 ist
ein erfindungsgemäßer Piezoaktor in einer perspektivischen
Ansicht schematisch dargestellt. Der Piezoaktor weist einen Piezostapel 1 auf,
der aus einer Vielzahl von Piezoschichten 3 besteht. Der
Deutlichkeit halber sind in 1 nur wenige
Piezoschichten 3 dargestellt. Tatsächlich verwendete
Piezoaktoren weisen meist 100 bis 200 solcher Piezoschichten 3 auf.
Zwischen jeweils zwei Piezoschichten befindet sich eine metallische
Innenelektrode 5 bzw. 5', die abwechselnd auf
eine Seite des Piezostapels geführt sind. Jeweils eine
Hälfte der Innenelektroden 5, 5' wird
von einer Außenelektrode 10, 10' elektrisch
kontaktiert, die auf die Oberfläche des Piezostapels 1 aufgebracht
ist. Die Außenelektrode 10 besteht aus einer Grundmetallisierung 20, die
direkt auf die Oberfläche des Piezostapels 1 aufgebracht
ist, und einer sieb- oder netzartigen flexiblen Metallelektrode 25,
die mit der Grundmetallisierung 20 verbunden ist. Die flexible
Metallelektrode 25 ist schließlich mit einem elektrischen
Anschluss 12, 12' verbunden, über welche
eine elektrische Spannung angelegt werden kann.
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Durch
das Anlegen der elektrischen Spannung zwischen den elektrischen
Anschlüssen 12, 12' entsteht ein elektrisches
Feld zwischen den Innenelektroden 5, die auf einer Seite
des Piezostapels 1 nach außen geführt
sind, und der anderen Hälfte der Innenelektroden 5',
die an der gegenüberliegenden Seite des Piezostapels 1 bis
zur Oberfläche geführt sind. Zwischen den Innenelektroden 5, 5' ergibt
sich so ein relativ homogenes elektrisches Feld, das die Piezoschichten 3 durchdringt.
Je nach Stärke und Polarität dieses elektrischen
Feldes kommt es zu einer Dickenänderung der Piezoschichten 3 und
damit insgesamt zu einer Längenänderung des Piezostapels 1.
Der Piezostapel 1 dehnt sich oder zieht sich zusammen entlang
einer Dehnungsachse 7, wobei die Richtung der Dehnungsachse 7 über
die Polarisationsrichtung der Piezokeramiken festgelegt wird.
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Die
Herstellung des Piezoaktors geschieht nach folgendem Verfahren:
zur Bildung des Piezoaktors wird Grünfolie gestapelt und
laminiert. Die Grünfolie besteht aus einem piezokeramischen
Pulver mit einem polymeren Bindergemisch, das mit einer metallischen
Druckschicht versehen ist, so dass ein Stapel mit abwechselnd piezokeramischen
Schichten und Metallelektroden entsteht, der sogenannte Grünkörper.
Anschließend wird der Grünkörper entbindert und
gesintert, also bei hohen Temperaturen gebrannt, so dass sich der
organische Polymerbinder verflüchtigt und das Keramikpulver
in einer feste, verdichtete Keramik umbildet, die letztendlich piezoaktiv ist. 2 zeigt
hierzu eine Draufsicht auf den so entstandenen Piezostapel 1,
bei dem die Anordnung der Piezoschichten 3 und der Innenelektroden 5 bzw. 5' deutlich
wird. Bei Piezoaktoren, wie sie in Kraftstoffeinspritzanlagen verwendet
werden, sind häufig mehr als dreihundert Piezoschichten 3 üblich.
Die Schichtdicke der einzelnen Piezoschichten 3 beträgt
etwa 0,1 mm, während die Innenelektroden 5, 5' eine Schichtdicke
von nur wenigen μm aufweisen.
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Zum
Aufbringen der Grundmetallisierung wird der Piezostapel 1 nach
dem Sintern abgeschliffen, um die Sinterhaut zu entfernen, was ansonsten einen
elektrischen Kontakt zu den Innenelektroden 5, 5' erschweren
oder unmöglich machen würde. Anschließend
wird eine Metallisierungspaste aufgebracht, die eine erste Schicht 120 der
Grundmetallisierung 20 bildet. 3 zeigt
hierzu diese erste Schicht 120 der Grundmetallisierung 20,
die vollflächig eine Seite des Piezostapels 1 bedeckt.
Die Metallisierungspaste ist beim Auftragen flüssig, so
dass vor den weiteren Prozess-Schritten abgewartet wird, bis diese
erste Schicht 120 getrocknet ist. Anschließend
wird eine zweite Schicht 220 der Grundmetallisierung 20 aufgebracht,
wie in 4 dargestellt. Diese zweite Schicht 220 wird
z. B. in Streifen aufgebracht. Die zweite Schicht der Grundmetallisierung 20 bedeckt
hierbei 20 bis 80% der ersten Schicht 120, vorzugsweise
30 bis 70%. Die streifenförmige Grundmetallisierung 20 ist
dabei nur ein ausgewähltes Beispiel, es sind auch andersartige
Grundmetallisierungen 20 denkbar.
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Im
nächsten Prozess-Schritt wird eine flexible Metallelektrode 25 in
die noch flüssige zweite Schicht 220 der Grundmetallisierung 20 aufgesetzt, wie
in 5 dargestellt. Die flexible Metallelektrode 25 kann
hierbei netz- oder siebartig, ein- oder zweilagig ausgebildet sein.
Da die zweite Schicht 220 der Grundmetallisierung 20 noch
flüssig ist, bildet sich an den Berührpunkten
der flexiblen Metallelektrode ein Meniskus 27, der eine
gute elektrische Verbindung der flexiblen Metallelektrode 25 zur
zweiten Schicht 220 der Grundmetallisierung 20 herstellt. 6 zeigt hierzu
einen Querschnitt durch den Piezostapel 1, bei dem dieser
Effekt verdeutlicht ist.
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Die
flexible Metallelektrode 25 und die Grundmetallisierung 20 bilden
zusammen die Außenelektroden 10, 10'.
Um die Außenelektroden 10, 10' zu fixieren,
wird der Piezostapel 1 anschließend gebrannt,
so dass sich die flexible Metallelektrode 25 mit der Metallisierungspaste
und diese wiederum fest mit dem Piezostapel 1 verbindet.
Der dadurch gebildete Piezoaktor kann dann mit Anschlusselektroden 12, 12' versehen
werden und ist damit fertig gestellt.
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Bei
einer bekannten Kontaktierungsmethode erfolgt die Grundmetallisierung 20 mit
einer Metallisierungspaste auf Basis einer Silber-Glas-Paste, die aufgrund
der verwendeten Silber-Pulver-Körnungen und des eingesetzten
blei- und wismutfreien Glases eine Einbrenntemperatur von üblicherweise
700 bis 800°C, insbesondere 720 bis 750°C benötigt.
Damit die flexible Metallelektrode 25 mechanisch und elektrisch
eine gute Verbindung zur Grundmetallisierung 20 aufweist,
hat sich Invardraht bewährt, der mit einer Silberschicht überzogen
ist. Um das eingebettete versilberte Invargewebe der Metallelektrode 25 vor Oxidation
zu schützen, erfolgt das Einbrennen der Außenelektroden 10, 10' in
zwei Phasen. Die erste Einbrennphase erfolgt bei ca. 300°C
bis zum Ende der Entbinderungsphase unter Luft, während
die sich anschließende zweite Einbrennphase zur Bildung der
Grundmetallisierung 20 vorzugsweise unter Schutzgasatmosphäre,
also zum Beispiel unter Stickstoff- oder Argonatmosphäre,
wobei auch andere Edelgase in Frage kommen, erfolgt. Die Temperatur
in dieser zweiten Phase liegt bei den bereits erwähnten
700 bis 800°C. 7 verdeutlicht in einem Diagramm
mit dem Temperatur-Zeit-Verlauf den Vorgang des Einbrennens der
Außenelektroden 10, 10' gemäß dem
bekannten Verfahren. Die Ofentechnik für einen solchen
Prozess ist kompliziert und durch den Einsatz des Edelgases vergleichsweise
teuer. Die Einbrenntemperaturen sind zudem so hoch, dass hier bereits
die Korngrenzenphase des gesinterten PZT-Materials wieder erweicht,
was zu unerwünschten Wechselwirkungen mit dem Glas aus
der Metallisierungspaste führen kann.
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Die
Aufgabe der Erfindung besteht insofern darin, eine kostengünstige,
robuste Lösung der elektrischen Anbindung eines Multilager-Piezoaktors
zu finden, die mit einem einfacheren Einbrennverfahren möglichst
unter Vermeidung der Verwendung einer Schutzgasatmosphäre
auskommt. Bei Verwendung von Invar als Gewebematerial für
die Metallelektrode 25 beginnt dessen Oxidation bei bereits
ca. 300°C, was über Thermogravimetrische Analysen
messbar ist. Bis ca. 450°C ist diese Oxidation bei entsprechend
kurzer Haltezeit von ca. 10 min noch technisch vertretbar gering.
Darüber hinaus steigt die Oxidationsgeschwindigkeit deutlich
an. Nach dem Stand der Technik sind kommerziell erhältliche
Einbrennpasten auf Silberbasis jedoch nur für minimale
Einbrenntemperaturen von 550°C bekannt. Darunter sind nur
organisch gebundene Silberleitkleber (z. B. Epoxid- oder Silikonharz)
einsetzbar, um eine vergleichbare Einbettung der Metallelektrode 25 zu
erreichen. Die sichere elektrische Anbindung bei Leitklebern bedingt
allerdings zudem eine vorherige flächige eingebrannte Metallisierungsschicht,
um die sehr schmalen Kontaktflächen der Innenelektroden 5, 5' zu
bündeln. Die thermische Belastbarkeit der Leitkleber ist zudem
auf maximal 200°C beschränkt, und die chemische
und thermische Langzeitbeständigkeit von harzgebundenen
Leitklebern ist unter realen Betriebsbedingungen mit verkürzten
Lebenszeittests sehr schwierig nachzuweisen.
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Erfindungsgemäß wurde
eine Rezeptur für eine Metallisierungspaste als Grundmetallisierung 20 gefunden,
die eine silberhaltige Paste ist und ein Einbrennen bei maximalen
Temperaturen von 450°C ausschließlich unter Luft
ermöglicht, wodurch eine anorganisch basierte elektrische
Anbindung der Metallelektrode 25 auf der PZT-Keramik (Piezostapel 1) bei
dieser niedrigen Temperatur erzeugbar ist. Für die Rezeptur
der mit einer niedrigen Temperatur einbrennbaren Metallisierungspaste
auf Ag-Basis ist Folgendes zu berücksichtigen. Um eine
gute Anbindung auf der PZT-Keramik zu erhalten, ist ein auf dem
sehr niedrigen Temperaturniveau schmelzendes Glas notwendig. Um
ein Sintern der metallischen Matrix bei diesem Temperaturniveau
zu erreichen, sind zudem sehr feine Ag-Partikel im nm-Bereich nötig.
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Sehr
niedrig schmelzende Gläser sind aus einer anderen Anwendung
bekannt, und zwar sogenannte Sealgläser zur Herstellung
von z. B. gasdichten IC-Kapselungen, Plasma-Displays usw. Diese Sealgläser
sind zumeist Pb-Zn-B-Gläser mit sehr niedrigen Erweichungstemperaturen
von ca. 350°C und typischen Einbrenntemperaturen von 400
bis 450°C.
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Der
Volumenanteil des Pb-B-Zn-Sn-Sealglases, das eine Erweichungstemperatur
von 360°C besitzt, beträgt bei der erfindungsgemäßen
Metallisierungspaste zwischen 5 und 25 Vol-%, insbesondere 15 Vol-%
der anorganischen Bestandteile, und das Glas besitzt einen mittleren
Korndurchmesser d50 von 5 bis 15 μm,
insbesondere von 12 μm. Das Problem der Schwindung wird
in der erfindungsgemäßen Metallisierungspaste
dadurch behoben, dass die Packungsdichte in der getrockneten Pastenschicht
optimiert ist, durch Verwendung verschiedener Ag-Pulver-Körnungen,
die angenähert an eine Fuller-Verteilung miteinander kombiniert
werden und Körner bis maximal 8 μm enthalten.
Dabei entsprechen das grobe Silberpulver A dem „Kies",
das mittelgrobe Silberpulver B dem „Sand" und das nanoskalige
Silberpulver C dem „Zement". Die Ag-Pulver A und B sind
hier die groben Füllstoffe, die bei 450°C noch
nicht ausreichend versintern würden, aber eine dichte Packung in
der getrockneten Schicht ermöglichen. Das sehr feine Ag-Pulver
C dient als Binder und bildet aufgrund seiner sehr hohen Sinteraktivität
die Grundlage der hohen mechanischen Festigkeit der Metallisierungsschicht.
Dadurch ist auch erst ein sehr hoher Feststoffanteil (Ag + Glaspulver)
der Metallisierungspaste von ca. 54 Vol-% möglich, was
ca. 92 Masse% entspricht. Während die Körner des
groben Silberpulvers A eine Korngröße bis zu 8 μm
aufweisen können, enthält das feine Silberpulver
C z. B. noch Anteile mit < 0,1 μm.
Die Mischung der Ag-Pulver beträgt beispielsweise C:B:A
= 2:3:5. Außerdem wird in dieser Zusammensetzung eine hochviskose,
aber sehr gut fließfähige Konsistenz erreicht,
die für Sieb- und Schablonendruck gut geeignet ist. Mit
verantwortlich ist dafür auch die speziell abgestimmte
organische Bindermischung, die aus einem sehr kurzkettigen Cellulosederivat
und einem kurzkettigen Dispergierharz auf Basis eines Polymethacrylates
besteht. Die Lösungsmittel sind Butyldiglycolacetat und
Butylcarbitol, können aber auch chemisch ähnliche
Lösungsmittel sein.
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Wie
bereits erwähnt, erfordert die neue Rezeptur der Metallisierungspaste
für die Grundmetallisierung 20 in vorteilhafter
Weise eine niedrige Einbrenntemperatur der Ag-Glas-Paste von nur
maximal 450°C und ermöglicht eine thermisch und
chemisch resistente, anorganische Bindung des Leitmaterials Silber
an die PZT-Keramik und das Invargewebe der flexiblen Metallelektrode 25 unter
Verwendung einer sehr kostengünstigen Prozesstechnik mit
ausschließlich Luft-Atmosphäre. Von Vorteil ist
es, dass auch andere Materialien außer Invar für
das Material der Metallelektrode 25 einsetzbar sind, die
bis zu der Einbrenntemperatur von 450°C nur sehr dünne
Oxidschichten ausbilden, insbesondere verzunderungsbeständige,
hochtemperaturbeständige bzw. hochwarmfeste, hochlegierte
Stähle, wie der Edelstahl 1.4301 oder der CrNi-Hochtemperaturstahl
1.4841, oder Zinnbronze oder Aluminium, das eine Schmelztemperatur
von ca. 660°C besitzt, oder Aluminium-Legierungen. Die
höheren Ausdehnungskoeffizienten dieser alternativen Materialien
sind zwar weniger günstig als der von Invar, diese können
aber durch die niedrige Einbrenntemperatur kompensiert werden. Das
geringere Temperatur-Delta beim Einbrennen führt zu einem
geringeren Unterschied in der thermischen Dehnung der beiden zu
verbindenden Materialien PZT-Keramik (Piezostapel 1) und
Metallelektrode 25 und macht damit eine rissfreie Verbindung
möglich. 8 zeigt einen beispielhaften
erfindungsgemäßen Temperatur-Zeit-Verlauf beim
Einbrennen der Außenelektrode 10, 10'.
Dabei wird deutlich, dass der eigentliche Brennvorgang ca. 55 min
dauert, wobei die höchste Temperatur von 450°C ca.
10 min gehalten wird.
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Der
erfindungsgemäß hergestellte Piezoaktor weist
den Vorteil auf, dass er mit relativ wenigen, kostengünstigen
Prozess-Schritten herzustellen ist. Anders als beim Auflöten
der flexiblen Metallelektrode 25 entfallen aufwendige Reinigungsprozesse,
die den Piezoaktor deutlich verteuern.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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